JP2005524055A - λ<200nmレーザリソグラフィ用UV光学フッ化物結晶素子並びにその作成及び検査方法 - Google Patents
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Abstract
200nmより短波長の光が透過する光学フッ化カルシウム結晶においてppmより低いレベルの鉛不純物を検出するための方法が提供される。この方法は、結晶光透過経路長を有する、200nmより短波長の光が透過するフッ化物結晶を提供する工程、200〜210nmの範囲の透過率検査波長を発生させるための光源を有する200〜210nm分光光度計及び検査波長の透過率を測定するための透過光検出器を提供する工程、200〜210nmの範囲の透過率検査波長に200nmより短波長の光が透過する光学フッ化物結晶の光透過経路長を透過させる工程、及び200〜210nmの検査波長の経路長透過率を測定して、500ppbより小さい鉛ppb不純物レベル測定値を与える工程を含む。鉛汚染レベルが極めて低いフッ化カルシウムのような、200nmより短波長の光で用いられる光学素子及び光学フッ化物結晶の改善された製造方法も提供される。
Description
本発明は全般的には波長が200nmより短い光が透過する光学フッ化物結晶及びそのような光学フッ化物結晶から作成された光学素子に関し、特に、フッ化物の純度が高く、鉛及び酸素汚染物レベルが極めて低い、高品質光学フッ化物結晶及びリソグラフィ/レーザ素子の検査及び作成に関する。
コンピュータ性能の向上を求める要求に応える重責は集積回路チップの製造に用いられるリソグラフィプロセスにかかる。リソグラフィには、マスクの照射及び光微細リソグラフィシステムによるフォトレジストが塗布されたウエハ上へのマスクパターンの集束が必要である。これにより、マスク上のパターンがウエハ上に転写される。与えられたウエハ上の最小線幅を縮小することによって性能の向上がもたらされる。線幅の微細化を進めるのに必要な高解像度化は、照明光源の短波長化により可能となる。リソグラフィパターニングに用いられるエネルギーはUV領域のより深くに移行しつつある。そのような短い光微細リソグラフィ波長において信頼できる性能を有し得る光コンポーネントが必要である。193nm及び157nmにおいて高透過率を有し、高強度のレーザ露光の下で劣化しない材料は少ししか知られていない。フッ化カルシウム及びフッ化バリウムのようなフッ化物結晶は、200nmより短波長において高い透過率を有する有望な材料である。193nm未満の真空紫外波長の光を利用する投影光リソグラフィシステムは、最小寸法の縮小の達成に関して所望の恩恵を提供する。157nm波長領域の真空紫外波長を利用する微細リソグラフィシステムには、集積回路及び集積回路の製造の能力を向上させる可能性がある。157nmなど、193nm以下の真空紫外波長の工業的使用及び採用は、そのような157nm領域の深紫外波長の光学材料透過性により妨げられてきた。半導体工業における、157nm領域の光のような175nmより短波長のVUV(真空紫外)光の使用のそのような遅々とした進展は、光透過性材料から経済的に製造可能なブランクの欠如及び、高品質であると認定され、目的とする微細リソグラフィ光学素子及びレーザ用途に対して適格とされ得る、ブランクの製造の困難さも原因であった。フッ素エキシマーレーザの発光スペクトルのようなVUV157nm領域における深紫外光リソグラフィの恩恵が集積回路の製造に利用されるためには、200nmより短波長における、また193nm及び157nmにおける、良好な光透過率を含む有益で極めて適格な光学特性を有し、製造、検査、評価、測定及び使用に対する適格性検定を経済的に行うことができる、200nmより短波長の光が透過する光学フッ化物結晶が必要である。
本発明は、従来技術の問題点を克服し、真空紫外波長と組合わせて集積回路製造能力を向上させるために用いることができる、高品質で、鉛汚染物レベルの測定値が極めて低い、200nmより短波長の光が透過する光学フッ化物結晶を経済的に提供するための手段を提供する。本発明は、鉛汚染物レベルが極めて低い、高品質フッ化カルシウム光学フッ化物結晶のリソグラフィ素子及びエキシマーレーザ素子の吸収帯分析検査法を提供する。
本発明は200nmより短波長の光(以降、“λ<200nm光”と略記する)が透過する光学フッ化物結晶における低鉛不純物レベルを検出する方法を含む。本方法は、λ<200nm光が透過する、結晶光透過経路長2mm以上の光学フッ化物結晶を提供する工程を含む。本方法は、200〜210nmの範囲の透過率検査波長を発生させるための光源及び検査波長の透過率を測定するための透過光検出器を有する光透過200〜210nm走査型分光光度計を提供する工程及び、次いで、200〜210nmの範囲の透過率検査波長にλ<200nm光が透過する光学フッ化物結晶光透過経路長を透過させて、900ppbより少ない鉛ppb不純物レベル測定値を与える工程を含む。本発明は、好ましくは500ppbより少なく、より好ましくは300ppbより少なく、さらに好ましくは100ppbより少なく、さらに好ましくは50ppbより少なく、さらに好ましくは20ppbより少なく、最も好ましくは10ppbより少ない、鉛ppb不純物レベル測定値を与える。
本発明は、λ<200nm光を透過させるための光学フッ化物リソグラフィ結晶において1ppmより低い鉛不純物レベルを測定する方法を含む。本方法は、λ<200nm光が透過する、結晶光透過経路長が1cm以上の光学フッ化物結晶を提供する工程を含む。本方法は、200〜210nmの範囲の検査波長を発生させるための光源及び検査波長における吸収係数を計算するための透過光検出器を有する200〜210nm吸収帯測定システム分光光度計を提供する工程、200〜210nmの範囲の透過率検査波長に、λ<200nm光が透過する光学フッ化物結晶の、1cm以上の光透過経路長を透過させる工程、及び、1cm以上の経路長を透過する試験波長で吸収係数を測定して、0.0017cm−1より小さい鉛汚染物レベル吸収係数を提供する工程を含む。
本発明は、λ<200nm光リソグラフィ素子の作成方法を含む。本方法は、λ<200nm光が透過する、結晶光透過経路長が2mm以上の光学フッ化物結晶を提供する工程及び、200〜210nmの範囲の透過率検査波長を発生させるための光源及び検査波長の透過率を測定するための透過光検出器を有する光透過200〜210nm分光光度計測定システムを提供する工程を含む。本方法は、200〜210nmの透過率検査波長にλ<200nm光が透過する光学フッ化物結晶光透過経路長を透過させる工程及び、200〜210nm検査波長の経路長透過率を測定して、500ppbより少なく、好ましくは300ppbより少なく、より好ましくは100ppbより少ない、汚染物レベル測定値を達成する工程及び、次いで、光学フッ化物結晶を200〜210nmにおける吸収係数が0.0017cm−1より小さいλ<200nm光用光学素子の形につくる工程を含む。
本発明は、λ<200nm光が透過する光学フッ化物結晶の作成方法を含む。本方法は、融成固体フッ化カルシウム結晶を提供する工程を含む。本方法は、融成固体フッ化カルシウム結晶を溶融してフッ化カルシウム融液を形成する工程及び、λ<200nm光を透過させるための光学フッ化カルシウム結晶を提供するためにフッ化カルシウム結晶を融液から成長させる工程を含む。本方法は、200〜210nmの範囲の透過率検査波長を発生させるための光源及び検査波長の透過率を測定するための透過光検出器を有する光透過200〜210nm分光計を提供する工程及び200〜210nmにおける吸収係数が0.0017cm−1より小さいλ<200nm光を透過させるための成長光学フッ化カルシウム結晶を用いて200〜210nmの範囲の透過率検査波長によりフッ化カルシウムの経路長内の鉛汚染物レベルを測定する工程を含む。本発明は、λ<200nm光透過率が99%/cmより高く、鉛レベルが50ppbより低く、200〜210nmにおける吸収係数が0.0017cm−1より小さい、λ<200nm光が透過する、フッ化カルシウムの光学フッ化物結晶を含む。
本発明は、λ<200nm光が透過する光学フッ化物結晶の作成方法を含む。本方法は、融成固体フッ化バリウム結晶を提供する工程、融成固体フッ化バリウム結晶を溶融してフッ化バリウム融液を形成する工程、及びλ<200nm光を透過させるための光学フッ化バリウム結晶を提供するために融液からフッ化バリウム結晶を成長させる工程を含む。本方法は、200〜210nmの範囲の透過率検査波長を発生させるための光源及び検査波長の透過率を測定するための透過光検出器を有する光透過200〜210nm分光計を提供する工程、200〜210nmにおける吸収係数が0.0017cm−1より小さいλ<200nm光を透過させるための成長光学フッ化バリウム結晶を用いて、200〜210nmの範囲の透過率検査波長によりフッ化バリウムの経路長内の鉛汚染物レベルを測定する工程を含む。本発明は、λ<200nm光が透過し、λ<200nm光透過率が99%/cmより高く、鉛レベルが50ppbより低く、200〜210nmにおける吸収係数が0.0017cm−1より小さい、フッ化バリウムの光学フッ化物結晶を含む。
本発明は、λ<200nm光が透過する光学フッ化物結晶においてppmより低い鉛不純物レベルを検出する方法を含む。本方法はλ<200nm光が透過する光学フッ化物結晶20を提供する工程を含む。光学フッ化物結晶20は、鉛汚染物レベルが1ppmより低い光学フッ化物結晶であることが好ましい。本方法は、200〜210nmの範囲の透過率検査波長を発生させるための光源24及び検査波長の透過率を測定するための透過光検出器28を有する光吸収帯測定システム分光計22を提供する工程を含む。本方法は、フッ化物結晶の経路長21内の鉛汚染物レベルを200〜210nmの範囲の透過率検査波長により測定する工程を含む。本方法は、200〜210nm検査波長にλ<200nm光光学フッ化物結晶20を透過させる工程及び、検査波長の結晶透過率を測定して、900ppbより小さく、好ましくは500ppbより小さく、好ましくは300ppbより小さく、好ましくは100ppbより小さく、好ましくは50ppbより小さく、好ましくは20ppbより小さく、さらに好ましくは10ppbより小さい、鉛ppb不純物レベル測定値を達成する工程を含む。光源24はランプなどの広帯域波長光源であることが好ましい。光源24は、走査可能な200〜210nmの波長スペクトルを提供することが好ましい。光源24は、レーザ光源とは異なる広帯域非コヒーレント光源であることが好ましい。200〜210nm検査波長を提供する工程は、制御下で200〜210nmの波長範囲を走査して検査波長を選択するための、モノクロメータ/フィルタなどの波長セレクタ34を利用する工程を含むことが好ましい。好ましい実施形態において、200〜210nmの走査可能な波長スペクトルは、制御下にモノクロメータでフィルタリングされる重水素ランプ光源により与えられる。分光光度計は200〜210nmのスペクトルを走査するために用いられることが好ましい。本方法は、205nm吸収帯がその上に乗っているペデスタルを識別するために、分光光度計を用いて約205nmを中心とする範囲でスペクトルを走査する工程を含むことが好ましい。次いで、総吸収から205nmにおけるペデスタル吸収を引き去り、よって、鉛汚染物レベル吸収を得る。約205nmを中心とする波長の走査は、よって表面光損失(ペデスタル)とともにその他のバックグラウンド吸収帯を引き去ることができるように結晶に対するベースライン吸収を与えることが好ましい。好ましい実施形態では、極めて低いレベルの鉛汚染物を検出するための約205nmを中心とする波長の走査において、205nmにおけるペデスタルの大きさを明確にするため、約195〜220nmの走査範囲が利用される。本方法は、結晶内の鉛不純物レベルの実時間決定を提供する。200〜210nm透過率検査波長を透過させる工程は、203〜207nmの範囲の203〜207nm検査波長にλ<200nm光が透過する光学フッ化物結晶の光透過経路長を透過させる工程及び、経路長を透過する203〜207nm検査波長の透過率を測定して、500ppbより小さい鉛ppb不純物レベル測定値を与える工程を含むことが好ましい。200〜210nm透過率検査波長を透過させる工程は、約205nm透過率検査波長にλ<200nm光が透過する光学フッ化物結晶の光透過経路長を透過させる工程及び、経路長を透過する205nm検査波長の透過率を測定して、300ppbより小さい鉛ppb不純物レベル測定値を与える工程を含むことが好ましい。本発明の好ましい実施形態において、結晶光透過経路長が2mm以上の、λ<200nm光が透過する光学フッ化物結晶を提供する工程は、1cm以上の結晶光透過経路長を提供する工程及び、透過率検査波長に1cm以上のフッ化物結晶光透過経路長を透過させて、100ppbより小さい鉛ppb不純物レベル測定値を与える工程を含む。結晶光透過経路長は10cm以上であることがさらに好ましく、透過率検査波長に10cm以上のフッ化物結晶光透過経路長を透過させる工程は、50ppbより小さいことが好ましく、10ppbより小さいことがさらに好ましい、鉛ppb不純物レベル測定値を与える。図1A〜Bに示されるように、分光光度計測定のためのフッ化物結晶光透過経路長は参照数字21で指定される。図1Bに示されるように、分光光度計22はチャンバビーム窓23と25の間の長さがCLであるチャンバを有し、0.5CL≧フッ化物結晶光透過経路長であることが好ましい。分光光度計は、結晶試料試料20を保持し、窓23及び25に対して安定な位置に保つ、チャンバ試料ホルダ19を備えることが好ましい。チャンバ試料ホルダ19は、長結晶試料を受け取り、結晶試料をチャンバの中央で中心の位置におき、窓間におけるチャンバ内での透過率検査波長光ビームとの位置整合を保証する。結晶20は研磨面17を有することが好ましい。数ppb範囲の好ましい鉛濃度測定値(鉛<10ppb)を与えるために、経路長21は少なくとも50mm(50〜100mm)であり、面17間平行度が1°より高いことが好ましい。数10ppb範囲の鉛濃度(10ppb<鉛<100ppb)の測定のための経路長21は5〜10mmの範囲である。フッ化物結晶試料経路長は、少なくとも50mmであることが好ましく、少なくとも90mmであることがさらに好ましく(100mmが好ましい実施形態である)、窓間分光光度計チャンバ長CLは、少なくとも100mmであることが好ましく、CL≧150mmであることがさらに好ましく、CL≧200mmであることが最も好ましい(200mmが好ましい実施形態である)。
本発明は、フッ化カルシウムまたはフッ化バリウム結晶20など、λ<200nm光を透過させるためのリソグラフィ用光学フッ化物結晶において、1ppmより低い不純物レベルを測定する方法を含む。本方法は、結晶光透過経路長21が1cm以上の、λ<200nm光が透過する光学フッ化物結晶20を提供する工程及び、200〜210nmの範囲の検査波長を発生させるための光源24及び検査信号における吸収係数を計算するための透過光検出器を有する200〜210nm吸収測定システム分光光度計22提供する工程を含む。本方法は、200〜210nmの範囲の検査波長に、λ<200nm光が透過する1cm以上の光学フッ化物結晶光透過経路長を透過させる工程、及び1cm以上の経路長にわたる検査波長における吸収係数を測定して、0.0017cm−1より小さい鉛汚染物レベル吸収係数を与える工程を含む。本方法は、203〜207nmの範囲の203〜207nm検査波長に、λ<200nm光が透過する1cm以上の光学フッ化物結晶光透過経路長を透過させる工程及び、1cm以上の経路長にわたる203〜207nm検査波長における吸収係数を測定して、0.0016cm−1より小さい鉛汚染物レベル吸収係数を与える工程を含むことが好ましい。本方法は、約205nmの検査波長に、λ<200nm光が透過する1cm以上の光学フッ化物結晶光透過経路長を透過させる工程及び、1cm以上の経路長にわたる205nm検査波長における吸収係数を測定して、0.0015cm−1より小さい鉛汚染物レベル吸収係数を与える工程を含むことがさらに好ましい。結晶光透過経路長21を有する、λ<200nm光が透過する光学フッ化物結晶20を提供する工程は、10cm以上の結晶光透過率経路長を提供して、50ppbより少なく、好ましくは20ppb以下、好ましくは10ppb以下、好ましくは5ppb以下、最も好ましくは約1ppb以下の鉛汚染物レベル吸収係数不純物測定値を与える工程を含む。
本発明は、図2〜3に示されるような、F2エキシマーレーザの157nm出力またはArFエキシマーレーザの193nm出力のようなλ<200nm光を透過させるためのλ<200nm光光学素子Eの作成方法を含む。本方法は、鉛汚染物レベル測定値が100ppbより小さい光学フッ化物結晶20から、光学品質の高いλ<200nm光リソグラフィ素子42を作成する工程を含む。本方法は、結晶光透過経路長21がλ<200nm光が透過する2mm以上の光学フッ化物結晶20を提供する工程及び、200〜210nmの範囲の透過率検査波長を発生させるための光源24及び検査波長の透過率を測定するための透過光検出器28を有する光透過200〜210nm光度計分光光度計22を提供する工程を含む。本方法は、透過率検査波長(200〜210nm)に、λ<200nm光が透過する光学フッ化物結晶光透過経路長を透過させる工程及び、経路長にわたる200〜210nm検査波長の透過率を測定して、500ppbより小さく、好ましくは100ppbより小さい、鉛汚染物レベル測定値を与える工程及び、光学フッ化物結晶を、200〜210nmにおける鉛汚染物吸収係数が0.0017cm−1より小さい、λ<200nm光光学素子Eの形にする工程を含む。汚染物レベル測定値は、100ppbより低いことが好ましく、50ppbより低いことがより好ましく、20ppbより低いことがさらに好ましく、10ppbより低いことが最も好ましい。結晶光透過経路長21を有する、λ<200nm光が透過する光学フッ化物結晶20を提供する工程は、λ<200nm光が透過する結晶光透過経路長が1cm以上の光学フッ化物結晶20を提供する工程、及び203〜207nmの範囲の203〜207nm検査波長に、λ<200nm光が透過する1cm以上の光学フッ化物結晶光透過経路長21を透過させる工程及び、経路長にわたる203〜207nm検査波長における吸収係数を測定して、50ppbより小さい鉛汚染物レベル測定値を与える工程及び、光学フッ化物結晶を、203〜207nmにおける吸収係数が0.0016cm−1より小さい、λ<200nm光光学素子Eの形にする工程を含む。結晶光透過経路長は10cm以上であることが好ましく、本方法は、約205nmの検査波長に、10cm以上の、λ<200nm光が透過する光学フッ化物結晶光透過経路長を透過させる工程及び、10cm以上の経路長にわたる約205nmにおける吸収係数を測定して、20ppbより小さい鉛汚染物レベル測定値を与える工程、及び光学フッ化物結晶を、205nmにおける吸収係数が0.0016cm−1より小さいλ<200nm光光学素子Eの形にする工程を含むことが好ましい。好ましい実施形態において、λ<200nm光が透過する光学フッ化物結晶20はフッ化カルシウムCaF2からなることが好ましい。好ましい実施形態において、λ<200nm光が透過する光学フッ化物結晶20はフッ化バリウムBaF2からなることが好ましい。図4に示されるような好ましい実施形態において、結晶20の経路長21を透過する200〜210nm検査波長は、製造工程において、最終製品の(結晶から形成される)λ<200nm光光学素子Eが0.0017cm−1より小さい200〜210nmにおける吸収係数を有するように、結晶内の鉛汚染物レベルを測定するために利用される。結晶20及び結晶20から形成される光学素子42の鉛汚染物レベル測定値は、20ppbより小さいことが好ましく、10ppbより小さいことがより好ましく、1ppbより小さいことがさらに好ましい。λ<200nm光が透過する光学フッ化物結晶20を提供する工程は、λ<200nm透過率が99%/cmより高いフッ化カルシウム結晶を提供する工程を含むことが好ましい。本方法は、汚染物レベル測定値が50ppbより小さい光リソグラフィ素子42を提供し、光学コーティングが結晶表面に施されることになる場合には、いかなるコーティングであってもそのようなコーティングが施される前に測定がなされることが好ましい。あるいは、λ<200nm光が透過する光学フッ化物結晶20を提供する工程は、λ<200nm透過率が99%/cmより高いフッ化バリウム結晶を提供する工程を含むことが好ましい。本方法は、汚染物レベル測定値が50ppbより小さく、200〜210nmにおける吸収係数が0.0017cm−1より小さい、光リソグラフィ素子42を提供し、光学コーティングが結晶表面に施されることになる場合には、いかなるコーティングであってもそのようなコーティングが施される前に測定がなされることが好ましい。
本発明は、λ<200nm光が透過する光学フッ化物結晶20の作成方法を含む。本方法は、融成固体フッ化カルシウム結晶を提供する工程及び固体フッ化カルシウム結晶を溶融してフッ化カルシウム融液を形成する工程及びλ<200nm光を透過させるための光学フッ化カルシウム結晶を提供するために融液からフッ化カルシウム結晶を成長させる工程を含む。本方法は、200〜210nmの範囲の透過率検査波長を発生させるための光源及び検査波長における透過率を測定するための透過光検出器を有する光透過200〜210nm光度計分光光度計を提供する工程及び、200〜210nmにおける吸収係数が0.0017cm−1より小さいλ<200nm光を透過させるための成長光学フッ化カルシウム結晶を用いて、200〜210nmの範囲の透過率検査波長によりフッ化カルシウム経路長における鉛汚染物レベルを測定する工程を含む。一実施形態において、200〜210nm分光計によりフッ化カルシウム内の鉛汚染物レベルを測定する工程は、融成固体フッ化カルシウム結晶内の鉛汚染物レベルを測定する工程を含む。一実施形態において、200〜210nm分光光度計22によりフッ化カルシウム内の鉛汚染物レベルを測定する工程は、フッ化カルシウム融液から成長したフッ化カルシウム結晶内の鉛汚染物レベルを測定する工程を含む。一実施形態において、フッ化カルシウム内の鉛汚染物レベルは、光学コーティングが施される以前に結晶が光学素子Eの形であるときに、200〜210nm分光計により測定される。一実施形態において、フッ化カルシウム内の鉛汚染物レベルは、粉砕されて粒子形態になる前及び/または大きな固体ブロックから小片に粉砕される粉砕プロセス中に測定される。結晶作成プロセスにおける鉛汚染物レベルの測定及びモニタにより、鉛ppb汚染物励起レベルが、50ppbより小さいことが好ましく、20ppbより小さいことがより好ましい、λ<200nm光を透過させるための成長光学フッ化カルシウム結晶が得られることが好ましい。成長光学フッ化物結晶20の鉛ppb汚染物レベルは10ppbより小さいことが好ましく、1ppbより小さいことが好ましい。図5は、制御雰囲気真空結晶化炉110に相互に連結された黒鉛るつぼ90及び最上段貯留るつぼ100が積み重ねられて装填されている、本発明の一実施形態を示す。中段るつぼには緻密な融成固体フッ化カルシウム結晶ディスク80が装填されている。融成固体フッ化カルシウム結晶ディスク80は、精製されて緻密化されたCaF2であり、高純度原材料がフッ素化剤とともに加熱されて溶融されることにより精製されて緻密化される融成プロセスで得られることが好ましい。一実施形態において、融成固体フッ化カルシウム結晶は、結晶材料から揮発性の鉛と酸素の生成物を除去するように操作される制御雰囲気真空炉を用いて、フッ化カルシウムとともにフッ素化剤としてPbF2を利用する、融成精製及び緻密化により得られる。図5に示されるような一実施形態において、炉には、フッ化鉛のようなフッ素化剤を含むことができるフッ化カルシウム粉末粒子70を装填することもできる。結晶成長炉110に装填された融成固体フッ化カルシウム結晶はるつぼ内で溶融されてフッ化カルシウム融液になり、次いで、ストックバーガー結晶成長プロセスにおける温度勾配を通過する降下のような、結晶成長炉内での融液の徐冷によりフッ化カルシウム融液からフッ化カルシウム結晶20が成長する。図6〜10に示される本発明の別の実施形態においては、種結晶受け64内に選択結晶軸方位種結晶60を有する成長るつぼ62が利用される。融成固体フッ化カルシウム結晶粒子52がるつぼ62内に装填される。融成固体フッ化カルシウム結晶入りの結晶成長るつぼが、高温上部溶融ゾーン8及び結晶成長固化のための温度勾配を与える熱バッフル14を備える光学フッ化物結晶成長炉110内に装填される。るつぼ62内に装填された固体フッ化カルシウム結晶は炉110の高温ゾーン内で溶融されて、フッ化カルシウム融液66を形成する。バッフル14の結晶成長固化ゾーンを通して降下させることにより融液66から光学フッ化カルシウム結晶20が成長してλ<200nm光を透過させるための光学フッ化物結晶20が得られる。本方法は、融成固体フッ化カルシウム結晶80内、成長結晶20内及び種結晶60内などのフッ化カルシウム内の鉛汚染物レベルを測定するために200〜210nm透過分光計22を利用することによる、結晶20の作成工程を含む。200〜210nm分光計22は、200nmより短波長において高い透過率及び優れた光学特性を提供するために最終製品結晶20及びその光学素子Eから除去される必要があるフッ化カルシウム内含有鉛を、フッ素化剤としてフッ化鉛が用いられる場合は特に、測定、モニタ及び制御するために、結晶製造プロセスを通して利用されることが好ましい。200〜210nm分光計によるフッ化カルシウムの鉛汚染物レベル測定は、重量で、50ppbより小さく、好ましくは20ppbより小さく、好ましくは10ppbより小さく、より好ましくは1ppbより小さい、測定値を得るために利用される。200〜210nm分光計によるフッ化カルシウムの鉛汚染物レベル測定値は、結晶の高鉛汚染物レベル領域を識別し、そのような領域を不合格領域として光学フッ化物結晶光学素子作成プロセスから排除するために利用することができる。図11に示されるように、鉛汚染物レベル測定値は、200〜210nmにおける吸収係数が0.0017cm−1より大きい高汚染物局所結晶領域132を識別し、そのような高鉛汚染物領域132を、以降の分割光学素子ブランクプリフォーム結晶20及びブランクプリフォーム結晶20から作成される光学素子42への処理から排除するために利用することができる。図12〜13cに示されるように、粉砕機56及び58を用いる粉砕プロセスから得られる高純度融成固体粒子を提供するために融成固体52内の高鉛汚染物局所結晶領域50を識別するため、測定値を利用することができる。高汚染物領域50は、200〜210nmにおける吸収係数が0.0017cm−1より大きい領域として200〜210nm透過分光光度計により識別することができ、粉砕プロセス中に低鉛汚染物領域から除去することができて、分割された低鉛不純物融成固体52を作成することができる。200〜210nm透過率測定値は、200〜210nmにおける吸収係数が0.0017cm−1より小さく、好ましくは203〜207nmにおける吸収係数が0.0017cm−1より小さく、より好ましくは205nmにおける吸収係数が0.0017cm−1より小さい、成長フッ化カルシウム結晶及び成長フッ化カルシウム結晶から形成される光学素子を得るために、鉛レベルが100ppbより低いことが好ましく、鉛レベルが50ppbより低いことが好ましい、フッ化カルシウムを提供するために利用されることが好ましい。200〜210nmにおいて200〜210nm分光光度計を利用して、鉛不純物レベルのモニタ及び測定を行いながら光学フッ化物結晶を作成し、光学フッ化物結晶から光学素子を作成する、そのような方法は、99%/cmより高いλ<200nm光の透過率、最も好ましくは99%/cmより高い157nm光透過率を含む、優れた光学特性を有する高品質結晶を提供する。光学フッ化物結晶の本作成方法により、鉛レベルが、50ppbより低く、より好ましくは20ppbより低く、さらに好ましくは10ppbより低く、一層好ましくは1ppbより低いフッ化物結晶、最も好ましくは、重量で鉛ppb励起レベルが1ppbより低い、λ<200nm光が透過するフッ化カルシウム素子がつくられる。本発明はλ<200nm光が透過する光学フッ化物結晶を含む。光学フッ化物結晶20は、λ<200nm光の透過率が99%/cmより高く、好ましくは157nm光透過率が99%/cmより高く、鉛レベルが50ppbより低く、200〜210nmにおける吸収係数が0.0017cm−1より小さく、より好ましくは203〜207nmにおける吸収係数が0.0017cm−1より小さく、最も好ましくは205nm光吸収係数が0.0016cm−1より小さい、フッ化カルシウムからなる。鉛レベルは、重量で、10ppbより低いことが好ましく、1ppbより低いことがさらに好ましい。本発明の鉛分析法は、最終製品光学素子に至るまでの光学フッ化物結晶光学素子製造プロセスを通して利用することができる。
本発明は、λ<200nm光が透過する光学フッ化物結晶20の作成方法を含む。本方法は、融成固体フッ化バリウム結晶を提供する工程及び固体フッ化バリウム結晶を溶融させてフッ化バリウム融液を形成する工程及びλ<200nm光を透過させるための光学フッ化バリウム結晶を提供するために融液からフッ化バリウム結晶を成長させる工程を含む。本方法は、200〜210nmの範囲の透過率検査波長を発生させるための光源及び検査波長の透過率を測定するための透過光検出器を有する光透過200〜210nm分光光度計を提供する工程及び、200〜210nmにおける吸収係数が0.0017cm−1より小さいλ<200nm光を透過させるための成長光学フッ化バリウム結晶を用いて、200〜210nmの範囲の透過率検査波長によりフッ化バリウム光経路長における鉛汚染物レベルを測定する工程を含む。一実施形態において、200〜210nm分光計によりフッ化バリウム内の鉛汚染物レベルを測定する工程は、融成固体フッ化バリウム結晶内の鉛汚染物レベルを測定する工程を含む。一実施形態において、200〜210nm分光光度計22によりフッ化バリウム内の鉛汚染物レベルを測定する工程は、フッ化バリウム溶液から成長したフッ化バリウム結晶内の鉛汚染物レベルを測定する工程を含む。一実施形態において、フッ化バリウム内の鉛汚染物レベルは、光学コーティングが施される以前に結晶が光学素子Eの形であるときに、200〜210nm分光計により測定される。一実施形態において、フッ化バリウム内の鉛汚染物レベルは、粉砕されて粒子形態にされる前及び/または大きな固体ブロックから小片に粉砕される粉砕プロセス中に測定される。結晶作成プロセスにおける鉛汚染物レベルの測定及びモニタにより、鉛ppb汚染物レベルが、50ppbより低いことが好ましく、20ppbより低いことがより好ましい、λ<200nm光を透過させるための成長光学フッ化バリウム結晶が得られることが好ましい。成長光学フッ化物結晶20の鉛ppb汚染物レベルは10ppbより低いことが好ましく、1ppbより低いことが好ましい。図5は、制御雰囲気真空結晶化炉110に相互に連結された黒鉛るつぼ90及び最上段貯留るつぼ100が積み重ねられて装填されている本発明の一実施形態を示す。中段るつぼには緻密な融成固体フッ化バリウム結晶ディスク80が装填されている。融成固体フッ化バリウム結晶ディスク80は、精製されて緻密化されたBaF2であり、高純度原材料がフッ素化剤とともに加熱されて溶融されることにより精製されて緻密化される融成プロセスで得られることが好ましい。一実施形態において、融成固体フッ化バリウム結晶は、結晶材料から揮発性の鉛と酸素の生成物を除去するように操作される制御雰囲気真空炉を用いて、フッ化バリウムとともにフッ素化剤としてPbF2を利用する融成精製及び緻密化により得られる。図5に示されるような、一実施形態において、炉には、フッ化鉛のようなフッ素化剤を含むことができるフッ化バリウム粉末粒子70を装填することもできる。結晶成長炉110に装填された融成固体フッ化バリウム結晶はるつぼ90及び100内で溶融されてフッバリウム融液になり、次いで、ストックバーガー結晶成長プロセスにおける温度勾配を通過する降下のような結晶成長炉内での融液の徐冷により、フッ化バリウム結晶20がフッ化バリウム融液から成長する。図6〜10に示される本発明の別の実施形態においては、種結晶受け64内に選択結晶軸方位種結晶60を有する成長るつぼ62が利用される。融成固体フッ化バリウム結晶粒子52がるつぼ62内に装填される。融成固体フッ化バリウム結晶を入れている結晶成長るつぼが、高温上部溶融ゾーン8及び結晶成長固化のための温度勾配を与える熱バッフル14を備える光学フッ化物結晶成長炉110内に装填される。るつぼ62内に装填された固体フッ化バリウム結晶は炉110の高温ゾーン内で溶融されて、フッ化バリウム融液66を形成する。バッフル14の結晶成長固化ゾーンを通して降下させることにより融液66から光学フッ化バリウム結晶20が成長して、λ<200nm光を透過させるための光学フッ化物結晶20が得られる。本方法は、融成固体フッ化バリウム結晶80内、成長結晶20内及び種結晶60内などのフッ化バリウム内の鉛汚染物レベルを測定するために光透過200〜210nm分光計22を利用することによる、結晶20の作成工程を含む。200〜210nm分光光度計22は、200nmより短波長において高い透過率及び優れた光学特性を提供するために最終製品結晶20及びその光学素子Eから除去される必要があるフッ化バリウム内含有鉛を、フッ素化剤としてフッ化鉛が用いられる場合は特に、測定、モニタ及び制御するために、結晶製造プロセスを通して利用されることが好ましい。200〜210nm分光計によるフッ化バリウムの鉛汚染物レベル測定は、重量で、50ppbより小さく、好ましくは20ppbより小さく、好ましくは10ppbより小さく、より好ましくは1ppbより小さい、測定値を得るために利用される。200〜210nm分光光度計によるフッ化バリウムの鉛汚染物レベル測定値は、結晶の高鉛汚染物レベル領域を識別し、そのような領域を不合格領域として光学フッ化物結晶光学素子作成プロセスから排除するために利用することができる。図11に示されるように、鉛汚染物レベル測定値は、200〜210nmにおける吸収係数が0.0017cm−1より大きい高汚染物局所結晶領域132を識別し、そのような高鉛汚染物領域132を、以降の、分割光学素子ブランクプリフォーム結晶20及びブランクプリフォーム結晶20から作成される光学素子42への処理から、排除するために利用することができる。図12〜13cに示されるように、粉砕機56及び58を用いる粉砕プロセスから得られる高純度融成固体粒子を提供するために融成固体52内の高鉛汚染物局所結晶領域50を識別するため、測定値を利用することができる。高汚染物領域50は、200〜210nmにおける吸収係数が0.0017cm−1より大きい領域として200〜210nm分光計により識別することができ、粉砕プロセス中に低鉛汚染物領域から除去することができて、分割された低鉛不純物融成固体52を作成することができる。200〜210nm分光光度計測定値は、200〜210nmにおける吸収係数が0.0017cm−1より小さく、好ましくは203〜207nmにおける吸収係数が0.0017cm−1より小さく、より好ましくは205nmにおける吸収係数が0.0017cm−1より小さい、成長フッ化バリウム結晶及び成長フッ化バリウム結晶から形成される光学素子を得るために、鉛レベルが100ppbより低いことが好ましく、鉛レベルが50ppbより低いことが好ましいフッ化バリウムを提供するために利用されることが好ましい。200〜210nmにおいて200〜210nm分光計を利用して、鉛不純物レベルの測定及びモニタを行いながら光学フッ化物結晶を作成し、光学フッ化物結晶から光学素子を作成する、そのような方法は、99%/cmより高いλ<200nm光の透過率、最も好ましくは99%/cmより高い157nm光透過率を含む、優れた光学特性を有する高品質結晶を提供する。光学フッ化物結晶の本作成方法により、鉛レベルが、50ppbより低く、より好ましくは20ppbより低く、さらに好ましくは10ppbより低く、一層好ましくは1ppbより低いフッ化物結晶がつくられ、最も好ましくは、鉛ppb励起レベルが重量で1ppbより低い、λ<200nm光が透過するフッ化バリウム素子がつくられる。本発明はλ<200nm光が透過する光学フッ化物結晶を含む。光学フッ化物結晶20は、λ<200nm光の透過率が99%/cmより高く、好ましくは157nm光透過率が99%/cmより高く、鉛レベルが50ppbより低く、200〜210nmにおける吸収係数が0.0017cm−1より小さく、より好ましくは203〜207nmにおける吸収係数が0.0017cm−1より小さく、最も好ましくは205nm光吸収係数が0.0016cm−1より小さい、フッ化バリウムからなる。鉛レベルは、重量で、10ppbより低いことが好ましく、1ppbより低いことがさらに好ましい。本発明の鉛分析法は、最終製品光学素子に至るまでの光学フッ化物結晶光学素子製造プロセスを通して利用することができる。
本発明は、200nm〜210nmの範囲にある、与えられた波長、好ましくは203nm〜207nmの範囲にある波長、さらに好ましくは205nmである波長における、結晶の透過率測定による、光学フッ化物結晶の鉛に対する純度に関する検査を含む。測定光ビームが通過する結晶長は、2mmより長いことが好ましく、1cmより長いことが好ましく、測定光ビームが通過する結晶長は少なくとも10cmであることがより好ましい。検査下にある結晶の純度を評価するため、本方法は透過率測定値または透過率測定値から計算される吸収係数値を基準値と比較する工程を含むことが好ましく、計算で得られた結晶の吸収係数を0.0017cm−1と比較することが好ましい。本方法は検査下にある結晶の鉛含有量を評価する工程を含む。結晶は、NaF,KF,LiF,CaF2,BaF2,MgF2,SrF2,及びこれらの組合せの混晶のような、アルカリ金属フッ化物結晶、アルカリ土類金属フッ化物結晶及びそのようなフッ化物結晶の組合せの混晶から選ばれることが好ましい。光透過経路長が少なくとも99mm(約100mm)の結晶について測定がなされる、好ましい実施形態において、本方法は、200〜210nm(好ましくは203〜207nm,より好ましくは約205nm)における鉛汚染物レベル吸収係数が0.0017cm−1より小さく、好ましくは0.0016cm−1より小さく、好ましくは0.0015cm−1より小さく、好ましくは0.0010cm−1より小さく、好ましくは0.00085cm−1より小さく、好ましくは0.0007cm−1より小さく、好ましくは0.00065cm−1以下であり、好ましくは0.0004cm−1より小さく、好ましくは0.0003cm−1より小さく、好ましくは0.0002cm−1より大きく、好ましくは0.00025cm−1より大きく、好ましくは0.00025cm−1〜0.0003cm−1の範囲にある、光学フッ化物結晶を提供するために利用される。図17は、本発明にしたがう、PbのA吸収帯のスペクトル範囲(200〜210nm)における光学フッ化物結晶の吸収スペクトルである。図17の光学フッ化物結晶試料は光透過経路長が50mmのフッ化カルシウム結晶試料である。図18の光学フッ化物結晶試料は光透過経路長が10cmのフッ化カルシウム結晶試料である。図18は、205nmにおけるペデスタルの大きさを定めるために約195〜220nmの走査範囲を利用して,約205nmを中心とする波長走査による極めて低い鉛汚染レベルの検出にペデスタルが本発明にしたがってどのように用いられるかを示す。図18に、鉛の吸光度(0.0065)が205nmにおけるペデスタルの大きさのほぼ10分の1であることが示されている。図18において、ペデスタルは表面損失及び他の何らかの内部吸収からなり、195〜200nmの走査が鉛の205nm吸光度の正しい測定に役立っている。信号対雑音比に基づくと、約0.002の鉛吸光度が最小吸光度であることがわかる。10cmの試料光透過経路長に対する最小吸収係数は、0.002/10cm=0.0002cm−1と計算することができる。吸光係数ε=0.25cm−1/ppmを考えれば、この吸収係数は約1ppbの鉛濃度に相当する。図18において、205nmにおける10cmの光透過経路長に対する吸光度は0.0065であり、よって0.00065cm−1(0.0065/10cm=0.00065cm−1)の吸収係数が与えられる。0.00065cm−1の吸収係数を用いれば、鉛濃度の測定値は2.6ppbである[(0.00065cm−1)(1ppm鉛/0.25cm−1)=2.6ppb鉛]。
以下の実施例により本発明をさらに明解に説明する。
本発明の実施においては、パーキン−エルマー(Perkin-Elmer)ラムダ−900分光光度計(Perkin-Elmer Analytical Instruments, 710 Bridgeport Avenue Shelton, CT 06484-4794 USA, 電話: 203-925-4600, 800-762-4000, (+1)203-762-4000)などの200〜210nm分光計22が利用される。一実施形態において、光源24はキセノンアークランプを備える。好ましい実施形態において、光源24は重水素ランプを備える。本発明は(湿式化学工程及びICP-AESによるような消耗/破壊検査と比較して)、非破壊/非溶解/非消耗検査を提供する点で好ましい。一実施形態において、本発明は、(長さが少なくとも50mmで面間平行度が1°より高いことが好ましい)面が研磨された結晶試料をより大きな結晶塊から取り出す工程を含む。測定サイズの試料片が切り出され、研磨されて、200〜210nm分光計に分光計内での測定のために挿入される。本発明は、200〜210nm透過率測定に基づき、鉛濃度が100ppbより十分に低く、好ましくは1ppbより低い、フッ化カルシウム結晶を提供する。本発明は、λ<200nm光透過率が157nmにおいて99%/cmより高く、Na不純物レベルが重量で0.5ppmより低く、K不純物レベルが重量で0.5ppmより低く、200〜210nm分光計測定による、200〜210nmにおける吸収係数が0.0017cm−1より小さくて、鉛レベルが10ppbより低い、フッ化カルシウムの、λ<200nm光が透過する光学フッ化物結晶を提供する点で好ましい。
本発明は、200nmと210nmの間の範囲におけるフッ化物結晶鉛不純物吸収を測定することによる、200nmより短波長における用途に用いるためのフッ化物結晶の結晶品質の管理を提供する。フッ化物結晶は、高い光透過率のため、200nmより短波長における用途のための光学材料として優れた特性を示す。しかし、これは、特に酸素不純物を含まない結晶だけに当てはまる。特に波長193nm及び157nm(それぞれArF及びF2レーザの発光波長)におけるフッ化物結晶の透過率は、結晶内に酸素種が存在するとかなり低下し得る。優れた透過率特性を有するフッ化物結晶を得るためには、フッ化鉛掃去剤などの結晶原材料から酸素種を除去するための掃去剤を添加することが好ましい。フッ化鉛掃去剤は効果的にOを除去するが、掃去後に元素鉛Pbが結晶内に残留する可能性がある。鉛不純物は、200nmより短波長における結晶の透過率特性に悪影響を与える。特に、157nmにおける透過率は、結晶内に鉛不純物が存在すると極端に低下する。
193nm及び157nmにおける内部透過率の測定による、製造された結晶の品質評価は、パージまたは真空の適用による無水分分光光度計と試料表面の特別な清浄化とを必要とする複雑な手順である。そのような手順は結晶製造コストを高める。発明者等は、フッ化物結晶を、約200nm、好ましくは200nmと210nmの間におけるPb吸収を、好ましくは試料経路長が少なくとも約100mmであるときに、1ppbの検出限界で測定することによる200nmより短波長における透過率に関する管理を提案する。フッ化物結晶、特にPbがドープされたアルカリ土類フッ化物の特徴は、3つの吸収帯、A(200〜210nm),B(160〜170nm)及びC(150〜160nm)である。これらの吸収帯は、Pb2+イオンの基底状態1S0から、励起状態3P1,3P2及び1P1のそれぞれへの電子遷移に起因する。本発明にしたがい、発明者等はA吸収帯(200〜210nm)におけるPb吸収/透過を測定することによりフッ化物結晶を品質管理する。発明者等は、C帯(155nm)におけるPb吸収係数の最大値がA帯(205nm)における吸収係数の最大値よりほぼ2.5倍大きいことを見いだした。この関係に基づき、ε(155nm)=6.25×10−4cm−1/ppbの、155nmにおけるC帯に対する吸光係数を得ることができる。比較のため、ICP-AESでもPbを分析することができる。しかし、この方法は試料を汚染する“湿式化学”工程を要し、この方法の検出限界が1ppmより優れることはない。
157nmにおいて99.0%/cmより高い光学素子フッ化物結晶透過率を得るためには、好ましくは、200nmと210nmの間でのPb吸収係数が0.0017cm−1(底10)より小さくなるべきである。
本発明は試料経路長に沿う平均Pb濃度に関する光学フッ化物結晶情報を提供する。
本発明は、高純度で、200nmより短波長において優れた光学特性を有し、鉛レベルが低い高品質光学フッ化物結晶の検査及び作成方法を提供する。本発明は、鉛及び酸素汚染物レベルのいずれもが低い、フッ化カルシウムのような光学フッ化物結晶の作成方法及び、ArF及びF2レーザ波長(それぞれ193nm及び153nm)の透過のための、λ<200nm光が透過する光学フッ化物結晶素子の作成方法、好ましくは、フッ素化剤/酸素掃去剤としてフッ化鉛を利用するが、それでも鉛汚染レベルが低い光学フッ化物結晶及び光学フッ化物結晶光学素子が得られるような作成方法を提供する。本発明の光学フッ化物結晶は、(193nm及び157nmのような)λ<200nm光の透過率が99%/cmより高く、好ましくは、リソグラフィ及びレーザ光学系、プリズム、投影システム及び照明システムなどのλ<200nm光光学素子として利用される。本発明の光学フッ化物結晶には、好ましくは、LiF,NaF,CaF2,SrF2,BaF2及びMgF2の結晶及びこれらの混晶、特にCaF2とSrF2の混晶、最も好ましくは混晶ではない純CaF2結晶または純BaF2結晶または純SrF2結晶がある。本発明の好ましい実施形態においては、PbF2のようなフッ素化剤/酸素掃去剤化合物が、結晶内の酸素含有サイト数を減少させるために、光学フッ化物結晶の作成に用いられる。フッ化鉛は酸素の除去及び200nmより短波長で用いられる光学系の改善に利するが、フッ化物結晶が200nmより短波長で用いられる場合には、鉛はフッ化物結晶に特に望ましくない不純物である。鉛で汚染された結晶では特に157nmにおける透過率の著しい低下という問題が生じ得るし、鉛で汚染された結晶は、ArF及びF2エキシマータイプのレーザからの光にさらされると、200nmより短波長において吸収を示す。
鉛に関する結晶の純度を評価するための本発明の検査方法は、そのような結晶が用いられる波長である波長157nm及び/または193nmにおける結晶の光透過誘起吸収(すなわちレーザ硬度)の測定に関わる。そのような測定は実施が困難である。そのような200nmより短い波長においては、試料を空気及び水分から保護しなければならない。このため、試料を収めているチャンバをパージするか高真空下に保つこと必要となり、あるいは検査装置全体を空気及び水分がない環境に維持するべきである。さらに、レーザ硬度の従来の検査方法は、エキシマーレーザ装置自体のコストのため並びに200nmより短波長のエキシマーレーザの運転及び維持コストのために費用がかかり、したがって、光学フッ化物結晶製造システムの工業設備環境における経済的使用に適していない。誘導結合プラズマ(ICP)法を用いる微量元素分析方法による鉛の定量分析のための提案は、ニコン社(Nikon Corporation)の名義の特開平12−119098号公報にも開示されている。しかし、この方法は、試料を汚染する危険がある湿式化学工程を要する。測定装置は誘導結合プラズマ標準試料を用いて較正されなければならず、これでは、同様に汚染される結果となり、したがって測定品質を低下させる危険を負っている。いずれにしても、含まれる多数の工程に作業者エラー及び装置ドリフトの入る余地がある。さらに、鉛は結晶内に分散し得るから、数点で分析を行う必要がある。そのようなタイプの方法では、鉛不純物検出限界は1ppmより高くはない。本発明は、光学フッ化物結晶の製造及び光学フッ化物結晶からの光学素子の製造に特に有用な、鉛に関する純度についてフッ化物結晶を検査する新しい方法を提供する。本発明は、確実かつ実施が容易な検査を提供する。本発明は、測定波長の、使用波長(157nm及び/または193nm)から離れた、200nm〜210nmの範囲の波長、好ましくは203nm〜205nmの範囲の波長、さらに好ましくは205nmの単波長への移行を含む。
本発明のλ<200nm光が透過する光学フッ化物結晶素子の作成方法は、200〜210nmの範囲における光学フッ化物結晶の透過率を測定する工程を含む。この測定された透過率は、それ自体は測定されず、200nmより短波長のエキシマーレーザ露光に関するコスト及び複雑性の観点から回避されることが特に好ましい、200nmより短い使用波長(157nm及び/または193nm)における透過率と相関(比例)する。意外にも、200nm〜210nmの範囲にある波長における透過率により、鉛の存在の検出及び、確度及び精度が優れた、このタイプの結晶内の鉛含有量の定量化が可能になることがわかった。
本発明にしたがい、図14は鉛ドープBaF2結晶の120nm〜220nmの範囲における透過スペクトルである。このスペクトルは、鉛で汚染された結晶の157nmにおける吸収係数が、意外にも、200nm〜210nmの範囲で測定される吸収係数より約3倍大きいことを示す。鉛で汚染された結晶の157nmで測定される吸収係数の、鉛で汚染された結晶の200nm〜210nmの範囲で測定される吸収係数に対する比を一般の光学フッ化物結晶に一般化して、発明者等はこの比の値が2.5〜3の範囲にあることを見いだした。この値は、検査測定波長(200nm〜210nm)における光学フッ化物結晶の透過率値と光学フッ化物結晶の使用波長(157nm及び/または193nm)における光学フッ化物結晶の透過率値の間の相関を与え、これらの透過率値は、意外にも、同じオーダーの大きさである。計算の目的に最悪の状況を考えれば(上記の比の値を2.5とすれば)、本発明にしたがい、波長157nm(検査下にある結晶に対するリソグラフィ/レーザ使用条件)において99%/cmより高い透過率を得るためには200nm〜210nmの範囲にある波長において0.0017cm−1より小さい吸収係数を得る必要がある。本発明の検査は、UV領域の波長で動作する標準的分光光度測定装置上において空気中で実施するに適するという利点を有する。
意外なことに、本発明により、鉛不純物の測定確度を高めることも、鉛不純物レベルが低く、200nm〜210nmの範囲にある波長において0.0017cm−1より小さい吸収係数をもつ、高光学品質光学フッ化物結晶素子の作成能力を増進することもできる。(200nm〜210nmの範囲にある)検査波長で得られる透過率値と使用波長(157nm及び193nm)で得られる透過率値の間の比例定数を得るために、発明者等は、鉛不純物を様々な濃度で含有しているCaF2の吸収を波長205nmを用いて測定した(図15)。測定は、そのようなCaF2結晶についての鉛の吸光係数が鉛1ppmあたり約0.30cm−1であることを示す。本発明の検出限界は、光学フッ化物結晶内の鉛に対してppbオーダーである。157nmにおいて、1ppbは0.0003cm−1の吸収に相当し、これは、標準的分光測光で検出できる減衰レベルである0.1%/cmの透過率に相当する。発明者等は、光ビームが通過する光学フッ化物結晶試料の経路長を大きくすることにより、光学フッ化物結晶内の鉛汚染物レベルに対する検査の検出限界が向上することを見いだした。本発明の好ましい実施形態において、少なくとも2mm、好ましくは1cm以上、より好ましくは少なくとも10cmの光学フッ化物結晶経路長が、200nm〜210nmの範囲の検査波長における透過吸収係数検査に利用される。
発明者等は、1ppbより多くの鉛を含有するCaF2試料において、200〜210nmの範囲の吸収データに基づいてPbの濃度を決定できることを見いだした。この結果は、波長205nmにおけるPb吸収が一組のCaF2試料についてのPb含有量(化学分析データ)に対してプロットされている図16のデータにより確証される。この線形従属性の傾きから、ε(205nm)=2.5×10−4cm−1/ppbが得られる。1〜10ppbの範囲のPb含有量を評価するためには、光透過経路に沿う試料長が100mm以上となることが好ましいことに注意すべきである。
新しい検査方法の実施は、フッ化物結晶の、使用波長、すなわち157nm及び/または193nmにおける光透過品質に関する(測定された透過率値または透過率測定値から計算された吸収係数値を基準値と比較することによる)品質評価である。そのような品質評価は200nm〜210nmの範囲にある波長において実施され、得られた吸収係数が1.7×10−3cm−1と好便に比較される。得られた吸収係数がこの値より小さければ、157nmにおける結晶の透過率は99%/cmより高い。本発明にしたがえば、本検査方法は、λ<200nm光が透過する光学素子及び光学フッ化物結晶の作成における品質管理として利用される。本発明にしたがう検査方法の別の実施においては、光学フッ化物材料に存在する鉛不純物のレベルが、経済的に実行できる態様で、結晶製造過程を通して定量化される。本発明は、光学フッ化物結晶内の、ppbレベルでしかない低い鉛濃度を測定するために用いることができる。そのような定量化は、200nm〜210nmの範囲にある波長、好ましくは203nm〜207nmの範囲にある波長、より好ましくは205nmを中心とする波長(205±1nm、さらに好ましくは205±0.5nm)における結晶の透過率を測定することにより実施される。200nmより長波長で測定された透過率により、適切な較正曲線図を用いることで鉛含有量を決定することが可能になる。本発明の試験方法はアルカリ金属フッ化物結晶、アルカリ土類金属フッ化物結晶及びそのようなフッ化物結晶の組合せの混晶から選ばれる光学フッ化物結晶での実施に特に適している。本検査方法は、NaF,KF,LiF,CaF2,BaF2,MgF2,SrF2の結晶、及びこれらの組合せ混晶に実施されることが好ましい。例として、上記結晶の組合せ混晶には、M1及びM2がBa,CaまたはSrから重複せずに選ばれ、xが0≦x≦1であるような、化学式(M1)x(M2)1−xF2を有する組合せ、x及びyが0≦x≦1,0≦y≦1であるような、化学式Ca1−x−yBaxSryF2を有する組合せがあり、また、MをLi,NaまたはKから選ぶことができ、RをCa,Sr,BaまたはMgから選ぶことができる化学式MRF3を有する組合せもある。
本発明は添付図面を参照して上で説明され、添付図面において、図14は鉛で汚染されたBaF2結晶の(120nm〜220nmの範囲における)透過スペクトルを示し、図15は様々な量(ppmレベル)のPbを含有するCaF2による205nmにおける吸収(cm−1)の変化を示す。
本発明の精神及び範囲を逸脱することなく本発明に様々な改変及び変形がなされ得ることが当業者には明らかであろう。したがって、本発明の改変及び変形が添付される特許請求事項及びそれらの等価物の範囲内に入れば、本発明はそのような改変及び変形を包含するとされる。
17 研磨面
19 チャンバ試料ホルダ
20 光学フッ化物結晶
21 経路長
22 光吸収帯測定システム分光光度計
23,25 窓
24 光源
28 透過光検出器
34 波長セレクタ
42 光学素子
19 チャンバ試料ホルダ
20 光学フッ化物結晶
21 経路長
22 光吸収帯測定システム分光光度計
23,25 窓
24 光源
28 透過光検出器
34 波長セレクタ
42 光学素子
Claims (12)
- 200nmより短波長の光が透過する光学フッ化物結晶内の1ppmより低い鉛不純物レベルを検出する方法において、
2mm以上の結晶光透過経路長を有する、200nmより短波長の光が透過する光学フッ化物結晶を提供する工程、
200〜210nmの範囲の透過率検査波長を発生させるための光源及び前記結晶を透過する前記検査波長の透過率を測定するための透過光検出器を有する光透過分光光度計を提供する工程、及び
前記200〜210nm検査波長に前記結晶光透過経路長を透過させ且つ前記検査波長の前記経路長透過率を測定して900ppbより低い鉛ppb不純物レベル測定値を有する結晶を提供する工程、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記光源が広波長帯光源であり、前記200〜210nm検査波長を選択するためのモノクロメータまたはフィルタを備えていることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記経路長を透過する前記検査波長が203〜207nmの範囲にあり、前記203〜207nm検査波長の前記経路長の透過率の測定が500ppbより小さい鉛ppb不純物レベル測定値を与えることを特徴とする請求項1または2に記載の方法。
- 前記経路長を透過する前記検査波長が205nmであり、前記205nm検査波長の前記経路長の透過率の測定が300ppbより小さいppbレベル測定値を与えることを特徴とする請求項1または2に記載の方法。
- 前記光学フッ化物結晶が1cm以上の透過経路長を有し、前記検査波長の前記1cm以上の経路長の透過により100ppbより小さい鉛ppb不純物レベル測定値が得られることを特徴とする請求項1または2に記載の方法。
- 前記光学フッ化物結晶が10cm以上の透過経路長を有し、前記検査波長の前記10cm以上の透過経路長の透過により50ppbより小さい鉛ppb不純物レベル測定値が得られることを特徴とする請求項1または2に記載の方法。
- 200nmより短波長の光を透過させるための光学フッ化物結晶内の1ppmより低い鉛不純物レベルを測定する方法において、
b≧1cmである結晶光透過経路長bを有する、200nmより短波長の光が透過する光学フッ化物結晶を提供する工程、
200〜210nmの検査波長を発生させるための光源及び前記結晶経路長を透過した光を検出して前記検査波長における吸収係数を計算するための検出器を有する透過分光光度計を提供する工程、及び
前記検査波長に前記b≧1cmの経路長を透過させ且つ前記検査波長における吸収係数を測定して、0.0017cm−1より小さい鉛汚染物レベル吸収係数を与える工程、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記検査波長が203〜207nmの範囲にあり、前記1cm以上の経路長にわたる前記203〜207nm検査波長における吸収係数を測定して、0.0016cm−1より小さい鉛汚染物レベル吸収係数を与えることを特徴とする請求項7に記載の方法。
- 前記検査波長が205nmであり、前記1cm以上の経路長にわたる前記205nm検査波長における吸収係数を測定して、0.0015cm−1より小さい鉛汚染物レベル吸収係数を与えることを特徴とする請求項7に記載の方法。
- 50ppbより小さい鉛汚染物レベル吸収係数不純物測定値を与えるために、前記結晶光透過経路長が10cm以上であることを特徴とする請求項7に記載の方法。
- 200nmより短波長における透過率が99%/cmより高く、鉛レベルが50ppbより低く、200〜210nmにおける鉛汚染物レベル吸収係数が0.0017cm−1より小さい、200nmより短波長の光が透過する光学フッ化物結晶において、
前記フッ化物結晶がフッ化カルシウムまたはフッ化バリウムであることを特徴とする光学フッ化物結晶。 - 前記フッ化物結晶の205nm鉛汚染物レベル吸収係数が0.0016cm−1より小さいことを特徴とする請求項11に記載の光学フッ化物結晶。
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