JP2006017721A - 逆さ基板を備えた熱式流量センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】熱式流量センサであって、それぞれが第1の面及び反対側の第2の面を有する第1の基板、第2の基板、及び第3の基板を有する。第1の基板が、その第2の面が第2の基板の第1の面に当接するように第2の基板に結合されている。第3の基板が、その第1の面が第2の基板の第2の面に当接するように第2の基板に結合されている。第2の基板は内部に形成された溝を有し、これにより、第2の基板、第1の基板の第2の面、及び第3の基板の第1の面によって画定された導管が形成されている。ヒーターが導管の反対側の第1の基板の第1の面に配置されている。第1の温度センサが、導管の反対側の第1の基板の第1の面に配置されている。
【選択図】図1
Description
1.体液が生体適合性ガラスとしか接触しない。
2.Ti/Ptセンサ、ヒーター、及びセンサの電子素子が同じ基板に配置されるため製造コストを削減できる。
3.センサ電子素子は、フリップチップ技術によって製造できるASICを利用して劇的に小型化することができる。
(1)熱式流量センサであって、
第1の面及び反対側の第2の面を有する第1の基板と、
第1の面及び反対側の第2の面を有する第2の基板であって、前記第1の基板の前記第2の面が前記第2の基板の前記第1の面に当接するように前記第1の基板に結合された、前記第2の基板と、
第1の面及び反対側の第2の面を有する第3の基板であって、前記第2の基板の前記第2の面が前記第3の基板の前記第1の面に当接するように前記第2の基板に結合された、前記第3の基板と、
前記導管の反対側の前記第1の基板の前記第1の面に配置されたヒーターと、
前記導管の反対側の前記第1の基板の前記第1の面に配置された第1の温度センサとを含み、
前記第2の基板が内部に形成された溝を有し、これにより、前記第2の基板、前記第1の基板の前記第2の面、及び前記第3の基板の前記第1の面によって画定された導管が形成されていることを特徴とする熱式流量センサ。
(2)更に、前記導管の反対側の前記第1の基板の前記第1の面に配置された第2の温度センサを含むことを特徴とする実施態様(1)に記載の熱式流量センサ。
(3)更に、前記第1の基板の前記第1の面に取り付けられて内部区画を形成するキャップを含み、前記ヒーター、前記第1の温度センサ、及び前記第2の温度センサが前記内部区画内に配置されていることを特徴とする実施態様(2)に記載の熱式流量センサ。
(4)前記キャップが前記第1の基板に鑞付けされ、これにより密閉された内部区画が形成されていることを特徴とする実施態様(3)に記載の熱式流量センサ。
(5)更に、前記内部区画内に電子素子を含み、前記電子素子が、テレメトリによって制御ユニットに対して通信できるように前記ヒーター、前記第1の温度センサ、及び前記第2の温度センサに電気的に接続されていることを特徴とする実施態様(4)に記載の熱式流量センサ。
(7)前記第2の基板がシリコンから形成されていることを特徴とする実施態様(6)に記載の熱式流量センサ。
(8)前記第1の基板が前記第2の基板に接着され、前記第2の基板が前記第3の基板に接着されていることを特徴とする実施態様(1)に記載の熱式流量センサ。
(9)熱式流量センサであって、
第1の面及び反対側の第2の面を有する第1の基板と、
第1の面及び反対側の第2の面を有する第2の基板であって、前記第1の基板の前記第2の面が前記第2の基板の前記第1の面に当接するように前記第1の基板に結合された、前記第2の基板と、
前記導管の反対側の前記第1の基板の前記第1の面に配置されたヒーターと、
前記導管の反対側の前記第1の基板の前記第1の面に配置された第1の温度センサとを含み、
前記第1の基板及び前記第2の基板の少なくとも一方が内部に形成された溝を有し、これにより、前記第1の基板及び前記第2の基板によって画定された導管が形成されていることを特徴とする熱式流量センサ。
(10)更に、前記導管の反対側の前記第1の基板の前記第1の面に配置された第2の温度センサを含むことを特徴とする実施態様(9)に記載の熱式流量センサ。
(12)前記キャップが前記第1の基板に鑞付けされ、これにより密閉された内部区画が形成されていることを特徴とする実施態様(11)に記載の熱式流量センサ。
(13)更に、前記内部区画内に電子素子を含み、前記電子素子が、テレメトリによって制御ユニットに対して通信できるように前記ヒーター、前記第1の温度センサ、及び前記第2の温度センサに電気的に接続されていることを特徴とする実施態様(12)に記載の熱式流量センサ。
(14)前記第1の基板がホウケイ酸ガラスから形成されていることを特徴とする実施態様(9)に記載の熱式流量センサ。
(15)前記第2の基板がシリコンから形成されていることを特徴とする実施態様(14)に記載の熱式流量センサ。
(17)熱式流量センサであって、
第1の上面、反対側の第2の下面、前記第1の上面と前記第2の下面との間に延在する少なくとも1つの側端部、それぞれが前記少なくとも1つの側端部に形成された入口開口及び出口開口を備えた内部形成された導管を有する第1の基板と、
前記導管の反対側の前記第1の基板の前記第1の面に配置されたヒーターと、
前記導管の反対側の前記第1の基板の前記第1の面に配置された第1の温度センサとを含むことを特徴とする熱式流量センサ。
(18)更に、前記導管の反対側の前記第1の基板の前記第1の面に配置された第2の温度センサを含むことを特徴とする実施態様(17)に記載の熱式流量センサ。
(19)更に、前記第1の基板の前記第1の面に取り付けられて内部区画を形成するキャップを含み、前記ヒーター、前記第1の温度センサ、及び前記第2の温度センサが前記内部区画内に配置されていることを特徴とする実施態様(18)に記載の熱式流量センサ。
(20)前記キャップが前記第1の基板に鑞付けされ、これにより密閉された内部区画が形成されていることを特徴とする実施態様(19)に記載の熱式流量センサ。
(22)前記導管が、それぞれが前記少なくとも1つの側端部の1つに配置された入口開口及び出口開口を有することを特徴とする実施態様(17)に記載の熱式流量センサ。
(23)本体内の導管内を流れる流体の流速を決定するための方法であって、
前記本体が、第1の上面、反対側の第2の下面、前記第1の上面と前記第2の下面との間に延在する少なくとも1つの側端部、及び前記少なくとも1つの側端部にそれぞれ形成された入口開口及び出口開口を有する本体内に形成された導管を有しており、前記方法が、
流体が前記導管の前記入口開口内に入るようにするステップと、
前記導管から離れた反対側の前記本体の前記第1の面に配置されたヒーターで前記流体を加熱するステップと、
前記流体の温度を、前記導管から離れた反対側の前記本体の前記第1の面に配置された第1の温度センサで検出するステップと、
前記検出した温度に基づいて前記流体の流速を決定するステップとを含むことを特徴とする方法。
(24)前記本体が、第1の面及び反対側の第2の面を有する第1の基板、及び第1の面及び反対側の第2の面を有する少なくとも第2の基板を含み、前記第1の基板が、その第2の面が前記第2の基板の前記第1の面に当接するように前記第2の基板に結合され、前記第2の基板が内部に形成された溝を有し、これにより、前記導管が前記第2の基板及び前記第1の基板の前記第2の面によって画定されており、前記方法が更に、
前記導管の反対側の前記第1の基板の前記第1の面に前記ヒーターを配置するステップと、
前記導管の反対側の前記第1の基板の前記第1の面に前記第1の温度センサを配置するステップとを含むことを特徴とする実施態様(23)に記載の方法。
(25)前記流体が液体であることを特徴とする実施態様(24)に記載の方法。
12 第1の基板
14 第2の基板
16 第3の基板
18 第1の基板の第1の面
20 第1の基板の第2の面
22 第2の基板の第1の面
24 第2の基板の第2の面
26 第3の基板の第1の面
28 第3の基板の第2の面
30、30’ 溝
32、32’、32’’ 導管
34 ヒーター
36 第1の温度センサ
38 第2の温度センサ
40 キャップ
42 内部区画
44 電子素子
46、46’’ 側端部
48、48’’ 入口開口
50、50’’ 出口開口
52、54 凹部
100 シャント
Claims (26)
- 第1の面及び反対側の第2の面を有する第1の基板と、
第1の面及び反対側の第2の面を有する第2の基板であって、前記第1の基板の前記第2の面が前記第2の基板の前記第1の面に当接するように前記第1の基板に結合された、前記第2の基板と、
第1の面及び反対側の第2の面を有する第3の基板であって、前記第2の基板の前記第2の面が前記第3の基板の前記第1の面に当接するように前記第2の基板に結合された、前記第3の基板と、
前記導管の反対側の前記第1の基板の前記第1の面に配置されたヒーターと、
前記導管の反対側の前記第1の基板の前記第1の面に配置された第1の温度センサとを含み、
前記第2の基板が内部に形成された溝を有し、これにより、前記第2の基板、前記第1の基板の前記第2の面、及び前記第3の基板の前記第1の面によって画定された導管が形成されていることを特徴とする熱式流量センサ。 - 更に、前記導管の反対側の前記第1の基板の前記第1の面に配置された第2の温度センサを含むことを特徴とする請求項1に記載の熱式流量センサ。
- 更に、前記第1の基板の前記第1の面に取り付けられて内部区画を形成するキャップを含み、前記ヒーター、前記第1の温度センサ、及び前記第2の温度センサが前記内部区画内に配置されていることを特徴とする請求項2に記載の熱式流量センサ。
- 前記キャップが前記第1の基板に鑞付けされ、これにより密閉された内部区画が形成されていることを特徴とする請求項3に記載の熱式流量センサ。
- 更に、前記内部区画内に電子素子を含み、前記電子素子が、テレメトリによって制御ユニットに対して通信できるように前記ヒーター、前記第1の温度センサ、及び前記第2の温度センサに電気的に接続されていることを特徴とする請求項4に記載の熱式流量センサ。
- 前記第1の基板及び前記第3の基板がホウケイ酸ガラスから形成されていることを特徴とする請求項1に記載の熱式流量センサ。
- 前記第2の基板がシリコンから形成されていることを特徴とする請求項6に記載の熱式流量センサ。
- 前記第1の基板が前記第2の基板に接着され、前記第2の基板が前記第3の基板に接着されていることを特徴とする請求項1に記載の熱式流量センサ。
- 熱式流量センサであって、
第1の面及び反対側の第2の面を有する第1の基板と、
第1の面及び反対側の第2の面を有する第2の基板であって、前記第1の基板の前記第2の面が前記第2の基板の前記第1の面に当接するように前記第1の基板に結合された、前記第2の基板と、
前記導管の反対側の前記第1の基板の前記第1の面に配置されたヒーターと、
前記導管の反対側の前記第1の基板の前記第1の面に配置された第1の温度センサとを含み、
前記第1の基板及び前記第2の基板の少なくとも一方が内部に形成された溝を有し、これにより、前記第1の基板及び前記第2の基板によって画定された導管が形成されていることを特徴とする熱式流量センサ。 - 更に、前記導管の反対側の前記第1の基板の前記第1の面に配置された第2の温度センサを含むことを特徴とする請求項9に記載の熱式流量センサ。
- 更に、前記第1の基板の前記第1の面に取り付けられて内部区画を形成するキャップを含み、前記ヒーター、前記第1の温度センサ、及び前記第2の温度センサが前記内部区画内に配置されていることを特徴とする請求項10に記載の熱式流量センサ。
- 前記キャップが前記第1の基板に鑞付けされ、これにより密閉された内部区画が形成されていることを特徴とする請求項11に記載の熱式流量センサ。
- 更に、前記内部区画内に電子素子を含み、前記電子素子が、テレメトリによって制御ユニットに対して通信できるように前記ヒーター、前記第1の温度センサ、及び前記第2の温度センサに電気的に接続されていることを特徴とする請求項12に記載の熱式流量センサ。
- 前記第1の基板がホウケイ酸ガラスから形成されていることを特徴とする請求項9に記載の熱式流量センサ。
- 前記第2の基板がシリコンから形成されていることを特徴とする請求項14に記載の熱式流量センサ。
- 前記第1の基板が前記第2の基板に接着されていることを特徴とする請求項9に記載の熱式流量センサ。
- 熱式流量センサであって、
第1の上面、反対側の第2の下面、前記第1の上面と前記第2の下面との間に延在する少なくとも1つの側端部、それぞれが前記少なくとも1つの側端部に形成された入口開口及び出口開口を備えた内部形成された導管を有する第1の基板と、
前記導管の反対側の前記第1の基板の前記第1の面に配置されたヒーターと、
前記導管の反対側の前記第1の基板の前記第1の面に配置された第1の温度センサとを含むことを特徴とする熱式流量センサ。 - 更に、前記導管の反対側の前記第1の基板の前記第1の面に配置された第2の温度センサを含むことを特徴とする請求項17に記載の熱式流量センサ。
- 更に、前記第1の基板の前記第1の面に取り付けられて内部区画を形成するキャップを含み、前記ヒーター、前記第1の温度センサ、及び前記第2の温度センサが前記内部区画内に配置されていることを特徴とする請求項18に記載の熱式流量センサ。
- 前記キャップが前記第1の基板に鑞付けされ、これにより密閉された内部区画が形成されていることを特徴とする請求項19に記載の熱式流量センサ。
- 更に、前記内部区画内に電子素子を含み、前記電子素子が、テレメトリによって制御ユニットに対して通信できるように前記ヒーター、前記第1の温度センサ、及び前記第2の温度センサに電気的に接続されていることを特徴とする請求項20に記載の熱式流量センサ。
- 前記導管が、それぞれが前記少なくとも1つの側端部の1つに配置された入口開口及び出口開口を有することを特徴とする請求項17に記載の熱式流量センサ。
- 本体内の導管内を流れる流体の流速を決定するための方法であって、
前記本体が、第1の上面、反対側の第2の下面、前記第1の上面と前記第2の下面との間に延在する少なくとも1つの側端部、及び前記少なくとも1つの側端部にそれぞれ形成された入口開口及び出口開口を有する本体内に形成された導管を有しており、前記方法が、
流体が前記導管の前記入口開口内に入るようにするステップと、
前記導管から離れた反対側の前記本体の前記第1の面に配置されたヒーターで前記流体を加熱するステップと、
前記流体の温度を、前記導管から離れた反対側の前記本体の前記第1の面に配置された第1の温度センサで検出するステップと、
前記検出した温度に基づいて前記流体の流速を決定するステップとを含むことを特徴とする方法。 - 前記本体が、第1の面及び反対側の第2の面を有する第1の基板、及び第1の面及び反対側の第2の面を有する少なくとも第2の基板を含み、前記第1の基板が、その第2の面が前記第2の基板の前記第1の面に当接するように前記第2の基板に結合され、前記第2の基板が内部に形成された溝を有し、これにより、前記導管が前記第2の基板及び前記第1の基板の前記第2の面によって画定されており、前記方法が更に、
前記導管の反対側の前記第1の基板の前記第1の面に前記ヒーターを配置するステップと、
前記導管の反対側の前記第1の基板の前記第1の面に前記第1の温度センサを配置するステップとを含むことを特徴とする請求項23に記載の方法。 - 前記流体が液体であることを特徴とする請求項24に記載の方法。
- 前記液体が脳脊髄液であることを特徴とする請求項25に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/881425 | 2004-06-30 | ||
US10/881,425 US7069779B2 (en) | 2004-06-30 | 2004-06-30 | Thermal flow sensor having an inverted substrate |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006017721A true JP2006017721A (ja) | 2006-01-19 |
JP5242002B2 JP5242002B2 (ja) | 2013-07-24 |
Family
ID=35064653
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005190333A Active JP5242002B2 (ja) | 2004-06-30 | 2005-06-29 | 逆さ基板を備えた熱式流量センサ |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7069779B2 (ja) |
EP (1) | EP1612522B1 (ja) |
JP (1) | JP5242002B2 (ja) |
AT (1) | ATE484733T1 (ja) |
DE (1) | DE602005024079D1 (ja) |
ES (1) | ES2353216T3 (ja) |
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- 2005-06-29 AT AT05254050T patent/ATE484733T1/de active
- 2005-06-29 ES ES05254050T patent/ES2353216T3/es active Active
- 2005-06-29 EP EP05254050A patent/EP1612522B1/en active Active
- 2005-06-29 JP JP2005190333A patent/JP5242002B2/ja active Active
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US20060000270A1 (en) | 2006-01-05 |
US7069779B2 (en) | 2006-07-04 |
EP1612522A3 (en) | 2006-07-19 |
DE602005024079D1 (de) | 2010-11-25 |
EP1612522B1 (en) | 2010-10-13 |
ATE484733T1 (de) | 2010-10-15 |
ES2353216T3 (es) | 2011-02-28 |
EP1612522A2 (en) | 2006-01-04 |
JP5242002B2 (ja) | 2013-07-24 |
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