JP2005521796A - 化学蒸着のための蒸発した反応物を準備するための方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
Description
1)金属又はシリコン化合物からなり、その融点よりも高く且つ標準蒸発温度よりも実質的に低い温度にあることにより、液状をなす1つ又は複数のコーティング前駆体と、
2)駆動及び被駆動磁石並びに前記両磁石を互いに整合させるための構造を含む磁気駆動部分と、
3)蒸気を発生させるために、前記液状コーティング前駆体を連続的に注入されるべき入口を備えた蒸発室と、
4)前記磁気駆動部分に隣接して設けられ、その内部にガスを有するバリア部分と、
5)前記液体コーティング前駆体を前記蒸発室内で分配するための構造とを有し、前記構造が前記バリア部分を介して前記磁気駆動部分に連通していることを特徴とする装置により準備することができる。
1)金属又はシリコン化合物からなり、その融点よりも高く且つ標準蒸発温度よりも実質的に低い温度にあることにより、液状をなす1つ又は複数のコーティング前駆体と、
2)駆動及び被駆動磁石並びに前記両磁石を互いに整合させるための構造を含む磁気駆動部分と、
3)或る拡散速度を有する蒸気を発生させるために、前記液状コーティング前駆体を連続的に注入されるべき入口を備えた蒸発室と、
4)前記磁気駆動部分に隣接して設けられ、その内部に、前記蒸気の前記拡散速度よりも高い流速のバリアガスを有するバリア部分と、
5)前記液体コーティング前駆体を前記蒸発室内で分配するための構造とを有し、前記構造が前記バリア部分を介して前記磁気駆動部分に連通していることを特徴とする装置により準備することができる。
Claims (58)
- 蒸発した反応物を準備するための装置であって、
金属又はシリコン化合物からなり、その融点よりも高く且つ標準蒸発温度よりも実質的に低い温度にあることにより、液状をなす1つ又は複数のコーティング前駆体と、
駆動及び被駆動磁石並びに前記両磁石を互いに整合させるための構造を含む磁気駆動部分と、
蒸気を発生させるために、前記液状コーティング前駆体を連続的に注入されるべき入口を備えた蒸発室と、
前記磁気駆動部分に隣接して設けられ、その内部にガスを有するバリア部分と、
前記液体コーティング前駆体を前記蒸発室内で分配するための構造とを有し、
前記構造が前記バリア部分を介して前記磁気駆動部分に連通していることを特徴とする装置。 - 蒸発した反応物を準備するための装置であって、
金属又はシリコン化合物からなり、その融点よりも高く且つ標準蒸発温度よりも実質的に低い温度にあることにより、液状をなす1つ又は複数のコーティング前駆体と、
駆動及び被駆動磁石並びに前記両磁石を互いに整合させるための構造を含む磁気駆動部分と、
或る拡散速度を有する蒸気を発生させるために、前記液状コーティング前駆体を連続的に注入されるべき入口を備えた蒸発室と、
前記磁気駆動部分に隣接して設けられ、その内部に、前記蒸気の前記拡散速度よりも高い流速のバリアガスを有するバリア部分と、
前記液体コーティング前駆体を前記蒸発室内で分配するための構造とを有し、
前記構造が前記バリア部分を介して前記磁気駆動部分に連通していることを特徴とする装置。 - 前記バリアガスの前記流速により、前記前駆体蒸気が、前記バリア部分に連通するのを阻止することを特徴とする請求項2に記載の装置。
- 前記バリアガスの前記流速により、前記前駆体蒸気が、前記磁気駆動部分に連通するのを阻止することを特徴とする請求項2に記載の装置。
- 前記蒸発室が薄膜蒸発室からなることを特徴とする請求項2に記載の装置。
- 前記蒸発室が、液体領域及び蒸気領域を有することを特徴とする請求項2に記載の装置。
- 前記蒸発室が、前記液状コーティング前駆体を蒸発させるために加熱されることを特徴とする請求項2に記載の装置。
- 前記磁気駆動部分が、少なくとも1つの駆動磁石及び少なくとも1つの被駆動磁石を有することを特徴とする請求項2に記載の装置。
- 前記被駆動磁石が、前記蒸発室内にて前記分配構造に結合されていることを特徴とする請求項2に記載の装置。
- 前記被駆動磁石が、混合軸に結合されていることを特徴とする請求項9に記載の装置。
- 前記混合軸が、前記バリア部分を貫通し、前記蒸発室内に突入していることを特徴とする請求項10に記載の装置。
- 前記混合軸が、少なくとも1つの摩擦低減装置により支持されていることを特徴とする請求項11に記載の装置。
- 前記混合軸が、前記液状及び蒸気コーティング前駆体を前記蒸発室内で分配するための少なくとも1つのブレードを有することを特徴とする請求項12に記載の装置。
- 前記少なくとも1つのブレードが、前記液状コーティング前駆体を、前記蒸発室の内壁上に概ね均一な薄い層をなすように分配することを特徴とする請求項13に記載の装置。
- 前記液状コーティング前駆体の薄い層が、遠心力により、前記少なくとも1つのブレードから前記蒸発室内壁に向けて連通されることを特徴とする請求項14に記載の装置。
- 前記駆動磁石が前記被駆動磁石に磁気的に結合されることを特徴とする請求項8に記載の装置。
- 前記駆動磁石が、回転モータ軸を受容するための機械加工された内周面を有することを特徴とする請求項16に記載の装置。
- 前記駆動磁石が、一定半径の機械加工された外周面を有することを特徴とする請求項17に記載の装置。
- 前記駆動磁石が、前記回転モータ軸に対して一定半径位置にて回転することを特徴とする請求項18に記載の装置。
- カラーにより、前記駆動及び被駆動磁石が互いに整合されていることを特徴とする請求項19に記載の装置。
- 前記バリアガスが、前記磁気駆動部分に連続的に連通することを特徴とする請求項20に記載の装置。
- 前記磁気駆動部分が、前記混合軸が貫通するべき開口を有することを特徴とする請求項10に記載の装置。
- 前記バリアガスが、前記混合軸のための前記開口を介して前記バリア部分に連通することを特徴とする請求項22に記載の装置。
- 前記磁気駆動部分が、前記バリアガスが前記バリア部分内に向けて連通するための1つ又は複数のポートを有することを特徴とする請求項10に記載の装置。
- 前記前駆体蒸気の質量流量を増大させるために前記蒸発室に第2のガスを追加することを特徴とする請求項2に記載の装置。
- 前記バリア部分内の前記バリアガスが、前記少なくとも1つの摩擦低減装置を冷却することを特徴とする請求項12に記載の装置。
- 前記蒸発室が、1つ又は複数の加熱された壁を有することを特徴とする請求項2に記載の装置。
- 前記バリアガスが、ヘリウム、窒素、水素、アルゴン及びそれらの混合物からなるグループから選択されたものからなることを特徴とする請求項2に記載の装置。
- 前記バリアガスが、ヘリウム及び窒素の混合物からなることを特徴とする請求項28に記載の装置。
- 前記蒸発室が、前記前駆体蒸気及び前記バリアガスを排出させるための少なくとも1つの出口を有することを特徴とする請求項2に記載の装置。
- 蒸発した反応物を準備するための装置であって、
金属又はシリコン化合物からなり、その融点よりも高く且つ標準蒸発温度よりも実質的に低い温度にあることにより、液状をなす1つ又は複数のコーティング前駆体と、
駆動及び被駆動磁石を含む磁気駆動部分と、
蒸気を発生させるために、前記液状コーティング前駆体を連続的に注入されるべき構造を備えた蒸発室と、
前記液体コーティング前駆体を前記蒸発室内で分配するための、前記被駆動磁石に連通する構造とを有することを特徴とする装置。 - 前記蒸発室が、前記前駆体蒸気を排出させるための少なくとも1つの出口を有することを特徴とする請求項31に記載の装置。
- 前記被駆動磁石が、前記蒸発室内に位置することを特徴とする請求項32に記載の装置。
- 前記被駆動磁石に、高温及び化学物質に耐える樹脂が被着されていることを特徴とする請求項33に記載の装置。
- 前記被駆動磁石に、前記液状コーティング前駆体を、遠心力により、前記蒸発室の内壁に向けて均一に押出すための1つ又は複数のブレードを有することを特徴とする請求項34に記載の装置。
- 前記1つ又は複数のブレードが、前記蒸発室内にて、少なくとも2つの摩擦低減装置により支持されていることを特徴とする請求項35に記載の装置。
- 前記少なくとも2つの摩擦低減装置が、化学物質に耐えるブッシングからなることを特徴とする請求項36に記載の装置。
- 前記少なくとも2つの摩擦低減装置が、高温に耐えるブッシングからなることを特徴とする請求項37に記載の装置。
- 前記蒸発室が、前記バリアガスを導入するための少なくとも1つの開口を有することを特徴とする請求項31に記載の装置。
- 前記蒸発室が、第2の前駆体を導入するための少なくとも1つの開口を有することを特徴とする請求項39に記載の装置。
- 蒸発した反応物を準備するための方法であって、
金属又はシリコン化合物からなり、その融点よりも高く且つ標準蒸発温度よりも実質的に低い温度にあることにより、液状をなす1つ又は複数のコーティング前駆体を選択する過程と、
前記液体コーティング前駆体を蒸発室内に連続的に注入することにより蒸気を発生する過程と、
前記蒸発室内にて前記液体前駆体を分配するための構造を、シールを不要とするような磁気的駆動部分を用いて回転させる過程とを有することを特徴とする方法。 - 前記磁気的駆動部分にバリアガスを注入することを特徴とする請求項41に記載の方法。
- 前記バリアガスに、前記前駆体蒸気の拡散速度よりも高い流速を与えることを特徴とする請求項42に記載の方法。
- 前記バリアガスの前記高流速により、前記前駆体蒸気が、前記磁気駆動部分に連通するのを阻止することを特徴とする請求項43に記載の方法。
- 前記バリアガスの前記高流速により、前記前駆体蒸気が、前記磁気駆動部分に関連して設けられた1つ又は複数の摩擦低減装置に連通するのを阻止することを特徴とする請求項44に記載の方法。
- 前記液状前駆体が、前記蒸発室内に注入される前に加熱されることを特徴とする請求項41に記載の方法。
- 前記蒸発室の内壁が、その内部の前記液状前駆体を蒸発させるために加熱されることを特徴とする請求項41に記載の方法。
- 前記モータ部分が、少なくとも1つの駆動磁石及び少なくとも1つの被駆動磁石を有し、前記駆動及び被駆動磁石が、前記蒸発室内にて前記液体前駆体を分配するための前記構造を回転させるべく互いに結合されていることを特徴とする請求項41に記載の方法。
- 前記駆動磁石が、前記被駆動磁石に対して一定半径位置にて回転することを特徴とする請求項48に記載の方法。
- 前記液体前駆体を分配するための前記構造が、前記蒸発室内に配置された少なくとも1つのブレードを有することを特徴とする請求項48に記載の方法。
- 前記ブレード上の前記液状コーティング前駆体を、遠心力を加えることにより、前記蒸発室の内壁に向けて押出すことを特徴とする請求項50に記載の方法。
- 前記被駆動磁石が、前記少なくとも1つのブレードを回転させるために前記蒸発室内に配置されていることを特徴とする請求項51に記載の方法。
- 前記前駆体蒸気の質量流量を増大させるために前記蒸発室に第2のガスを追加することを特徴とする請求項42に記載の方法。
- 前記駆動磁石が一定回転速度で回転することを特徴とする請求項49に記載の方法。
- 前記駆動磁石及び前記被駆動磁石が、均一かつ一定の磁界を介して磁気的に結合されることを特徴とする請求項54に記載の方法。
- 前記被駆動磁石が一定回転速度で回転することを特徴とする請求項55に記載の方法。
- 前記液体前駆体を分配するための前記構造が、一定回転速度で均一に回転することを特徴とする請求項56に記載の方法。
- 前記液体前駆体を分配するための前記構造を、一定回転速度で回転させることにより、前記蒸発室内にて、前記液体前駆体を均一かつ薄い膜として分配することを特徴とする請求項57に記載の方法。
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