JP2006016231A

JP2006016231A - ガラス融着方法

Info

Publication number: JP2006016231A
Application number: JP2004194076A
Authority: JP
Inventors: Hiroaki Kato; 浩昭加藤; Kazuaki Yuki; 一哲結城; Hidekazu Nakaoka; 英一中岡
Original assignee: Nippon Sheet Glass Co Ltd
Current assignee: Nippon Sheet Glass Co Ltd
Priority date: 2004-06-30
Filing date: 2004-06-30
Publication date: 2006-01-19

Abstract

【課題】ガラス融着体の表面が粗くなるのを防止することができるガラス融着方法を提供する。
【解決手段】ガラス融着方法は、板ガラス１０，２０をアプリケータ１１の内部空間に収容し、この板ガラス１０，２０をガラス載置部１５上に重ね合わせた状態で固定支持し、ミリ波発生源１２が周波数２８ＧＨｚのミリ波を発生し、発生したミリ波をアプリケータ１１の円筒状金属容器により反射して板ガラス１０，２０に照射（誘電加熱）し、誘電加熱された板ガラス１０，２０をガラス表面１０ａ，２０ａにおいて荷重（推力）６ｋＮ（６００ｋｇ）で３〜５秒間加圧することにより、板ガラス１０，２０同士をガラス合わせ面２６で熱融着してガラス融着体３０を得る。
【選択図】図１

Description

本発明は、ガラス融着方法、特に、誘電加熱によるガラス融着方法に関する。

例えば、マイクロケミカルチップの作製におけるガラスの融着は、ガラスの合わせ面をガラス歪点以上の温度に加熱する熱融着装置によって一般的に行われている。熱融着装置は、図７に示すように、床部に熱源７１を、天井部に熱源７２を有し、熱源７１の上には板ガラス７３，７４が積重ねられている。積重ねられた板ガラス７３，７４の上には重り７５が載置されている。この熱融着装置は、熱源７１，７２が発生した熱エネルギを輻射、熱伝導、熱伝達等の方式によって板ガラス７３，７４に供給して、例えば６００℃以上で５時間加熱すると共に、板ガラス７３上に載置された重り７５によって板ガラス７３，７４を加圧することにより行われる（例えば、特許文献１参照）。
特開２００４−１２５４７６号公報

しかしながら、熱源７１，７２が発生した熱エネルギを輻射、熱伝導、熱伝達の何れの方式によって板ガラス７３，７４に供給した場合であっても、この熱エネルギは板ガラス７３，７４の合わせ面７６に直接供給されるのではなく、板ガラス７３，７４のガラス表面７３ａ，７４ａを介して板ガラス７３，７４の熱伝導によって合わせ面７６に供給される。よって、合わせ面７６がガラス歪点以上の温度にまで加熱されれば、必ずガラス表面７３ａ，７４ａの温度はガラス歪点以上の温度にまで加熱されることとなる。ガラス表面７３ａ，７４ａがガラス歪点以上の温度にまで加熱されると、板ガラス７３上に載置されている重り７５の荷重によって、重り７５の表面７５ａの凹凸がガラス表面７３ａに転写してガラス表面７３ａが粗くなるという問題があった。また、重り７５が板ガラス７３上に載置されていない場合であっても、熱源７１の表面７１ａの凹凸が板ガラス７３，７４の自重によってガラス表面７４ａに転写してガラス表面７４ａが粗くなるという問題があった。

本発明の目的は、ガラス融着体の表面が粗くなるのを防止することができるガラス融着方法を提供することにある。

上記目的を達成するために、請求項１記載のガラス融着方法は、互いに合わされた一対のガラス体の合わせ面をガラス歪点以上の温度に加熱して融着するガラス融着方法において、前記一対のガラス体に電磁波を照射して前記合わせ面を誘電加熱する誘電加熱ステップを備えることを特徴とする。

請求項２記載のガラス融着方法は、請求項１記載のガラス融着方法において、前記一対のガラス体の融着時における前記合わせ面の誘電加熱温度は、ガラス徐冷点以上であると共に、ガラス軟化点以下であることを特徴とする。

請求項３記載のガラス融着方法は、請求項１又は２記載のガラス融着方法において、前記誘電加熱ステップによる前記一対のガラス体の融着時に、前記一対のガラス体の非合わせ面において前記一対のガラス体の双方を加圧する加圧ステップを備えることを特徴とする。

請求項４記載のガラス融着方法は、請求項３記載のガラス融着方法において、前記加圧ステップは、前記一対のガラス体の非合わせ面において前記一対のガラス体の双方を断熱板を介して加圧することを特徴とする。

請求項５記載のガラス融着方法は、請求項３又は４記載のガラス融着方法において、前記非合わせ面の温度はガラス徐冷点未満であることを特徴とする。

請求項６記載のガラス融着方法は、請求項５記載のガラス融着方法において、前記非合わせ面の温度はガラス歪点未満であることを特徴とする。

請求項７記載のガラス融着方法は、請求項３乃至６のいずれか１項に記載のガラス融着方法において、前記非合わせ面の温度を低下させる自然放冷又は強制冷却ステップを備えることを特徴とする。

請求項８記載のガラス融着方法は、請求項１乃至７のいずれか１項に記載のガラス融着方法において、前記誘電加熱ステップの前に前記一対のガラス体を輻射加熱する輻射加熱ステップを備えることを特徴とする。

請求項９記載のガラス融着方法は、請求項１乃至８のいずれか１項に記載のガラス融着方法において、前記誘電加熱ステップの前に前記一対のガラス体を強制対流伝達加熱する強制対流伝達加熱ステップを備えることを特徴とする。

請求項１０記載のガラス融着方法は、請求項８又は９記載のガラス融着方法において、前記誘電加熱ステップにおける前記合わせ面の温度はガラス歪点以上であることを特徴とする。

請求項１１記載のガラス融着方法は、請求項１乃至１０のいずれか１項に記載のガラス融着方法において、前記電磁波は２０〜３００ＧＨｚであることを特徴とする。

請求項１２記載のガラス融着方法は、請求項１乃至１１のいずれか１項に記載のガラス融着方法において、前記一対のガラスの各々は板ガラスであることを特徴とする。

請求項１３記載のガラス融着方法は、請求項１乃至１２のいずれか１項に記載のガラス融着方法において、前記一対のガラスの各々はソーダライムシリカ組成のガラスであることを特徴とする。

請求項１記載のガラス融着方法によれば、一対のガラス体に電磁波を照射して合わせ面を誘電加熱するので、一対のガラス体の非合わせ面の温度を融着時における合わせ面の温度、即ち、粘性流動が生じる温度よりも低くすることができ、もってガラス融着体の表面が粗くなるのを防止することができる。

請求項２記載のガラス融着方法によれば、一対のガラス体の融着時における合わせ面の誘電加熱温度は、ガラス徐冷点以上であると共に、ガラス軟化点以下であるので、合わせ面での粘性流動を大きくして熱融着に要する時間を短くすることができると共に、ガラス自体の変形を防いで寸法安定性を確保することができる。

請求項３記載のガラス融着方法によれば、一対のガラス体の融着時に、一対のガラス体の非合わせ面において一対のガラス体の双方を加圧するので、合わせ面における局部的な隙間の発生及び空気の巻き込みによる泡の残存を防ぐことができる。

請求項４記載のガラス融着方法によれば、一対のガラス体の非合わせ面において一対のガラス体の双方を断熱板を介して加圧するので、断熱板が非合わせ面の熱を奪うことにより非合わせ面の温度を低くすることができ、もってガラス融着体の表面が粗くなるのを防止することができる。

請求項５記載のガラス融着方法によれば、非合わせ面の温度はガラス徐冷点未満であるので、非合わせ面における粘性流動を防ぐことができ、もってガラス融着体の表面が粗くなるのを防止することができる。

請求項６記載のガラス融着方法によれば、非合わせ面の温度はガラス歪点未満であるので、ガラス融着体の表面が粗くなるのを一層確実に防止することができる。

請求項７記載のガラス融着方法によれば、非合わせ面の温度を自然放冷又は強制冷却により低下させるので、合わせ面と非合わせ面との温度差を大きくすることができ、もってガラス融着体の表面が粗くなるのを防止することができる。

請求項８記載のガラス融着方法によれば、誘電加熱前に一対のガラス体を輻射加熱するので、所定温度までの加熱においてガラスの各部位における温度の均一化を図ることができ、もって熱暴走によるガラスの局所的な溶融や破損等を防止することができる。

請求項９記載のガラス融着方法によれば、誘電加熱前に一対のガラス体を強制対流伝達加熱するので、所定温度までの加熱においてガラスの各部位における温度の均一化を図ることができ、もって熱暴走によるガラスの局所的な溶融や破損等を防止することができる。

請求項１０記載のガラス融着方法によれば、誘電加熱時における合わせ面の温度はガラス歪点以上であるので、ガラス歪点までの加熱においてガラスの各部位における温度の均一化を図ることができ、もって熱暴走によるガラスの局所的な溶融や破損等を防止することができる。

本発明者は、上記目的を達成すべく鋭意研究を行った結果、互いに合わされた一対のガラス体の合わせ面をガラス歪点以上の温度に加熱して融着するガラス融着方法において、一対のガラス体に電磁波を照射して合わせ面を誘電加熱する誘電加熱ステップを備えると、一対のガラス体の非合わせ面の温度を融着時における合わせ面の温度、即ち、粘性流動が生じる温度よりも低くすることができ、もってガラス融着体の表面が粗くなるのを防止することができることを見出した。

本発明は、上記研究の結果に基づいてなされたものである。

以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。

図１は、本発明の実施の形態に係るガラス融着方法を実行するためのガラス熱融着装置の概略構成を説明するために用いられる図である。

図１において、ガラス熱融着装置１００は、空気雰囲気下の内部空間でソーダライムガラスの板ガラス１０，２０を加熱する加熱炉としてのアプリケータ１１と、ミリ波を発生するミリ波発生源１２と、ミリ波発生源１２で発生したミリ波をアプリケータ１１の内部空間に導入する導波管１３とを備える。

アプリケータ１１は、板ガラス１０，２０を収容する内部空間を形成する円筒状金属容器から成り、この円筒状金属容器はアプリケータ１１の内部空間に導入されたミリ波を板ガラス１０，２０に反射する。

アプリケータ１１は、内部空間に板ガラス１０，２０を加圧するプレス装置１４を備える。

プレス装置１４は、図２に示すように、板ガラス１０，２０を積重ねた状態で固定支持するセラミックス（酸化アルミニウム）製のガラス載置部１５と、板ガラス１０から３５ｍｍ上方に配置された上プレス板２２ａ及び板ガラス２０から３５ｍｍ下方に固定された下プレス板２２ｂから成るプレスユニット２２と、圧縮空気により上プレス板２２ａを昇降するエアシリンダ２１と、圧縮空気によりガラス載置部１５を昇降するエアシリンダ２８とを備える。

また、上プレス板２２ａ及び下プレス板２２ｂには圧縮空気噴出用の孔２５が多数設けられている。この孔２５より噴出される圧縮空気の温度及び噴出量を調整することにより、板ガラス表面１０ａ，２０ａ（非合わせ面）の温度を調整することができる。

図３は、図１のガラス融着装置によって実行されるガラス融着方法のフローチャートである。

図３において、サイズが３０ｍｍ×７０ｍｍ×厚み１．４ｍｍの板ガラス１０，２０をアプリケータ１１の内部空間に収容し（ステップＳ３０１）、この板ガラス１０，２０を酸化アルミニウム製のガラス載置部１５上に重ね合わせた状態で固定支持し（ステップＳ３０２）、ミリ波発生源１２が周波数２８ＧＨｚのミリ波を発生し（ステップＳ３０３）、ミリ波発生源１２が発生したミリ波をアプリケータ１１の内部空間に導波管１３を介して導入し（ステップＳ３０４）、アプリケータ１１の内部空間に導入されたミリ波をアプリケータ１１の円筒状金属容器により反射して板ガラス１０，２０に照射（誘電加熱）し（ステップＳ３０５）、孔２５から圧縮空気を噴出して板ガラス表面１０ａ，２０ａの温度を調整し（ステップＳ３０６）、上プレス板２２ａをガラス表面１０ａと接するまでエアシリンダ２１により降下させると共に、ガラス載置部１５をガラス表面２０ａと下プレス板２２ｂとが接するまで降下させた後、ガラス表面１０ａ，２０ａにおいて、誘電加熱された板ガラス１０，２０を荷重（推力）６ｋＮ（６００ｋｇ）で３〜５秒間加圧することにより、板ガラス１０，２０同士をガラス合わせ面２６で熱融着してガラス融着体（図１，２における３０）を得て（ステップＳ３０７）、本方法を終了する。

ミリ波照射（ステップＳ３０５）において、板ガラス１０，２０が毎分約２０℃昇温するようにミリ波発生源１２の出力が調整される。

ステップＳ３０５における誘電加熱とは、被加熱物である誘電体に高周波電界を印加すると誘電体を構成している誘電分子が電界により力を受けて電界の周波数に対応して振動し、その振動の遅れから摩擦熱が生じ、被加熱物自身が発熱するというものである。この誘電加熱は、外部加熱とは異なり、物質内部から発熱するのが大きな特徴であるので、ガラス表面１０ａ，２０ａをガラス歪点温度以下に保ちながらガラス合わせ面２６をガラス歪点温度以上に加熱できる。

図４は、図３におけるミリ波照射時の板ガラス部位の温度測定結果を示すグラフである。

図４において、線ａ，ｂ，ｃ，ｄは、夫々、下板ガラス表面２０ａの測定温度、ガラス合わせ面２６の測定温度、上板ガラス表面１０ａの測定温度、下板ガラス表面２０ａ及びガラス合わせ面２６間の温度差を示す。

図４より、ミリ波照射開始時から約１３０秒後において、ガラス合わせ面２６の測定温度（ｂ）が約５５０℃であるのに対し、ガラス表面１０ａ，２０ａの測定温度（ａ，ｃ）は約４２０℃であり、その差は約１３０℃であることが分かる。

換言すれば、板ガラス１０と板ガラス２０との融着時において、ガラス合わせ面２６の温度（ｂ）がソーダライムガラスのガラス徐冷点（５５０℃）であるとき、ガラス表面１０ａ，２０ａの温度（ａ，ｃ）をソーダライムガラスのガラス歪点（５１０℃）より約９０℃低い温度（約４２０℃）に維持できることが分かる。

これは、ミリ波照射時において、ガラス表面１０ａ，２０ａの熱エネルギが板ガラス周辺の空気に移動（熱伝達）して自然放冷されるためである。

図５は、図３におけるミリ波照射時の板ガラス部位の温度測定結果を示すグラフであり、２枚の板ガラスを緩衝材で挟みこんだ場合を示す。

図５において、線ａ，ｂ，ｃ，ｄは、夫々、下板ガラス表面１０ａの測定温度、ガラス合わせ面２６の測定温度、緩衝材表面の測定温度、下板ガラス表面２０ａ及びガラス合わせ面２６間の温度差を示す。

なお、板ガラス１０，２０を挟みこむ緩衝材は、厚さが１ｍｍ、酸化アルミニウム製であり、外部加圧したときの熱衝撃を和らげるクッション材としての機能も果たす。

図５より、ミリ波照射開始時から約１００秒後において、ガラス合わせ面２６の測定温度（ｂ）が約５５０℃であるのに対し、下板ガラス表面２０ａの測定温度（ａ）は約４９０℃であり、その差は約６０℃であることが分かる。

換言すれば、板ガラス１０と板ガラス２０との融着時において、ガラス合わせ面２６の温度（ｂ）がソーダライムガラスのガラス徐冷点（５５０℃）であるとき、下板ガラス表面２０ａの温度（ａ）をソーダライムガラスのガラス歪点（５１０℃）より約２０℃低い温度に維持できることが分かる。

また、図４及び図５の温度測定結果より、酸化アルミニウム製緩衝材で板ガラス１０，２０を挟み込むことにより、ガラス合わせ面２６とガラス表面１０ａ，２０ａとの温度差をコントロールできることが分かる。

本実施の形態に係るガラス融着方法(図３)によれば、板ガラス１０，２０にミリ波を照射してガラス合わせ面２６を加熱（誘電加熱）する（ステップＳ３０５）ので、ガラス表面１０ａ，２０ａを、融着時におけるガラス合わせ面２６の温度、即ち、粘性流動が生じる温度よりも低くすることができ、もってガラス表面１０ａ，２０ａの表面平坦性が損なわれるのを防止する、即ち、ガラス融着体３０の表面が粗くなるのを防止することができる。

本実施の形態では、板ガラス１０，２０はガラス載置部１５上に固定支持されているが、これに限定されるものではなく、例えば、板ガラス１０，２０が搬送ローラ上を移動するようにしてもよい。板ガラス１０，２０が搬送ローラ上を移動する場合、全ての加熱をミリ波照射による加熱（誘電加熱）で行う必要はなく、輻射加熱方式や強制対流熱伝達加熱方式等により板ガラス１０，２０を室温からガラス歪点以下の所定温度まで加熱し、加熱炉から出炉して、ガラス表面１０ａ，２０ａをミリ波照射による加熱（誘電加熱）を行ってもよい。その後強制風冷により冷却してもよい。

上記のように、輻射加熱方式や強制対流熱伝達加熱方式等による加熱とミリ波照射による加熱（誘電加熱）とを併用することにより、所定温度までの加熱において板ガラス１０，２０の各部位における温度の均一化を図ることができ、もって熱暴走による板ガラス１０，２０の局所的な溶融や破損等を防止することができる。

本実施の形態では、プレス装置１４がアプリケータ１１の内部空間に配設されているが、これに限定されるものではなく、プレス装置１４の一部がアプリケータ１１の外部に配設されていてもよい。

本実施の形態では、孔２５から圧縮空気を噴出して板ガラス表面１０ａ，２０ａの温度を調整しているが、この圧縮空気は冷風及び温風の何れであってもよい。

本実施の形態では、上プレス板２２ａがガラス表面１０ａを直接加圧し、下プレス板２２ｂがガラス表面２０ａを直接加圧しているが、これに限定されるものではなく、プレス板２２ａ，２２ｂとガラス表面１０ａ，２０ａとの間に断熱板を介在させてもよい。

本実施の形態では、エアシリンダ２１，２８（プレスシリンダ）を使用して、板ガラス１０，２０を荷重６ｋＮ（６００ｋｇ）で３〜５秒間プレスしているが、これに限定されるものではなく、例えば、板ガラス１０，２０が対向する一対の回転ローラ間を通過するようにして加圧してもよい。

本実施の形態では、ミリ波の周波数を２８ＧＨｚとしているが、これに限定されるものではなく、他の周波数のミリ波でもよく、さらにはマイクロ波等であってもよい。

本実施の形態では、２枚の板ガラス１０，２０を熱融着しているが、これに限定されるものではなく、例えば３枚の板ガラスを熱融着してもよい。これにより、最も外側に配置されるガラス表面が粗くなるのを防止することができる。また、この熱融着により筐体のガラス融着体を得て、その内部を真空に排気することにより真空ガラスを作製することもできる。

本実施の形態では、板ガラス１０，２０を熱融着しているが、熱融着できるものであれば対象物は板ガラスでなくてもよい。

以下、本発明の実施例を説明する。

本発明者は、ミリ波照射によりガラス合わせ面の温度を５５０℃に、ガラス表面の温度をガラス歪点（５１０℃）以下の４９０℃に設定した一対のソーダライムガラス（実施例１）と、ミリ波照射によりガラス合わせ面の温度を５９０℃に、ガラス表面の温度をガラス徐冷点（５５０℃）以下の５３０℃に設定した一対のソーダライムガラス（実施例２）と、ミリ波照射によりガラス合わせ面の温度を６３０℃に、ガラス表面の温度をガラス徐冷点（５５０℃）以上の５７０℃に設定した一対のソーダライムガラス（実施例３）と、赤外線ヒータ輻射加熱によりガラス合わせ面及びガラス表面の温度をガラス徐冷点（５５０℃）に設定した一対のソーダライムガラス（比較例１）とを準備し、一対のソーダライムガラスを荷重６ｋＮ（６００ｋｇ）で３〜５秒間加圧することにより熱融着し、この熱融着されたガラス融着体の表面粗さを測定した。なお、比較対照として加熱処理がなされていないソーダライムガラスの表面粗さも測定した。

なお、ソーダライムガラスは、ガラス歪点（５１０℃）におけるガラス粘度が１０^１３．５Ｐａ・ｓであり、ガラス徐冷点（５５０℃）におけるガラス粘度が１０^１２Ｐａ・ｓであり、ガラス軟化点（７３５℃）におけるガラス粘度が１０^８．６Ｐａ・ｓである。

また、上記ガラス歪点（５１０℃）においては粘性流動が生じていないので内部歪を除去することができず、上記ガラス徐冷点（５５０℃）においては内部歪を１５分程度で除去することができることが知られている。

上記表面粗さの測定結果を表１に示す。

表１をグラフ化したものを図６に示す。

表１及び図６から、ガラス表面の融着時加熱温度をガラス合わせ面の融着時加熱温度よりも低くすることにより、ガラス融着体の表面が粗くなるのを防止することができることが分かる。

また、表１及び図６から、ガラス表面の融着時加熱温度をガラス徐冷点（５５０℃）以下の５３０℃（実施例２）、望ましくはガラス歪点（５１０℃）以下の４９０℃（実施例１）に設定すれば、ガラス融着体の平均表面粗さの最大高さを約０．１（Ｒｍａｘ）以下にすることができることが分かる。

また、実施例１〜３及び比較例１において融着状態が良好であるのは、ガラス合わせ面の融着時加熱温度がガラス徐冷点（５５０℃）以上、ガラス軟化点（７３５℃）以下の５５０℃〜６３０℃に設定されているためである。

本発明の実施の形態に係るガラス融着方法を実行するためのガラス熱融着装置の概略構成を説明するために用いられる図である。図１におけるプレス装置の概略構成を説明するために用いられる図である。図１のガラス融着装置によって実行されるガラス融着方法のフローチャートである。図３におけるミリ波照射時の板ガラス部位の温度測定結果を示すグラフである。図３におけるミリ波照射時の板ガラス部位の温度測定結果を示すグラフであり、２枚の板ガラスを緩衝材で挟みこんだ場合を示す。図３のガラス融着方法により得られたガラス融着体の表面粗さを示すグラフである。従来のガラス融着方法を説明するために用いられる図である。

符号の説明

１０板ガラス
１０ａガラス表面
１１アプリケータ
１２ミリ波発生源
１５ガラス載置部
２０板ガラス
２０ａガラス表面
２６ガラス合わせ面
３０ガラス融着体

Claims

互いに合わされた一対のガラス体の合わせ面をガラス歪点以上の温度に加熱して融着するガラス融着方法において、前記一対のガラス体に電磁波を照射して前記合わせ面を誘電加熱する誘電加熱ステップを備えることを特徴とするガラス融着方法。
前記一対のガラス体の融着時における前記合わせ面の誘電加熱温度は、ガラス徐冷点以上であると共に、ガラス軟化点以下であることを特徴とする請求項１記載のガラス融着方法。
前記誘電加熱ステップによる前記一対のガラス体の融着時に、前記一対のガラス体の非合わせ面において前記一対のガラス体の双方を加圧する加圧ステップを備えることを特徴とする請求項１又は２記載のガラス融着方法。
前記加圧ステップは、前記一対のガラス体の非合わせ面において前記一対のガラス体の双方を断熱板を介して加圧することを特徴とする請求項３記載のガラス融着方法。
前記非合わせ面の温度はガラス徐冷点未満であることを特徴とする請求項３又は４記載のガラス融着方法。
前記非合わせ面の温度はガラス歪点未満であることを特徴とする請求項５記載のガラス融着方法。
前記非合わせ面の温度を低下させる自然放冷又は強制冷却ステップを備えることを特徴とする請求項３乃至６のいずれか１項に記載のガラス融着方法。
前記誘電加熱ステップの前に前記一対のガラス体を輻射加熱する輻射加熱ステップを備えることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載のガラス融着方法。
前記誘電加熱ステップの前に前記一対のガラス体を強制対流伝達加熱する強制対流伝達加熱ステップを備えることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載のガラス融着方法。
前記誘電加熱ステップにおける前記合わせ面の温度はガラス歪点以上であることを特徴とする請求項８又は９記載のガラス融着方法。
前記電磁波は２０〜３００ＧＨｚであることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載のガラス融着方法。
前記一対のガラスの各々は板ガラスであることを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１項に記載のガラス融着方法。
前記一対のガラスの各々はソーダライムシリカ組成のガラスであることを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか１項に記載のガラス融着方法。