JP2006016229A - 結晶製造方法及び装置、露光装置、デバイス製造方法 - Google Patents
結晶製造方法及び装置、露光装置、デバイス製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 坩堝に収納された結晶性物質の原料から単結晶を製造する結晶製造方法であって、前記坩堝を移動させることで溶融した前記原料の結晶を成長させるステップと、前記成長ステップで成長させた結晶から単結晶を切り出すステップとを有し、前記切り出しステップは、前記原料から所定の結晶方位を有する母結晶を成長させる際に、前記所定の結晶方位とは異なる結晶方位を有するグレインバウンダリから切り出すことを特徴とする結晶製造方法を提供する。
【選択図】 図1
Description
110 坩堝
112 坩堝の下部
114 収納部
116 コニカル部
120 支持部材
130 坩堝昇降部
140 ヒーター
142 上ヒーター
144 下ヒーター
150 熱電対
160 断熱部材
170 筐体
180 計測装置
182 計測部
184 制御部
ID 原料
SC 種結晶
CGF 成長炉
EM 排気装置
500 露光装置
510 照明装置
514 照明光学系
530 投影光学系
Claims (13)
- 坩堝に収納された結晶性物質の原料から単結晶を製造する結晶製造方法であって、
前記坩堝を移動させることで溶融した前記原料の結晶を成長させるステップと、
前記成長ステップで成長させた結晶から単結晶を切り出すステップとを有し、
前記切り出しステップは、前記原料から所定の結晶方位を有する母結晶を成長させる際に、前記所定の結晶方位とは異なる結晶方位を有するグレインバウンダリから切り出すことを特徴とする結晶製造方法。 - 前記成長ステップは、前記グレインバウンダリの発生後の前記坩堝の移動速度を、前記グレインバウンダリの発生前の前記坩堝の移動速度よりも遅くすることを特徴とする請求項1記載の結晶製造方法。
- 前記成長ステップは、前記グレインバウンダリの発生後の前記坩堝の移動速度を、0.5mm/h以下にすることを特徴とする請求項2記載の結晶製造方法。
- 坩堝に収納された結晶性物質の原料から単結晶を製造する結晶製造方法であって、
前記坩堝を引き下げることで溶融した前記原料の結晶を成長させるステップと、
前記成長ステップで成長させた結晶から単結晶を切り出すステップとを有し、
前記成長ステップは、前記原料から所定の結晶方位を有する母結晶を成長させる際に、前記所定の結晶方位とは異なる結晶方位を有するグレインバウンダリを発生させるステップと、
前記グレンインバウンダリから前記異なる結晶方位を有する結晶を成長させるステップとを有し、
前記切り出しステップは、前記異なる結晶方位を有する結晶を切り出すことを特徴とする結晶製造方法。 - 前記原料は、フッ化カルシウムであることを特徴とする請求項1又は4記載の結晶製造方法。
- 結晶性物質の原料から単結晶を成長させる結晶製造装置であって、
前記原料を収納して結晶成長させ、前記結晶成長が開始する前記坩堝の下部に円錐形状のコニカル部を有する坩堝であって、前記コニカル部が70度乃至110度の円錐角度を有する坩堝を有することを特徴とする結晶製造装置。 - 前記坩堝の移動速度を変更する速度変更手段を更に有することを特徴とする請求項6記載の結晶製造装置。
- 前記原料は、フッ化カルシウムであることを特徴とする請求項6記載の結晶製造装置。
- 請求項1乃至5のうちいずれか一項記載の結晶製造方法を用いて製造される単結晶から製造されることを特徴とする光学素子。
- 請求項6乃至7のうちいずれか一項記載の結晶製造装置を用いて製造される単結晶から製造されることを特徴とする光学素子。
- レンズ、回折格子、光学膜体及びそれらの複合体の一であることを特徴とする請求項9又は10記載の光学素子。
- 紫外光、遠紫外光及び真空紫外光を露光光として利用し、当該露光光を請求項9又は10記載の光学素子を含む光学系を介して被処理体に照射して当該被処理体を露光することを特徴とする露光装置。
- 請求項12記載の露光装置を用いて被処理体を露光するステップと、
露光された前記被処理体を現像するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
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