JP2006014029A - 高周波モジュール - Google Patents

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Abstract

【課題】高周波モジュールの低背化を図りつつ、送信フィルタ入力端子から送信フィルタ外部端子のインピーダンスを容易に調整し、不要反射の増加及び伝送特性の劣化を防止した高品質の高周波モジュールを提供する。
【解決手段】誘電体基板表面に、送信フィルタ素子を搭載するための搭載部を有し、該搭載部には、少なくとも送信フィルタ用の入力端子が形成され、該入力端子を誘電体基板内に設けられたビア及び/または導体線路を経由して前記誘電体基板裏面に形成された外部端子と電気的に接続してなる高周波モジュールであって、前記送信フィルタ搭載部の直下を含む前記誘電体基板の内部領域および誘電体基板裏面にそれぞれ接地電極を形成するとともに、前記2つの接地電極間に、インダクタンス素子を形成してなり、前記入力端子と前記外部端子とを、前記誘電体基板内に形成されたインダクタンス素子を介して接続してなることを特徴とする。
【選択図】図3

Description

本発明は、携帯電話などの通信装置に用いられる高周波モジュールに関するものである。
図1に、携帯電話装置等の移動体通信機器における高周波信号処理回路の一般的構成で、CDMAのデュアルバンド方式のブロックを示す。図1において、1はアンテナ、2は周波数を分ける分波器、3、4は800MHzと1.9GHzのデュプレクサである。
送信系では、RFIC17から出力された信号は、9、10の送信フィルタでノイズを低減し、電力増幅器7、8に伝えられる。電力増幅器7、8はそれぞれ800MHz、1.9GHzの周波数で駆動し、送信電力を増幅させ、方向性結合器5、6に伝えられ、前記デュプレクサ3、4に入力される。方向性結合器は、電力増幅器からの出力信号のレベルをモニターする機能があり、検波用回路(デテクターIC)11に接続されている。
一方、受信系は、デュプレクサ3、4からの信号をLNA13、14が信号を増幅し、フィルタ15、16を介してRFIC18に伝えられ信号処理される。
また、近年GPSによる測位機能も機器に取り込まれつつあり、前記分波器からGPS用フィルタ12を経て、RFIC18で信号処理される。
このような移動無線装置においては、その携帯性等のために各部に対する小型化、軽量化の要求が大きく、従来においては要求を考慮して所望の特性が達成できる単位でモジュール化されている。
その一例として図1中の破線に囲まれた領域22の部分を1つの誘電体基板内に設けてモジュール化した高周波モジュールの外観斜視図を図2に示した。
図2において、誘電体基板23の表層には、電力増幅器7、8を構成する電力増幅用半導体素子24、25と、デュプレクサ3a、3b、4a、4b及びGPS用フィルタ12、送信フィルタ9、10、検波用回路(デテクターIC)11が実装されている。また電力増幅用整合回路26、27は誘電体基板表面に搭載されるチップ部品や、誘電体基板の表面や内部の導体パターンによって形成されている。また、誘電体基板の裏面には信号の入出力を行うための外部端子28が設けられている。
従来における外部端子28と誘電体基板表面に実装された送信フィルタ、電力増幅器、及びデュプレクサとの接続を説明するための分解斜視図を図6に示した。
図6の高周波モジュールによれば、誘電体層801〜804を順次積層してなる誘電体基板825の表面には、送信フィルタ805を接続するための送信フィルタ入力端子812、送信フィルタ出力端子813、GND接続端子817と、デュプレクサ用送信フィルタ807aを接続するためのデュプレクサ用送信フィルタ入力端子814、デュプレクサ用送信フィルタ出力端子815、GND接続端子818と、デュプレクサ用受信フィルタ807bを接続するためのデュプレクサ用受信フィルタ入力端子816、デュプレクサ用受信フィルタ出力端子826、GND接続端子827とが導体パターンによって形成される。
また、誘電体層801の表面には、実装される電力増幅器806と送信フィルタ805を接続する接続線路819、電力増幅器806とデュプレクサ用送信フィルタ807aを接続する接続線路820も導体パターンで形成される。
誘電体層802には、ビア824i、824j、824k、824lで裏面GND導体809と接続されたGND電極808があり、裏面にはGNDに接続されるGND導体809と、送信フィルタ外部端子810、デュプレクサ用受信信号外部端子811が導体パターンで形成される。GND接続端子817はビア824cを介して、GND接続端子818はビア824hを介して、GND接続端子827はビア824mを介してGND電極808にそれぞれ接続される。ビア824dは電力増幅器806の放熱とGND接続のために設けられている。
本モジュールの外部からの送信信号は、送信フィルタ外部端子810に入力されビア824b、接続線路821、ビア824a、送信フィルタ入力端子812の順番に伝送された後、送信フィルタ805に入力される。また、電力増幅器806から出力された信号は接続線路820、デュプレクサ用送信フィルタ入力端子814を介してデュプレクサ用送信フィルタ807aに入力された後、デュプレクサ用送信フィルタ出力端子815に出力され接続線路828、ビア824g、接続線路823を介して分波回路へ伝送される。分波回路から入力される信号は接続線路823、ビア824g、接続線路828、デュプレクサ用受信フィルタ入力端子816の順番に伝送された後、デュプレクサ用受信フィルタ807bに入力され、デュプレクサ用受信フィルタ出力端子826、ビア824e、接続線路822、ビア824fの順番に伝送された後、デュプレクサ用受信信号外部出力端子811を介して本モジュールの外部に出力される。
図6では、1つの送受信系について説明しており、図1中の送信フィルタ9、10は、送信フィルタ805に、電力増幅器24、25、26、27は電力増幅器806に、デュプレクサ4a、4b、4c、4dはデュプレクサ807a、807bにそれぞれ対応している。
伝送信号の損失を少なくするためには、裏面の送信フィルタ外部端子810から誘電体層801上に形成された送信フィルタ入力端子813までの伝送経路のインピーダンスを送信フィルタ805と同じ50Ωに設計する必要がある。これは裏面の送信フィルタ外部端子810から誘電体層801上に形成された送信フィルタ入力端子812と送信フィルタ805の接続点においてインピーダンスを整合させることで不要な反射が無く、伝送損失を最も少なくできるためである。
従来は、接続線路821の線路幅を調整することで送信フィルタ外部端子810から送信フィルタ入力端子813までのインピーダンスを50Ωに設計される。
同様の理由により、裏面のデュプレクサ用受信信号外部端子811から誘電体層801上に形成されたデュプレクサ用受信フィルタ出力端子826までの伝送経路のインピーダンスをデュプレクサ用受信フィルタ807bと同じ50Ωに設計する必要があるので接続線路822の線路幅を調整することでデュプレクサ用受信信号外部端子811からデュプレクサ用受信フィルタ出力端子826までのインピーダンスを50Ωに設計している。
特開2002−290257
しかしながらモジュールの低背化が進むに連れてGND電極808と裏面電極809間の距離が小さくなり、低下した伝送線路のインピーダンスを接続線路821や接続線路822の線路幅の調整によって50Ωまで上げることが困難になっている。
図7に本モジュール内において接続線路幅を製造可能な最小幅で形成したときの送信フィルタ入力端子812から送信フィルタ外部端子810を見たインピーダンスを示す。図9における周波数範囲は0〜6GHzであり、インピーダンスの軌跡はスミスチャートの中心である50Ωから始まり、周波数が上がるにつれて容量性を示しながら低インピーダンス円の軌道を描いている。この原因は、接続線路821と、その上下にあるGND電極808と裏面電極809との距離が近いために、インピーダンスが低くなると同時にGND間の寄生容量が大きくなって容量性を示すためである。このような状態で送信フィルタ805と接続すると送信フィルタ805の送信フィルタ入力端子812との接続点において不整合が起こり、それによる不要反射の増加及び伝送特性の劣化が起こる。
これを回避するには、GND電極808と裏面電極809の距離を広げるしかなく、高周波モジュールの薄型化を困難にしていた。
したがって、本発明は、高周波モジュールの低背化を図りつつ、送信フィルタ入力端子から送信フィルタ外部端子のインピーダンスを容易に調整し、不要反射の増加及び伝送特性の劣化を防止した高品質の高周波モジュールを提供することを目的とするものである。
本発明の高周波モジュールは、誘電体基板表面に、送信フィルタ素子を搭載するための搭載部を有し、該搭載部には、少なくとも送信フィルタ用の入力端子が形成され、該入力端子を誘電体基板内に設けられたビア及び/または導体線路を経由して前記誘電体基板裏面に形成された外部端子と電気的に接続してなる高周波モジュールであって、前記送信フィルタ搭載部の直下を含む前記誘電体基板の内部領域および誘電体基板裏面にそれぞれ接地電極を形成するとともに、前記2つの接地電極間に、インダクタンス素子を形成してなり、前記入力端子と前記外部端子とを、前記誘電体基板内に形成されたインダクタンス素子を介して接続してなることを特徴とする。
また、本発明の第2の高周波モジュールは、誘電体基板表面に、送受信系の信号を送信信号と受信信号に分波するデュプレクサを搭載するための搭載部を有し、該搭載部には、少なくとも前記デュプレクサ用の出力端子が形成され、該出力端子は誘電体基板の裏面に形成された外部端子と誘電体基板内に設けられたビア及び/または線路を経由して電気的に接続してなる高周波モジュールであって、前記送信フィルタ搭載部の直下を含む前記誘電体基板の内部領域および誘電体基板裏面にそれぞれ接地電極を形成するとともに、インダクタンス素子を形成してなり、前記入力端子と前記外部端子とを、前記誘電体基板内に形成されたインダクタンス素子を介して接続してなることを特徴とする。
さらに、本発明の第3の高周波モジュールは、誘電体基板表面に、送信フィルタ素子を搭載するための搭載部、および送受信系の信号を送信信号と受信信号に分波するデュプレクサを搭載するための搭載部を有し、前記送信フィルタ搭載部には、少なくとも送信フィルタ用の入力端子が形成され、該入力端子を誘電体基板内に設けられたビア及び/または導体線路を経由して前記誘電体基板裏面に形成された外部端子と電気的に接続し、前記デュプレクサ搭載部には、少なくとも前記デュプレクサ用の出力端子が形成されており、少なくとも前記デュプレクサ用の出力端子が形成され、該出力端子は誘電体基板の裏面に形成された外部端子と誘電体基板内に設けられたビア及び/または線路を経由して電気的に接続してなる高周波モジュールであって、前記送信フィルタ搭載部および前記デュプレクサ搭載部の直下を含む前記誘電体基板の内部領域および誘電体基板裏面にそれぞれ接地電極を形成するとともに、少なくとも2つのインダクタンス素子を形成してなり、前記送信フィルタ用の入力端子と前記外部端子とを1つのインダクタンス素子と接続し、前記デュプレクサ用の出力端子と前記外部端子とを他のインダクタンス素子と接続してなることを特徴とする。
なお、上記高周波モジュールにおいては、前記送信フィルタ、前記デュプレクサは、SAWフィルタまたはFBARフィルタであることを特徴とする。
本発明の高周波モジュールによれば、上記の通り、誘電体基板内部に導体パターンでインダクタンス素子を形成し、送信フィルタ入力端子と送信フィルタ用外部端子との間にこのインダクタンス素子を介在させることによって、インピーダンスを高くできるので50Ω近くに調整することができる。また、デュプレクサ用受信フィルタ出力端子とデュプレクサ用受信信号外部端子間においても、同様にしてインダクタンス素子を接続することでインピーダンスを高くすることができる。これにより、いずれの場合においても、高周波モジュール内のGND電極と裏面電極間の距離を小さく出来るので、高周波モジュールの薄型化が可能になる。
また、上記高周波モジュールの低背化を図りつつ、送信フィルタ入力端子から送信フィルタ外部端子のインピーダンスを容易に調整することができるために、不要反射の増加及び伝送特性の劣化を防止した高品質の高周波モジュールを提供することができる。
図3は、本発明の高周波モジュールの一例を示す分解斜視図である。図3の高周波モジュール519は、誘電体層501〜505を順次積層して誘電体基板が形成され、誘電体層501の表面には、送信フィルタ506の搭載部Aおよび電力増幅器507の搭載部Bが形成されている。送信フィルタ506の搭載部Aには、送信フィルタ入力端子508と送信フィルタ出力端子509とGND接続端子510が形成される。さらに、誘電体層501表面には、電力増幅器507と送信フィルタ506を接続するための接続線路511、電力増幅器507とデュプレクサを接続する接続線路512が形成される。
誘電体層502の送信フィルタ506実装部、電力増幅器実装部の直下には、GND電極515が形成されており、GND接続端子510がビア518aを介してこのGND電極515に接続されている。また、このGND電極515は、ビア518e、ビア518fによって、誘電体基板519の誘電体層505の裏面に形成された裏面GND導体516と接続されている。また、誘電体基板519の裏面には、裏面GND導体516とともに、送信フィルタ用の外部接続端子517が導体パターンで形成されている。なお、GND電極515と裏面GND導体516を接続するビアの本数は1本でも3本以上でもよい。
また、GND電極515および裏面GND導体516との間に位置する誘電体層503、504には、導体線路513と、導体線路514とが、上面から見た場合に互いに重なるように配置され、ビア518cによって接続されることによってスパイラル状のインダクタンス素子Nが形成されている。かかる構造によって、導体線路513、514の上下にGND電極が存在しても導体線路の誘導性を高めることが出来る。
そして、誘電体層501の送信フィルタ入力端子508は、ビア518bを経由してインダクタンス素子N1を形成する導体線路513と接続され、インダクタンス素子N1およびビア518dを経由して、送信フィルタ用の外部接続端子517と接続されている。
かかる構成によれば、この高周波モジュールの外部から送信フィルタ外部端子517に入力された送信信号は、ビア518d、インダクタンス素子N1を構成する導体線路514、ビア518c、導体線路513、ビア518bを経由して送信フィルタ入力端子508に至り、送信フィルタ506に入力される。
なお、本実施例では誘電体層503と誘電体層504の計2枚の誘電体層の表面にインダクタンス素子を構成する伝送線路パターンを形成しているが、これが誘電体層1層であっても3層以上であってもよい。
また、電力増幅器507の直下にはビア518gがGND導体516と接続されており、電力増幅器507から発生する熱を放熱する役目も有する。
図4に、上記図3の高周波モジュールにおける送信フィルタ入力端子508から送信フィルタ外部端子517をみたインピーダンスのスミスチャートを示す。図4から明らかなように、広い周波数範囲で50Ωに近いインピーダンスを達成していることが分かる。具体的な数値比較を行なうための指標として50Ω±3Ωに収まる周波数帯域の比較を行なうと、図7の従来の接続構造の場合のスミスチャートを示す図9では0〜1659MHzの狭い周波数範囲であるのに対して、図4においては0〜4526MHzの広い周波数範囲に収まっている。
本高周波モジュールの使用周波数が1〜2GHzであるので、従来例の2GHz付近では、不整合量が大きくなるので送信フィルタを接続した場合に不要反射の増加と伝送損失の劣化を招く。一方、本発明の上記の高周波モジュールによれば、主な使用周波数範囲では十分に50Ω付近のインピーダンスを達成できるので送信フィルタを接続した場合に不要反射と伝送損失の劣化も無い。これによりGND電極515と裏面GND導体516間の厚みを薄く出来るので高周波モジュールの薄型化を可能にすることができる。
次に、図5に第2の本発明に関わる高周波モジュールの一例の分解斜視図を示す。図5において、この高周波モジュールは、誘電体層701〜705を順次積層してなる誘電体基板724を具備する。誘電体層701の表面には、デュプレクサ用送信フィルタ707a、707bを搭載するための搭載部C、Dが形成されている。
デュプレクサ用送信フィルタ707a搭載部Cには、デュプレクサ用送信フィルタ入力端子708とデュプレクサ用送信フィルタ出力端子709とGND接続端子712が形成されている。また、デュプレクサ用送信フィルタ707b搭載部Dにも同様にデュプレクサ用受信フィルタ入力端子710とデュプレクサ用受信フィルタ出力端子711とGND接続端子713が形成されている。
さらに誘電体層701の表面には、実装される電力増幅器706と送信フィルタを接続する接続線路714、電力増幅器706とデュプレクサ用送信フィルタ入力端子708とを接続する接続線路715、デュプレクサ用送信フィルタ707aの出力端子709とデュプレクサ用受信フィルタ707bの入力端子710を接続する接続線路716が形成されている。
一方、誘電体層702のデュプレクサ用送信フィルタ707a、707b実装部C,D、電力増幅器706実装部Eの直下には、GND電極720が形成されており、送信フィルタ実装部のGND接続端子712、713が、ビア723h、723iを介してそれぞれGND電極720に接続されている。また、このGND電極720は、ビア723f、ビア723gによって、誘電体基板724の誘電体層705の裏面に形成された裏面GND導体721と接続されている。
また、誘電体基板724の誘電体層705の裏面には、裏面GND導体720とともに、デュプレクサ用の受信信号外部出力端子722が形成されている。なお、GND電極720と裏面GND導体721を接続するビアの本数は1本でも3本以上でもよい。
また、電力増幅器706の直下には、ビア723aが形成され、誘電体層705裏面のGND導体721と接続されており、電力増幅器706から発生する熱を放熱する役目も有する。
また、GND電極720および裏面GND導体721との間に位置する誘電体層703、704には、導体線路717と、導体線路718とが、上面から見た場合に互いに重なるように配置され、ビア723dによって接続されることによってスパイラル状のインダクタンス素子N2が形成されている。かかる構造によって、導体線路717、718の上下にGND電極が存在しても導体線路の誘導性を高めることが出来る。
そして、誘電体層701のデュプレクサ用受信フィルタ707bの出力端子711は、ビア723cを経由してインダクタンス素子N2を形成する導体線路717と接続され、インダクタンス素子N2およびビア723eを経由して、受信信号外部出力端子722と接続されている。
送信フィルタを出た送信信号は、接続線路714、電力増幅器706、接続線路715、デュプレクサ用送信フィルタ入力端子708を介してデュプレクサ送信フィルタ707aに入力される。
その後、デュプレクサ用送信フィルタ出力端子709、接続線路716、ビア723b、接続線路719を介して分波回路(図示せず)へ伝送する。受信信号は、分波回路から接続線路719、ビア723b、接続線路716、デュプレクサ用受信フィルタ入力端子710を介してデュプレクサ用受信フィルタ707bに入力される。デュプレクサ用受信フィルタ707bから出力された信号は、デュプレクサ用受信フィルタ出力端子711からビア723c、インダクタンスN2を構成する伝送線路717、ビア723d、伝送線路718、ビア723eを介して裏面のデュプレクサ用受信信号外部端子722に伝送される。
上記の本発明の第2の実施例では、主な使用周波数範囲で十分に50Ω付近のインピーダンスを達成できるのでデュプレクサ用受信フィルタ707bを接続した場合に不要反射と伝送損失の劣化も無い。これによりGND電極720と裏面GND導体721間の厚みを薄く出来るので高周波モジュールの薄型化を図ることができる。なお、本実施例では誘電体層703と誘電体層704の計2枚の誘電体層の表面にインダクタンス素子N2を構成する伝送線路パターンを形成しているが、インダクタンス素子N2は、誘電体層1層内に形成しても、また、3枚以上の誘電体層に形成してもよい。
また、本発明の第1の実施例では、誘電体基板表面に、送信フィルタと電力増幅器とが実装されて、その直下を含む領域にGND電極が存在する高周波モジュールについて、前記本発明の第2の実施例では、誘電体基板表面に、電力増幅器とデュプレクサとが実装されて、その直下を含む領域にGND電極が存在する高周波モジュールについて述べたが、本発明によれば、かかる第1の実施例の高周波モジュールと、第2の実施例の高周波モジュールとを組み合わせることができる。
即ち、1つの誘電体基板の表面に、電力増幅器と、送信フィルタと、デュプレクサとが実装されその直下を含む領域にGND電極が形成された高周波モジュールに対して、第1の実施例における電力増幅器507と、第2の実施例における電力増幅器706とが同一の電力増幅器とみなして、第1の実施例、第2の実施例を適用することができる。その場合、誘電体基板の裏面に形成された裏面GND導体との間に位置する誘電体層に、第1の実施例、第2の実施例で説明したようなインダクタンス素子N1、N2を形成することによって、本発明の第1の実施例や第2の実施例で示した効果と同様の効果を有する薄型化を図ることのできる高周波モジュールを得ることができる。
一般的な移動体通信機器の高周波信号処理回路図を示す。 図1の高周波信号処理回路図の一部を具備する高周波モジュールの概略斜視図を示す。 本発明の高周波モジュールの第1の実施例の分解斜視図を示す。 図3の高周波モジュールの送信フィルタ入力端子から送信フィルタ外部端子を見た場合のインピーダンスを示したスミスチャートである。 本発明の高周波モジュールの第2の実施例の分解斜視図を示す。 従来の高周波モジュールの分解斜視図を示す。 図6の高周波モジュールにおける送信フィルタ入力端子から送信フィルタ外部端子を見た場合のインピーダンスを示したスミスチャートである。
符号の説明
A:送信フィルタ搭載部
B:電力増幅器搭載部
C、D:デュプレクサ用送信フィルタ搭載部
501〜505、701〜705:誘電体層
506:送信フィルタ
507、706:電力増幅器
508:送信フィルタ入力端子
509:送信フィルタ出力端子
510、712、713:GND接続端子
511、512、714、715、716、719:接続線路
513、514、717、718:インダクタンス素子を構成する伝送線路
515、720:GND電極
516、721:裏面GND導体
517:送信フィルタ外部接続端子
518a〜518g、723a〜723i:ビア
519、724:高周波モジュール
707a:デュプレクサ用送信フィルタ
707b:デュプレクサ用受信フィルタ
708:デュプレクサ用送信フィルタ入力端子
709:デュプレクサ用送信フィルタ出力端子
710:デュプレクサ用受信フィルタ入力端子
711:デュプレクサ用受信フィルタ出力端子
722:デュプレクサ用受信信号外部出力端子
N1、N2:インダクタンス素子

Claims (5)

  1. 誘電体基板表面に、送信フィルタ素子を搭載するための搭載部を有し、該搭載部には、少なくとも送信フィルタ用の入力端子が形成され、該入力端子を誘電体基板内に設けられたビア及び/または導体線路を経由して前記誘電体基板裏面に形成された外部端子と電気的に接続してなる高周波モジュールであって、前記送信フィルタ搭載部の直下を含む前記誘電体基板の内部領域および誘電体基板裏面にそれぞれ接地電極を形成するとともに、前記2つの接地電極間に、インダクタンス素子を形成してなり、前記入力端子と前記外部端子とを、前記誘電体基板内に形成されたインダクタンス素子を介して接続してなることを特徴とする高周波モジュール。
  2. 誘電体基板表面に、送受信系の信号を送信信号と受信信号に分波するデュプレクサを搭載するための搭載部を有し、該搭載部には、少なくとも前記デュプレクサ用の出力端子が形成され、該出力端子は誘電体基板の裏面に形成された外部端子と誘電体基板内に設けられたビア及び/または線路を経由して電気的に接続してなる高周波モジュールであって、前記デュプレクサ搭載部の直下を含む前記誘電体基板の内部領域および誘電体基板裏面にそれぞれ接地電極を形成するとともに、インダクタンス素子を形成してなり、前記入力端子と前記外部端子とを、前記誘電体基板内に形成されたインダクタンス素子を介して接続してなることを特徴とする高周波モジュール。
  3. 誘電体基板表面に、送信フィルタ素子を搭載するための送信フィルタ素子搭載部、および送受信系の信号を送信信号と受信信号に分波するデュプレクサを搭載するためのデュプレクサ搭載部を有し、
    前記送信フィルタ搭載部には、少なくとも送信フィルタ用の入力端子が形成され、該入力端子を誘電体基板内に設けられたビア及び/または導体線路を経由して前記誘電体基板裏面に形成された外部端子と電気的に接続し、
    前記デュプレクサ搭載部には、少なくとも前記デュプレクサ用の出力端子が形成されており、少なくとも前記デュプレクサ用の出力端子が形成され、該出力端子は誘電体基板の裏面に形成された外部端子と誘電体基板内に設けられたビア及び/または線路を経由して電気的に接続してなる
    高周波モジュールであって、
    前記送信フィルタ搭載部および前記デュプレクサ搭載部の直下を含む前記誘電体基板の内部領域および誘電体基板裏面にそれぞれ接地電極を形成するとともに、少なくとも2つのインダクタンス素子を形成してなり、
    前記送信フィルタ用の入力端子と前記外部端子とを1つのインダクタンス素子と接続し、
    前記デュプレクサ用の出力端子と前記外部端子とを他のインダクタンス素子と接続して
    なることを特徴とする高周波モジュール。
  4. 前記送信フィルタがSAWフィルタまたはFBARフィルタであることを特徴とする請求項1または請求項3記載の高周波モジュール。
  5. 前記デュプレクサがSAWフィルタまたはFBARフィルタであることを特徴とする請求項2または請求項3記載の高周波モジュール。
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