JP2006004930A - 有機電界発光表示素子及びその製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】発光輝度の向上、且つ、消費電力の低減を可能とする有機電界発光表示素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】有機EL表示素子は、基板102上に、有機発光層110を挟んで互いに交差するように形成されたアノード電極104及びカソード電極112と、アノード電極104と交差するように形成され、カソード電極112と並設される隔壁と、アノード電極104上において発光領域を画定し、外部光を遮断する導電性遮光膜106と、導電性遮光膜106を覆うように形成され、発光領域を画定する絶縁膜107とを備える。導電性遮光膜106は、不透明導電性物質で形成されることにより、透明基板102及びアノード電極104を通して入射される外部光を遮断又は吸収する。
【選択図】図4

Description

本発明は有機電界発光表示素子に関し、特に、発光輝度の向上、且つ、消費電力の低減を可能とする有機電界発光表示素子及びその製造方法に関する。
最近、陰極線管の短所である重さと体積を低減できる各種の平板表示装置が開発されつつある。こうした平板表示装置としては、液晶表示装置、電界放出型表示装置、プラズマディスプレイパネル及び電界発光表示素子(Electro Luminescence Display Device:以下、“EL表示素子”という)などがある。特に、EL表示素子は、基本的に、正孔輸送層、発光層及び電子輸送層からなる有機発光層の両面に電極を設けたもので、広視野角、高開口率及び高色度などの特徴のため、次世代の平板表示装置として注目を浴びている。
このようなEL表示素子は、使用する材料に応じて、無機EL表示素子と有機EL表示素子とに大別される。なかでも、有機EL表示素子は、正孔注入電極と電子注入電極との間に形成された有機EL層に電荷を注入すれば、電子と正孔が対をなした後、消滅しながら発光するため、無機EL表示素子に比べて低電圧の駆動が可能であるという利点がある。また、有機EL表示素子は、プラスチックのようにフレキシブルな透明基板上にも素子の形成が可能であり、PDPや無機ELDに比べて10V以下の低電圧の駆動が可能であり、且つ、電力消耗の低減及び優れた色感の実現が可能である。
図1は、関連の有機EL表示素子を示す斜視図、図2は図1に示す有機EL表示素子のI-I’線に沿う断面図である。
図1及び図2に示す有機EL表示素子は、基板2上にアノード電極4とカソード電極12が互いに交差する方向に形成される。
アノード電極4は基板2上に所定間隔をおいて複数形成される。このようなアノード電極4の形成された基板2上には、ELセル(P)領域ごとに開口部を持つ絶縁膜6が形成される。絶縁膜6上にはその上に形成される有機発光層10及びカソード電極12の分離のための隔壁8が位置する。隔壁8は、アノード電極4を横切る方向に形成され、上段部が下段部よりも広い幅を持つ逆テーパー(taper)構造を持つ。隔壁8の形成された絶縁膜上には、有機化合物からなる有機発光層10及びカソード電極12が、全面に順次蒸着される。有機発光層10は、正孔注入層と正孔輸送層を含む正孔関連層10a、色を具現する発光層10c及び電子輸送層と電子注入層を含む電子関連層10eが積層されて形成される。
こうした有機EL表示素子は、アノード電極4とカソード電極12との間に電圧が印加されると、カソード電極12から発生した電子は電子関連層10eを介して発光層10cの方に移動し、アノード電極4から発生した正孔は正孔関連層10aを介して発光層10cの方に移動する。これにより、発光層10cでは、電子関連層10eと正孔関連層10aから供給された電子と正孔の再結合によりエキシトン(EXITON)が形成され、このようなエキシトンは、更に基底状態に励起されながら一定のエネルギーの光を、アノード電極4を介して外部に放出する。
前記の構成を持つ有機EL表示素子は、外部からの入射光がアノード電極4と有機発光層10をほぼ完全に透過する。その結果、有機発光層10から光の非発光時に、基板2の表面から入射される外部光40は、透明導電性物質のアノード電極4と有機発光層10とを透過し、また、図3Aに示すように、金属電極のカソード電極12によって反射される。これにより、コントラスト比が低下するという問題点がある。このような問題点を解決するために、図3Bに示すように反射防止膜30が用いられる。このような反射防止膜30は、有機EL表示素子の基板2に取り付けられ、外部から外部光40が照射された後、その照射された外部光40が反射されて有機EL表示素子の外部に放出されることを遮断する。ここで、反射防止膜30は、外部光40で特定の線偏光(liner polarized light)を透過させ、それ以外の偏光成分は遮断する偏光板30aと、線偏光を円偏光(circular polarized light)に変換するためのλ/4位相差板30bとを備える。
しかしながら、このように偏光板30aを使用すれば、コントラスト比は向上するが、偏光板30aの光学的特性上、偏光率が99%以上の場合は透過率が50%を超過できないため、有機EL表示パネルでは50%以上の輝度損失が発生し得る。これにより、有機EL表示素子では、所望の輝度を出すために消費電力を増加させるべきである。
従って、本発明の目的は、発光輝度の向上、且つ、消費電力の低減を可能とする有機電界発光表示素子及びその製造方法を提供することにある。
前記目的を達成するために、本発明に係る有機電界発光表示素子は、多数のアノード電極と、導電性を有し、前記アノード電極間が互いに絶縁されるように、前記アノード電極上に分離(独立)パターンで形成される導電性遮光膜とを備えることを特徴とする。
前記導電性遮光膜は、前記アノード電極を部分的に露出させて発光領域を画定することを特徴とする。
前記アノード電極上に形成された有機発光層と、前記アノード電極と交差するように形成された隔壁と、前記有機発光層を挟んで前記アノード電極と交差するように形成されたカソード電極とを、さらに含むことを特徴とする。
前記導電性遮光膜は、不透明物質を含むことを特徴とする。
前記導電性遮光膜の抵抗率は、20〜200[μΩ.cm]程度であることを特徴とする。
本発明に係る有機電界発光表示素子の製造方法は、基板上に多数のアノード電極を形成する段階と、前記アノード電極の形成された基板上に導電性を有し、前記アノード電極間が絶縁されるように、多数の前記アノード電極上に独立パターンに形成される導電性遮光膜を形成する段階とを含むことを特徴とする。
前記導電性遮光膜は前記アノード電極を部分的に露出させて発光領域を画定することを特徴とする。
また、本発明に係る有機電界発光表示素子の製造方法は、前記アノード電極上に形成された有機発光層を形成する段階と、前記アノード電極と交差するように隔壁を形成する段階と、前記有機発光層を挟んで前記アノード電極と交差するようにカソード電極を形成する段階とを含むことを特徴とする。
前記導電性遮光膜は、不透明物質を含むことを特徴とする。
本発明に係る有機EL表示素子及びその製造方法は、従来の反射防止膜を除去し、導電性遮光膜を形成することにより、輝度の向上、且つ、消費電力の低減を可能とする。
以下、添付図面に基づき、本発明の好適な実施例について詳細に説明する。
図4は、本発明に係る有機EL表示素子を示す断面図である。
図4に示す有機EL表示素子は、基板102上に、有機発光層110を挟んで互いに交差するように形成されたアノード電極104及びカソード電極112と、アノード電極104と交差するように形成され、カソード電極112と並設される隔壁(図示せず)と、アノード電極104上において発光領域を定義し、外部光を遮断する導電性遮光膜106と、導電性遮光膜106を覆うように形成され、発光領域を画定する絶縁膜107とを備える。
アノード電極104は、帯状に基板102上に所定間隔をおいて複数形成される。隔壁(図示せず)は、アノード電極104を横切る方向に形成され、上段部が下段部よりも広い幅を持つ逆テーパー(taper)構造を持つ。有機発光層110は、正孔注入層と正孔輸送層を含む正孔関連層110a、色を具現する発光層110c及び電子輸送層と電子注入層を含む電子関連層110eが積層されて形成される。
導電性遮光膜106は、アノード電極104を部分的に露出させて発光領域を定義すると共に、外部光を遮断及び吸収することにより、素子のコントラスト比を向上させる。
また、導電性遮光膜106は、導電性物質で形成されることにより、アノード電極104の導電性を向上させる。
これをより詳細に説明すれば、次の通りである。
導電性遮光膜106は、図5に示すように、アノード電極104よりも広い幅でアノード電極104を覆うように形成されると共に、アノード電極104を部分的に露出させる開口部106aを持つ。また、それぞれの導電性遮光膜106は、互いに電気的に分離されているため、アノード電極104間に導通されない。
このような導電性遮光膜106は、不透明導電性物質で形成されることにより、透明基板102及びアノード電極104を通して入射される外部光を遮断又は吸収する。これにより、従来技術に比べて偏光板が不要となるので、素子発光時に透過率が増加することにより、輝度の向上、且つ、消費電力の低減を可能とする。
また、導電性遮光膜106は、導電性物質で形成され、20〜200[μΩ.cm]程度の抵抗率を持つ物質で形成されることにより、透明電極物質で形成されたアノード電極104の導電性を向上させる。このため、アノード電極104が必要とする電圧が低くなることにより、消費電力の低減が可能である。ここで、導電性遮光膜106の物質としては、クロム(Cr)、モリブデン(Mo)、アルミニウム(Al)、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、銀(Ag)、金(Au)、インジウム(In)、錫(Sn)、亜鉛(Zn)などの金属又はこれらの化合物が用いられる。
このような有機EL表示素子は、アノード電極104とカソード電極112との間に電圧が印加されると、カソード電極112から発生した電子は、電子関連層110eを介して発光層110cの方に移動し、また、アノード電極104から発生した正孔は、正孔関連層110aを介して発光層110cの方に移動する。これにより、発光層110cでは、電子関連層110eと正孔関連層110aから供給された電子と正孔の再結合によりエキシトン(EXITON)が形成され、このようなエキシトンは、更に基底状態で励起されながら一定のエネルギーの光を、アノード電極104を介して外部に放出する。
以下、図6A乃至図6Dを参照して、本発明に係る有機EL表示素子の製造方法について説明する。
まず、ソーダライム(Sodalime)や硬化ガラスを用いて形成された基板102上に、透明導電性金属物質の蒸着後、フォトリソグラフィー工程及びエッチング工程によりパターニングされることにより、図6Aに示すように、アノード電極104が形成される。ここで、金属物質としてはITO(Indium-Tin-Oxide)やSnOなどが用いられる。
アノード電極104の形成された基板102上に、不透明導電性金属物質の蒸着後、フォトリソグラフィー工程及びエッチング工程によりパターニングされることにより、図6Bに示すように、アノード電極104よりも広い幅でアノード電極104を覆うように形成されると共に、アノード電極104を部分的に露出させる開口部106aを持つ導電性遮光膜106が形成される。ここで、不透明導電性金属物質としては、クロム(Cr)、モリブデン(Mo)、アルミニウム(Al)、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、銀(Ag)、金(Au)、インジウム(In)、錫(Sn)、亜鉛(Zn)などの金属又はこれらの化合物が用いられ、それぞれのアノード電極104を覆うように形成された導電性遮光膜106は電気的に分離されている。
導電性遮光膜106の形成された基板102上に、感光性有機物質の蒸着後、フォトリソグラフィー工程などによりパターニングされることにより、絶縁膜107が形成される。以後、感光性有機物質の蒸着後、フォトリソグラフィー工程などによりパターニングされることにより、隔壁(図示せず)が形成される。
隔壁の形成された基板102上に、共通マスク及びメタル(又はシャドウ)マスクを用いた熱蒸着や真空蒸着などの蒸着方式により、図6Cに示すように有機発光層110が形成される。
有機発光層110の形成された基板102上に、金属物質が蒸着されることにより、図6Dに示すようにカソード電極112が形成される。
このように、本発明に係る有機EL表示素子及びその製造方法は、関連の反射防止膜が除去されると共に導電性遮光膜106が形成される。このため、素子発光時の光透過率が向上して輝度が増加する。また、導電性遮光膜106は、導電性を持つ物質で形成されることにより、アノード電極104の導電性を向上させる。このため、アノード電極104に印加される電圧が低くなることにより、消費電力の低減が可能である。
従来の有機電界発光表示素子を概略的に示す図である。 図1のI-I’線に沿う断面図である。 有機電界発光表示素子の外部光による反射を説明するための図である。 外部光による反射を防止する反射防止膜を説明するための図である。 本発明に係る有機電界発光表示素子の概略を示す図である。 図4に示す導電性遮光膜を具体的に示す図である。 図4に示す有機電界発光表示素子の製造方法を段階的に示す図である。 図4に示す有機電界発光表示素子の製造方法を段階的に示す図である。 図4に示す有機電界発光表示素子の製造方法を段階的に示す図である。 図4に示す有機電界発光表示素子の製造方法を段階的に示す図である。
符号の説明
2、102 基板
4、104 アノード電極
8 隔壁
10、110 有機発光層
12、112 カソード電極
106 導電性遮光膜

Claims (9)

  1. 多数のアノード電極と、
    導電性を有し、前記アノード電極が互いに絶縁されるように、前記アノード電極上に分離パターンで形成される導電性遮光膜と、
    を備えることを特徴とする有機電界発光表示素子。
  2. 前記導電性遮光膜は、前記アノード電極を部分的に露出させて発光領域を画定することを特徴とする請求項1に記載の有機電界発光表示素子。
  3. 前記アノード電極上に形成された有機発光層と、
    前記アノード電極と交差するように形成された隔壁と、
    前記有機発光層を挟んで前記アノード電極と交差するように形成されたカソード電極と、
    をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の有機電界発光表示素子。
  4. 前記導電性遮光膜は、不透明物質を含むことを特徴とする請求項1に記載の有機電界発光表示素子。
  5. 前記導電性遮光膜の抵抗率は、20〜200[μΩ.cm]程度であることを特徴とする請求項1に記載の有機電界発光表示素子。
  6. 基板上に多数のアノード電極を形成する段階と、
    前記アノード電極の形成された基板上に、導電性を有し、前記アノード電極間が絶縁されるように、前記アノード電極上に分離パターンで導電性遮光膜を形成する段階と、
    を含むことを特徴とする有機電界発光表示素子の製造方法。
  7. 前記導電性遮光膜は、前記アノード電極を部分的に露出させて発光領域を画定することを特徴とする請求項6に記載の有機電界発光表示素子の製造方法。
  8. 前記アノード電極上に形成された有機発光層を形成する段階と、
    前記アノード電極と交差するように隔壁を形成する段階と、
    前記有機発光層を挟んで前記アノード電極と交差するようにカソード電極を形成する段階と、を含むことを特徴とする請求項6に記載の有機電界発光表示素子の製造方法。
  9. 前記導電性遮光膜は、不透明物質を含むことを特徴とする請求項6に記載の有機電界発光表示素子の製造方法。
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