JP2005528625A - 集積回路の光学測定における波長の選択 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (54)
- 公称プロファイルを備える集積回路構造の光学測定において使用する波長の選択方法であって、
1以上の終了基準を決定するステップと、
1以上の選択基準を決定するステップと、
前記集積回路構造に対する1以上の入力回折スペクトル及び前記選択基準を用いて波長を選択するステップと、
前記終了基準を満たすまで前記波長選択ステップを実行するステップと、
を含むことを特徴とする方法。 - 選択処理についての前記終了基準は、選択された波長のコスト関数値が予め設定されたコスト関数値以下であるか否かをテストするステップを含み、前記選択された波長のコスト関数値は、選択された波長スペクトルと全波長スペクトルとを比較することにより計算され、
前記選択された波長スペクトルは、測定装置における前記集積回路構造の前記公称プロファイルのシミュレート回折スペクトルであり、且つ当該シミュレート回折スペクトルは前記選択された波長だけを用いて決定され、
前記全波長スペクトルは、前記測定装置における前記集積回路構造の前記公称プロファイルのシミュレート回折スペクトルであり、且つ当該シミュレート回折スペクトルは前記測定装置において使用された波長を用いて決定される、
請求項1に記載の方法。 - 選択処理についての前記終了基準は、選択された波長のコスト関数値が予め設定されたコスト関数値以下であるか否かをテストするステップを含み、
前記選択された波長のコスト関数値は、選択された波長スペクトルと1以上の入力回折スペクトルの一つとを比較することにより計算され、
前記選択された波長スペクトルは、前記集積回路構造について生成された回折スペクトルのライブラリにおいて最も一致する回折スペクトルであり、且つ前記選択された波長スペクトルの最も一致する回折スペクトルは、前記選択された波長だけを用いて決定される、
請求項1に記載の方法。 - 選択処理についての前記終了基準は、選択された波長の適合度値が予め設定された適合度値以上であるか否かをテストするステップを含み、前記選択された波長の適合度値は、選択された波長スペクトルと全波長スペクトルとを比較することにより計算され、
前記選択された波長スペクトルは、測定装置における前記集積回路構造の前記公称プロファイルのシミュレート回折スペクトルであり、且つ当該シミュレート回折スペクトルは前記選択された波長だけを用いて決定され、
前記全波長スペクトルは、前記測定装置における前記集積回路構造の前記公称プロファイルのシミュレート回折スペクトルであり、且つ当該シミュレート回折スペクトルは前記測定装置において使用された波長を用いて決定される、
請求項1に記載の方法。 - 選択処理についての前記終了基準は、選択された波長の適合度値が予め設定された適合度値以上であるか否かをテストするステップを含み、前記選択された波長の適合度値は、選択された波長スペクトルと1以上の入力回折スペクトルの一つとを比較することにより計算され、
前記選択された波長スペクトルは、前記集積回路構造について生成された回折スペクトルのライブラリにおいて最も一致する回折スペクトルであり、且つ前記選択された波長スペクトルの最も一致する回折スペクトルは、前記選択された波長だけを用いて決定される、
請求項1に記載の方法。 - 前記選択基準は、1以上の特徴選択アルゴリズムを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記1以上の特徴選択アルゴリズムは、集合被覆選択、固有共分散分析、及び特異値分解を含む、請求項6に記載の方法。
- 前記1以上の入力回折スペクトルは、ウェハーの少なくとも1箇所で測定された回折スペクトルを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記1以上の入力回折スペクトルは、仮想ウェハーの少なくとも1の仮想位置でシミュレートされた回折スペクトルを含む、請求項1に記載の方法。
- 選択基準を設定するステップは、
波長選択についてノイズレベル基準を設定するステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。 - 前記の波長選択を実行するステップは、
ウェハーの同じ位置で測定された回折スペクトルの1以上の平均値を計算するステップと、
波長を選択するステップであって、前記ウェハーの前記同じ位置で測定された回折スペクトルが、測定された回折スペクトルの前記1以上の平均値から予め設定された範囲内である波長を選択するステップと、
をさらに含む、請求項10に記載の方法。 - 前記の波長選択を実行するステップは、
ウェハーの同じ位置で測定された回折スペクトルの1以上の平均値を計算するステップと、
波長を除外するステップであって、測定された回折スペクトルが、前記ウェハーの前記同じ位置で測定された前記回折スペクトル全てについての標準偏差の予め設定したσ数を超える波長を除外するステップと、
をさらに含む、請求項10に記載の方法。 - 前記選択された波長、選択処理情報、及び構造識別情報を記録するステップをさらに含み、前記選択処理情報は、前記終了基準及び前記選択基準を含む、請求項1に記載の方法。
- 公称プロファイルを備える集積回路構造の光学測定において使用する波長の選択方法であって、
1以上の終了基準を決定するステップと、
1以上の選択基準を決定するステップと、
光学測定点で測定された回折スペクトルのセットについての相関行列を生成するステップであって、前記光学測定点は特定の波長に対応し、且つ前記相関行列は行列の要素として前記光学測定点に対応する相関係数を備えるステップと、
前記集積回路構造についての回折スペクトルの前記セット、前記選択基準、及び波長選択アルゴリズムを用いて、波長を選択するステップと、
前記終了基準を満たすまで、前記の波長を選択するステップを実行するステップと、
を含むことを特徴とする方法。 - 波長の選択についての前記終了基準は、選択された波長のコスト関数値が予め設定されたコスト関数値以下であるか否かをテストするステップを含み、前記選択された波長のコスト関数値は、選択された波長スペクトルと全波長スペクトルとを比較することにより計算され、
前記選択された波長スペクトルは、測定装置における前記集積回路構造の前記公称プロファイルのシミュレート回折スペクトルであり、且つ当該シミュレート回折スペクトルは前記選択された波長だけを用いて決定され、
前記全波長スペクトルは、前記測定装置における前記集積回路構造の前記公称プロファイルのシミュレート回折スペクトルであり、且つ当該シミュレート回折スペクトルは前記測定装置において使用された波長を用いて決定される、
請求項14に記載の方法。 - 波長の選択についての前記終了基準は、選択された波長のコスト関数値が予め設定されたコスト関数値以下であるか否かをテストするステップを含み、前記選択された波長のコスト関数値は、選択された波長スペクトルと回折スペクトルの前記セットの一つとを比較することにより計算され、
前記選択された波長スペクトルは、前記集積回路構造について生成された回折スペクトルのライブラリにおいて最も一致する回折スペクトルであり、且つ前記選択された波長スペクトルの最も一致する回折スペクトルは、前記選択された波長だけを用いて決定される、
請求項14に記載の方法。 - 波長の選択についての前記終了基準は、選択された波長の適合度値が予め設定された適合度値以上であるか否かをテストするステップを含み、前記選択された波長の適合度値は、選択された波長スペクトルと全波長スペクトルとを比較することにより計算され、
前記選択された波長スペクトルは、測定装置における前記集積回路構造の前記公称プロファイルのシミュレート回折スペクトルであり、且つ当該シミュレート回折スペクトルは前記選択された波長だけを用いて決定され、
前記全波長スペクトルは、前記測定装置における前記集積回路構造の前記公称プロファイルのシミュレート回折スペクトルであり、且つ当該シミュレート回折スペクトルは前記測定装置において使用された波長を用いて決定される、
請求項15に記載の方法。 - 波長の選択についての前記終了基準は、選択された波長の適合度値が予め設定された適合度値以上であるか否かをテストするステップを含み、前記選択された波長の適合度値は、選択された波長スペクトルと回折スペクトルの前記セットの一つとを比較することにより計算され、
前記選択された波長スペクトルは、前記集積回路構造について生成された回折スペクトルのライブラリにおいて最も一致する回折スペクトルであり、且つ前記選択された波長スペクトルの最も一致する回折スペクトルは、前記選択された波長だけを用いて決定される、
請求項15に記載の方法。 - 前記終了基準を満たすまで、前記の波長選択ステップを実行する前記ステップは、
前記相関行列から導かれる対称2値行列を生成するステップであって、前記対称2値行列は、要素の値として1又は0を備え、前記相関行列の要素は、前記相関係数が相関閾値以上の場合1に設定され、前記相関係数が前記相関閾値未満の場合0に設定される、ステップと、
前記対称2値行列における1の数が最大の横列に対応する波長を選択し、且つ前記横列及び前記対称2値行列の対応する縦列を0に設定することを少なくとも1回実行するステップであって、前記横列と縦列は前記選択された波長に対応し、波長選択を繰り返すことが、前記対称2値行列の要素が全て0になるまで続けられる、ステップと、
を含む、請求項14に記載の方法。 - さらに、前記選択された波長、選択処理情報、及び構造識別情報を記録するステップを含み、前記選択処理情報は、前記波長の選択及び波長選択基準の終了基準を含む、
請求項14に記載の方法。 - 公称プロファイルを備える集積回路構造の光学測定において使用する波長の選択方法であって、
1以上の終了基準を決定するステップと、
波長選択についての1以上の感度基準を設定するステップであって、前記感度基準は、前記構造のプロファイルの変化によってもたらされる回折スペクトルの変化の少なくとも1以上の尺度を含むステップと、
前記集積回路構造に対する1以上の入力回折スペクトルと選択基準とを用いて波長を選択するステップと、
前記終了基準を満たすまで、前記波長を選択するステップを実行するステップと、
を含むことを特徴とする方法。 - 公称プロファイルを備える集積回路構造の光学測定において使用する波長の選択方法であって、
1以上の終了基準を決定するステップと、
入力回折スペクトルのセットについての共分散行列を生成するステップであって、入力回折スペクトルは測定点での回折データを有し、前記測定点は特定の波長に対応し、前記共分散行列は縦列と横列とを備え、各横列は、前記縦列に割り当てられた測定点についての回折データに関する前記横列に割り当てられた測定点についての回折データの共分散を含む、ステップと、
前記集積回路構造についての入力回折スペクトルの前記セットと前記共分散行列を用いて波長を選択するステップと、
前記終了基準を満たすまで、前記波長選択ステップを実行するステップと、
を含むことを特徴とする方法。 - 波長の選択についての前記終了基準は、選択された波長のコスト関数値が予め設定されたコスト関数値以下であるか否かをテストするステップを含み、前記選択された波長のコスト関数値は、選択された波長スペクトルと全波長スペクトルとを比較することにより計算され、
前記選択された波長スペクトルは、測定装置における前記集積回路構造の前記公称プロファイルのシミュレート回折スペクトルであり、且つ当該シミュレート回折スペクトルは前記選択された波長だけを用いて決定され、
前記全波長スペクトルは、前記測定装置における前記集積回路構造の前記公称プロファイルのシミュレート回折スペクトルであり、且つ当該シミュレート回折スペクトルは前記測定装置において使用された波長を用いて決定される、
請求項22に記載の方法。 - 波長の選択についての前記終了基準は、選択された波長の適合度値が予め設定された適合度値以上であるか否かをテストするステップを含み、前記選択された波長の適合度値は、選択された波長スペクトルと全波長スペクトルとを比較することにより計算され、
前記選択された波長スペクトルは、測定装置における前記集積回路構造の前記公称プロファイルのシミュレート回折スペクトルであり、且つ当該シミュレート回折スペクトルは前記選択された波長だけを用いて決定され、
前記全波長スペクトルは、前記測定装置における前記集積回路構造の前記公称プロファイルのシミュレート回折スペクトルであり、且つ当該シミュレート回折スペクトルは前記測定装置において使用された波長を用いて決定される、
請求項22に記載の方法。 - 前記の波長選択ステップは、
共分散閾値を満たす測定点を選択するステップと、
前記選択された測定点を対応する選択された波長に変換するステップと、
を含む請求項22に記載の方法。 - さらに、前記選択された波長、選択処理情報、及び構造識別情報をセーブするステップを含み、前記選択処理情報は、前記波長の選択についての終了基準及び波長選択基準を含む、請求項22に記載の方法。
- 公称プロファイルを備える集積回路構造の光学測定において使用する波長の選択方法であって、
1以上の終了基準を決定するステップと、
2以上の波長選択基準を決定するステップと、
前記集積回路構造についての入力回折スペクトルのセット及び前記2以上の波長選択基準を用いて波長を選択するステップと、
前記終了基準を満たすまで、前記波長選択ステップを実行するステップと、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記の波長選択を実行するステップは、
ノイズ選択基準を満たす波長を選択することに基づく波長選択アルゴリズムを作動させるステップと、
相関係数基準を満たす波長を選択することに基づく波長選択アルゴリズムを作動させるステップと、
信号感度基準を満たす波長を選択することに基づく波長選択アルゴリズムを作動させるステップと、
1以上の選択基準に基づいて、最後の波長選択を行うステップと、
前記終了基準に対して前記の最後の波長選択をテストするステップと、
1以上の波長選択基準を調整するステップと、
を含む、請求項27に記載の方法。 - さらに、前記選択された波長、選択処理情報、及び構造識別情報をセーブするステップを含み、前記選択処理情報は、前記波長の選択についての終了基準及び波長選択基準を含む、請求項28に記載の方法。
- 波長を選択し、公称プロファイルを備える集積回路構造の光学測定において前記選択された波長を使用する方法であって、
光学測定のために波長を選択するステップであって、前記波長の選択は1以上の選択基準に基づき、且つ前記選択は終了基準を満たすように最適化される、ステップと、
前記選択された波長に対応する測定された回折スペクトルを抽出するステップであって、前記回折スペクトルは集積回路構造を測定したものである、ステップと、
前記選択された波長に対応する、前記抽出された測定回折スペクトルを用いて前記集積回路構造の1以上の臨界寸法を求めるステップであって、1以上の回帰技術を利用して前記1以上の臨界寸法を求めるステップと、
を含むことを特徴とする方法。 - 光学測定のために波長を選択するステップは、1以上の波長選択アルゴリズムを選択するステップを含み、前記波長選択アルゴリズムは、ノイズ選択基準を満たす波長を選択すること、相関係数基準を満たす波長を選択すること、及び信号感度基準を満たす波長を選択すること、
を含む、請求項30に記載の方法。 - 波長を選択し、公称プロファイルを備える集積回路構造の光学測定において前記選択された波長を使用する方法であって、
集積回路構造の光学測定のために波長を選択するステップであって、1以上の選択基準及び終了基準に基づいて選択するステップと、
シミュレート回折スペクトル及び関連するプロファイルのライブラリを生成するステップであって、前記シミュレート回折スペクトルは前記選択された波長を利用して計算される、ステップと、
前記選択された波長に対応する、測定された回折スペクトルを抽出するステップであって、前記回折スペクトルは集積回路構造を測定したものである、ステップと、
測定された回折スペクトルに対して、シミュレート回折スペクトル及び関連するプロファイルの前記ライブラリにおいて最も一致するライブラリ回折スペクトルを選択するステップと、
前記最も一致するライブラリ回折スペクトルの関連するプロファイルのプロファイルデータにアクセスするステップと、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記の光学測定のために波長を選択するステップは、
終了基準を決定するステップと、
選択基準を決定するステップと、
前記集積回路構造についての1以上の入力回折スペクトル及び前記選択基準を用いて波長を選択するステップと、
前記終了基準を満たすまで、前記波長を選択するステップを実行するステップと、
を含む、請求項32に記載の方法。 - 波長の選択についての前記終了基準は、選択された波長のコスト関数値が予め設定されたコスト関数値以下であるか否かをテストするステップを含み、前記選択された波長のコスト関数値は、選択された波長スペクトルと全波長スペクトルとを比較することにより計算され、
前記選択された波長スペクトルは、測定装置における前記集積回路構造の前記公称プロファイルのシミュレート回折スペクトルであり、且つ当該シミュレート回折スペクトルは前記選択された波長だけを用いて決定され、
前記全波長スペクトルは、前記測定装置における前記集積回路構造の前記公称プロファイルのシミュレート回折スペクトルであり、且つ当該シミュレート回折スペクトルは前記測定装置において使用された波長を用いて決定される、
請求項33に記載の方法。 - 波長の選択についての前記終了基準は、選択された波長のコスト関数値が予め設定されたコスト関数値以下であるか否かをテストするステップを含み、前記選択された波長のコスト関数値は、選択された波長スペクトルと入力回折スペクトルとを比較することにより計算され、
前記選択された波長スペクトルは、前記集積回路構造について生成された回折スペクトルのライブラリにおいて最も一致する回折スペクトルであり、且つ前記選択された波長スペクトルの最も一致する回折スペクトルは、前記選択された波長だけを用いて決定される、
請求項33に記載の方法。 - 波長の選択についての前記終了基準は、選択された波長の適合度値が予め設定された適合度値以上であるか否かをテストするステップを含み、前記選択された波長の適合度値は、選択された波長スペクトルと全波長スペクトルとを比較することにより計算され、
前記選択された波長スペクトルは、測定装置における前記集積回路構造の前記公称プロファイルのシミュレート回折スペクトルであり、且つ当該シミュレート回折スペクトルは前記選択された波長だけを用いて決定され、
前記全波長スペクトルは、前記測定装置における前記集積回路構造の前記公称プロファイルのシミュレート回折スペクトルであり、且つ当該シミュレート回折スペクトルは前記測定装置において使用された波長を用いて決定される、
請求項33に記載の方法。 - 波長の選択についての前記終了基準は、選択された波長の適合度値が予め設定された適合度値以上であるか否かをテストするステップを含み、前記選択された波長の適合度値は、選択された波長スペクトルと入力回折スペクトルとを比較することにより計算され、
前記選択された波長スペクトルは、前記集積回路構造について生成された回折スペクトルのライブラリにおいて最も一致する回折スペクトルであり、且つ前記選択された波長スペクトルの最も一致する回折スペクトルは、前記選択された波長だけを用いて決定される、
請求項33に記載の方法。 - 集積回路構造の光学測定のために波長を選択するシステムであって、
1以上の入力回折スペクトルを提供するように構成された回折スペクトル源と、
1以上の終了基準及び1以上の選択基準を決定するように構成され、且つ前記終了基準を満たすまで、前記集積回路構造についての1以上の入力回折スペクトル及び選択基準を用いて波長を選択するように構成された波長選択器と、
を有することを特徴とするシステム。 - 前記回折スペクトル源は、特定の構造プロファイルからの回折スペクトルをシミュレートするように構成された光学測定シミュレータである、請求項38に記載のシステム。
- さらに、選択された波長、選択処理情報、及び構造識別情報を保存するように構成されたデータ記憶を有し、前記選択処理情報は、前記波長選択の終了基準及び波長選択基準を含む、請求項38に記載のシステム。
- さらに、前記波長選択終了基準、選択処理情報、及び構造識別情報を前記波長選択器へ通信するように構成された入力装置を有する、請求項38に記載のシステム。
- 光学測定を用いて集積回路構造のプロファイルデータを実時間決定するシステムであって、
集積回路構造の回折スペクトルを測定するように構成された光学測定システムと、
選択された波長、選択処理情報、及び構造識別情報を保存するように構成されたデータ記憶と、
前記データ記憶にアクセスし且つ保存されている選択波長を引き出すように構成され、且つ前記選択波長に対応する回折スペクトルデータを抽出するように構成された抽出器と、
抽出された回折スペクトルデータを利用し、且つ前記集積回路構造の臨界寸法を求めるように構成された計測プロファイル推定器と、
を有することを特徴とするシステム。 - さらに、選択処理情報及び集積回路識別情報を、前記抽出器に通信するように構成された入力装置を有する、請求項42に記載のシステム。
- 集積回路構造の光学測定に使用するために選択された波長を利用して、ライブラリを生成し且つ使用するシステムであって、
選択された波長、選択処理情報、及び集積回路構造識別情報を保存するように構成されたデータ記憶と、
集積回路構造の仮想プロファイルからの前記回折スペクトルをシミュレートし、且つ回折スペクトル及び関連するプロファイルのライブラリを生成するように構成された光学測定シミュレータと、
回折スペクトル及び関連するプロファイルの前記ライブラリを保持するように構成されたライブラリと、
集積回路構造の回折スペクトルを測定するように構成された光学測定システムと、
前記データ記憶にアクセスし、且つ前記光学測定システムから通信された回折スペクトルデータから選択された波長に対応する回折スペクトルデータを抽出するように構成された抽出器と、
を有することを特徴とするシステム。 - さらに、前記抽出器で抽出された前記回折スペクトルと一致し、且つ前記ライブラリから最も一致するものを取得するように構成され、且つ前記集積回路構造の臨界寸法、プロファイル、及び下層の膜厚を求めるように構成されたプロファイルアプリケーションサーバを有する、請求項44に記載のシステム。
- 光学測定処理及びシミュレーションで使用する波長を選択するシステムであって、
波長選択の1以上の終了基準を決定し、波長選択の1以上の基準を選択し、且つ波長選択を1回以上実行するように構成された波長選択器であって、波長選択の終了基準を満たすまで波長選択の繰り返しを続行し、前記波長選択の繰り返しには、前記集積回路構造についての1以上の入力回折スペクトル及び前記波長選択基準とを用いるものである、波長選択器と、
前記波長選択器に結合された1以上の波長選択エンジンであって、1以上の選択基準を満たす波長の選択を最適化するように構成される波長選択エンジンと、
を有することを特徴とするシステム。 - 前記1以上の波長選択エンジンは、集合被覆選択アルゴリズム、固有共分散分析アルゴリズム、特異値分解アルゴリズム、又はその他の特徴選択アルゴリズムを含む、請求項46に記載のシステム。
- コンピュータ読取可能な記録媒体であって、
1以上の終了基準を決定し、
1以上の選択基準を決定し、
前記集積回路構造に対する1以上の入力回折スペクトル及び前記選択基準とを用いて波長を選択し、
前記終了基準を満たすまで、前記選択を実行するように、
コンピュータが動作するよう指示することにより、公称プロファイルを備える集積回路構造の光学測定で使用する波長を選択するためのコンピュータ実行可能なコード、
を保持する記録媒体。 - コンピュータ読取可能な記録媒体であって、
1以上の終了基準を決定し、
1以上の選択基準を決定し、
光学測定点で測定された回折スペクトルのセットについての相関行列を生成し、前記測定点は特定の波長に対応し、前記相関行列は前記測定点に対応する相関係数を行列の要素として備え、
前記集積回路構造についての回折スペクトルの前記セット、前記選択基準、及び波長選択アルゴリズムを用いて波長を選択し、
前記終了基準を満たすまで前記選択を実行するように、
コンピュータが動作するよう指示することにより、公称プロファイルを備える集積回路構造の光学測定で使用する波長を選択するためのコンピュータ実行可能なコード、
を保持する記録媒体。 - コンピュータ読取可能な記録媒体であって、
1以上の終了基準を決定し、
波長選択の感度基準を設定し、前記感度基準は前記構造プロファイルの変化によってもたらされる前記回折スペクトルの変化の少なくとも1つの測度を含み、
前記集積回路構造に対する1以上の入力回折スペクトル及び前記感度基準を用いて波長を選択し、
前記終了基準を満たすまで前記選択を実行するように、
コンピュータが動作するよう指示することにより、公称プロファイルを備える集積回路構造の光学測定で使用する波長を選択するためのコンピュータ実行可能なコード、
を保持する記録媒体。 - 公称プロファイルを備える集積回路構造の光学測定で使用する波長を選択するためのコンピュータ実行可能なコードを保持する、コンピュータ読取可能な記録媒体であって、
1以上の終了基準を決定し、
入力回折スペクトルのセットに対する共分散行列を生成し、入力回折スペクトルは測定点での回折データを有し、前記測定点は特定の波長に対応し、前記共分散行列は縦列と横列とを備え、各横列は、前記縦列に割り当てられた測定点についての回折データに関する前記横列に割り当てられた測定点についての回折データの共分散を含み、
前記集積回路構造に対する入力回折スペクトルの前記セットと前記共分散行列を用いて波長を選択し、
前記終了基準を満たすまで、前記選択を実行するように、
コンピュータが動作するよう指示することにより、公称プロファイルを備える集積回路構造の光学測定で使用する波長を選択するためのコンピュータ実行可能なコード、
を保持する記録媒体。 - 波長を選択し、公称プロファイルを備える集積回路構造の光学測定で選択された波長を使用するためのコンピュータ実行可能なコードを保持する、コンピュータ読取可能な記録媒体であって、
光学測定のために波長を選択し、前記選択は1以上の選択基準に基づき、且つ前記選択は1以上の終了基準を満たすように最適化され、
前記選択された波長に対応する測定された回折スペクトルを抽出し、前記回折スペクトルは集積回路構造で測定され、
1以上の回帰技術を利用して、前記選択された波長に対応する、前記抽出された測定回折スペクトルを用いて前記集積回路構造の1以上の臨界寸法を求めるように、
コンピュータが動作するよう指示することにより、波長を選択し、公称プロファイルを備える集積回路構造の光学測定で選択された波長を使用するためのコンピュータ実行可能なコード、
を保持する記録媒体。 - コンピュータ読取可能な記録媒体であって、
集積回路構造の光学測定のために波長を選択し、前記選択は1以上の選択条件及び終了条件に基づき、
シミュレート回折スペクトル及び関連するプロファイルのライブラリを生成し、前記シミュレート回折スペクトルは前記選択された波長を利用して計算され、
前記選択された波長に対応する測定された回折スペクトルを抽出し、前記回折スペクトルは集積回路構造を測定したものであり、
測定された回折スペクトルに対して、シミュレート回折スペクトル及び関連するプロファイルの前記ライブラリから最も一致するライブラリ回折スペクトルを選択し、
前記最も一致するライブラリ回折スペクトルに関連するプロファイルのプロファイルデータにアクセスするように、
コンピュータが動作するよう指示することにより、波長を選択し、公称プロファイルを備える集積回路構造の光学測定で選択された波長を使用するためのコンピュータ実行可能なコード、
を保持する記録媒体。 - コンピュータ読取可能な記録媒体であって、
製造工程、ウェハー、位置、及び測定装置に関連する識別情報と、
集積回路の光学測定で使用するために選択された波長の1以上のセットであって、選択された波長の各セットは1以上の終了基準及び波長選択基準に関連するものと、
を記憶データとして保持する記録媒体。
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