JP2005513782A - Esd保護用極性反転許容電気回路 - Google Patents
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Abstract
シリコンコントローラにおける整流器回路のようなラッチアップの問題がない、サブミクロンCMOS技術集積回路に対して完全な保護を与えるESD保護回路が提供される。この回路内の第1のESD保護トランジスタは、電気回路のバイポーラ動作を可能とするのに加え、スナップバック電気伝導を使用して、有害なESD電流を電気回路から遠ざけるようにチャネリングする。
Description
本発明は、電気回路の過電圧保護に関し、より詳細には、電気回路入力端子に印加される逆極性状態を許容すると共に、静電放電(ESD)過電圧から電気回路を保護する分野に関する。
電子集積回路(IC)における故障の共通の原因は、静電放電(ESD)として公知である大きな過電圧状態に突然曝されることに起因する。ICの製造において或いはこれらのICを使用して製品を組み付けている間、これらのICは、ESDに対して敏感である。静電電荷の蓄積は、典型的には、非類似材料同士の接触とその後の離間から発生し、且つESDは、この電荷の流れから発生する。
帯電されたアイテムが、ICと接触、特に、ICの一部が接地されると、電荷が、ICを通って接地に移動することによって、非常に素早く放電する。ESD放電事象中のESD電圧は、2KVの範囲であり、長さが、“a”mmを超えるエアギャップをジャンプする。現在のCMOS技術では、IC内の導体と種々の部品との間のギャップは、サブミクロンのオーダーである。スピードやより低い動作電圧のような、ICの性能特性を改良することによって見られる利点は、ESDに対する感度の増加によって相殺される。これらのより小さく且つより効率的なチップサイズになれば、さらに小さな電気バス導体を持つことになり、その結果、容易に損傷されることになる。これらのICにおいて、MOSトランジスタゲート酸化物は、さらに脆く、且つ非常に低い絶縁破壊電圧を有する。ICの製造に利用されるサブミクロンの技術以前では、より大きなチップが、電荷蓄積用のより大きな領域を有するより大きなキャパシタンスを備えており、その結果、ESDに関連する損傷に対して敏感ではなかった。より小さなIC機能を有することは、ESDに関連する損傷の可能性がより高いことになる。
IC内のこれらのより小さな導体と部品は、非常に制限された電流キャリーキャパシティを有し、しばしば、ESDが、導体や部品をフューズのように働かせることになり、それによって、集積回路内の導体及び部品を壊したり、短絡したり溶解させ、電気回路を損傷させ、大抵使用できなくする。MOSデバイス内の酸化物から製造される部品と他のフィルムは、高レベルの電流がこの回路の非常に小さな断面領域を流れるので、高い絶縁破壊状態に耐えることが出来ないであろう。ダイオード、トランジスタ及び抵抗器のような部品における抵抗性加熱は、ポリシリコンやアルミニウムのような電気伝導性材料を融解する。この回路内のこの融解材料は、電界ラインに沿って流れ、IC内に短絡を引き起こす。例えば、ESDは、MOSFETデバイスのソースとドレインの間での短絡やトランジスタやダイオードのp−nジャンクションでの逆絶縁破壊を引き起こす。多くの場合、ESD事象が完了した後も、これらの短絡が残り、これらの回路をそれらの設計目的に対して使用不能にする。
一般的に、MOSタイプの集積回路は、それらの入力と出力のピンが、特に集積回路を扱っている時に、保護されていない場合、ESD損傷受けがちである。その結果、共通のIC設計工業の実務では、これらの有害な電流が敏感なパスを流れないように何らかの形態のESD保護をIC内に配することである。典型的には、組込みESD保護デバイスは、入力ピン同士、出力ピン同士及び給電レール同士に配される追加の回路の形態を取る。
ESD保護をICに設ける共通の方法は、CMOS回路のためのツェナーダイオードのようなダイオードを使用することを含む。次に、印加されたESDエネルギーは、接地への低抵抗路を生成することを介して電子なだれ降伏やパンチによってダイオードを介して消散し、接地への有害な電気電位をチャネリングして、それによってICに対する保護を提供する。
イトウ(Ito)らに対する米国特許第5,416,351号は、ドレインに形成されたツェナー領域を使用してNMOS及びPMOSダイオードの絶縁破壊をアシストすることによって、連結されたNMOSとPMOSデバイスに対するESD保護回路を開示しており、且つティール(Thiel)らに対する米国特許第5,528,064号は、背中合わせツェナーダイオードを使用することによるMOSデバイスに対するESD保護を開示している。背中合わせダイオードを使用することは、いくらかのESD保護を提供するが、残念ながら、それは、サブミクロンのCMOSデバイスにおいてより薄いゲート酸化物を有するように作られた新たな発生MOSデバイス内にあまりに多くの電圧が流れることになる。
ESD保護のための他の技術は、リン(Lin)による米国特許第6,233,130号に開示されている。この技術は、ESD事象中にSCR(シリコン制御整流器)の早期起動のために、ESD事象中にESD電圧をより高い電圧にポンピングするための遷移高電圧ポンピング回路を利用する。SCRは、適切な保護を与えるが、そのSCRは、電力バスのラッチアップへの傾向に起因して電力バスには望ましくない。入力信号が事前定義された電圧範囲外である場合、ラッチアップが発生する。ラッチアップが発生すると、SCR内のチャネル基板ダイオードは、電気伝導性になり、その基板に帯電キャリアが溢れる。
カー(Ker)氏等の米国特許第5,959,820号は、ICにおける供給電圧よりも大きな低電圧トリガーSCR(LVTSCR)へのホールド電圧を提供することによるラッチアップ状態の除去を開示している。LVTSCRへのホールド電圧の増加は、LVTSCRデバイスのアノードとカソードの両方を囲むダブル防護リングを設けることによって達成される。この防護構造は、ラッチパスを破壊し、LVTSCRのホールド電圧を増加する。しかしながら、LVTSCRのホールド電圧を増加することは、ESD遷移中にLVTSCRでのより多くの電力消費を導くことになり、且つダブル防護リングを使用することは、LVTSCRのESD頑健さをより低くすることになる。更に、防護リングは、ICダイ上のより多くのレイアウト空間を占め、従って、コスト高となる。
従って、本発明の目的は、サブミクロンのCMOS技術の集積回路に対して実質的な保護を提供するESD保護回路を提供することである。
本発明の他の目的は、バイポーラESD保護回路を提供すると共に、ESD保護回路中においてラッチアップの問題のないESD保護を提供することである。
本発明に従って、ESD保護回路であって、
第1の電圧入力ポートと、
第2の電圧入力ポートと、
第1のポートと、第2のポートと、前記第1のポートと第2のポートとの間の電流を制御するための制御ポートと、を備える第1のトランジスタを含み、前記第1のポートと前記第2のポートとが、前記第1の電圧入力ポートと前記第2の電圧入力ポート2との間で電気的に連結される、ESD保護回路と、
前記第1の電圧入力ポートと前記第2の電圧入力ポートとを横切って印加される電圧の極性のいずれかに対して、ESD保護回路内で第1のトランジスタの制御ポートで同じ電圧を提供するための極性独立制御回路と、
を備えるESD保護回路が提供される。
第1の電圧入力ポートと、
第2の電圧入力ポートと、
第1のポートと、第2のポートと、前記第1のポートと第2のポートとの間の電流を制御するための制御ポートと、を備える第1のトランジスタを含み、前記第1のポートと前記第2のポートとが、前記第1の電圧入力ポートと前記第2の電圧入力ポート2との間で電気的に連結される、ESD保護回路と、
前記第1の電圧入力ポートと前記第2の電圧入力ポートとを横切って印加される電圧の極性のいずれかに対して、ESD保護回路内で第1のトランジスタの制御ポートで同じ電圧を提供するための極性独立制御回路と、
を備えるESD保護回路が提供される。
本発明の他の態様に従って、ESD保護回路であって、
第1の電圧入力ポートと、
第2の電圧入力ポートと、
共通バルクノードと、
前記第2の電圧入力ポートに連結された第1のポートと、前記第1の電圧入力ポートに連結された第2のポートと、前記第1のポートと前記第2のポートとの間で電流を制御するために、前記共通バルクノードに連結された制御ポートと、を有する第1のESD保護トランジスタと、
前記第2の電圧入力ポートに電気的に連結された第1のポートと、前記第1の電圧入力ポートに連結された第2のポートと、前記第1のポートと前記第2のポートとの間の電流を制御するために前記共通バルクノードに連結された制御ポートと、を有する第2のESD保護トランジスタと、
前記第2の電圧入力ポートに電気的に連結された第1のポートと、前記共通バルクに連結された第2のポートと、前記第1のポートと前記第2のポートとの間で電流を制御するために前記第1の電圧入力ポートに電気的に連結された制御ポートと、を有する順方向バイアストランジスタと、
前記共通バルクノードに連結された第1のポートと、前記第1の電圧入力ポートに連結された第2のポートと、前記第1のポートと前記第2のポートとの間で電流を制御するために前記順方向バイアストランジスタの第1のポートに電気的に連結された制御ポートと、を有する逆方向バイアストランジスタと、
を備え、
前記第1の、第2の、順方向バイアスの、及び逆方向バイアスのトランジスタは、同じ共通バルクノードを共用する、ESD保護回路が提供される。
第1の電圧入力ポートと、
第2の電圧入力ポートと、
共通バルクノードと、
前記第2の電圧入力ポートに連結された第1のポートと、前記第1の電圧入力ポートに連結された第2のポートと、前記第1のポートと前記第2のポートとの間で電流を制御するために、前記共通バルクノードに連結された制御ポートと、を有する第1のESD保護トランジスタと、
前記第2の電圧入力ポートに電気的に連結された第1のポートと、前記第1の電圧入力ポートに連結された第2のポートと、前記第1のポートと前記第2のポートとの間の電流を制御するために前記共通バルクノードに連結された制御ポートと、を有する第2のESD保護トランジスタと、
前記第2の電圧入力ポートに電気的に連結された第1のポートと、前記共通バルクに連結された第2のポートと、前記第1のポートと前記第2のポートとの間で電流を制御するために前記第1の電圧入力ポートに電気的に連結された制御ポートと、を有する順方向バイアストランジスタと、
前記共通バルクノードに連結された第1のポートと、前記第1の電圧入力ポートに連結された第2のポートと、前記第1のポートと前記第2のポートとの間で電流を制御するために前記順方向バイアストランジスタの第1のポートに電気的に連結された制御ポートと、を有する逆方向バイアストランジスタと、
を備え、
前記第1の、第2の、順方向バイアスの、及び逆方向バイアスのトランジスタは、同じ共通バルクノードを共用する、ESD保護回路が提供される。
本発明の更に他の態様に従って、ESD保護を行う方法であって、
電圧電位の極性から独立する印加された電圧電位に応答して、既知の範囲内で電圧出力を提供するための制御回路を提供するステップと、
最小保持電圧を有する第1のESD保護トランジスタを横切る電源を連結するステップであって、前記ESD保護トランジスタが電圧出力を受ける制御ポートを有する、ステップと、
前記最小保持電圧を上回るESD事象遷移電圧が生じると、第1のESD保護トランジスタに対してスナップバック電気伝導を実行するステップと、を備え、
前記ESD保護トランジスタ保持電圧を上回る前記ESD事象遷移電圧が、スナップバック電流が前記第1のESD保護トランジスタを流れることを可能とする、ESD保護方法が提供される。
電圧電位の極性から独立する印加された電圧電位に応答して、既知の範囲内で電圧出力を提供するための制御回路を提供するステップと、
最小保持電圧を有する第1のESD保護トランジスタを横切る電源を連結するステップであって、前記ESD保護トランジスタが電圧出力を受ける制御ポートを有する、ステップと、
前記最小保持電圧を上回るESD事象遷移電圧が生じると、第1のESD保護トランジスタに対してスナップバック電気伝導を実行するステップと、を備え、
前記ESD保護トランジスタ保持電圧を上回る前記ESD事象遷移電圧が、スナップバック電流が前記第1のESD保護トランジスタを流れることを可能とする、ESD保護方法が提供される。
本発明は、図面を参照して記述される。
図1において、本発明の好適な実施の形態が示される。この回路は、順バイアスと逆バイアスの二つの動作モードを参照して記述される。順バイアス動作中の回路において、ノード2は、接地されているノード1に関して正の入力ピンである。逆バイアス動作下では、ノード1は、接地されているノード2に関して正の入力ピンである。トランジスタM0は、大きなESD保護PチャネルMOSデバイスである。トランジスタM1、M2及びM3もまた、PチャネルMOSデバイスであり、以下で詳細に議論される回路動作の二つのモードのために利用される。回路中の全てのトランジスタM0、M1、M2、M3のバルクは、接地から絶縁された共通バルクを共用する。
ESD事象が入力ピン1、2のいずれにも存在しない正常な動作において、トランジスタM0は、オフであり、非電気伝導性である。トランジスタM0が非電気伝導性のままであるためには、そのゲートとバルク5は、少なくともそのソース2とドレイン1と同じ程度に正である電位に維持される。
順方向バイアス動作において、ノード2は、ノード1に相対して正である。トランジスタM0、M1及びM3は、オフであり、トランジスタM2は、オンである。トランジスタに関連するオンとオフという用語は、トランジスタの電気伝導性の状態を言及する用語として共通に使用される。内部に十分に反転されたチャネル領域を有するトランジスタは、それらがソースからドレインへの電気伝導性を有するので、一般的にオンと呼ばれる。全てのトランジスタのバルク5は、ノード2と同じ正であり、漏れ電流がこの回路を流れるに過ぎない。この電流の電気状態は、トランジスタM2の動作の結果である。ノード2が正である場合、抵抗器R0を介してノード2に電気的に接続されたノード3もまた、正である。ノード3の高電位は、M1がオフであることを確実にする。M2のゲートは、この回路を介して接地され、且つその結果、M2は、オンになり、ノード5をノード3に接続する。ノード5がノード3と同じ正であるので、M3もオフである。M1又はM3を介する接地へのパスが無いので、ノード3は、ノード2の電位に等しいように上昇し、ノード5が続く。M0のゲートとボディ5がノード2と同じ正である場合、M0はオフであり、漏れ電流のみが流れる。
逆方向バイアス動作では、ノード1は、ノード2に相対して正である。トランジスタM0、M2及びM3は、オフであり、M1は、オンである。これらのトランジスタ5のバルクは、ノード1のように正であり、漏れ電流のみが流れる。この電流の電気状態は、トランジスタM1の動作の結果である。ノード2がノード1に相対して負である時、ノード3は、抵抗器R0を介して負に引かれる。トランジスタM1において、ゲート3は、そのドレインよりも負であり、従ってM1は、オンであり、ノード5は、ノード1と略同じ電位である。トランジスタM2とM3は、それらのドレイン、バルク及びゲートがそれらのソースよりも正であるので、オフであり、電流がR0を介して流れるのを防止する。M0は、そのドレイン、バルク及びゲートがそのソースよりも正であるので、オフである。
この好適な実施の形態において描かれている電気回路において、静電放電(ESD)に対する保護が、CMOS ICに対して提供されると共に、入力ピン1と2の極性の反転を許容する。
トランジスタM0とM3は、入力ピンに印加される入力極性に拘わらず、オフである。漏れ電流のみが抵抗器R0とR1を流れ、それによって、ノード3は、ノード2に電圧が略等しく、且つノード4は、ノード1に電圧が略等しい。正常な非ESD事象動作において、トランジスタM0とM3は、通常オフであり、従って、R0とR1を横切る電圧降下は、発生しない。
ESD事象が発生すると、トランジスタM0は、主ESD保護デバイスである。ESD事象において、電流上昇時間は、極端に急峻であり、非保護トランジスタのゲート酸化物は、そのESD事象からさえ保護される必要がある。ESD事象下において、トランジスタM0は、スナップバック電気伝導状態となり、その遷移ESD事象のエネルギーを吸収する。
従来の技術の図2を参照すると、スナップバック電気伝導状態におけるトランジスタに対する電流(I)対電圧(V)のグラフは、ESD事象遷移電圧が、トランジスタM0のトリガー電圧(Vt)に達するまで、デバイスのソースとドレインの間に電流が流れないことを示している。一旦、Vtに到達し、スナップバック電気伝導が開始されると、電流が増加し、トランジスタのソースとドレインとの間に存在する電位差が減少する。このESD事象遷移電圧がトランジスタ保持電圧(Vh)よりも上である限り、スナップバック電流は、保護デバイスを通って流れ続ける。スナップバック電気伝導が発生した後、Vhより上の電圧に増加され、電流が大きく増加する。この大きな電流の増加は、Vhで発生する反曲点より上のグラフの急峻な上方向スロープで示される。抵抗器R0とR1は、ESD事象遷移電流を制限するのを助ける。ノード3と1との間に位置するトランジスタM3は、この減少された遷移ESD事象遷移電流を吸収して、トランジスタM1とM2に対する保護を行う。抵抗器R0とR1及びトランジスタM0とM3は、帯電デバイスモデル保護ネットワークを提供するように働く。
このタイプのESD事象遷移保護回路は、トランジスタM1とM2を保護すると共にこの回路の逆方向バイアス動作を可能とする利点がある。逆方向バイアス動作において、この回路の残余の部分は、設計通りには働かないかもしれないが、ESD保護回路が、逆方向バイアス動作を可能とするので、電気回路は、高電流容量電源に接続された場合に、なんら損害を引き起すことはない。回路が逆方向バイアスで動作するように設計されなかった場合、抵抗性加熱が、ICの内部で発生して、ICの内部部品が溶融する。この抵抗性加熱は、ICが燃えてこのICが配されている装置が損傷され、損傷された部品に対する高価な修理が必要となるので、大きなリスクを課す。
数々の他の実施の形態は、本発明の精神と範囲から逸脱することなく、意図されることが出来る。
Claims (22)
- ESD保護回路であって、
第1の電圧入力ポートと、
第2の電圧入力ポートと、
第1のポートと、第2のポートと、前記第1のポートと第2のポートとの間の電流を制御するための制御ポートと、を備える第1のトランジスタを含み、前記第1のポートと前記第2のポートとが、前記第1の電圧入力ポートと前記第2の電圧入力ポートとの間で電気的に連結される、ESD保護回路と、
前記第1の電圧入力ポートと前記第2の電圧入力ポートとを横切って印加される電圧の極性のいずれかに対して、ESD保護回路内で第1のトランジスタの制御ポートで同じ電圧を提供するための極性独立制御回路と、
を備える、ESD保護回路。 - 前記ESD保護回路は、第1のポートと、第2のポートと、前記第1のポーと第2のポートとの間の電流を制御するための制御ポートと、を備える第2のトランジスタを含み、前記第1のポートと前記第2のポートとが、前記第2の電圧入力ポートと前記第1の電圧入力ポートとの間で電気的に連結される、請求項1に記載のESD保護回路。
- 前記極性独立制御回路は、前記第1の電圧入力ポートと前記第2の電圧入力ポートとを横切って印加される電圧の極性に関係なく、前記ESD保護回路内で前記第2のトランジスタの制御ポートで同じ電圧を提供するために電気的に連結される、請求項2に記載のESD保護回路。
- 電流制限回路が、前記ESD保護回路内に設けられる、請求項3に記載のESD保護回路。
- 前記電流制限回路は、前記第1の電圧入力ポートと前記第2の電圧入力ポートとの間で前記第2のトランジスタと直列となっている、請求項4の記載のESD保護回路。
- 前記第1のトランジスタは、電界効果トランジスタである、請求項1に記載のESD保護回路。
- 前記電界効果トランジスタは、Pチャネルである、請求項6に記載のESD保護回路。
- 前記制御ポートは、FETトランジスタのゲートであり、前記第1のポートは、FETトランジスタのソースであり、第2のポートは、FETトランジスタのドレインである、請求項6に記載のESD保護回路。
- 前記第2のトランジスタは、FETトランジスタであり、前記制御ポートは、FETトランジスタのゲートであり、前記第1のポートは、FETトランジスタのソースであり、第2のポートは、FETトランジスタのドレインである、請求項2に記載のESD保護回路。
- 前記電流制限回路は、抵抗器を含む、請求項4に記載のESD保護回路。
- 前記第1の電圧入力ポートは、接地電位への連結のためであり、且つ前記第2の電圧入力ポートは、前記接地電位よりも高い電位で電圧源に連結されるためである、請求項1に記載のESD保護回路。
- ESD保護回路であって、
第1の電圧入力ポートと、
第2の電圧入力ポートと、
共通バルクノードと、
前記第2の電圧入力ポートに連結された第1のポートと、前記第1の電圧入力ポートに連結された第2のポートと、前記第1のポートと前記第2のポートとの間で電流を制御するために、前記共通バルクノードに連結された制御ポートと、を有する第1のESD保護トランジスタと、
前記第2の電圧入力ポートに電気的に連結された第1のポートと、前記第1の電圧入力ポートに連結された第2のポートと、前記第1のポートと前記第2のポートとの間の電流を制御するために前記共通バルクノードに連結された制御ポートと、を有する第2のESD保護トランジスタと、
前記第2の電圧入力ポートに電気的に連結された第1のポートと、前記共通バルクに連結された第2のポートと、前記第1のポートと前記第2のポートとの間で電流を制御するために前記第1の電圧入力ポートに電気的に連結された制御ポートと、を有する順方向バイアストランジスタと、
前記共通バルク5ノードに連結された第1のポートと、前記第1の電圧入力ポートに連結された第2のポートと、前記第1のポートと前記第2のポートとの間で電流を制御するために前記順方向バイアストランジスタの第1のポートに電気的に連結された制御ポートと、を有する逆方向バイアストランジスタと、
を備え、
前記第1のトランジスタ、第2トランジスタ、順方向バイアストランジスタ、及び逆方向バイアスM1トランジスタは、同じ共通バルクノードを共用する、ESD保護回路。 - 前記第1の電圧入力ポートと前記順方向バイアストランジスタの制御ポートとの間に電気的に配置される電流制限回路を備える、請求項12に記載のESD保護回路。
- 前記第2の入力ポートと前記順方向バイアストランジスタの第1のポートとの間、及び前記第2の電圧入力ポートと前記第2のESD保護トランジスタの第1のポートとの間に電気的に配置される第2の電流制限回路を備える、請求項13に記載のESD保護回路。
- 前記第2の電圧入力ポートと前記順方向バイアストランジスタの前記第1のポートとの間、及び前記第2の電圧入力ポートと前記第2のESD保護トランジスタの第1ポートとの間に電気的に配置される電流制限回路を備える、請求項12に記載のESD保護回路。
- 前記順方向バイアストランジスタの第1のポートは、前記第2のESD保護トランジスタの第1のポートへ連結される、請求項15に記載のESD保護回路。
- 前記電流制限回路は、抵抗器を備える、請求項13に記載のESD保護回路。
- 前記トランジスタは、FETトランジスタである、請求項12に記載のESD保護回路。
- 前記FETトランジスタは、Pチャネルである、請求項18に記載のESD保護回路。
- 前記制御ポートは、FETトランジスタのゲートであり、前記第1のポートは、FETトランジスタのソースであり、第2のポートは、FETトランジスタのドレインである、請求項18に記載のESD保護回路。
- ESD保護を行う方法であって、
電圧電位の極性から独立して印加された電圧電位に応答して、既知の範囲内で電圧出力を提供するための制御回路を提供するステップと、
最小保持電圧を有する第1のESD保護トランジスタを横切る電源を連結するステップであって、前記ESD保護トランジスタが電圧出力を受ける制御ポートを有する、ステップと、
前記最小保持電圧を上回るESD事象遷移電圧が生じると、第1のESD保護トランジスタに対してスナップバック電気伝導を実行するステップと、を備え、
前記ESD保護トランジスタ保持電圧を上回る前記ESD事象遷移電圧が、スナップバック電流を前記第1のESD保護トランジスタを流れさせることを可能とする、ESD保護方法。 - 第2のESD保護トランジスタを提供するステップと、
前記スナップバック電流の大部分が前記第1のESD保護トランジスタを通るように伝導した後に、前記第2のESD保護トランジスタをスナップ電流の一部が通るようにチャネリングするステップと、を備える、請求項21に記載の方法。
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