JP2005509584A5 - - Google Patents
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Description
図3は、この発明のある具体例で、少なくとも1つの中間層2を基体1と1以上の親水
性層3との間に備えることができる。かくして、層3と層2の両者が、この具体例で基体1上に堆積されかつ備えられる。いずれの所望な層を中間層2として利用できる。例えば、中間層2は、この発明のある具体例で、低E層系、他のDLC含有層、酸化シリコン層、窒化シリコン層および/または酸化チタン層を含みうる。ここで用語「上(on)」(層が基体または他の層の上(on)にあるに関して)は、他の層がその間にあるかどうかに関係なく支持されていることを意味する。かくして、例えば、DLC含有層3は、図1〜2に示すように基体上に直接備わるか、または図3に示すように、その間に低Eまたは他の層を有して基体1上に備えることができる。層3と基体との間に基体1上の低Eまたは他のコーチング2として使用できる例示の層系(これらコーチングの全部または一部)が、米国特許第5,837,108、同第5,800,933、同第5,770,321、同第5,557,462、同第5,514,476、同第5,425,861、同第5,344,718、同第5,376,455、同第5,298,048、同第5,242,560、同第5,229,194、同第5,188,887と同第4,960,645号の何れかに示されおよび/または記載されており、ここにこれらの全てを参照として導入する。
性層3との間に備えることができる。かくして、層3と層2の両者が、この具体例で基体1上に堆積されかつ備えられる。いずれの所望な層を中間層2として利用できる。例えば、中間層2は、この発明のある具体例で、低E層系、他のDLC含有層、酸化シリコン層、窒化シリコン層および/または酸化チタン層を含みうる。ここで用語「上(on)」(層が基体または他の層の上(on)にあるに関して)は、他の層がその間にあるかどうかに関係なく支持されていることを意味する。かくして、例えば、DLC含有層3は、図1〜2に示すように基体上に直接備わるか、または図3に示すように、その間に低Eまたは他の層を有して基体1上に備えることができる。層3と基体との間に基体1上の低Eまたは他のコーチング2として使用できる例示の層系(これらコーチングの全部または一部)が、米国特許第5,837,108、同第5,800,933、同第5,770,321、同第5,557,462、同第5,514,476、同第5,425,861、同第5,344,718、同第5,376,455、同第5,298,048、同第5,242,560、同第5,229,194、同第5,188,887と同第4,960,645号の何れかに示されおよび/または記載されており、ここにこれらの全てを参照として導入する。
DLC含有親水性層3を基体1(基体は、予め設けた他の層(例:層2)を有していてもよい)の頂上及び基体1上に堆積する例示の方法が、ここに記述されるであろう。この方法は例示の目的のみであり、この方法に限定されることを意図していない。層3の堆積方法中に用いられるエネルギーおよび/またはイオンビーム堆積技法によって与えられる指向性は、層3を、下層構造の全ての面上にかなり均一に堆積させる。
Claims (30)
- ガラス基体とそのガラス基体に設けられたsp3炭素−炭素結合を有するダイヤモンド状炭素(DLC)からなる層とからなり、ここでDLCからなる層は、その層を約20度より大きくない水滴との接触角θを持たせるように紫外線(UV)照射に暴露されている、被覆ガラス物品。
- 層が、その層を約15度より大きくない水滴との接触角θを持たせるようにUV暴露され、かつ層は少なくとも10GPaの平均硬度を有する請求項1の被覆ガラス物品。
- 層が、その層を約10度より大きくない水滴との接触角θを持たせるようにUV暴露されている請求項2の被覆ガラス物品。
- 層が、その層を約8度より大きくない水の固着滴との接触角θを持たせるようにUV暴露されている請求項3の被覆ガラス物品。
- 層が、20度より大きな接触角θで特徴付けられ、かくしてUV暴露前に非親水性であったものであり、UV暴露が層の接触角θを20度以下の値に低下させた請求項1の被覆ガラス物品。
- 層の上面部分が、少なくとも部分的に酸化され、従って層の表面部分が、層の本体が酸化されることを防止する機能をする炭素酸化物からなる請求項1の被覆ガラス物品。
- DLCからなる層が、窒素(N)とホウ素(B)の少なくとも1つからなる少なくとも1つのドーパントを含み、その少なくとも1つのドーパントが、DLC含有層中の結合を、層の接触角を低下させるように、より極性にさせる請求項1の被覆ガラス物品。
- DLCからなる層が、基板上で低−Eコーチング上に備わっている請求項1の被覆ガラス物品。
- 低E−コーチングが少なくとも1つのAg層からなる請求項1の被覆ガラス物品。
- 被覆ガラス物品が、次の特性:
可視透過率(III.A,2deg): >60%
UV透過率: <38%
IR透過率: <35%
からなる請求項1の被覆ガラス物品。 - 層中の結合の約70%以下がsp3結合で、層中の結合の少なくとも20%がsp2タイプ結合である請求項1の被覆ガラス物品。
- 基体上にダイヤモンド状炭素(DLC)含有層をイオンビーム堆積し、かつ、DLC含有層を、その層の接触角θを少なくとも約20%減少させるに十分なように紫外線(UV)照射に暴露することからなる被覆物品の作成方法。
- DLC含有層のUV照射への暴露が、DLC含有層の接触角θを少なくとも約30%減少させ、かつ層は少なくとも10Gpaの平均硬度を有する請求項12の方法。
- DLC含有層のUV照射への暴露がDLC含有層の接触角θを少なくとも約50%減少させる請求項13の方法。
- DLC含有層のUV照射への暴露がDLC含有層の接触角θを少なくとも約70%減少させる請求項14の方法。
- さらに、水がDLC含有層に適用されないときより速く接触角の減少を進行させるようにDLC含有層に水を適用することからなる請求項12の方法。
- UV照射への暴露が、DLC含有層を太陽と雨とを含む周囲の雰囲気下に十分に暴露する前に、UV源で行われる請求項12の方法。
- 少なくとも一部のUV暴露後に、DLC含有層の接触角θは20度以下である請求項12の方法。
- UV暴露後に、DLC含有層の接触角θは15度以下である請求項12の方法。
- UV暴露後に、DLC含有層の接触角θは10度以下である請求項19の方法。
- DLC含有層が少なくとも10GPaの平均硬度を有する請求項18の方法。
- DLC含有層が少なくとも20GPaの平均硬度を有する請求項21の方法。
- ガラス基体で支持されたDLC含有層からなり、DLC含有層が10度以下の接触角θを有する被覆物品。
- DLC含有層が、少なくとも10GPaの平均硬度を有する請求項23の被覆物品。
- DLC含有層が、少なくとも20GPaの平均硬度を有する請求項24の被覆物品。
- DLC含有層が、層の接触角θがUV暴露の結果として少なくとも20%低下するように紫外線(UV)照射に暴露されている請求項23の被覆物品。
- 層が、ホウ素と窒素の少なくとも1つである少なくとも1つのドーパントを含む請求項23の被覆物品。
- DLC含有層の上面部分が少なくとも部分的に酸化され、そのため層の表面部分が、層の本体が酸化されるのを防止する機能をする炭素酸化物からなる請求項23の被覆物品。
- DLC含有層の上面部分の酸化が、少なくとも一部のDLC含有層のUVA暴露による請求項28の被覆物品。
- DLC含有層のUV照射への暴露が、DLC含有層の上面部分を酸化させ、それによって炭素酸化物からなるDLC含有層の上面部分を形成する請求項12の方法。
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US20050106397A1 (en) * | 1999-05-18 | 2005-05-19 | Krisko Annette J. | Carbon based soil resistant coatings for glass surfaces |
US6713179B2 (en) | 2000-05-24 | 2004-03-30 | Guardian Industries Corp. | Hydrophilic DLC on substrate with UV exposure |
US6770321B2 (en) * | 2002-01-25 | 2004-08-03 | Afg Industries, Inc. | Method of making transparent articles utilizing protective layers for optical coatings |
US6878403B2 (en) * | 2002-10-04 | 2005-04-12 | Guardian Industries Corp. | Method of ion beam treatment of DLC in order to reduce contact angle |
US6878405B2 (en) | 2002-10-04 | 2005-04-12 | Guardian Industries Corp. | Method of treating DLC on substrate with oxygen and/or hot water |
US8555921B2 (en) | 2002-12-18 | 2013-10-15 | Vapor Technologies Inc. | Faucet component with coating |
US7866342B2 (en) | 2002-12-18 | 2011-01-11 | Vapor Technologies, Inc. | Valve component for faucet |
US7866343B2 (en) | 2002-12-18 | 2011-01-11 | Masco Corporation Of Indiana | Faucet |
US8220489B2 (en) | 2002-12-18 | 2012-07-17 | Vapor Technologies Inc. | Faucet with wear-resistant valve component |
US20040200599A1 (en) * | 2003-04-10 | 2004-10-14 | Bradley Michael William | Amorphous carbon layer for heat exchangers and processes thereof |
US7501148B2 (en) * | 2003-11-04 | 2009-03-10 | Guardian Industries Corp. | Method of making heat treatable coated article with diamond-like carbon (DLC) and/or zirconium in coating |
US7150849B2 (en) * | 2003-11-04 | 2006-12-19 | Guardian Industries Corp. | Heat treatable coated article with diamond-like carbon (DLC) and/or zirconium in coating |
US7030390B2 (en) * | 2003-09-09 | 2006-04-18 | Guardian Industries Corp. | Ion source with electrode kept at potential(s) other than ground by zener diode(s), thyristor(s) and/or the like |
US7537801B2 (en) * | 2003-11-04 | 2009-05-26 | Guardian Industries Corp. | Heat treatable coated article with diamond-like carbon (DLC) and/or zirconium in coating |
US20050186415A1 (en) * | 2003-11-21 | 2005-08-25 | Mccormick Chris E. | Protective laminate for windshields |
US7445273B2 (en) * | 2003-12-15 | 2008-11-04 | Guardian Industries Corp. | Scratch resistant coated glass article resistant fluoride-based etchant(s) |
US7387816B2 (en) * | 2003-12-15 | 2008-06-17 | Guardian Industries Corp. | Scratch resistant coated glass article including layer(s) resistant to fluoride-based etchant(s), and method of making article using combustion CVD |
US7879202B2 (en) | 2003-12-15 | 2011-02-01 | Guardian Industries Corp. | Scratch resistant coated glass article including carbide layer(s) resistant to fluoride-based etchant(s) |
US7566481B2 (en) * | 2003-12-15 | 2009-07-28 | Guardian Industries Corp. | Method of making scratch resistant coated glass article including layer(s) resistant to fluoride-based etchant(s) |
US7455883B2 (en) * | 2004-10-19 | 2008-11-25 | Guardian Industries Corp. | Hydrophilic DLC on substrate with flame pyrolysis treatment |
US20060107599A1 (en) * | 2004-11-24 | 2006-05-25 | Guardian Industries Corp. | Flush-mounted slider window for pick-up truck with hydrophilic coating on interior surface thereof, and method of making same |
US20060110605A1 (en) * | 2004-11-24 | 2006-05-25 | Guardian Industries Corp. | Hydrophilic coating and method of making same |
US20060115651A1 (en) * | 2004-11-30 | 2006-06-01 | Guardian Industries Corp. | Painted glass tiles, panels and the like and method for producing painted glass tiles and panels |
US7732923B2 (en) * | 2004-12-30 | 2010-06-08 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Impurity doped UV protection layer |
US20060210783A1 (en) * | 2005-03-18 | 2006-09-21 | Seder Thomas A | Coated article with anti-reflective coating and method of making same |
US7261768B2 (en) * | 2005-04-07 | 2007-08-28 | Luten Henry A | Hydrophobic coatings and methods |
US20060238870A1 (en) | 2005-04-26 | 2006-10-26 | Brian Sneek | Gauge lens with embedded anti-fog film and method of making the same |
US20060246218A1 (en) * | 2005-04-29 | 2006-11-02 | Guardian Industries Corp. | Hydrophilic DLC on substrate with barrier discharge pyrolysis treatment |
CN100581773C (zh) * | 2005-06-24 | 2010-01-20 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 模仁及其制备方法 |
US20060292705A1 (en) * | 2005-06-24 | 2006-12-28 | Veeco Instruments Inc. | Method and process for fabricating read sensors for read-write heads in mass storage devices |
DE102005035673A1 (de) * | 2005-07-29 | 2007-02-01 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Photokatalytisches Schichtsystem mit hohem Schalthub |
JP4422671B2 (ja) * | 2005-12-06 | 2010-02-24 | トヨタ自動車株式会社 | 半導体装置とその製造方法 |
US8623446B2 (en) | 2006-02-25 | 2014-01-07 | Metascape Llc | Ultraviolet activated antimicrobial surfaces |
US7572482B2 (en) | 2006-04-14 | 2009-08-11 | Bae Systems Information And Electronic Systems Integration Inc. | Photo-patterned carbon electronics |
US20090142599A1 (en) * | 2006-06-02 | 2009-06-04 | Nv Bekaert Sa | Method to prevent metal contamination by a substrate holder |
WO2008021482A2 (en) * | 2006-08-14 | 2008-02-21 | Chien-Min Sung | Diamond-like carbon electronic devices and methods of manufacture |
US7632543B2 (en) * | 2006-12-05 | 2009-12-15 | Guardian Industries Corp. | Method of making IG window unit and forming silicon oxide based hydrophilic coating using chlorosilane vapor deposition |
US7951426B2 (en) * | 2006-12-13 | 2011-05-31 | Guardian Industries Corp. | Hydrophilic coating and method of making same |
US20080160215A1 (en) * | 2006-12-28 | 2008-07-03 | Ball Aerospace & Technologies Corp. | Contamination Resistant Surfaces |
JP5172180B2 (ja) * | 2007-03-19 | 2013-03-27 | トーヨーエイテック株式会社 | Dlc膜の修飾方法及び、医療用材料、医療用器具の製造方法 |
KR101113145B1 (ko) | 2007-04-05 | 2012-03-13 | 후지쯔 세미컨덕터 가부시키가이샤 | 표면 형상 센서와 그 제조 방법 |
US20090162668A1 (en) * | 2007-12-21 | 2009-06-25 | Guardian Industries Corp. | Hydrophilic coating and method of making same |
US20090181256A1 (en) * | 2008-01-14 | 2009-07-16 | Guardian Industries Corp. | Methods of making silica-titania coatings, and products containing the same |
TWI431727B (zh) * | 2008-04-03 | 2014-03-21 | Kinik Co | 用於承載電子元件之載板結構及其製作方法 |
US8668961B2 (en) * | 2008-07-31 | 2014-03-11 | Guardian Industries Corp. | Titania coating and method of making same |
US8003164B2 (en) * | 2008-09-19 | 2011-08-23 | Guardian Industries Corp. | Method of making a scratch-and etch-resistant coated glass article |
WO2011081062A1 (ja) * | 2009-12-28 | 2011-07-07 | 株式会社ニコン | 液浸部材、液浸部材の製造方法、露光装置、及びデバイス製造方法 |
US9272949B2 (en) | 2010-07-09 | 2016-03-01 | Guardian Industries Corp. | Coated glass substrate with heat treatable ultraviolet blocking characteristics |
US8414343B2 (en) | 2010-08-06 | 2013-04-09 | Red Oaks Development, LLC | Techniques to discharge static electricity in water sliders |
CN102534528A (zh) * | 2010-12-31 | 2012-07-04 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 镀膜件及其制备方法 |
US8968831B2 (en) | 2011-12-06 | 2015-03-03 | Guardian Industries Corp. | Coated articles including anti-fingerprint and/or smudge-reducing coatings, and/or methods of making the same |
JP5828304B2 (ja) | 2012-06-29 | 2015-12-02 | トヨタ自動車株式会社 | 複合活物質、固体電池および複合活物質の製造方法 |
US9328422B2 (en) * | 2013-03-06 | 2016-05-03 | Corning Incorporated | Crystallization and bleaching of diamond-like carbon and silicon oxynitride thin films |
FR3003857B1 (fr) * | 2013-03-28 | 2015-04-03 | Quertech | Procede de traitement par un faisceau d'ions pour produire des materiaux en verre superhydrophiles. |
RU2532749C9 (ru) * | 2013-07-01 | 2015-01-10 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физического материаловедения Сибирского отделения Российской академии наук | Способ получения наноразмерных слоев углерода со свойствами алмаза |
US9117619B2 (en) * | 2013-11-07 | 2015-08-25 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Device for generating heavy-ion beam and method thereof |
JP6311068B2 (ja) * | 2014-07-22 | 2018-04-11 | インテヴァック インコーポレイテッド | 耐引っかき性/耐摩耗性と撥油性とが改良されたガラス用コーティング |
JP6028878B2 (ja) * | 2015-02-23 | 2016-11-24 | Toto株式会社 | 水まわり用ガラス部材 |
US9850570B2 (en) * | 2015-07-06 | 2017-12-26 | Intevac, Inc. | Ion implantation for modification of thin film coatings on glass |
US20170293620A1 (en) * | 2016-04-06 | 2017-10-12 | International Business Machines Corporation | Natural language processing based on textual polarity |
MX2022001361A (es) * | 2019-07-31 | 2022-03-17 | Oerlikon Surface Solutions Ag Pfaeffikon | Capa de material duro a base de carbono libre de hidrogeno con gradiente recubierta sobre un sustrato. |
CN111223901B (zh) * | 2019-11-29 | 2022-07-29 | 云谷(固安)科技有限公司 | 一种显示面板及其制备方法 |
Family Cites Families (40)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US32272A (en) * | 1861-05-14 | Child s flying top | ||
US4210431A (en) | 1978-12-15 | 1980-07-01 | Corning Glass Works | Method for making vitreous carbon coatings on glass fibers |
USRE32272E (en) | 1980-05-29 | 1986-10-28 | Sumitomo Chemical Company, Limited | Non-fogging coating composition and a shaped article coated therewith |
US4504519A (en) | 1981-10-21 | 1985-03-12 | Rca Corporation | Diamond-like film and process for producing same |
DE3421739A1 (de) | 1984-06-12 | 1985-12-12 | Battelle-Institut E.V., 6000 Frankfurt | Verfahren zur herstellung von diamantartigen kohlenstoffschichten |
US4816291A (en) | 1987-08-19 | 1989-03-28 | The Regents Of The University Of California | Process for making diamond, doped diamond, diamond-cubic boron nitride composite films |
US5527596A (en) | 1990-09-27 | 1996-06-18 | Diamonex, Incorporated | Abrasion wear resistant coated substrate product |
US5637353A (en) | 1990-09-27 | 1997-06-10 | Monsanto Company | Abrasion wear resistant coated substrate product |
JP2929779B2 (ja) | 1991-02-15 | 1999-08-03 | トヨタ自動車株式会社 | 炭素被膜付撥水ガラス |
US5718976A (en) | 1991-05-03 | 1998-02-17 | Advanced Refractory Technologies, Inc. | Erosion resistant diamond-like nanocomposite coatings for optical components |
US5425983A (en) | 1992-08-10 | 1995-06-20 | Santa Barbara Research Center | Infrared window protected by multilayer antireflective coating |
GB9224697D0 (en) | 1992-11-25 | 1993-01-13 | Amaratunga Gehan A J | Doping of highly tetrahedral diamond-like amorphous carbon |
US5470661A (en) | 1993-01-07 | 1995-11-28 | International Business Machines Corporation | Diamond-like carbon films from a hydrocarbon helium plasma |
US5346729A (en) * | 1993-05-17 | 1994-09-13 | Midwest Research Institute | Solar-induced chemical vapor deposition of diamond-type carbon films |
US5508368A (en) | 1994-03-03 | 1996-04-16 | Diamonex, Incorporated | Ion beam process for deposition of highly abrasion-resistant coatings |
US5888593A (en) | 1994-03-03 | 1999-03-30 | Monsanto Company | Ion beam process for deposition of highly wear-resistant optical coatings |
US5846649A (en) | 1994-03-03 | 1998-12-08 | Monsanto Company | Highly durable and abrasion-resistant dielectric coatings for lenses |
US5665424A (en) | 1994-03-11 | 1997-09-09 | Sherman; Dan | Method for making glass articles having a permanent protective coating |
FR2722493B1 (fr) | 1994-07-13 | 1996-09-06 | Saint Gobain Vitrage | Vitrage hydrophobe multicouches |
JP3359640B2 (ja) | 1995-02-01 | 2002-12-24 | シュナイダー(ユーエスエー)インク | 疎水性ポリマー類の親水性化方法 |
US5653812A (en) | 1995-09-26 | 1997-08-05 | Monsanto Company | Method and apparatus for deposition of diamond-like carbon coatings on drills |
KR0152251B1 (ko) | 1995-11-02 | 1998-10-15 | 장진 | 층 .층 .층 제작 방법에 의한 유사다이아몬드 박막 제조 방법 |
US5770321A (en) | 1995-11-02 | 1998-06-23 | Guardian Industries Corp. | Neutral, high visible, durable low-e glass coating system and insulating glass units made therefrom |
US6399143B1 (en) * | 1996-04-09 | 2002-06-04 | Delsys Pharmaceutical Corporation | Method for clamping and electrostatically coating a substrate |
US5900342A (en) | 1996-04-26 | 1999-05-04 | Eastman Kodak Company | Photoconductive element having an outermost layer of a fluorinated diamond-like carbon and method of making the same |
US5858477A (en) | 1996-12-10 | 1999-01-12 | Akashic Memories Corporation | Method for producing recording media having protective overcoats of highly tetrahedral amorphous carbon |
EP0821077A3 (en) | 1996-06-27 | 2000-09-06 | Nissin Electric Co., Ltd. | Object coated with carbon film and method of manufacturing the same |
JP2901550B2 (ja) | 1996-07-26 | 1999-06-07 | 株式会社村上開明堂 | 防曇素子 |
US6046758A (en) | 1998-03-10 | 2000-04-04 | Diamonex, Incorporated | Highly wear-resistant thermal print heads with silicon-doped diamond-like carbon protective coatings |
US6572935B1 (en) | 1999-03-13 | 2003-06-03 | The Regents Of The University Of California | Optically transparent, scratch-resistant, diamond-like carbon coatings |
US6280834B1 (en) | 1999-05-03 | 2001-08-28 | Guardian Industries Corporation | Hydrophobic coating including DLC and/or FAS on substrate |
US6261693B1 (en) | 1999-05-03 | 2001-07-17 | Guardian Industries Corporation | Highly tetrahedral amorphous carbon coating on glass |
US6273488B1 (en) | 1999-05-03 | 2001-08-14 | Guardian Industries Corporation | System and method for removing liquid from rear window of a vehicle |
US6277480B1 (en) | 1999-05-03 | 2001-08-21 | Guardian Industries Corporation | Coated article including a DLC inclusive layer(s) and a layer(s) deposited using siloxane gas, and corresponding method |
US6284377B1 (en) | 1999-05-03 | 2001-09-04 | Guardian Industries Corporation | Hydrophobic coating including DLC on substrate |
US6303225B1 (en) | 2000-05-24 | 2001-10-16 | Guardian Industries Corporation | Hydrophilic coating including DLC on substrate |
US6660340B1 (en) | 2000-02-08 | 2003-12-09 | Epion Corporation | Diamond-like carbon film with enhanced adhesion |
US6713179B2 (en) | 2000-05-24 | 2004-03-30 | Guardian Industries Corp. | Hydrophilic DLC on substrate with UV exposure |
US6665033B2 (en) | 2000-11-30 | 2003-12-16 | International Business Machines Corporation | Method for forming alignment layer by ion beam surface modification |
JP4072321B2 (ja) | 2001-02-02 | 2008-04-09 | 株式会社日立グローバルストレージテクノロジーズ | 磁気記録媒体およびその製造方法、これを用いた磁気記録装置 |
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2001
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