JP2005520220A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. 基板上にパターン形成された構造を形成する方法であって、
   前記基板の表面に重合可能な組成物を付着させ、
   前記重合可能な組成物に近接して、少なくとも一部分が導電性であるテンプレートを位置決めし、
   前記テンプレートに向かって前記重合可能な組成物の一部分を引き付ける静電気力を生み出す電界を前記テンプレートと前記基板の間に加えることを含む方法。
2. 基板上にパターン形成された構造を形成する方法であって、
   前記基板の表面に重合可能な組成物を付着させ、
   前記重合可能な組成物に近接して導電性テンプレートを配置し、
   前記テンプレートに向かって前記重合可能な組成物の一部分を引き付ける静電気力を生み出す電界を前記導電性テンプレートと前記基板の間に加えることを含む方法。
3. 基板上にパターン形成された構造を形成する方法であって、
   前記基板の表面に液体の重合可能な組成物を付着させ、
   前記重合可能な組成物に近接して、少なくとも一部分が導電性であるテンプレートを位置決めし、
   前記テンプレートに向かって前記重合可能な組成物の一部分を引き付ける静電気力を生み出す電界を前記テンプレートと前記基板の間に加えることを含む方法。
4. 基板上にパターン形成された構造を形成する方法であって、
   前記基板の表面に重合可能な組成物を付着させ、
   前記基板の形状が変わるように、前記基板に複数の力を加え、
   前記重合可能な組成物に近接して、少なくとも一部分が導電性であるテンプレートを位置決めし、
   前記テンプレートに向かって前記重合可能な組成物の一部分を引き付ける静電気力を生み出す電界を前記テンプレートと前記基板の間に加えることを含む方法。
5. 基板上にパターン形成された構造を形成する方法であって、
   前記基板の表面に重合可能な組成物を付着させ、
   前記基板の形状が変わるように、前記
   基板に複数の力を加え、
   前記重合可能な組成物に近接して導電性テンプレートを配置し、
   前記テンプレートに向かって前記重合可能な組成物の一部分を引き付ける静電気力を生み出す電界を前記導電性テンプレートと前記基板の間に加えることを含む方法。
6. 基板上の液体をパターニングする装置であって、
   前記基板から離して配置されるテンプレートと
   前記テンプレートに電気的に接続され、前記基板とテンプレートとの間に、液体の一部分を前記テンプレートの方に引き付ける電界を生成させる電圧源とを備える装置。