JP2005528674A - 処理溶液の監視及び調整をするための装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
1a ハウジング
1b ハウジングドア、(開)閉可能
1c ハウジング内の組立てプレート
2 洗浄槽
3 測定容器
4 組立てプレートの緩衝材
4a ハウジングの緩衝材
5 供給路
6 排出路
7 分配器
8 ライン網からの新鮮水のための供給接続部
9 試料(n)のための供給接続部
10 弁
11 圧力調整器
12 測定容器からの排出ホース
13 測定毛管
13a 気泡流出箇所での測定毛管の壁部
13b サポートリング
13c 絞り
13d クイックロック
14 バッフルプレート
15 オーバーフロー
16 気泡流出口
17 水密なエレクトロニクスハウジング
18 ディスプレイ
19 キーボード
20 水密なケーブル導入部
21 操作電流、インターフェース並びに機器に固有の弁及び/又はポンプのための接続ライン
22 洗浄設備のプロセス管理システム(SPS)
23 洗浄設備のプロセスへの干渉をするための装置(例えば、洗浄槽へのクリーナの配分をするための配分ポンプ)
24 クリーナ(濃縮液)リザーブ
25 調整された気体容積流のための供給源を含めた表面張力の測定モジュール
26 温度測定のための測定モジュール
27 別の測定モジュールのための準備部
28 別のセンサのための自由な穿孔部
29 温度センサ
Claims (19)
- 泡圧法による処理溶液の表面張力測定を基盤として、連続的に作業する産業上の洗浄設備、コーティング設備及びフラッシング設備において処理溶液又は処理溶液内の添加物、特に界面活性剤の濃度の継続的な監視及び調整をするための装置において、
処理溶液における表面張力又は処理添加物の濃度を検出するための、また装置の予設定可能な内部のプログラム経過のため及び処理溶液の品質の継続的な監視のための加工及び制御をするための装置と、プロセスへの干渉をするための外部の装置(23)の制御部とが、インテリジェント計算システムによって調和されており、この計算システムが、独自でプロセスデータを獲得し、加工し、そのプログラム経過の修正をするために利用し、外部のプロセス管理システム(22)と交換し、プロセスへの干渉を行なうこと、そして、
計算システムが、メモリ内に、以下のメモリ内容、即ち、
−気泡寿命が異なる場合の洗浄、校正及び測定のための経過シーケンス、
−測定値の獲得及び加工をするためのアルゴリズム、
−校正曲線及びクリーナ特有の濃度配列、及び、
−その獲得の状況を含めた固有の測定値、
を内蔵し、これらのメモリ内容が、プロセス管理システム(22)によって、手動及び/又は装置自身によって予設定可能であることを特徴とする装置。 - 泡圧法による処理溶液の試料の表面張力測定を基盤として、連続的に作業する産業上の洗浄設備、コーティング設備及びフラッシング設備において処理溶液又は処理溶液内の添加物、特に界面活性剤の濃度の継続的な監視及び調整をするための装置において、
処理溶液における表面張力又は処理添加物の濃度の自動的な検出をするための、また装置の予設定可能な内部のプログラム経過のため及び処理溶液の品質の自動的で継続的な監視のための自動的な加工及び制御をするための、並びに外部のプロセス干渉装置(23)の自動的な制御及び外部のプロセス管理システム(22)との自動的なコミュニケーションをするための装置が、機能的にも構造的にもハウジング(1a)内の自立したユニット(1)へと集約されていること、そして、
表面張力及び処理添加物の濃度を検出するための装置が、少なくとも、
−測定容器(3)内のフラッシング液、校正液及び試料(n)のプログラム計算された交換をするためのプログラム制御された供給及び排出用の供給装置(7,10,11)を有する測定容器(3)、
−測定容器(3)内の測定毛管(13)、
−測定ガスを測定毛管(13)に供給するためのプログラム制御された供給装置、
−測定毛管(13)にて流出する校正液及び試料(n)内の気泡の泡圧のパラメータを検出するための圧力センサ、
−作動電流のため、装置の状態、プロセス経過及び/又は処理溶液の信号化のため、外部のプロセス管理システム(22)のため、並びに液体のためのホース/チューブ(8,9,12)のための接続部/インターフェース(21)、
を有することを特徴とする装置。 - 測定容器(3)が、洗浄モード、校正モード及び測定モードで、プログラム計算されて相前後して洗浄液、校正液及び試料(n)によってそれぞれ貫流されることを特徴とする請求項2に記載の装置。
- 測定容器(3)が、測定毛管(13)の領域内で流動を最小化されるように形成されていることを特徴とする請求項2に記載の装置。
- 測定容器(3)が、装置の測定モードで、分岐された処理溶液の試料を、又は交互に分岐された複数の処理溶液の試料を収容することを特徴とする請求項2に記載の装置。
- プログラム制御されて、試料及び/又は洗浄液及び/又は校正液が、重力圧力又は供給圧力又はライン圧力の下で測定容器(3)内へと流入し、これらの媒体が、重力圧力又は供給圧力によって測定容器(3)から流出することを特徴とする請求項2に記載の装置。
- 表面張力を検出するための装置が、振動から隔離されるように支承されていることを特徴とする請求項2に記載の装置。
- 測定毛管(13)が、クイックロック(13d)によって容易に交換可能に固定されていることを特徴とする請求項2に記載の装置。
- 測定毛管(13)が、疎水性であり、気泡出口において試料表面に対して傾斜しており、そして降下する気泡のためのサポートリング(13b)を備えることを特徴とする請求項2に記載の装置。
- 洗浄モードで超音波を測定毛管(13)に作用させるための超音波発信器が、測定容器(3)内に配設されていることを特徴とする請求項2に記載の装置。
- 温度センサ(29)が、毛管の近傍に配設されていることを特徴とする請求項2に記載の装置。
- 伝導率、濁り及びpH値のような別の測定値を検出するための付加的なセンサが、装置内に統合されており、この装置によって加工されることを特徴とする請求項2に記載の装置。
- ハウジング(1a)内に、測定値及びシステム状態の表示及び応答をするための表示及び操作フィールド(18,19)が配設されていることを特徴とする請求項2に記載の装置。
- 1つ又は複数の外部のプロセス干渉装置(23)を直接接続するための1つ又は複数のインターフェース(21)が存在することを特徴とする請求項2に記載の装置。
- 請求項2に記載の装置を用いた泡圧法による表面張力測定を基盤として、連続的に作業する産業上の洗浄設備、コーティング設備及びフラッシング設備において処理溶液又は処理溶液内の添加物、特に界面活性剤の濃度の継続的な監視及び調整をするための方法において、
自動的に、処理溶液の動的な表面張力が、調節可能な表面年齢の異なる場合に気泡の最大泡圧と最小泡圧の間の差が検出及び評価されることによって、差圧法により測定毛管(13)にて測定されることを特徴とする方法。 - 自動的に、処理溶液が、気泡の気泡表面が一定に維持される方法により測定されることを特徴とする請求項15に記載の方法。
- 同じ様式の複数のセンサが、少なくとも1つの測定値のために冗長な測定値を供給することを特徴とする請求項15に記載の方法。
- 静止しているか流れている試料(n)が、測定の前に温度調節されることを特徴とする請求項15に記載の方法。
- 唯一の装置により、交互に複数の処理溶液が監視及び干渉されることを特徴とする請求項15に記載の方法。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007140270A (ja) * | 2005-11-21 | 2007-06-07 | Mitsubishi Chemical Engineering Corp | 界面活性剤含有アルカリ現像液の製造方法および製造装置 |
JP2011500250A (ja) * | 2007-10-26 | 2011-01-06 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | マルチモダリティ軟組織画像化のための閉ループレジストレーション制御 |
JP2021056005A (ja) * | 2019-09-26 | 2021-04-08 | 大和ハウス工業株式会社 | 測定装置および測定方法 |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10260046B4 (de) * | 2002-12-19 | 2004-11-25 | Gerald Scharrer | Verfahren zur Überprüfung der Reagierfähigkeit eines elektronischen Sensors sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
DE102004009735A1 (de) * | 2004-02-25 | 2005-09-15 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Meßgerät mit Anzeigevorrichtung |
JP4382569B2 (ja) * | 2004-05-07 | 2009-12-16 | 株式会社東芝 | 塗膜形成装置、塗膜形成方法および製造管理装置 |
US8753896B2 (en) * | 2007-04-05 | 2014-06-17 | Nalco Company | Method of monitoring a surfactant in a microelectronic process by fluorescence |
DE102007036800A1 (de) * | 2007-05-29 | 2008-12-04 | Herbert Kannegiesser Gmbh | Verfahren zur Nassbehandlung von Wäschestücken |
DE102007048142A1 (de) * | 2007-10-05 | 2009-04-09 | Enthone Inc., West Haven | Verfahren zur galvanotechnischen Beschichtung von Substratoberflächen |
DE202009012456U1 (de) * | 2009-09-12 | 2009-12-31 | Sita Messtechnik Gmbh | Einrichtung zum Messen von Stoffkonzentrationen in Lösungen auf Basis einer Fluoreszenzmessung |
US9810676B2 (en) * | 2015-01-12 | 2017-11-07 | Ecolab Usa Inc. | Apparatus for, system for and methods of maintaining sensor accuracy |
CN107192640B (zh) * | 2017-07-12 | 2023-10-03 | 广西路桥工程集团有限公司 | 混凝土浸泡试验装置 |
WO2019185837A1 (de) | 2018-03-28 | 2019-10-03 | Lpw Reinigungssysteme Gmbh | Verfahren und vorrichtung zur bereitstellung eines mediums mittels zyklischer nukleation |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2448768A (en) * | 1945-03-29 | 1948-09-07 | Hans M Cassel | Method and apparatus for measuring surface tension |
US4193818A (en) * | 1978-05-05 | 1980-03-18 | American Sterilizer Company | Combined ultrasonic cleaning and biocidal treatment in a single pressure vessel |
DE3424711A1 (de) * | 1984-07-05 | 1986-02-06 | Lang Apparatebau GmbH, 8227 Siegsdorf | Verfahren zum regeln einer reinigungsanlage und vorrichtung zum durchfuehren des verfahrens |
DE4112417A1 (de) * | 1991-04-16 | 1992-10-22 | Henkel Kgaa | Verfahren zum waschen und vorrichtung zum durchfuehren des verfahrens |
DE4136442A1 (de) * | 1991-11-06 | 1993-05-13 | Henkel Kgaa | Verfahren zum entfetten und reinigen metallischer oberflaechen und vorrichtung zu dessen durchfuehrung |
US5404893A (en) * | 1992-03-12 | 1995-04-11 | Ecolab Inc. | Self-optimizing detergent controller |
DE4300514A1 (de) * | 1993-01-12 | 1994-07-14 | Miele & Cie | Verfahren zur Bestimmung der freien Tenside in wäßrigen Öl-Wasser-Emulsionen |
DE29609646U1 (de) * | 1996-05-31 | 1996-08-14 | Technische Universität Dresden, 01069 Dresden | Vorrichtung zur dynamischen Messung der Oberflächenspannung einer Flüssigkeit |
US6085577A (en) * | 1996-10-03 | 2000-07-11 | Chem-Dyne Research Company | Surface tension measurement in a pressurized environment |
DE19653752C2 (de) * | 1996-12-20 | 2003-08-07 | Sita Messtechnik Gmbh | Verfahren und Einrichtung zur Reinigung von Prozess-Meßzellen mit Kapillaren |
DE19814500A1 (de) * | 1998-04-01 | 1999-10-14 | Henkel Kgaa | Automatische Kontrolle und Steuerung des Tensidgehalts in wäßrigen Prozeßlösungen |
DE19836720A1 (de) * | 1998-08-13 | 2000-02-17 | Henkel Kgaa | Automatische Kontrolle und Steuerung von Reinigerbäder |
DE10029505A1 (de) * | 1999-06-22 | 2000-12-28 | Miele & Cie | Verfahren zur Bestimmung der Konzentration eines Waschmittels, Verfahren zum Dosieren von Waschmittel und Waschmaschine zur Durchführung solcher Verfahren |
DE19933631C2 (de) * | 1999-07-17 | 2003-03-13 | Sita Messtechnik Gmbh | Verfahren zur statischen Messung der Oberflächenspannung von Flüssigkeiten |
DE29919461U1 (de) * | 1999-11-05 | 2000-02-10 | SITA Messtechnik GmbH, 01217 Dresden | Kapillare |
-
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- 2003-03-04 AT AT03714668T patent/ATE310267T1/de not_active IP Right Cessation
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007140270A (ja) * | 2005-11-21 | 2007-06-07 | Mitsubishi Chemical Engineering Corp | 界面活性剤含有アルカリ現像液の製造方法および製造装置 |
JP2011500250A (ja) * | 2007-10-26 | 2011-01-06 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | マルチモダリティ軟組織画像化のための閉ループレジストレーション制御 |
JP2021056005A (ja) * | 2019-09-26 | 2021-04-08 | 大和ハウス工業株式会社 | 測定装置および測定方法 |
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