JP2005351312A - 移動機構 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】移動機構10は、負荷可動子12を案内部の軸方向に沿って図1に示す矢印方向に広い範囲で微小移動させる機能を有する機能を有する。案内部14に案内され負荷可動子12を駆動する駆動可動子16は、その底面部と案内部14の内面とで形成される気体室13への供給気体圧を制御することで、軸方向に所定の粗動を行うことができる。また、負荷可動子12の下面の気体受面22と駆動可動子16の上面の気体受面24との間の隙間には気体供給路18から気体が供給され、その気体圧を制御し、負荷可動子12の自重又は一定外力発生装置からの外力による押付力と釣り合わせつつ両気体受面22,24の間の隙間量を調整して負荷可動子12を駆動可動子16に対し微小移動させることができる。
【選択図】図1
Description
Claims (13)
- 外形の一部に気体受面を有する負荷可動子を粗動及び微小移動の組合せにより移動させる移動機構であって、
負荷可動子の気体受面に向かい合う気体受面を有し、案内部内を移動軸方向に粗動可能な駆動可動子と、
負荷可動子の気体受面又は駆動可動子の気体受面に開口し、両気体受面の間の隙間に気体を供給する気体供給路と、
駆動可動子の気体受面に向かって隙間の気体を圧縮しつつ負荷可動子を押し付ける押付力発生部と、
気体供給路に供給する気体圧を制御し、押付力と釣り合わせつつ両気体受面の間の隙間量を調整して負荷可動子を駆動可動子に対し微小移動させる微小移動制御部と、
を備えることを特徴とする移動機構。 - 外形の一部に気体受面を有する負荷可動子を粗動及び微小移動の組合せにより移動させる移動機構であって、
移動軸方向の両端部にそれぞれ気体受面を有し、一方側の気体受面は負荷可動子の気体受面に向かい合い、案内部内を移動軸方向に可能な中間可動子と、
中間可動子の他方側の気体受面に向かい合う気体受面を有し、案内部内を移動軸方向に粗動可能な駆動可動子と、
少なくとも負荷可動子の気体受面又は駆動可動子の気体受面に開口し、負荷可動子の気体受面と中間可動子の一方側気体受面との間の隙間と、中間可動子の他方側気体受面と駆動可動子の気体受面との間の隙間とに気体を供給する気体供給路と、
駆動可動子の気体受面に向かって各隙間の気体を圧縮しつつ負荷可動子と中間可動子とを押し付ける押付力発生部と、
気体供給路に供給する気体圧を制御し、押付力と釣り合わせつつ各隙間の隙間量を調整して負荷可動子を駆動可動子に対し微小移動させる微小移動制御部と、
を備えることを特徴とする移動機構。 - 請求項1又は請求項2に記載の移動機構において、
駆動可動子の案内部に対する軸方向の変位を検出する変位センサと、
変位センサの検出する変位データに基づいて駆動可動子の粗動の位置制御を行う粗動制御部と、
を備えることを特徴とする移動機構。 - 請求項1又は請求項2に記載の移動機構において、
駆動可動子の案内部に対する移動をロックするロック手段を備えることを特徴とする移動機構。 - 請求項4に記載の移動機構において、
ロック手段は、
駆動可動子の外周壁部と案内部の内周壁部との間に設けられる複数の気体軸受と、
各気体軸受に供給する気体圧をアンバランスに調節し、駆動可動子を移動軸に垂直な方向で案内部の内周壁部に押し付けて駆動可動子の移動をロックする気体圧調整部と、
を有することを特徴とする移動機構。 - 請求項1又は請求項2に記載の移動機構において、
移動の軸方向は、互いに直交するX軸方向とY軸方向とを有し、
負荷可動子であるステージは、X軸方向の両端部と、Y軸方向の両端部にそれぞれ気体受面を有し、
駆動可動子は、負荷可動子の各気体受面に対応してそれぞれ設けられることを特徴とする移動機構。 - 請求項6に記載の移動機構において、さらに、
移動の軸方向は、X軸方向及びY軸方向に直交するZ軸方向を有し、
負荷可動子であるステージは、Z軸方向の一端部に気体受面を有し、
駆動可動子は、その気体受面に対応して設けられることを特徴とする移動機構。 - ベースと可動ステージとの間に6つの移動アクチュエータを所定の位置関係で接続し、各移動アクチュエータをそれぞれ粗動及び微小移動を組合せた制御により駆動することで可動ステージをベースに対し6自由度の運動を行わせる移動機構であって、
各移動アクチュエータは、
外形の一部に気体受面を有する負荷可動子と、
負荷可動子の気体受面に向かい合う気体受面を有し、案内部内を移動軸方向に粗動可能な駆動可動子と、
負荷可動子の気体受面又は駆動可動子の気体受面に開口し、両気体受面の間の隙間に気体を供給する気体供給路と、
駆動可動子の気体受面に向かって隙間の気体を圧縮しつつ負荷可動子を押し付ける押付力発生部と、
気体供給路に供給する気体圧を制御し、押付力と釣り合わせつつ両気体受面の間の隙間量を調整して負荷可動子を駆動可動子に対し微小移動させる微小移動制御部と、
を備えることを特徴とする移動機構。 - 請求項1、請求項2、請求項6、請求項7又は請求項8の中のいずれか1に記載の移動機構において、
気体供給路は、くぼみ状のポケット開口と、ポケット開口の上流側に設けられる絞り部とを有することを特徴とする移動機構。 - 請求項9に記載の移動機構において、
絞り部は、気体の流れ方向に沿い所定の間隔を有する平行隙間を含み、平行隙間の整流作用により絞り部に流れる気体を乱れなく形成する平行隙間絞りであることを特徴とする移動機構。 - 請求項9に記載の移動機構において、
絞り部は、多孔質材料を含み、多孔質の微小孔の整流作用により絞り部に流れる気体を乱れなく形成する多孔質材絞りであることを特徴とする移動機構。 - 請求項1、請求項2、請求項6、請求項7又は請求項8の中のいずれか1に記載の移動機構において、
絞り部は、自成絞り又は表面絞り又はスリット絞り又は複合絞りの中のいずれか1つの絞りであることを特徴とする移動機構。 - 請求項1から請求項12の中のいずれか1に記載の移動機構において、
案内部の内周壁と各可動子の外周壁との間にラジアル気体軸受が設けられることを特徴とする移動機構。
Priority Applications (1)
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JP2004170491A JP2005351312A (ja) | 2004-06-08 | 2004-06-08 | 移動機構 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007077878A1 (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Pneumatic Servo Controls Ltd. | 気体圧制御アクチュエータ、気体圧制御アクチュエータ用気体軸受機構及び気体圧制御アクチュエータを用いた微小変位出力装置 |
JP2010147470A (ja) * | 2008-12-19 | 2010-07-01 | Asml Netherlands Bv | パターニングデバイスの平面位置を非接触で制御するガス圧手段を備えたリソグラフィ装置 |
CN111927886A (zh) * | 2020-07-15 | 2020-11-13 | 杭州电子科技大学 | 基于静压气浮轴承的aacmm高精度关节及其支承方法 |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4921467B1 (ja) * | 1970-12-01 | 1974-06-01 | ||
JPS5126650B1 (ja) * | 1969-05-13 | 1976-08-07 | ||
JPS5220854B1 (ja) * | 1966-01-14 | 1977-06-07 | ||
JPS5388440A (en) * | 1977-01-14 | 1978-08-03 | Hitachi Ltd | Static pressure bearing guide |
JPS6022239A (ja) * | 1983-07-18 | 1985-02-04 | Fujitsu Ltd | 音声デ−タ編集方式 |
JPH08303463A (ja) * | 1995-05-09 | 1996-11-19 | Canon Inc | 割り出し装置 |
JPH11287211A (ja) * | 1998-04-03 | 1999-10-19 | Ckd Corp | エアベアリングシリンダ及び半導体製造装置 |
JP2000337375A (ja) * | 1999-05-24 | 2000-12-05 | Ntn Corp | 静圧気体軸受装置 |
JP2000334687A (ja) * | 1999-05-26 | 2000-12-05 | Gifu Univ | パラレルリンク型力覚入出力装置 |
JP2001110699A (ja) * | 1999-10-05 | 2001-04-20 | Canon Inc | ステージ装置および該ステージ装置を用いた露光装置 |
JP2001271808A (ja) * | 2000-03-23 | 2001-10-05 | Ckd Corp | エアベアリングシリンダ |
JP2005268293A (ja) * | 2004-03-16 | 2005-09-29 | Psc Kk | 微小移動機構 |
-
2004
- 2004-06-08 JP JP2004170491A patent/JP2005351312A/ja active Pending
Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5220854B1 (ja) * | 1966-01-14 | 1977-06-07 | ||
JPS5126650B1 (ja) * | 1969-05-13 | 1976-08-07 | ||
JPS4921467B1 (ja) * | 1970-12-01 | 1974-06-01 | ||
JPS5388440A (en) * | 1977-01-14 | 1978-08-03 | Hitachi Ltd | Static pressure bearing guide |
JPS6022239A (ja) * | 1983-07-18 | 1985-02-04 | Fujitsu Ltd | 音声デ−タ編集方式 |
JPH08303463A (ja) * | 1995-05-09 | 1996-11-19 | Canon Inc | 割り出し装置 |
JPH11287211A (ja) * | 1998-04-03 | 1999-10-19 | Ckd Corp | エアベアリングシリンダ及び半導体製造装置 |
JP2000337375A (ja) * | 1999-05-24 | 2000-12-05 | Ntn Corp | 静圧気体軸受装置 |
JP2000334687A (ja) * | 1999-05-26 | 2000-12-05 | Gifu Univ | パラレルリンク型力覚入出力装置 |
JP2001110699A (ja) * | 1999-10-05 | 2001-04-20 | Canon Inc | ステージ装置および該ステージ装置を用いた露光装置 |
JP2001271808A (ja) * | 2000-03-23 | 2001-10-05 | Ckd Corp | エアベアリングシリンダ |
JP2005268293A (ja) * | 2004-03-16 | 2005-09-29 | Psc Kk | 微小移動機構 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007077878A1 (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Pneumatic Servo Controls Ltd. | 気体圧制御アクチュエータ、気体圧制御アクチュエータ用気体軸受機構及び気体圧制御アクチュエータを用いた微小変位出力装置 |
JPWO2007077878A1 (ja) * | 2005-12-27 | 2009-06-11 | ピー・エス・シー株式会社 | 気体圧制御アクチュエータ、気体圧制御アクチュエータ用気体軸受機構及び気体圧制御アクチュエータを用いた微小変位出力装置 |
JP2010147470A (ja) * | 2008-12-19 | 2010-07-01 | Asml Netherlands Bv | パターニングデバイスの平面位置を非接触で制御するガス圧手段を備えたリソグラフィ装置 |
CN111927886A (zh) * | 2020-07-15 | 2020-11-13 | 杭州电子科技大学 | 基于静压气浮轴承的aacmm高精度关节及其支承方法 |
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