JP2005530339A5

JP2005530339A5 -

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Publication number: JP2005530339A5
Application number: JP2004513848A
Authority: JP
Filing date: 2003-06-07
Publication date: 2006-08-03
Anticipated expiration: 2023-06-07

Claims

主としてミクロリソグラフィのための投影対物レンズにおける対物レンズハウジングなどの構造体に光学部品（２１）を配置するための装置であって、
上記構造体には固定部品（２２）を介して光学部品（２１）が接続され、該光学部品（２１）は調整固定具（２３）を用いて位置設定されることが可能であり、
上記固定部品（２２）及び調整固定具（２３）は、上記光学部品（２１）が３つの相互に独立した軸（ｘ、ｙ、ｚ軸）を中心として傾斜可能で、さらに１つの軸方向（ｚ軸）に直進移動ができるようにそれぞれ配置・調整され、
ａ）上記固定部品（２２）は、それぞれ１つの軸に沿って行われる直進運動を阻止し、上記固定部品（２２）によって阻止された全ての直進運動の軸は、上記光学部品（２１）を直進するように移動することが不可能な傾斜軸（ｘ、ｙ軸）によって定義される平面に位置し、
ｂ）上記固定部品（２２）によって阻止された直進運動の軸は、それにおいて上記光学部品（２１）を直進するように移動することが可能な軸方向（ｚ軸）に対して垂直に位置し、
ｃ）上記固定部品（２２）によって阻止された直進運動の軸は、上記光学部品（２１）を直進するように移動することが可能な軸上の点において相互に交差する
ことを特徴とする光学部品を配置するための装置。
上記固定部品（２２）によって阻止された直進運動の軸は、上記光学部品（２１）を直進するように移動することが可能な軸上（ｚ軸上）の点において相互に交差し、また上記光学部品（２１）が直進するように移動することが不可能な２つの傾斜軸（ｘ、ｙ軸）が交差する点を通過することを特徴とする請求項１に記載の装置。
上記光学部品（２１）は少なくとも２つの固定部品（２２）と、少なくとも２つの調整固定具（２３）とを備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の装置。
上記２つの調整固定具（２３）には、それぞれ２つの調整部品が備わってなることを特徴とする請求項３に記載の装置。
上記固定部品（２２）及び調整固定具（２３）は、上記光学部品（２１）に弾性的に接続されることを特徴とする請求項１又は２に記載の装置。
上記固定部品（２２）は一体接続部品を介して上記光学部品（２１）に接続されることを特徴とする請求項５に記載の装置。
上記調整固定具（２３）は一体接続部品を介して上記光学部品（２１）に接続されることを特徴とする請求項５に記載の装置。
上記固定部品（２２）及び調整固定具（２３）は、上記光学部品（２１）が取付けられた支持フレーム（４１）に弾性的に接続されることを特徴とする請求項１又は２に記載の装置。
上記固定部品（２２）は、上記光学部品（２１）が取付けられた支持フレーム（４１）に一体接続部品を介して接続されることを特徴とする請求項８に記載の装置。
上記調整固定具（２３）は、上記光学部品（２１）が取付けられた支持フレーム（４１）に一体接続部品を介して接続されることを特徴とする請求項８に記載の装置。
上記調整固定具（２３）は２つの固定軸（３４ｃ、３４ｂ）方向には移動せず、この２つの軸方向（３４ｃ、３４ｂ）によって形成された平面において調整されることが可能であることを特徴とする請求項５又は８に記載の装置。
上記調整固定具（２３）には調整部品（４０ａ〜４０ｄ）が備わってなり、これを介して上記調整固定具（２３）はそれぞれ上記２つの固定軸（３４ｃ、３４ｂ）の方向に移動可能となることを特徴とする請求項１１に記載の装置。
上記調整部品（４０ａ〜４０ｄ）は、上記２つの固定軸（３４ｃ、３４ｂ）において相互に独立して作動可能となることを特徴とする請求項１２に記載の装置。
上記光学部品（２１）はビーム分割キューブであることを特徴とする請求項１２に記載の装置。
上記固定部品（２２）によって阻止された直進運動の軸が位置する平面は、上記ビーム分割キューブ（２１）のビーム分割面（２６）における平面であることを特徴とする請求項１又は１４に記載の装置。
上記固定部品（２２）は、上記ビーム分割キューブ（２１）の角の領域に配置されることを特徴とする請求項１４に記載の装置。
上記調節固定具（２３）は、上記固定部品（２２）の反対側に位置する角の領域に配置されることを特徴とする請求項１６に記載の装置。
上記光学部品（２１）として鏡が備わってなることを特徴とする請求項１に記載の装置。
上記光学部品（２１）としてレンズが備わってなることを特徴とする請求項１に記載の装置。
上記固定部品（２２）によって阻止された直進運動の軸が位置する平面は、基準面又は光学的に利用された平面であることを特徴とする請求項１４、１８又は１９のいずれか１項に記載の装置。
ミクロリソグラフィに用いられる投影対物レンズであって、
対物レンズハウジングには複数の光学部品が備わり、該光学部品の少なくとも１つは固定部品を介して対物レンズハウジングに接続され、上記光学部品の位置は調整固定具を用いて変えることが可能であり、
上記固定部品（２２）及び調整固定具（２３）は上記光学部品（２１）に設けられ、該光学部品（２１）が３つの相互に独立した軸（ｘ、ｙ、ｚ軸）を中心として傾斜し、さらに１つの軸（ｚ軸）の方向に直進移動されるように作動できることを特徴とする投影対物レンズ。
ａ）上記固定部品（２２）はそれぞれ１つの軸に沿った直進運動を阻止し、上記固定部品（２２）によって阻止された直進運動の全ての軸は、光学部品（２１）を直進するように移動することが不可能な傾斜軸（ｘ、ｙ軸）によって定義された平面に位置し、
ｂ）上記固定部品（２２）によって阻止された直進運動の軸は、光学部品（２１）が直進するように移動されることが可能な軸（ｚ軸）の方向に垂直に位置し、
ｃ）上記固定部品（２２）によって阻止された直進運動の軸は、光学部品（２１）が直進するように移動されることが可能な軸上の点において相互に交差する
ことを特徴とする請求項２１に記載の投影対物レンズ。
上記固定装置（２２）によって阻止された直進運動の軸は、光学部品（２１）を直進するように移動することが可能な軸（ｚ軸）における点において相互に交差し、また光学部品（２１）を直進するように移動することが不可能な２つの傾斜軸（ｘ、ｙ軸）が交差する点を通過することを特徴とする請求項２１又は２２に記載の投影対物レンズ。
上記光学部品（２１）としてビーム分割キューブが備わってなることを特徴とする請求項２１、２２又は２３のいずれか１項に記載の投影対物レンズ。