JP2006016014A - テーピング装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】 安定したチップ部品の姿勢で印字検査ができると共にチップ部品の印字検査に良好な印字面の画像が得られるテーピング装置を提供すること。
【解決手段】 チップ部品供給テーブル24から第1の回転盤27の吸着取出ノズル26がチップ部品を取出して、第1の回転盤27に設けられた反転装置36により反転した状態の吸着取出ノズル26からチップ部品を第2の回転盤29の吸着装填ノズル28に受け渡すまでの途中において、印字検査カメラ65により前記吸着取出ノズル26に吸着保持されたチップ部品の印字検査を行う。
【選択図】 図7

Description

本発明は、チップ部品供給部から吸着取出ノズルによりチップ部品を取出して、収納テープ内の各収納凹部内にチップ部品を順次装填し、カバーテープで当該収納凹部上面の開口部を閉塞して成るテーピング装置に関する。
この種のテーピング装置は、特許文献1などにおいて広く知られている。この特許文献1に開示されている技術によれば、チップ部品を収納テープ内の収納凹部内に吸着装填ノズルが装填した後に、印字検査装置としての印字検査カメラにより第2の回転盤の旋回移動中に収納凹部内のチップ部品を撮像し、認識処理装置で認識処理して収納テープに装填されたチップ部品の印字の有無や印字の向き等を検査している。
そして、認識処理装置による認識結果により不良と判定した場合には、装填を終えた吸着装填ノズルがこの収納凹部よりチップ部品を取出して排出箱や不良部品トレイに回収していた。
特開2004−10150号公報
しかし、テープ本体の収納凹部内へ装填された状態のチップ部品を撮像する印字検査ステーションの印字検査カメラの直下に吸着装填ノズルが配置されている(通過する)構造になっているため、チップ部品の近くに照明装置を配置できず、チップ部品の種類によっては印字検査に良好な印字面の画像を得ることができないという問題があった。また、収納テープの収納凹部内に装填された状態で印字検査を行っているために、チップ部品の種類又は収納テープの収納凹部の構造によっては、収納凹部内でのチップ部品の姿勢が安定せず、チップ部品の傾きにより検査不良とある場合があった。
そこで本発明は、安定したチップ部品の姿勢で印字検査ができると共にチップ部品の印字検査に良好な印字面の画像が得られるテーピング装置を提供することを目的とする。
第1の発明は、チップ部品供給部からチップ部品を吸着取出ノズルにより取出して、収納テープ内の各収納凹部内にチップ部品を順次装填し、カバーテープで当該収納凹部上面の開口部を閉塞して成るテーピング装置において、前記チップ部品供給部からチップ部品を取出して収納テープ内の収納凹部内に装填するまでの移載途中において印字検査カメラにより前記吸着取出ノズルに吸着保持された前記チップ部品を撮像し印字検査を行うことを特徴とする。
また第2の発明は、チップ部品供給部からチップ部品を取出す吸着取出ノズルが周縁部に所定間隔を存して複数本配設されると共に前記吸着取出ノズルをチップ部品の取出し後に上下反転させる反転装置を備えた第1の回転盤と、前記反転装置により反転した状態の前記吸着取出ノズルからチップ部品を受け継いで収納テープ内の各収納凹部内にチップ部品を順次装填する吸着装填ノズルが周縁部に所定間隔を存して複数本配設された第2の回転盤とを備えたテーピング装置において、前記チップ部品供給部から前記第1の回転盤の前記吸着取出ノズルがチップ部品を取出して、前記反転装置により反転した状態の前記吸着取出ノズルからチップ部品を前記第2の回転盤の前記吸着装填ノズルに受け渡すまでの途中において印字検査カメラにより前記吸着取出ノズルに吸着保持された前記チップ部品を撮像し印字検査を行うことを特徴とする。
更に第3の発明は、チップ部品供給部からチップ部品を吸着取出ノズルにより取出して、収納テープ内の各収納凹部内にチップ部品を順次装填し、カバーテープで当該収納凹部上面の開口部を閉塞して成るテーピング装置において、前記チップ部品供給部からチップ部品を取出して収納テープ内の収納凹部内に装填するまでの移載途中において第1の印字検査カメラにより前記吸着取出ノズルに吸着保持された前記チップ部品を撮像して行なう第1の印字検査と、収納テープ内の収納凹部内に装填されたチップ部品を第2の印字検査カメラにより撮像して行なう第2の印字検査との少なくともいずれか一方を選択可能としたことを特徴とする。
本発明は、吸着取出ノズルがチップ部品を吸着保持している状態で印字検査カメラにより前記チップ部品を撮像するから安定したチップ部品の姿勢で印字検査ができると共にチップ部品の印字検査に良好な印字面の画像が得られるテーピング装置を提供することができる。
以下、本発明のテーピング装置の実施形態について、図面を参照しながら説明する。先ず、図1のテーピング装置の平面図、図2の同じく正面図、図3の右側面図に基づき、テーピング装置について説明する。1はテーピング装置本体で、この本体1の側壁部に立設されたピン2にキャリアテープ供給リール3が回転可能に係止され、当該テープ供給リール3に巻装されたテープ本体(「キャリアテープ」とも称される。)4Aの先端が当該テープ本体4Aに適度なテンションを与えるためのプーリ5、送りプーリ6、7及びテープ本体4Aなどの搬送路を有する搬送レール8を介して巻取り収納リール9に固定されている。
そして、図示しない回転駆動系による当該巻取り収納リール9の回転に合わせて順次テープ本体4Aが所定量搬送されて(巻取り収納リール9に巻取られて)いく間で、テープ本体4Aの収納凹部内にチップ部品Aが挿入(装填)され、更に所定位置まで搬送されて収納凹部上面の開口部をカバーテープ供給リール10から供給されるカバーテープ4Cで被覆した後、前記巻取り収納リール9に巻取られていく。尚、上述したように、所定間隔を存して収納凹部が設けられたテープ本体4Aと、その上面に圧着されるカバーテープ(トップテープ)4Cとで収納テープ4が形成されるが、前記テープ本体4Aはボトムテープと間隔子とで形成される。
尚、前記送りプーリ6、7、搬送レール8及びカバーテープ供給リール10などは、取付板11に設けられている。そして、テーピング装置本体1に固定された固定板12上にはY軸駆動モータ13により駆動されてガイド14に案内されてY方向に移動するYテーブル15が設けられ、このYテーブル15上にはX軸駆動モータ16により駆動されてガイド17に案内されてX方向に移動するXテーブル18が設けられ、このXテーブル18に前記取付板11が固定されている。
従って、X軸駆動モータ16及びY軸駆動モータ13の駆動によりXテーブル18及びYテーブル15が移動することにより、取付板11を介して前記搬送レール8及びこの搬送レール8に沿って移動するテープ本体4AなどがXY方向に移動できる。
また、テーピング装置本体1の上にはY軸駆動モータ20によりY方向に移動可能なYテーブル21が設けられ、更に該Yテーブル21の上にはX軸駆動モータ22によりX方向に移動可能なX移動体23を介してチップ部品供給テーブル24が設けられる。該供給テーブル24上にはシートに貼付されたウエハがダイシングされて個々のダイ(以下、「チップ部品A」という)に分割された状態で且つ端子を有する面を上面とすると共に印字された面を下面とした状態で固定されており、このチップ部品Aは裏面より突き上げピン(図示せず)により突き上げられながら、後述する吸着取出ノズル26で吸着されて取出されるものである。
前記テーピング装置本体1に固定された上取付板25にはチップ部品供給テーブル24からチップ部品Aを取出す吸着取出ノズル26が所定間隔を存して周縁部に、例えば8本配設されて駆動モータ19Aの駆動によりインデキシングカムユニット30を介して間欠回転する第1の回転盤27が設けられ、また上取付板25には前記収納凹部にチップ部品Aを装填する吸着装填ノズル28が所定間隔を存して周縁部に、例えば8本配設されて駆動モータ19Bの駆動によりインデキシングカムユニット31を介して間欠回転する第2の回転盤29とが設けられる。
この第1の回転盤27と第2の回転盤29とは同期して間欠回転するものであり、2つの回転盤27、29の各ノズル26、28を対応させることができ、チップ部品Aを吸着取出ノズル26から吸着装填ノズル28に受け渡すことができる。また、両回転盤の回転半径を同一にすることにより、回転割出し精度(分解能)を同一にすることができる。
次に、部品取出機構35について、図4に基づき詳述する。前記第1の回転盤27の周縁部には吸着取出ノズル26が所定間隔を存して、例えば8本配設されており、各反転装置36により各吸着取出ノズル26は上下反転可能に設けられる。即ち、反転駆動モータ37の駆動によりカップリング38を介して駆動軸39が回転すると、駆動軸39に固定された取付体40も回転し、前記取出ノズル26は上下反転される。
また、前記取付体40に設けられたガイド41に沿ってガイド42が上下動可能であるため、このガイド42に固定されたノズル取付体43に取付けられた取出ノズル26は上下動可能となるが、前記取付体40の上辺40Aとノズル取付体43の下辺43Aとの間に張架されたスプリング44により常時上方に付勢されているが、ストッパ45が前記取付体40の上辺40Aに係止されることにより上限は規制される。
また、前記吸着取出ノズル26は、Z軸駆動モータ46の駆動によりガイド47により上下動可能な作動体48の作動部48Aがノズル取付体43の頭部を押圧することにより下降することができ、例えばチップ部品供給テーブル24上のチップ部品Aを取出すことができる。
次に、部品装填機構50について、図5に基づき詳述する。前記第2の回転盤29の周縁部には吸着装填ノズル28が所定間隔を存して、例えば8本配設されており、各回転装置51により吸着装填ノズル28を偏心した位置に備えたノズル軸体28Aが軸芯方向を中心として回転可能に設けられる。即ち、θ軸駆動モータ52の駆動軸に設けられたプーリ53と円筒体62の周囲に固定されたプーリ54との間に伝達ベルト55が張架され、円筒体62はベアリング56を介して前記第2の回転盤29に回動可能に設けられる。
また、前記吸着装填ノズル28は、Z軸駆動モータ57の駆動によりガイド58により上下動可能な作動体59の作動部59Aがノズル取付体60の突部60Aに押圧することによりガイド61に案内されて下降することができ、吸着保持しているチップ部品Aを搬送レール8上のテープ本体4Aの収納凹部内に装填することができる。即ち、ノズル軸体28Aは円筒体62内で上下に移動可能であり且つ円筒体62と共にθ回転可能であるので、このノズル軸体28A下部の偏心した位置に設けられた吸着装填ノズル28も上下に移動可能でθ回転可能である。
ここで、図8に基づき、本テーピング装置の制御ブロック図について説明すると、91はテーピング装置のチップ部品Aの装填に係る動作を統括制御する制御装置としてのCPU、92はチップ部品Aの種類毎の厚さデータや、各吸着取出ノズル26毎の高さレベルデータ等を格納するRAM(ランダム・アクセス・メモリ)及び93はROM(リ−ド・オンリー・メモリ)である。そして、CPU21は前記RAM92に記憶されたデータに基づき、前記ROM93に格納されたプログラムに従い、テーピング装置のチップ部品Aの装填に係る動作を統括制御する。即ち、CPU91は、駆動回路94及びインターフェース95を介して各駆動モータの駆動を制御している。
また、96はインターフェース95を介して前記CPU91に接続される認識処理装置で、各認識カメラにより撮像して取込まれた画像の認識処理が該認識処理装置96にて行われ、CPU91に処理結果が送出される。即ち、CPU91は、各認識カメラに撮像された画像を認識処理(位置ずれ量の算出など)するように指示を認識処理装置96に出力すると共に、認識処理結果を認識処理装置96から受取るものである。
次に、図6及び図7に示すように、第1の回転盤27の12時に位置するステーションは、チップ部品供給テーブル24から吸着取出ノズル26がチップ部品Aを吸着して取出す吸着取出ステーションである。この吸着取出ステーションでは、第1の回転盤27の旋回移動中にチップ部品供給テーブル24上の次に取出すべきチップ部品Aを部品認識カメラ63で撮像して当該チップ部品Aの位置を認識処理装置96で認識処理し、CPU91がこの取出すべきチップ部品Aを移動してくる吸着取出ノズル26の直下方位置に位置するよう前記Y軸駆動モータ20及びX軸駆動モータ22を駆動させてチップ部品供給テーブル24を移動させ、この吸着取出ステーションでチップ部品供給テーブル24上のチップ部品AをZ軸駆動モータ46の駆動により前記吸着取出ノズル26が下降して吸着して取出す。
次に、駆動モータ19Bの駆動によりインデキシングカムユニット31を介して第2の回転盤29が時計方向に間欠回転すると共に駆動モータ19Aの駆動によりインデキシングカムユニット30を介して第1の回転盤27を反時計方向に同期間欠回転させる。この第1の回転盤27の反時計方向に1間欠回転して停止するステーションは、前記反転装置36により吸着取出ノズル26に保持されたチップ部品Aを上下反転させる反転ステーションであり、その次のステーションはこの反転されて上向きとなったチップ部品Aの印字面を上方から印字検査装置としての印字検査カメラ65により撮像して認識処理装置96で認識処理する印字検査ステーションである。認識処理装置96では撮像された画像に基づき、印字の有無、印字の誤り、印字の品質、印字の向き、この印字の向きに基づくチップ部品の向き又は汚れ等を認識処理して検査する。ここで、チップ部品の向きは撮像された画像に基づき、認識処理されたチップ部品の外形形状により検査してもよい。印字不良(チップ部品の向きの違いも含む)として認識処理装置96で処理されると、CPU91はテープ本体4Aに装填せずに、後述する専用トレイ(図示せず)内に収納するように吸着装填ノズル28等を制御する。
なお、前記印字検査カメラ65には前記吸着取出ノズル26に吸着保持されたチップ部品の印字面を照明する照明装置が固定されるものであり、図面では省略する。
そして、前記吸着取出ステーションを1番目として反時計方向に回転した6番目が受け渡しステーションであり、前記反転装置36により上下反転された吸着取出ノズル26のチップ部品Aを第2の回転盤29の吸着装填ノズル28に受け渡す。この第1の回転盤27の受け渡しステーション、言い換えると、第2の回転盤29の受け継ぎステーションでは、吸着取出ノズル26に吸着保持されたチップ部品Aを部品認識カメラでもある印字検査カメラ65が撮像して認識処理装置96が認識処理した結果によるX方向及びY方向のズレが第2の回転盤29の回転角度補正及び前記ノズル軸体28Aの回動による偏心した吸着装填ノズル28の位置補正により解消される。
即ち、前記印字検査カメラ65の撮像に基づく認識処理装置96の認識処理結果に基づいて、CPU91が第2の回転盤29を回転させる駆動モータ19B及び前記ノズル軸体28Aを回動させるθ軸駆動モータ52を制御することにより、前記X方向及びY方向のズレを補正することもできる。従って、受け渡される吸着取出ノズル26に吸着保持されたチップ部品Aと吸着装填ノズル28の位置とを極力一致させることにより、第1の回転盤27に設けられた吸着取出ノズル26に吸着保持されたチップ部品Aをこの吸着取出ノズル26から第2の回転盤29に設けられた吸着装填ノズル28に確実に受け渡すことができる。また、印字検査カメラ65の撮像に基づく認識処理結果により、例えば印字状態が悪く、読み込みができなくて不良チップ部品とされると、CPU91はその不良チップ部品を後述する装填ステーションにてテープ本体4Aに装填せずに、後述する専用トレイ(図示せず)内に収納させる。
そして、この第2の回転盤29の受け継ぎステーションで受け継いで、時計方向に第2の回転盤29が回転して装填ステーション及びリカバリ装填ステーション(受け継ぎステーションを1番目として6番目と7番目)において吸着装填ノズル28が前記収納テープ4のテープ本体4A上方に位置するように両回転盤27、29が配設される。
即ち、2本の吸着装填ノズル28が前記収納テープ4のテープ本体4A上方に位置するように第2の回転盤29を配設すると、両回転盤27、29は8分割間欠回転するので、前記装填ステーションにおける第2の回転盤29の中心と吸着装填ノズル28と結んだラインとテープ4の走行ラインとで作る角度は67.5となり、第1の回転盤27の受け渡しステーションと第2の回転盤29の受け継ぎステーションとは22.5度ずれて受け継ぐように両回転盤27、29が配設されることとなる。
この第2の回転盤29の受け継ぎステーションの次の次のステーションは、特性検査装置81によりチップ部品の特性を検査する検査ステーションで、例えばチップ部品に流れる電流値を検査して、その電流値がRAM92に格納された所定範囲内にあるかどうかが検査させる。ここで、所定範囲内になければ、CPU91はテープ本体4Aに装填せずに、後述する専用トレイ(図示せず)内に収納するように吸着装填ノズル28等を制御する。
この検査ステーションの次の認識ステーションには装填部品認識カメラ83が配設され、吸着装填ノズル28に吸着保持されたチップ部品Aをこの装填部品認識カメラ83で撮像して前記認識処理装置96により当該チップ部品Aのノズルに対する位置が認識されると共に外観検査(バンプが所定数あるか等)がなされる。この外観検査により不良チップ部品とされると、CPU91はテープ本体4Aに装填せずに、前記専用トレイ内に収納するように吸着装填ノズル28等を制御する。
次の次のステーションは収納テープ4の収納凹部内に吸着装填ノズル28に保持されたチップ部品を装填する装填ステーションで、前記装填部品認識カメラ83により吸着装填ノズル28に保持されたチップ部品Aが撮像されて認識処理装置96により認識処理された結果に基づき、θ方向(平面方向における角度)及び平面方向(XY方向)のズレについて補正した状態でチップ部品を装填する。
即ち、CPU91がθ方向のズレについてはθ軸駆動モータ52を補正制御して円筒体62及びノズル軸体28Aを介してこの軸体28Aに偏心した位置に設けられた吸着装填ノズル28を回動させ、平面方向のズレについては前記X軸駆動モータ16及びY軸駆動モータ13を補正制御してXテーブル18及びYテーブル15を補正移動させて、取付板11を介して搬送レール8及びこの搬送レール8に沿って移動するテープ本体4AをX方向に補正移動させる。
この場合、当該装填ステーションに移動した吸着装填ノズル28が認識ステーションにあったときに、第1の回転盤27の吸着取出ステーションを1番目のステーションとして4番目のステーションにあった吸着取出ノズル26に保持されたチップ部品Aを次の次の受け渡しステーションで補正する第2の回転盤29の回転補正量をも加味して(当該電子部品の認識ステーションでの認識処理結果に加えて)、第2の回転盤29の装填ステーションにおいてCPU91がθ軸駆動モータ52、前記X軸駆動モータ16及びY軸駆動モータ13を補正制御するものである。
このため、収納凹部内の適正位置に、Z軸駆動モータ57の駆動により下降する吸着装填ノズル28によりチップ部品Aを装填することができることとなる。従って、テープ本体4A側で平面方向の補正動作を行い、吸着装填ノズル28側で角度方向(θ)の補正動作を行うから、全てを吸着装填ノズル28側で行う構造に比べて、可動部が軽量化でき、高速化及び多機能化に対応できる。
更に、次のリカバリ装填ステーションにも印字検査カメラ(第2の印字検査カメラ)85が設けられ、第2の回転盤29の旋回移動中にこのステーションに位置する収納凹部内のチップ部品Aを撮像し、認識処理装置96で認識処理してテープ4に装填されたチップ部品Aの印字の有無、印字の誤り、印字の品質、印字の向き、この印字の向きに基づくチップ部品の向き又は汚れ等を認識処理して再び検査する。
そして、認識処理装置96による認識結果によりCPU91が不良と判定した場合には、即ち印字検査カメラ85によるチップ部品の印字面の撮像した画像に基づいて認識処理装置96が認識処理した結果により当該チップ部品が不良(例えば、チップ部品の収納方向の違いなど)であると判定した場合には、前記装填ステーションで装填を終えた吸着装填ノズル28がこのリカバリ装填ステーションに位置する収納凹部よりチップ部品Aを取出すと共にこのとき前記装填ステーションで装填しようとしていた吸着装填ノズル28は装填せずに待機するように制御される。そして、この状態でCPU91はテープ本体4Aを移動させずに、第2の回転盤29を間欠回転させて、リカバリ装填ステーションにおいて前述の如く取出されて空となった収納凹部に次の吸着装填ノズル28が保持していたチップ部品Aを装填するように制御すると共に、先行する吸着装填ノズル28が保持している不良チップ部品をリカバリ装填ステーションの次のステーションに配設された専用トレイ内に収納するように吸着装填ノズル28等を制御する。
また、テーピング装置はCRT等の表示手段であるモニター97に設けられたタッチパネルスイッチ98を備える。そして、このタッチパネルスイッチ98には印字検査カメラ65の撮像に基づく印字検査を実施するか否かを選択する第1のスイッチと、印字検査カメラ85の撮像に基づく印字検査を実施するか否かを選択する第2のスイッチとを備え、例えば収納凹部の底面の僅かな傾きのために、正確に収納されているが印字検査カメラ85の撮像に基づく印字検査によると不良と判定されるような場合には、第2のスイッチの操作により印字検査を実施しないようにし、前記の不良の判定を回避することができる。
そして、前述したように、部品装填機構50によるテープ本体4Aの収納凹部内へチップ部品Aが挿入された後は、テープ圧着機構86によりテープ本体4Aとカバーテープ4Cとが圧着され、巻取り収納リール9に巻き取られることとなる。
なお、詳述したように、本実施形態は吸着装填ノズル29により収納テープ4にチップ部品Aを装填する実施形態であるが、これに限らず縦横に複数列の収納凹部が形成されたトレイ(図示せず)に移載して収納する形態にも適用できる。この場合、このトレイはX軸駆動モータ及びY軸駆動モータの駆動によりXY方向に移動できるように構成する。
以上のような実施形態によれば、吸着取出ノズル26がチップ部品を吸着保持している状態で印字検査カメラ65により前記チップ部品を撮像するから安定したチップ部品の姿勢で印字検査ができる。また、従来はテープ本体の収納凹部内へ装填された状態のチップ部品を撮像する印字検査ステーションの印字検査カメラの直下に吸着装填ノズル28が配置されている(通過する)構造になっているため、チップ部品の近くに照明装置を配置できず、チップ部品の種類によっては印字検査に良好な印字面の画像を得ることができないという問題があったが、印字検査ステーションを吸着取出ノズル26が吸着保持しているチップ部品の近傍に照明装置を配置できる場所にしたのでチップ部品の印字検査に良好な印字面の画像が得られる。
また、印字検査カメラ65による撮像結果により不良チップ部品と判定された場合に、そのチップ部品は収納テープ内に装填されないので、チップ部品を排出するための再吸着動作を行なう必要がないため、この排出動作に伴うタクトダウンを抑えることができる。更には、印字検査のための特別な検査テーブルなどを設ける必要がない。
以上本発明の実施態様について説明したが、上述の説明に基づいて当業者にとって種々の代替例、修正又は変形が可能であり、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で前述の種々の代替例、修正又は変形を包含するものである。
テーピング装置を示す平面図である。 テーピング装置の正面図である。 テーピング装置の右側面図である。 部品取出し機構を説明するための図である。 部品装填機構を説明するための図である。 第1及び第2の回転盤の停止状態の平面図である。 第1及び第2の回転盤の旋回移動中の平面図である。 本テーピング装置の制御ブロック図である。
符号の説明
1 テーピング装置本体
24 チップ部品供給テーブル
26 吸着取出ノズル
27 第1の回転盤
28 吸着装填ノズル
29 第2の回転盤
36 反転装置
65 印字検査カメラ
91 CPU
96 認識処理装置

Claims (3)

  1. チップ部品供給部からチップ部品を吸着取出ノズルにより取出して、収納テープ内の各収納凹部内にチップ部品を順次装填し、カバーテープで当該収納凹部上面の開口部を閉塞して成るテーピング装置において、前記チップ部品供給部からチップ部品を取出して収納テープ内の収納凹部内に装填するまでの移載途中において印字検査カメラにより前記吸着取出ノズルに吸着保持された前記チップ部品を撮像し印字検査を行うことを特徴とするテーピング装置。
  2. チップ部品供給部からチップ部品を取出す吸着取出ノズルが周縁部に所定間隔を存して複数本配設されると共に前記吸着取出ノズルをチップ部品の取出し後に上下反転させる反転装置を備えた第1の回転盤と、前記反転装置により反転した状態の前記吸着取出ノズルからチップ部品を受け継いで収納テープ内の各収納凹部内にチップ部品を順次装填する吸着装填ノズルが周縁部に所定間隔を存して複数本配設された第2の回転盤とを備えたテーピング装置において、前記チップ部品供給部から前記第1の回転盤の前記吸着取出ノズルがチップ部品を取出して、前記反転装置により反転した状態の前記吸着取出ノズルからチップ部品を前記第2の回転盤の前記吸着装填ノズルに受け渡すまでの途中において印字検査カメラにより前記吸着取出ノズルに吸着保持された前記チップ部品を撮像し印字検査を行うことを特徴とするテーピング装置。
  3. チップ部品供給部からチップ部品を吸着取出ノズルにより取出して、収納テープ内の各収納凹部内にチップ部品を順次装填し、カバーテープで当該収納凹部上面の開口部を閉塞して成るテーピング装置において、前記チップ部品供給部からチップ部品を取出して収納テープ内の収納凹部内に装填するまでの移載途中において第1の印字検査カメラにより前記吸着取出ノズルに吸着保持された前記チップ部品を撮像して行なう第1の印字検査と、収納テープ内の収納凹部内に装填されたチップ部品を第2の印字検査カメラにより撮像して行なう第2の印字検査との少なくともいずれか一方を選択可能としたことを特徴とするテーピング装置。

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