JP2006007442A - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 接着剤がノズル孔に流れ込むのを防止する。
【解決手段】 ノズル８が形成されているノズルプレート３０と連通孔２９ａが形成されているカバープレート２９とを、ノズル８の中心線と連通孔２９ａの中心線とが一致するように、接着剤１１０を介して積層する。連通孔２９ａと同一形状を有する逃げ孔１０６ａが形成された加圧プレート１０６を、ノズル８の中心線と逃げ孔１０６ａの中心線とが一致するようにノズルプレート３０上に積層する。インク吐出面の平面視において、ノズル８の吐出口８ａを画定する円と連通孔２８の連通孔口２９ｂを画定する円とに挟まれた領域が押圧されないように、且つ連通孔口２９ｂを画定する円の外側の領域が押圧されるように、加圧治具１０８がノズルプレート３０及びカバープレート２９を加圧する。
【選択図】 図１５

Description

本発明は、インクを吐出するノズル孔を備えたインクジェットヘッドの製造方法に関する。

インクジェットヘッドは、ノズル孔が形成されたノズルプレートを備えている。このノズル孔から記録媒体に対して吐出されたインク滴が記録媒体上に着弾することにより所望の画像が形成される。このようなインクジェットヘッドには、ノズル孔に連通するインク流路をさらに備えている。インク流路は、複数の連通孔が形成されている薄板状のエッチングプレートを積層状態で接合することにより形成される。インク流路を構成するエッチングプレートとノズルプレートとを精度良く接合する技術として、両者の間にギャップ材を配置するとともに接着剤を塗布し、さらに高温加圧するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。

特許第３１８９８４４号公報（図１）

上述した技術によると、加圧時において、ギャップ材によりインク流路を構成するエッチングプレート及びノズルプレートの平面間の距離を均一に保つことができる。このため、エッチングプレートとノズルプレートとの間に加えられる圧力が均一化され、両者の間に塗布された接着剤の厚みを一定にすることができる。しかしながら、ノズル孔に接続される連通孔の径よりも、ノズル孔の径が小さいため、連通孔のノズルプレート側の開口部に対してノズルプレートのオーバーハング部が形成される。このため、加圧時にオーバーハング部の根本に応力が集中して、連通孔の外縁部とノズルプレートとの間に塗布されている接着剤が連通孔内にはみ出ることがある。はみ出た接着剤は、さらにノズル孔内に流れ込むことでインク滴の吐出特性を悪化させたり、ノズル孔を封止したりすることがある。このような接着剤のはみ出しを防止するため、接着剤の種類、接着剤の量、接着時の温度、ノズルプレートとエッチングプレートとに加える圧力等の条件を厳しく管理することになるが、製造コストが高くなるという問題がある。

本発明の主たる目的は、接着剤がノズル孔に流れ込むのを防止することができるインクジェットヘッドの製造方法を提供することである。

課題を解決するための手段及び発明の効果

本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、インク滴を吐出するノズル孔が形成された第１のプレートと、連通孔が形成された第２のプレートとを、前記第１のプレートと前記第２のプレートとの界面において前記ノズル孔の開口部が前記連通孔の開口部に含まれるように接着剤を介して積層する積層工程と、前記インク滴が吐出される吐出口が形成された前記第１のプレートの吐出面において、前記吐出口を画定する第１の円と、前記ノズル孔の中心線から前記界面と前記連通孔の側壁との交線までの平均距離の２倍だけ前記ノズル孔の中心線から離れた位置を通る第２の円とを平面視したときに、これら２つの円に挟まれた領域の一部が押圧されるように、前記第１のプレート及び前記第２のプレートを積層方向に加圧する加圧工程とを備えている。

本発明によると、加圧工程において、連通孔に対する第１のプレートのオーバーハング部に掛かかる応力が小さくなるため、界面と連通孔の側壁との交線付近への応力集中が緩和され、第１及び第２のプレート間の接着剤が連通孔の外縁部からはみ出てノズル孔内に流れ込むのを防止することができる。これにより、接着剤の種類、接着剤の量、接着時の温度、第１のプレート及び第２のプレートに加える圧力等の条件を厳しく管理しなくても、はみ出た接着剤がノズル孔に流入してインクの吐出特性を乱したり、ノズル孔を詰まらせたりすることを防止することができる。

本発明においては、前記加圧工程において、前記２つの円に挟まれた領域内にある環状域が押圧されないように、前記第１のプレート及び前記第２のプレートを加圧してもよい。これによると、連通孔に対する第１のプレートの全てのオーバーハング部に掛かる応力が確実に小さくなるため、第１のプレート及び第２のプレートの間の接着剤が連通孔の縁部から一層はみ出しにくくなる。

または、前記加圧工程において、前記２つの円に挟まれた領域内にある環状域が押圧されるように、前記第１のプレート及び前記第２のプレートを加圧してもよい。これによると、界面と連通孔の側壁との交線付近における接着剤の層の厚さが均一になるため、ノズル孔と連通孔とが正確且つ確実に接続されてインク滴の吐出特性を維持することができる。これにより、インクジェットヘッドの歩留まりが向上する。

また、本発明においては、前記加圧工程において、前記環状域よりも内側の領域すべてが押圧されないように、前記第１のプレート及び前記第２のプレートを加圧することが好ましい。これによると、加圧工程において第１及び第２のプレートを加圧するために用いられる治具の加工が容易になる。

さらに、本発明においては、前記積層工程において、前記第１のプレートと前記第２のプレートとを、前記ノズル孔の中心線と前記連通孔の中心線とが前記界面内で一致するように積層し、前記加圧工程において、前記第１の円と、前記ノズル孔の中心線から前記界面と前記連通孔の側壁との交線までの平均距離の１．５倍だけ前記ノズル孔の中心線から離れた位置を結ぶ第３の円とに挟まれた前記吐出面上の領域の一部のみが押圧されるように、前記第１のプレート及び前記第２のプレートを積層方向に加圧することが好ましい。これによると、加圧工程において、連通孔に対する第１のプレートの全てのオーバーハング部分に掛かかる応力が均一化するため、接着剤の種類、接着剤の量、接着時の温度、第１のプレート及び前記第２のプレートに加える圧力等の条件を適正な値に調整しやすくなる。

加えて、本発明においては、前記第１の円以上且つ前記第２の円以下の径を有する凹部又は逃げ孔が形成された第３のプレートと、前記第１のプレートとを、前記第１のプレートが前記第２のプレートと前記第３のプレートとによって挟まれ且つ前記凹部又は前記逃げ孔の中心線が前記ノズル孔の中心線と一致するように積層する加圧準備工程をさらに備えており、前記加圧工程において、前記第３のプレートを介して前記第１及び第２のプレートを加圧することが好ましい。これによると、凹部又は逃げ孔の径や配置が異なる複数種類の第３のプレートを用意することにより、加圧治具を取り替えなくともノズル孔の径や配置が異なる複数種類の第１及び第２のプレートに対応することができる。

また、本発明においては、前記加圧準備工程において、前記第１のプレートとの間で前記第３のプレートを挟むように、前記第３のプレート上に樹脂シートをさらに積層することが好ましい。樹脂シートが、圧力を均一化して第３のプレートを押圧するため、第３のプレートを変形させることなく第１のプレート及び第２のプレートが押圧することができる。また、はみ出した接着剤と、接着剤を硬化させるための加熱処理により放出される揮発成分を含んだ蒸気とにより、第３のプレートと加圧治具とが接着されるのを防止することができる。

このとき、前記樹脂シートが、前記第３のプレート上に形成された撥液膜であることが好ましい。これによると、不要な接着剤が付着するのを一層防止することができる。

さらに、本発明においては、前記加圧準備工程において、前記第１〜第３のプレートに形成された位置決め孔に基づいて、前記第３のプレートを積層することが好ましい。これによると、第３のプレートの位置決めを容易に行うことができる。

加えて、本発明においては、前記第３のプレートと前記第２のプレートとが共通部品であることが好ましい。これによると、第３のプレートを製造するためのコストを低減することができる。

また、本発明においては、前記加圧工程において、前記第１の円以上且つ前記第２の円以下の径を有する凹部又は逃げ孔が形成された加圧治具と前記第２のプレートとによって前記第１のプレートが挟まれ且つ前記凹部又は前記逃げ孔の中心線が前記ノズル孔の中心線と一致した状態において、前記第１のプレート及び前記第２のプレートを積層方向に加圧することが好ましい。これによると、第１及び第２のプレートを加圧するために用いる部材の点数を減らすことができる。

さらに、本発明においては、前記加圧治具の前記第１のプレートに当接して加圧する加圧面に撥液膜が形成されていることが好ましい。これによると、不要な接着剤が加圧治具の加圧面に付着しにくくなる。

別の観点から見て本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、インク滴を吐出するノズル孔が形成された第１のプレートと、連通孔が形成された第２のプレートとを、前記第１のプレートと前記第２のプレートとの界面において前記ノズル孔の開口部が前記連通孔の開口部に含まれるように接着剤を介して積層する積層工程と、前記界面において、前記ノズル孔が作るノズル孔輪郭と、前記ノズル孔の中心線及び前記界面の交点を中心点として当該中心点から前記連通孔の開口部が作る連通孔輪郭までの平均距離の１．５倍の距離を半径とする仮想円とに挟まれた領域を押圧領域としたとき、前記第１のプレートの吐出口が形成された吐出面に対して、前記押圧領域を前記積層方向に投影したときに作られる投影像に対応する領域の一部が押圧されるように、前記第１のプレート及び前記第２のプレートを積層方向に加圧する加圧工程とを備えている。

本発明によると、加圧工程において、連通孔に対する第１のプレートのオーバーハング部分に掛かかる応力が小さくなるため、界面と連通孔の側壁との交線付近への応力集中が緩和され、第１及び第２のプレート間の接着剤が連通孔の縁部からはみ出しにくくなる。

本発明においては、前記投影において、前記連通孔輪郭と前記仮想円とに挟まれた領域の投影像に対応する前記吐出面の領域を押圧調整領域としたとき、前記加圧工程において、当該押圧調整領域の前記半径方向内側の領域を残して、前記第１のプレートと前記第２のプレートとを加圧してもよい。これによると、界面と連通孔の側壁との交線付近への応力集中が一層緩和される。

さらに、本発明においては、前記加圧工程において、前記押圧調整領域の少なくとも一部を含む前記半径方向内側の領域を残して、前記第１のプレートと前記第２のプレートとを加圧してもよい。これによると、界面と連通孔の側壁との交線付近への応力集中がより一層緩和される。

加えて、本発明においては、前記加圧工程において、全ての前記押圧調整領域を含む前記半径方向内側の領域を残して、前記第１のプレートと前記第２のプレートとを加圧してもよい。これによると、界面と連通孔の側壁との交線付近への応力集中がさらにより一層緩和される。

また、本発明においては、前記ノズル孔輪郭が円であり、前記ノズル孔輪郭を含み且つ前記仮想円以下の径を有する凹部又は逃げ孔が形成された第３のプレートと、前記第１のプレートとを、前記第１のプレートが前記第２のプレートと前記第３のプレートとによって挟まれ且つ前記凹部又は前記逃げ孔の中心線が前記中心点を通るように積層する加圧準備工程をさらに備えており、前記加圧工程において、前記第３のプレートを介して前記第１及び第２のプレートを加圧することが好ましい。

以下、本発明の第１の実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。

本発明の第１の実施の形態に係るインクジェットヘッドの製造方法により製造されるインクジェットヘッド１について説明する。図１は、インクジェットヘッド１の外観斜視図である。図２は、図１のII−II線における断面図である。インクジェットヘッド１は、用紙に対してインクを吐出するための主走査方向に延在した矩形平面形状を有するヘッド本体７０と、ヘッド本体７０の上方に配置され且つヘッド本体７０に供給されるインクの流路である２つのインク溜まり３が形成されたベースブロック７１とを備えている。

ヘッド本体７０は、インク流路が形成された流路ユニット４と、流路ユニット４の上面に接着された複数のアクチュエータユニット２１とを含んでいる。これら流路ユニット４及びアクチュエータユニット２１は共に、複数の薄板を積層して互いに接着させた構成である。また、アクチュエータユニット２１の上面には、給電部材であるフレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ：Flexible Printed Circuit）５０が接着され、左右に引き出されている。ベースブロック７１は、例えばステンレスなどの金属材料からなる。ベースブロック７１内のインク溜まり３は、ベースブロック７１の長手方向に沿って形成された略直方体の中空領域である。

ベースブロック７１の下面７３は、開口３ｂの近傍において周囲よりも下方に飛び出している。そして、ベースブロック７１は、下面７３の開口３ｂの近傍部分７３ａにおいてのみ流路ユニット４と接触している。そのため、ベースブロック７１の下面７３の開口３ｂの近傍部分７３ａ以外の領域は、ヘッド本体７０から離隔しており、この離隔部分にアクチュエータユニット２１が配されている。

ベースブロック７１は、ホルダ７２の把持部７２ａの下面に形成された凹部内に接着固定されている。ホルダ７２は、把持部７２ａと、把持部７２ａの上面からこれと直交する方向に所定間隔をなして延出された平板状の一対の突出部７２ｂとを含んでいる。アクチュエータユニット２１に接着されたＦＰＣ５０は、スポンジなどの弾性部材８３を介してホルダ７２の突出部７２ｂ表面に沿うようにそれぞれ配置されている。そして、ホルダ７２の突出部７２ｂ表面に配置されたＦＰＣ５０上にドライバＩＣ８０が設置されている。ＦＰＣ５０は、ドライバＩＣ８０から出力された駆動信号をヘッド本体７０のアクチュエータユニット２１（後に詳述）に伝達するように、電気的に接続されている。

ドライバＩＣ８０の外側表面には略直方体形状のヒートシンク８２が密着配置されている。ドライバＩＣ８０及びヒートシンク８２の上方であって、ＦＰＣ５０の外側には、基板８１が配置されている。ヒートシンク８２の上面と基板８１との間、および、ヒートシンク８２の下面とＦＰＣ５０との間は、それぞれシール部材８４で接着されている。

図３は、図１に示したヘッド本体７０の平面図である。図３において、ベースブロック７１内に形成されたインク溜まり３が仮想的に破線で描かれている。２つのインク溜まり３は、ヘッド本体７０の長手方向に沿って、互いに所定間隔をなして平行に延在している。２つのインク溜まり３はそれぞれ一端に開口３ａを有し、この開口３ａを介してインクタンク（図示せず）に連通することによって、常にインクで満たされている。また、開口３ｂは、ヘッド本体７０の長手方向に沿って各インク溜まり３に多数設けられていて、上述したように各インク溜まり３と流路ユニット４とを結んでいる。多数の開口３ｂは、対となる２つずつがヘッド本体７０の長手方向に沿って近接配置されている。一方のインク溜まり３に連通した開口３ｂの対と、他方のインク溜まり３に連通した開口３ｂの対とは、千鳥状に配置されている。また、ヘッド本体７０の長手方向の両端中央には流路ユニット４を貫通する位置決め孔９０が形成されている。位置決め孔９０はインクジェットヘッド１の製造工程において使用されるものであり、その詳細については後述する。

開口３ｂが配置されていない領域には、開口３ｂの対とは逆のパターンで、台形の平面形状を有する複数のアクチュエータユニット２１が千鳥状に配置されている。各アクチュエータユニット２１の平行対向辺（上辺及び下辺）は、ヘッド本体７０の長手方向と平行である。また、隣接するアクチュエータユニット２１の斜辺の一部同士がヘッド本体７０の幅方向にオーバーラップしている。

図４は、図３内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。図４に示すように、各インク溜まり３に設けられた開口３ｂは共通インク室であるマニホールド５に連通し、さらに各マニホールド５の先端部は２つに分岐して副マニホールド５ａを形成している。また、平面視において、アクチュエータユニット２１における２つの斜辺側それぞれから、隣接する開口３ｂから分岐した２つの副マニホールド５ａが延出している。つまり、アクチュエータユニット２１の下方には、アクチュエータユニット２１の平行対向辺に沿って互いに離隔した計４つの副マニホールド５ａが延在している。

アクチュエータユニット２１の接着領域と対応した流路ユニット４の下面は、インク吐出領域となっている。インク吐出領域の表面には、後述するように、多数のノズル（ノズル孔）８がマトリクス状に配列されている。ノズル８は、図面を簡単にするために図４では幾つかだけを描いているが、実際にはインク吐出領域全体に亘って配列されている。

図５は、図４に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。図４及び図５は、流路ユニット４における多数の圧力室１０がマトリクス状に配置された平面を、インク吐出面に対して垂直な方向から見た状態を示している。各圧力室１０は、角部にアールが施された略菱形の平面形状を有しており、その長い方の対角線は流路ユニット４の幅方向に平行である。各圧力室１０の一端はノズル８に連通しており、他端はアパーチャ１２（図６参照）を介して共通インク流路としての副マニホールド５ａに連通している。平面視において各圧力室１０と重なり合う位置には、圧力室１０と相似でこれよりも一回り小さい平面形状を有する個別電極３５が、アクチュエータユニット２１上に形成されている。図５には、図面を簡略にするために、多数の個別電極３５のうちの幾つかだけを描いている。なお、図４及び図５において、図面を分かりやすくするために、アクチュエータユニット２１内又は流路ユニット４内にあって破線で描くべき圧力室１０及びアパーチャ１２等を実線で描いている。

図５において、圧力室１０がそれぞれ収容された仮想的な複数の菱形領域１０ｘは、互いに重なり合うことなく各辺を共有するように、配列方向Ａ及び配列方向Ｂの２方向にマトリクス状に隣接配置されている。配列方向Ａは、インクジェットヘッド１の長手方向、すなわち副マニホールド５ａの延在方向であって、菱形領域１０ｘの短い方の対角線と平行である。配列方向Ｂは、配列方向Ａと鈍角θをなす菱形領域１０ｘの一斜辺方向である。圧力室１０は、対応する菱形領域１０ｘと中心位置が共通であって、両者の輪郭線は平面視において互いに離隔している。

マトリクス状に配置された複数の圧力室１０は、図５に示す配列方向Ａに沿って、複数の圧力室列を形成している。圧力室列は、図５の紙面に対して垂直な方向から見て、副マニホールド５ａとの相対位置に応じて、第１の圧力室列１１ａ、第２の圧力室列１１ｂ、第３の圧力室列１１ｃ、及び、第４の圧力室列１１ｄに分けられる。これら第１〜第４の圧力室列１１ａ〜１１ｄは、アクチュエータユニット２１の上辺から下辺に向けて、１１ｃ→１１ｄ→１１ａ→１１ｂ→１１ｃ→１１ｄ→…→１１ｂという順番で周期的に４個ずつ配置されている。

次に、ヘッド本体７０の断面構造について、図６（ａ）、図６（ｂ）及び図７を参照してさらに説明する。図６（ａ）は、図５のVI−VI線における断面図であり、第１の圧力室列１１ａに属する圧力室１０ａが描かれている。図６（ｂ）は、図６（ａ）におけるノズル８の拡大図である。図７はヘッド本体の部分分解斜視図である。図６（ａ）から分かるように、ノズル８は、圧力室１０（１０ａ）及びアパーチャ１２を介して副マニホールド５ａと連通している。このようにして、ヘッド本体７０には、副マニホールド５ａの出口からアパーチャ１２、圧力室１０を経てノズル８に至る個別インク流路３２が圧力室１０ごとに形成されている。

ヘッド本体７０は、図７からも分かるように、上から、アクチュエータユニット２１、キャビティプレート２２、ベースプレート２３、アパーチャプレート２４、サプライプレート２５、マニホールドプレート２６、２７、２８、カバープレート（第２のプレート）２９及びノズルプレート（第１のプレート）３０の合計１０枚のシート材が積層された積層構造を有している。これらのうち、アクチュエータユニット２１を除いた９枚の金属プレートから流路ユニット４が構成されている。

アクチュエータユニット２１は、後で詳述するように、４枚の圧電シート４１〜４４（図８（ａ）参照）が積層され且つ電極が配されることによってそのうちの最上層だけが電界印加時に活性層となる部分を有する層（以下、単に「活性層を有する層」というように記する）とされ、残り３層が非活性層とされたものである。

キャビティプレート２２は、圧力室１０となるほぼ菱形の孔が多数形成された金属プレートである。ベースプレート２３は、各圧力室１０とこれに対応するアパーチャ１２とを連通させるための連通孔及び各圧力室１０とこれに対応するノズル８とを連通させるための連通孔が多数形成された金属プレートである。アパーチャプレート２４は、各アパーチャ１２となる孔及び各圧力室１０とこれに対応するノズル８とを連通させるための連通孔が多数形成された金属プレートである。サプライプレート２５は、各アパーチャ１２と副マニホールド５ａとを連通させるための連通孔及び各圧力室１０とこれに対応するノズル８とを連通させるための連通孔が多数形成された金属プレートである。マニホールドプレート２６、２７、２８は、副マニホールド５ａとなる孔、及び各圧力室１０とこれに対応するノズル８とを連通させるための多数の連通孔が形成された金属プレートである。カバープレート２９は、各圧力室１０とこれに対応するノズル８とを連通させるための連通孔が多数形成された金属プレートである。ノズルプレート３０は、ノズル８が多数形成された金属プレートである。さらに、これら９枚の金属プレートには、流路ユニット４を貫通している位置決め孔９０となる貫通孔が長手方向の両端近傍にそれぞれ形成されている。これら９枚の金属プレートは、図６（ａ）に示すような個別インク流路３２が形成されるように、互いに位置合わせして積層される。

図６（ｂ）から分かるように、ノズル８はノズルプレート３０を貫通する孔である。ノズル８の内壁は、インク吐出面側の開口である吐出口８ａの外径が、圧力室１０側の開口である入射口（ノズル孔輪郭）８ｂの外径よりも小さくなるようにテーパー形状を有している。また、ノズル８の入射口８ｂの外径は、カバープレート２９に形成されている連通孔２９ａの開口である連通孔口（連通孔輪郭）２９ｂの外径よりも小さくなっている。つまり、カバープレート２９とノズルプレート３０との積層時において、ノズルプレート３０に連通孔口２９ｂに対するオーバーハング部が形成されている。

次に、流路ユニット４における最上層のキャビティプレート２２に積層された、アクチュエータユニット２１の構成について説明する。図８（ａ）はアクチュエータユニット２１と圧力室１０との部分拡大断面図であり、図８（ｂ）はアクチュエータユニット２１の表面に接着された個別電極の形状を示す平面図である。

図８（ａ）に示すように、アクチュエータユニット２１は、それぞれ厚みが１５μｍ程度で同じになるように形成された４枚の圧電シート４１、４２、４３、４４を含んでいる。これら圧電シート４１〜４４は、ヘッド本体７０内の１つのインク吐出領域内に形成された多数の圧力室１０に跨って配置されるように連続した層状の平板（連続平板層）となっている。圧電シート４１〜４４が連続平板層として多数の圧力室１０に跨って配置される。圧電シート４１〜４４は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなるものである。

最上層の圧電シート４１上には、個別電極３５が形成されている。最上層の圧電シート４１とその下側の圧電シート４２との間には、シート全面に形成された略２μｍの厚みの共通電極３４が介在している。なお、圧電シート４２と圧電シート４３の間に、電極は配置されていない。これら個別電極３５及び共通電極３４は共に、例えばＡｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる。

個別電極３５は、略１μｍの厚みで、図８（ｂ）に示すように、図５に示した圧力室１０とほぼ相似である略菱形の平面形状を有している。略菱形の個別電極３５における鋭角部の一方は延出され、その先端に、個別電極３５と電気的に接続された、略１６０μｍの径を有する円形のランド部３６が設けられている。ランド部３６は、例えばガラスフリットを含む金からなり、図８（ａ）に示すように、個別電極３５における延出部表面上に接着されている。

共通電極３４は、図示しない領域において接地されている。これにより、共通電極３４は、すべての圧力室１０に対応する領域において等しくグランド電位に保たれている。また、個別電極３５は、各圧力室１０に対応するものごとに電位を制御することができるように、各個別電極３５ごとに独立した別のリード線を含むＦＰＣ５０及びランド部３６を介してドライバＩＣ８０に電気的に接続されている（図１及び図２参照）。

次に、アクチュエータユニット２１の駆動方法について述べる。アクチュエータユニット２１における圧電シート４１の分極方向はその厚み方向である。つまり、アクチュエータユニット２１は、上側（つまり、圧力室１０とは離れた）１枚の圧電シート４１を活性層が存在する層とし且つ下側（つまり、圧力室１０に近い）３枚の圧電シート４２〜４４を非活性層とした、いわゆるユニモルフタイプの構成となっている。従って、個別電極３５を正又は負の所定電位とすると、例えば電界と分極とが同方向であれば圧電シート４１中の電極に挟まれた電界印加部分が活性層として働き、圧電横効果により分極方向と直角方向に縮む。一方、圧電シート４２〜４４は、電界の影響を受けないため自発的には縮まないので、上層の圧電シート４１と下層の圧電シート４２〜４４との間で、分極方向と垂直な方向への歪みに差を生じることとなり、圧電シート４１〜４４全体が非活性側に凸となるように変形しようとする（ユニモルフ変形）。このとき、図８（ａ）に示したように、圧電シート４１〜４４の下面は圧力室を区画するキャビティプレート２２の上面に固定されているので、結果的に圧電シート４１〜４４は圧力室側へ凸になるように変形する。このため、圧力室１０の容積が低下して、インクの圧力が上昇し、ノズル８からインクが吐出される。その後、個別電極３５を共通電極３４と同じ電位に戻すと、圧電シート４１〜４４は元の形状になって圧力室１０の容積が元の容積に戻るので、インクをマニホールド５側から吸い込む。

次にインクジェットヘッド１の製造方法について説明する。上述したように、流路ユニット４は、キャビティプレート２２、ベースプレート２３、アパーチャプレート２４、サプライプレート２５、マニホールドプレート２６、２７、２８、カバープレート２９及びノズルプレート３０、以上９枚の金属プレートを接合する接合工程によって形成される。接合工程は、接着剤を介してこれらの金属プレートを積層して加圧接合するものであり、積層工程と、加圧準備工程と、加圧工程とを備えている。以下、各工程について順に説明する。

積層工程について図９及び図１０を参照しつつ説明する。図９は、積層工程を説明するための図である。図１０は、積層工程におけるノズル８の断面図である。積層工程においては、個別インク流路３２が形成されるように、９枚の金属プレートを互いに位置合わせしながら積層する（図６（ａ）参照）。図９に示すように、金属プレートの積層には積層治具９９が用いられる。積層治具９９は、一方向に延在している板形状を有する基台１００と、基台１００の長手方向両端中央から基台の平面に対して垂直方向に突出している２本の位置決めピン１０１とを備えている。位置決めピン１０１は各金属プレートを位置決めするためのものであり、流路ユニット４に形成されている２つの位置決め孔９０に対応するように配置されている。積層工程においては、位置決めピン１０１に各金属プレートにおける位置決め孔９０となる貫通孔を貫通させながら、キャビティプレート２２、ベースプレート２３、アパーチャプレート２４、サプライプレート２５、マニホールドプレート２６、２７、２８、カバープレート２９及びノズルプレート３０の順に接着剤を介して積層していく。従って、基台１００上において、最後に積層されたノズルプレート３０が一番上に配置されることになる。このとき、図１０に示すように、ノズルプレート３０とカバープレート２９との界面において、ノズル８の入射口８ｂがカバープレート２９の連通孔２９ａの連通孔口２９ｂに含まれるように、且つノズル８の中心線ＣＬ８及び連通孔２９ａの中心線ＣＬ２９が一致するように、ノズルプレート３０がカバープレート２９上に接着剤１１０を介して積層されている。

次に、加圧準備工程について図１１、図１２及び図１３を参照しつつ説明する。図１１は、加圧準備工程を説明するための図である。図１２は、加圧準備工程におけるノズル８の断面図である。図１３は、加圧準備工程におけるノズル８をインク吐出面側から見た図である。加圧準備工程においては、積層工程で積層されたノズルプレート３０のインク吐出面上に、さらに加圧プレート（第３のプレート）１０６と、樹脂シート１０７とを順に積層する。加圧プレート１０６は、ノズルプレート３０のインク吐出面に対して押圧する領域を限定するものである。また、加圧プレート１０６には多数の逃げ孔１０６ａが形成されている。加圧プレート１０６はカバープレート２９と同一形状を有しており、加圧プレート１０６の逃げ孔１０６ａの形状と、カバープレート２９の連通孔２９ａの形状とが同一となっているとともに、加圧プレート１０６における逃げ孔１０６ａの位置と、カバープレート２９における連通孔２９ａの位置とが同一となっている。そして、逃げ孔１０６ａは、加圧プレート１０６の積層状態において、ノズルプレート３０のノズル８に対応するように配置されている。樹脂シート１０７は、加圧プレート１０６を保護するとともに加圧プレートに対して加えられる圧力を均一化するものであり、例えばナフロンシート等が好適である。樹脂シート１０７の表面には撥液処理が施されている。尚、樹脂シート１０７は加圧プレート１０６に対して別部材になるように構成されていてもよいし、加圧プレート１０６上に一体化して形成される構成でもよい。

図１２に示すように、加圧準備工程においては、ノズルプレート３０がカバープレート２９と加圧プレート１０６とによって挟まれるように、且つ逃げ孔１０６ａの中心線ＣＬ１０６とノズル８の中心線ＣＬ８とが一致するように、加圧プレート１０６をノズルプレート３０上に積層する。このとき、図１３に示すように、インク吐出面からの平面視において、加圧プレート１０６の逃げ孔１０６ａの開口部である逃げ孔口１０６ｂが、吐出口８ａを画定する円と、ノズル８の中心線ＣＬ８から連通孔２９ａの側壁までの距離（ノズルプレート３０とカバープレート２９との界面と連通孔２９ａの側壁との交線までの平均距離）の１．５倍の半径を有する仮想円１２０との間に位置している。

次に、加圧工程について図１４及び図１５を参照しつつ説明する。図１４は、加圧工程を説明するための図である。図１５は、加圧工程におけるノズル８の断面図である。尚、図中の矢印は圧力を示している。図１４に示すように、加圧工程においては、加圧準備工程で積層された樹脂シート１０７上に、加圧治具１０８を配置する。

加圧治具１０８は、金属プレートを加圧するための部材であり、フラットな形状を有する加圧面を備えている。加圧治具１０８は、図示しない駆動装置により駆動されると加圧面に接している樹脂シート１０７を押圧する。

図１５に示すように、樹脂シート１０７が加圧治具１０８に押圧されると、樹脂シート１０７が加圧治具１０８により押圧された圧力を均一化して加圧プレート１０６を押圧する。加圧プレート１０６が樹脂シートに押圧されると、加圧プレート１０６がノズルプレート３０のインク吐出面を押圧する。このとき、ノズルプレート３０における、加圧プレート１０６の逃げ孔１０６ａと対向する領域は、加圧プレート１０６に押圧されない。従って、連通孔口２９ｂに対するノズルプレート３０のオーバーハング部分は押圧されない。

つまり、インク吐出面を平面視したときに、吐出口８ａを画定する円と仮想円１２０との間に挟まれた領域において、吐出口８ａを画定する円と連通孔口２９ｂを画定する円とに挟まれた環状域及び当該環状域よりも内側の領域すべてが押圧されておらず、連通孔口２９ｂを画定する円と仮想円１２０とに挟まれた環状域すべてが押圧されている（図１３参照）。

また、カバープレート２９とノズルプレート３０との界面に着目すると、ノズル８の入射口８ｂを画定する円（ノズル孔輪郭）と仮想円１２０とに挟まれた領域である押圧領域をインク吐出面に投影したときの投影像に対応する領域において、連通孔口２９ｂを画定する円と仮想円１２０とに挟まれた環状域（押圧調整領域）の半径方向内側の領域すべてが押圧されておらず、当該環状域すべてが押圧されている（図１３参照）。このように金属プレートが加圧された状態で加熱処理を行う。加熱処理により接着剤が硬化して金属プレートが接合される。

以上の工程により接合工程を完了し、流路ユニット４が製造される。製造された流路ユニット４に、他工程で製造されたアクチュエータユニット２１や他の部品を組み付けられてインクジェットヘッド１が完成する。

以上説明した第１の実施の形態によると、加圧工程において、インク吐出面からの平面視における吐出口８ａを画定する円と連通孔口２９ｂを画定する円とに挟まれた環状域及び当該環状域よりも内側の領域すべてが押圧されず、連通孔口２９ｂに対するノズルプレート３０のオーバーハング部分に掛かかる応力が小さくなるため、ノズルプレート３０とカバープレート２９との間の接着剤１１０が連通孔２９ａの縁部からはみ出しにくくなる。これにより、接着剤の種類、接着剤の量、接着時の温度、加圧治具１０８が加圧する圧力等の条件を厳しく管理しなくても、連通孔２９ａの縁部からはみ出た接着剤がノズル８内に流入してインクの吐出特性を乱したり、ノズル８を詰まらせたりすることを防止することができる。これにより、インクジェットヘッド１の製造コストを低減することができる。

また、加圧工程において、インク吐出面からの平面視における連通孔口２９ｂを画定する円と仮想円１２０とに挟まれた環状域が押圧され、環状域にある接着剤１１０の厚さが均一になるため、ノズル８と連通孔２９ａとが正確且つ確実に接続されてインク滴の特出特性を維持することができる。これにより、インクジェットヘッドの歩留まりが向上する。

さらに、加圧工程において、インク吐出面からの平面視における吐出口８ａを画定する円と連通孔口２９ｂを画定する円とに挟まれた環状域よりも内側の領域すべてが押圧されないようにしているため、加圧プレート１０６の逃げ孔１０６ａの加工が容易になる。

また、ノズル孔８の中心線ＣＬ８と連通孔２９ａの中心線ＣＬ２９とが一致するようにノズルプレート３０及びカバープレート２９を積層するため、加圧工程において、連通孔２９ａに対するノズルプレート３０の全てのオーバーハング部分に掛かかる応力が均一化し、接着剤の種類、接着剤の量、接着時の温度、ノズルプレート３０及びカバープレート２９に加える圧力等の条件を適正な値に調整しやすくなる。

加えて、加圧工程において、加圧プレート１０６を用いてノズルプレート３０を押圧するため、逃げ孔の径や配置が異なる複数種類の加圧プレートを用意することにより、加圧治具１０８を取り替えなくともノズル孔の径や配置が異なる複数種類の流路ユニットに対応することができる。

また、加圧工程において、樹脂シート１０７が加圧治具１０８からの圧力を均一化して加圧プレート１０６を押圧するため、加圧プレート１０６を変形しにくくすることができる。また、はみ出した接着剤と、接着剤を硬化させるための加熱処理により放出される揮発成分を含んだ蒸気とにより、加圧プレート１０６と加圧治具１０８とが接着されるのを防止することができる。

さらに、樹脂シート１０７の表面に撥液処理が施されているため、加圧プレート１０６に不要な接着剤が付着するのを一層防止することができる。

また、加圧プレート１０６とカバープレート２９とが共通化されているため、加圧プレート１０６を製造するためのコストを低減することができる。

次に、本発明の第２の実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。尚、第２の実施の形態に係るインクジェットヘッドの製造方法により製造されるインクジェットヘッドは、第１の実施の形態のインクジェットヘッド１と実質的に同様である。そこで、第２の実施の形態にかかる図面及び説明において、第１の実施の形態と実質的に同一の部材には同じ符号を付してその説明を省略する。

インクジェットヘッド１の製造方法について説明する。流路ユニット４は、キャビティプレート２２、ベースプレート２３、アパーチャプレート２４、サプライプレート２５、マニホールドプレート２６、２７、２８、カバープレート２９及びノズルプレート３０、以上９枚の金属プレートを接合する接合工程によって形成される。接合工程は、接着剤を介してこれらの金属プレートを加圧接合するものであり、積層工程と、加圧工程とを備えている。以下、各工程について説明する。尚、積層工程は、第１の実施の形態における積層工程と実質的に同一であるため、その詳細な説明を省略する。

加圧工程について図１６、図１７及び図１８を参照しつつ説明する。図１６は、加圧工程を説明するための図である。図１７は、加圧工程におけるノズル８の断面図である。図１８は、加圧工程におけるノズル８をインク吐出面側から見た図である。図１５に示すように、加圧工程においては、積層工程において積層されたノズルプレート３０のインク吐出面上に加圧治具２０８を配置する。

加圧治具２０８は、金属プレートを加圧するための部材であり、フラットな形状を有する加圧面２０８ｂを備えている。加圧治具２０８は、図示しない駆動装置により駆動されると加圧面２０８ｂに接するように配置されたノズルプレート３０を押圧する。加圧面２０８ｂには撥液膜２０７が形成されている。また、加圧面２０８ｂにはインク吐出面に対して押圧する領域を限定するための多数の凹部２０８ａが形成されている。凹部２０８ａはカバープレート２９の連通孔２９ａと同じ径を有する円筒形状の穴である。また、凹部２０８ａは、ノズルプレート３０を押圧するときに、ノズル８に対応するように配置されている。

図１８に示すように、加圧治具１０８が加圧することで、加圧治具１０８がノズルプレート３０のインク吐出面を押圧する。このとき、ノズルプレート３０における、加圧治具２０８の凹部２０８ａと対向する領域は、加圧治具２０８に押圧されない。従って、連通孔口２９ｂに対するノズルプレート３０のオーバーハング部分が押圧されない。

つまり、図１８に示すように、インク吐出面を平面視したときに、吐出口８ａを画定する円と仮想円１２０との間に挟まれた領域において、吐出口８ａを画定する円と連通孔口２９ｂを画定する円とに挟まれた環状域及び当該環状域よりも内側の領域すべてが押圧されておらず、連通孔口２９ｂを画定する円と仮想円１２０とに挟まれた環状域すべてが押圧されている。

また、カバープレート２９とノズルプレート３０との界面に着目すると、ノズル８の入射口８ｂを画定する円（ノズル孔輪郭）と仮想円とに挟まれた領域である押圧領域をインク吐出面に投影したときの投影像に対応する領域において、連通孔口２９ｂを画定する円と仮想円１２０とに挟まれた環状域（押圧調整領域）の半径方向内側の領域すべてが押圧されておらず、当該環状域すべてが押圧されている。このように金属プレートが加圧された状態で加熱処理を行う。加熱処理により接着剤が硬化して金属プレートが接合される。

以上の工程により接合工程を完了し、流路ユニット４が製造される。製造された流路ユニット４に、他工程で製造されたアクチュエータユニット２１や他の部品を組み付けられてインクジェットヘッド１が完成する。

以上説明した第２の実施の形態によると、加圧工程において、インク吐出面からの平面視における吐出口８ａを画定する円と連通孔口２９ｂを画定する円とに挟まれた環状域及び当該環状域よりも内側の領域すべてが押圧されず、連通孔口２９ｂに対するノズルプレート３０のオーバーハング部分に掛かかる応力が小さくなるため、ノズルプレート３０とカバープレート２９との間の接着剤１１０が連通孔２９ａの縁部からはみ出しにくくなる。これにより、接着剤の種類、接着剤の量、接着時の温度、加圧治具１０８が加圧する圧力等の条件を厳しく管理しなくても、連通孔２９ａの縁部からはみ出た接着剤がノズル８内に流入してインクの吐出特性を乱したり、ノズル８を詰まらせたりすることを防止することができる。これにより、インクジェットヘッド１の製造コストを低減することができる。

また、加圧治具２０８に凹部２０８ａが形成されているため、加圧工程において必要となる治具の数を減らすことができる。

さらに、加圧治具２０８の加圧面には撥液膜が形成されているため、不要な接着剤が加圧治具２０８の加圧面に付着しにくくなる。

以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。例えば、第１及び第２の実施の形態においては、加圧工程において、インク吐出面を平面視したときに、吐出口８ａを画定する円と連通孔口２９ｂを画定する円とに挟まれた環状域が押圧されないように、加圧プレート１０６の逃げ孔１０６ａまたは加圧治具２０８の凹部２０８ａが形成されているが、この環状域は、吐出口８ａを画定する円と仮想円１２０との間に挟まれた領域内において自由に設定可能であり、新たに設定された環状域に対応するように加圧プレートの逃げ孔または加圧治具の凹部を形成してもよい。さらに、いずれの環領域においても、その一部が押圧されるように、加圧プレートの逃げ孔または加圧治具の凹部を形成してもよい。

また、第１及び第２の実施の形態においては、加圧工程において、インク吐出面を平面視したときに、連通孔口２９ｂを画定する円と仮想円１２０とに挟まれた環状域すべてが押圧されるように、加圧プレート１０６の逃げ孔１０６ａまたは加圧治具２０８の凹部２０８ａが形成されているが、この環状域は、吐出口８ａを画定する円と仮想円１２０との間に挟まれた領域内において自由に設定可能であり、新たに設定された環状域に対応するように加圧プレートの逃げ孔または加圧治具２０８の凹部２０８ａを形成してもよい。さらに、いずれの環領域においても、その一部が押圧されないように、加圧プレートの逃げ孔または加圧治具の凹部を形成してもよい。

さらに、第１及び第２の実施の形態においては、積層工程において、カバープレート２９及びノズルプレート３０を、カバープレート２９の連通孔２９ａの中心線ＣＬ２９とノズルプレート３０のノズル８の中心線ＣＬ８とが一致するように積層する構成であるが、連通孔２９ａの中心線ＣＬ２９とノズル８の中心線ＣＬ８とが平行であって一致しないように積層する構成であってもよい。このとき、加圧工程において加圧可能な範囲を規定する基準となる仮想円を、ノズル８の中心線ＣＬ８から連通孔２９ａの側壁までの距離の２倍の半径を有する円とするのが好ましい。

加えて、第１の実施の形態においては、加圧準備工程において、加圧プレート１０６上に樹脂シート１０７を積層する構成であるが、このような構成に限定されるものではなく、樹脂シート１０７を積層しない構成でもよい。

また、第１の実施の形態においては、積層工程、及び加圧準備工程において、カバープレート２９、ノズルプレート３０、及び加圧プレート１０６を、これらに形成された位置決め孔と積層治具９９の位置決めピン１０１とに基づいて位置決めする構成であるが、このような構成に限定されるものではなく、これらの金属プレートに位置決め孔を形成せず、金属プレートを嵌め込む部材など、他の部材で位置決めする構成でもよい。

加えて、第２の実施の形態においては、加圧治具２０８の加圧面に撥液膜２０７が形成されているが、撥液膜２０７が形成されていなくてもよい。

さらに、第１及び第２の実施の形態においては、ノズルプレート３０とカバープレート２９を積層したときに、ノズルプレート３０のノズル８の中心線ＣＬ８とカバープレート２９の連通孔２９ａの中心線ＣＬ２９とが一致するようにノズル８が形成されているが、ノズルプレートとカバープレートを積層したときに、ノズルプレートのノズルの中心線がカバープレートの連通孔の中心線に対して傾斜するようにノズルが形成されていてもよい。このとき、カバープレートとノズルプレートとの界面において、ノズルの入射口を画定する円（ノズル孔輪郭）と仮想円とに挟まれた領域である押圧領域をインク吐出面に投影したときの投影像に対応する領域において、連通孔の開口を画定する円と仮想円１２０とに挟まれた環状域（押圧調整領域）の半径方向内側の領域の一部が押圧されるように、加圧プレートの逃げ孔または加圧治具の凹部を形成することが好ましい。

加えて、第１及び第２の実施の形態においては、９枚の金属プレートを一括して接合する構成であるが、このような構成に限定されるものではなく、例えば、カバープレート２９及びノズルプレート３０のみを独立して接合する構成でもよい。

本発明の第１の実施の形態に係るインクジェットヘッドの製造方法により製造されるインクジェットヘッドの斜視図である。 図１のII−II線に沿った断面図である。 図２に描かれたインクジェットヘッドに含まれるヘッド本体の平面図である。 図３に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。 図４に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。 図５のVI−VI線に沿った断面図である。 図６に描かれたヘッド本体の部分分解斜視図である。 図６に描かれたアクチュエータユニット２１の拡大図である。 図６に示す流路ユニットを形成するための積層工程を説明するための図である。 図９に示す積層工程におけるノズルの断面図である。 図６に示す流路ユニットを形成するための加圧準備工程を説明するための図である。 図１１に示す加圧準備工程におけるノズルの断面図である。 図１１に示す加圧準備工程におけるインク吐出面側から見たノズルの平面図である。 図６に示す流路ユニットを形成するための加圧工程を説明するための図である。 図１４に示す加圧工程におけるノズルの断面図である。 本発明の第２の実施の形態に係るインクジェットヘッドの製造方法の加圧工程を説明するための図である。 図１６に示す加圧準備工程におけるノズルの断面図である。 図１６に示す加圧準備工程におけるインク吐出面側から見たノズルの平面図である。

符号の説明

１ インクジェットヘッド
４ 流路ユニット
５ マニホールド
５ａ 副マニホールド
１０ 圧力室
１２ アパーチャ
２１ アクチュエータユニット
２２ キャビティプレート
２３ ベースプレート
２４ アパーチャプレート
２５ サプライプレート
２６、２７、２８ マニホールドプレート
２９ カバープレート
３０ ノズルプレート
７０ ヘッド本体
１０１ 位置決めピン
１０６ 加圧プレート
１０７ 樹脂シート
１０８、２０８ 加圧治具
１１０ 接着剤
１２０ 仮想円

Claims (18)

1. インク滴を吐出するノズル孔が形成された第１のプレートと、連通孔が形成された第２のプレートとを、前記第１のプレートと前記第２のプレートとの界面において前記ノズル孔の開口部が前記連通孔の開口部に含まれるように接着剤を介して積層する積層工程と、
   前記インク滴が吐出される吐出口が形成された前記第１のプレートの吐出面において、前記吐出口を画定する第１の円と、前記ノズル孔の中心線から前記界面と前記連通孔の側壁との交線までの平均距離の２倍だけ前記ノズル孔の中心線から離れた位置を通る第２の円とを平面視したときに、これら２つの円に挟まれた領域の一部が押圧されるように、前記第１のプレート及び前記第２のプレートを積層方向に加圧する加圧工程とを備えていることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
2. 前記加圧工程において、前記２つの円に挟まれた領域内にある環状域が押圧されないように、前記第１のプレート及び前記第２のプレートを加圧することを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
3. 前記加圧工程において、前記２つの円に挟まれた領域内にある環状域が押圧されるように、前記第１のプレート及び前記第２のプレートを加圧することを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
4. 前記加圧工程において、前記環状域よりも内側の領域すべてが押圧されないように、前記第１のプレート及び前記第２のプレートを加圧することを特徴とする請求項３に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
5. 前記積層工程において、前記第１のプレートと前記第２のプレートとを、前記ノズル孔の中心線と前記連通孔の中心線とが前記界面内で一致するように積層し、
   前記加圧工程において、前記第１の円と、前記ノズル孔の中心線から前記界面と前記連通孔の側壁との交線までの平均距離の１．５倍だけ前記ノズル孔の中心線から離れた位置を結ぶ第３の円とに挟まれた前記吐出面上の領域の一部のみが押圧されるように、前記第１のプレート及び前記第２のプレートを積層方向に加圧することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
6. 前記第１の円以上且つ前記第２の円以下の径を有する凹部又は逃げ孔が形成された第３のプレートと、前記第１のプレートとを、前記第１のプレートが前記第２のプレートと前記第３のプレートとによって挟まれ且つ前記凹部又は前記逃げ孔の中心線が前記ノズル孔の中心線と一致するように積層する加圧準備工程をさらに備えており、
   前記加圧工程において、前記第３のプレートを介して前記第１及び第２のプレートを加圧することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
7. 前記加圧準備工程において、前記第１のプレートとの間で前記第３のプレートを挟むように、前記第３のプレート上に樹脂シートをさらに積層することを特徴とする請求項６に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
8. 前記樹脂シートが、前記第３のプレート上に形成された撥液膜であることを特徴とする請求項７に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
9. 前記加圧準備工程において、前記第１〜第３のプレートに形成された位置決め孔に基づいて、前記第３のプレートを積層することを特徴とする請求項６〜８のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
10. 前記第３のプレートと前記第２のプレートとが共通部品であることを特徴とする請求項６〜９のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
11. 前記加圧工程において、前記第１の円以上且つ前記第２の円以下の径を有する凹部又は逃げ孔が形成された加圧治具と前記第２のプレートとによって前記第１のプレートが挟まれ且つ前記凹部又は前記逃げ孔の中心線が前記ノズル孔の中心線と一致した状態において、前記第１のプレート及び前記第２のプレートを積層方向に加圧することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
12. 前記加圧治具の前記第１のプレートに当接して加圧する加圧面に撥液膜が形成されていることを特徴とする請求項１１に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
13. インク滴を吐出するノズル孔が形成された第１のプレートと、連通孔が形成された第２のプレートとを、前記第１のプレートと前記第２のプレートとの界面において前記ノズル孔の開口部が前記連通孔の開口部に含まれるように接着剤を介して積層する積層工程と、
    前記界面において、
    前記ノズル孔が作るノズル孔輪郭と、前記ノズル孔の中心線及び前記界面の交点を中心点として当該中心点から前記連通孔の開口部が作る連通孔輪郭までの平均距離の１．５倍の距離を半径とする仮想円とに挟まれた領域を押圧領域としたとき、
    前記第１のプレートの吐出口が形成された吐出面に対して、前記押圧領域を前記積層方向に投影したときに作られる投影像に対応する領域の一部が押圧されるように、前記第１のプレート及び前記第２のプレートを積層方向に加圧する加圧工程とを備えていることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
14. 前記投影において、前記連通孔輪郭と前記仮想円とに挟まれた領域の投影像に対応する前記吐出面の領域を押圧調整領域としたとき、
    前記加圧工程において、
    当該押圧調整領域の前記半径方向内側の領域を残して、前記第１のプレートと前記第２のプレートとを加圧することを特徴とする請求項１３に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
15. 前記加圧工程において、
    前記押圧調整領域の少なくとも一部を含む前記半径方向内側の領域を残して、前記第１のプレートと前記第２のプレートとを加圧することを特徴とする請求項１４に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
16. 前記加圧工程において、
    全ての前記押圧調整領域を含む前記半径方向内側の領域を残して、前記第１のプレートと前記第２のプレートとを加圧することを特徴とする請求項１４及び１５に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
17. 前記ノズル孔輪郭が円であり、
    前記ノズル孔輪郭を含み且つ前記仮想円以下の径を有する凹部又は逃げ孔が形成された第３のプレートと、前記第１のプレートとを、前記第１のプレートが前記第２のプレートと前記第３のプレートとによって挟まれ且つ前記凹部又は前記逃げ孔の中心線が前記中心点を通るように積層する加圧準備工程をさらに備えており、
    前記加圧工程において、
    前記第３のプレートを介して前記第１及び第２のプレートを加圧することを特徴とする請求項１３〜１６のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
18. 前記第３のプレートが前記第２のプレートと共通部品であり、
    前記加圧準備工程において、
    前記第１のプレートとの間で当該第３のプレートを挟むように、前記第３のプレート上に樹脂シートをさらに積層することを特徴とする請求項１７に記載のインクジェットヘッドの製造方法。

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