JP5476197B2 - 微小変位出力装置 - Google Patents
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 title claims description 78
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 30
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 17
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 claims description 13
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 10
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 238000007373 indentation Methods 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
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- Actuator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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Claims (5)
- 先端側が開口し筒状の収納空間を有する筐体部であって、底面部に気体連通穴を有し、底面部の裏側には外周部のフランジ部に囲まれ気体連通穴を介して筒状の収納空間と連通する底面側くぼみが設けられる筐体部と、
筐体部の先端側の開口を覆い、面弾性変形可能な薄板状の上蓋部と、
筐体部の底面側くぼみを覆い、面弾性変形可能な薄板状の下蓋部と、
上蓋部に上端部が接続され、下蓋部に下端部が接続される中心軸と、
中央部に中心軸を通す中心穴を有し、中心軸の軸方向に沿って複数整列配置され、中心穴の外側に気体が流れることができる窓部を有し、外形が筐体部の収納空間の内形よりも小さく、収納空間内に収納される複数の平板状可動子と、
中心軸の先端に一体化して設けられ、複数の平板状可動子の最先端側可動子に向かい合う気体受面を有し、外形が筐体部の収納空間の内形よりも小さく、収納空間内に収納され、出力に用いられる出力可動子と、
最先端側平板状可動子と出力可動子の気体受面との間の隙間と、隣接する平板状可動子の間の各隙間と、最後端側平板状可動子と筐体部の底面との間の隙間とに、それぞれ気体を供給し、筐体部に設けられる排気穴から排出させる気体供給手段と、
上蓋部において中心軸が接続される中央部に設けられ、中心軸を介する出力可動子の出力を外部に伝達すると共に、外部の負荷力によって中心軸を介して出力可動子に押付力を与える出力伝達部と、
を備え、気体供給手段から制御された気体圧を供給し、押付力と釣り合わせつつ各隙間の間隔を調整して、出力伝達部から微小変位を出力することを特徴とする微小変位出力装置。 - 請求項1に記載の微小変位出力装置において、
整列配置される複数の平板状可動子の隣接する平板状可動子の間にそれぞれ配置され、中央部に中心軸を通す中心穴を有し、中心軸の軸方向に沿って複数整列配置され、中心穴の外側に気体が流れることができる窓部を有し、外形が筐体部の収納空間の内形よりも小さく、収納空間内に収納され、平板状可動子よりも薄い板厚を有する複数の薄板状可動子を備え、
複数の平板状可動子は、
その表面と裏面のそれぞれに、窓部が設けられる中心部から外周側に向かって放射状に延びる複数の有端有底溝を有し、
窓部から流れる気体が有端有底溝と薄板状可動子との間の隙間に流れることを特徴とする微小変位出力装置。 - 請求項2に記載の微小変位出力装置において、
複数の平板状可動子は、
その表面と裏面のそれぞれに窓部が設けられる中心部の部分がくぼみとなっていることを特徴とする微小変位出力装置。 - 請求項2に記載の微小変位出力装置において、
複数の平板状可動子は、
窓部が設けられる中心部から外周側に向かって曲線状に延びて、相互に交差する複数の交差型の有端有底溝を有することを特徴とする微小変位出力装置。 - 請求項1に記載の微小変位出力装置において、
複数の平板状可動子は、
その表面または裏面のいずれか一方表面にのみ、窓部が設けられる中心部から外周側に向かって放射状に延びる複数の有端有底溝を有し、
窓部から流れる気体が有端有底溝と、これに向かい合う隣接平板状可動子の他方表面との間の隙間に流れることを特徴とする微小変位出力装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010092096A JP5476197B2 (ja) | 2010-04-13 | 2010-04-13 | 微小変位出力装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010092096A JP5476197B2 (ja) | 2010-04-13 | 2010-04-13 | 微小変位出力装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011220481A JP2011220481A (ja) | 2011-11-04 |
JP5476197B2 true JP5476197B2 (ja) | 2014-04-23 |
Family
ID=45037711
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010092096A Active JP5476197B2 (ja) | 2010-04-13 | 2010-04-13 | 微小変位出力装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5476197B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105864025B (zh) * | 2016-04-15 | 2018-03-02 | 徐州徐工施维英机械有限公司 | 工业泵水槽及工业泵 |
-
2010
- 2010-04-13 JP JP2010092096A patent/JP5476197B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011220481A (ja) | 2011-11-04 |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130408 |
|
A977 | Report on retrieval |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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|
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R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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R250 | Receipt of annual fees |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |