JP2005350700A - めっき方法、めっきライン、およびめっき工程用ワーク保持具 - Google Patents

めっき方法、めっきライン、およびめっき工程用ワーク保持具 Download PDF

Info

Publication number
JP2005350700A
JP2005350700A JP2004170524A JP2004170524A JP2005350700A JP 2005350700 A JP2005350700 A JP 2005350700A JP 2004170524 A JP2004170524 A JP 2004170524A JP 2004170524 A JP2004170524 A JP 2004170524A JP 2005350700 A JP2005350700 A JP 2005350700A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bag
workpiece
plating
liquid
holding
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2004170524A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4603822B2 (ja
Inventor
Kiyoshi Kida
潔 木田
Yoji Nakagawa
洋二 中川
Hidemi Ishikawa
秀美 石川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kidaseiko KK
Sugiura Seisakusho Co Ltd
Original Assignee
Kidaseiko KK
Sugiura Seisakusho Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kidaseiko KK, Sugiura Seisakusho Co Ltd filed Critical Kidaseiko KK
Priority to JP2004170524A priority Critical patent/JP4603822B2/ja
Publication of JP2005350700A publication Critical patent/JP2005350700A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4603822B2 publication Critical patent/JP4603822B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Abstract

【課題】液槽等のめっきラインをコンパクトにすることができるめっき方法、めっき工程用ワーク保持具、およびそれを用いためっきラインを提供する。
【解決手段】ワーク保持具は、液槽の液面とほぼ平行な平面に沿って、複数の袋状ワークをその開口部が下側を向くようにほぼ同一高さで1段のみ保持する複数のワーク保持部を有する。さらにこのワーク保持具は、袋状ワークを突き上げ状態で保持する軸状ワーク保持部と、袋状ワークのフランジ部を着座させることのできる穴状ワーク保持部とを有する。このワーク保持具を使用しためっきラインにおいてめっき処理を施す。
【選択図】図2



Description

本発明は、被めっき物、特に袋状空間を有する袋状ワークにめっき処理を施すめっき方法、めっきライン、およびめっき工程用ワーク保持具に関する。
袋状ワーク、例えば、袋ナットの表面に電解めっき等の処理を施すことが行われている。袋状のワークの外面、内面に、酸電解(焼入後のスケール取り)や電解めっき等の処理を施す場合は、いわば魚の骨を逆さ吊りしたような浸漬保持具を用いる場合が多い。その浸漬保持具のそれぞれの枝部に、1個ずつ袋ナットをその開口から取り付けることにより、多数の袋ナットをそれぞれが斜め上を向く状態(開口部が斜め下を向く状態)でツリー状に保持し、その保持具を多数の袋ナットとともに酸電解槽(硫酸液等を主体とする)やめっき槽等に浸漬して脱スケール処理やめっき処理等を行っている(特許文献1)。
図20は、袋ナットを保持してめっき槽等に浸漬するための従来の浸漬保持具を概念的に示す。(a)は、浸漬保持具201の正面図である。浸漬保持具201は、本体フレーム部から斜め上を向く形状に支持竿部202が形成されている。この支持竿部202に袋ナット1の開口部を差し込む形態で、浸漬保持具201に袋ナット1を保持させる。図20(b)は、浸漬保持具201をめっき槽215に浸漬させたところを示す。図は、浸漬保持具201の側面を示している。このように浸漬保持具201に袋状ナット1を保持させた状態で、めっき槽215等に浸漬して、外面および内面の表面処理を行っている。このとき、めっき槽215に電極211を設置し、正の電圧を印加し、浸漬保持具201には、負の電荷を印加することによって、袋ナット1の表面処理を行う。
特開2001−335994号公報
しかしながら、浸漬保持具201を多数の袋ナット1とともに例えばめっき槽215等の液槽に浸漬していく過程で、袋ナット1の閉ざされた空間(閉鎖空間)にはめっき液等の液が入り込むが、閉鎖空間内に閉じ込められる空気により液はその閉鎖空間に充満することはできず、袋ナットの内面には液と接触できない部分が残る。また電流のほとんどが袋ナット1の外面に流れて内面に流れにくい実状もある。つまりこのような方法によると、袋ナットの内面全体をめっき液等により処理することが難しい。
さらに図20の浸漬保持具201のように多段に支持竿部202を形成した場合、上段に保持された袋ナットと、下段に保持された袋ナットに形成されるめっき層の厚さが大幅に異なってしまう。これは、多段のため電流の流れ方が一様とはならないためで、下段の袋ナットに厚いめっき層が形成される。すなわち製品間にめっき厚のばらつきを生じることとなる。また多段に支持竿部を形成すると、この浸漬保持具を浸漬するためのめっき液等の液槽を深く形成する必要があり、広く天井の高い設置場所を必要とする。また浸漬保持具を液槽へ浸漬するための下降、隣の液槽へ移動させるための上昇のストロークが長くなるため時間も要する。
そこで本発明の課題は、液槽等のめっきラインをコンパクトにすることができるめっき方法、めっき工程用ワーク保持具、およびそれを使用しためっきラインを提供することである。
課題を解決するための手段および発明の効果
上記課題を解決するための、本発明のめっき方法は、
袋状空間及びその開口部を有する袋状ワークをめっきする方法であって、
脱脂、酸洗、めっき、洗浄等の各工程に対応して必要な液槽が配置され、それら各液槽に順次袋状ワークを浸漬してめっき工程を進行させるめっきラインを使用し、また袋状ワークを順次各液槽に浸漬していくために、液槽の液面とほぼ平行な平面に沿って、袋状ワークをその開口部が下側を向くように1段のみ保持するワーク保持具を複数使用するとともに、複数の袋状ワークを保持するワーク保持具の各々を、めっきラインの複数の液槽を通るように移動させ、かつその移動経路における液槽に対応する位置において、複数の袋状ワークをその液槽の液面とほぼ平行な平面に沿って1段分のみ保持するワーク保持具を、その1段の袋状ワークが液槽に浸漬されるに必要なストロークで下降・上昇させ、その下降・上昇を各液槽で繰り返してワーク保持具を順次移動させていくことによりめっき工程を実施する。
脱脂、酸洗、めっき、洗浄等の各工程に対応する液槽が配置されためっきラインにおいて、被めっき物である袋状ワークを浸漬してめっき工程を進行させる。この場合において、複数の袋状ワークをその液槽の液面とほぼ平行な平面に沿って1段分のみ保持するワーク保持具を使用する。すなわち袋状ワークが1段に並んだ状態となるワーク保持具を使用することによって、その1段の袋状ワークが液槽に浸漬されるに必要なストロークで下降・上昇させ、その下降・上昇を各液槽で繰り返してワーク保持具を順次移動させることによって、袋状ワークにめっき処理を施すことができる。ワークが1段に並んだ状態で保持されるため、従来の保持具に比べ、上下の移動距離を短くすることができる。これによって、各液層の深さも従来より浅くすることができる。また、袋状ワークを1段で保持するため、従来のように上段と下段に保持された袋状ワーク間のめっき厚のばらつきを防ぐことができる。
上記課題を解決するための本発明の本発明の袋状ワークのめっきラインは、
袋状空間及びその開口部を有する袋状ワークをめっきするめっきラインであって、
脱脂、酸洗、めっき、洗浄等の各工程に対応して互いに隣接して配置された複数の液槽と、
液槽の液面とほぼ平行な平面に沿って、袋状ワークをその開口部が下側を向くように1段のみ保持する複数のワーク保持具と、
複数の袋状ワークを保持しするワーク保持具の各々を、めっきラインの複数の液槽を通るように移動させるワーク保持具送り装置と、
その移動経路における液槽に対応する位置において、複数の袋状ワークをその液槽の液面とほぼ平行な平面に沿って1段分のみ保持するワーク保持具を、その1段のワークが液槽に浸漬されるに必要なストロークで下降・上昇させる昇降装置と、を含み、
液槽の各々は、袋状ワークを1段のみ保持するワーク保持具の昇降ストロークに対応する浅底の液槽形態とされ、そのような各液槽で下降・上昇を繰り返してワーク保持具を順次移動させていくことによりめっき工程を実施する。
上記のように、本発明の袋状ワークのめっきラインにおいて、液槽の液面とほぼ平行な平面に沿って、袋状ワークをその開口部が下側を向くように1段のみ保持するワーク保持具を複数使用する。このようなワーク保持具を使用するために、ワーク保持具を下降・上昇させる昇降装置のストロークを、従来よりも短くすることができる。さらにワーク保持具は、1段分のみを保持するように形成されているため、各液槽を従来より浅く形成することができる。
そして上記課題を解決するための本発明のめっき工程用ワーク保持具は、
袋状空間及びその開口部を有する袋状ワークを、脱脂、酸洗、めっき、洗浄等の各工程に対応して配置された複数の液槽を通るように移動装置で移動させるとともに、その移動経路の液槽に対応する位置において昇降機構により下降・上昇させてそれらの液槽に袋状ワークを順次浸漬していくためのめっき工程用ワーク保持具であって、
移動装置により移動する昇降機構に着脱可能に連結される連結部を有する本体フレームと、
その本体フレームに設けられ、液槽の液面とほぼ平行な平面に沿って、複数の袋状ワークをその開口部が下側を向くようにほぼ同一高さで1段のみ保持する複数のワーク保持部と、
を備える。
本発明のめっき工程用ワーク保持具は、本体フレームに連結部を有することから、めっきラインの昇降機構に着脱可能に連結することができる。そして本体フレームに、複数の袋状ワークをその開口部が下側を向くようにほぼ同一高さで1段のみ保持する複数のワーク保持部を備えることから、ワークを保持して、めっき工程に使用することができる。またワーク保持部が1段に形成されているため、液槽の深さを浅くすることができる。さらに、袋状ワークを1段で保持するため、従来のように上段と下段に保持された袋状ワーク間のめっき厚のばらつきを防ぐことができる。
複数のワーク保持部は、本体フレームに液面とほぼ直角に立設され、袋状ワークの下側の開口部から袋状空間内に入り込み、その先端が袋状空間の頭部内面に当接して、袋状ワークを突き上げ状態で保持する軸状ワーク保持部とされ、それら軸状ワーク保持部の先端は液槽の液面とほぼ平行な一平面上に位置している。
複数のワーク保持部が、軸状に、本体フレームに液面とほぼ直角に立設されているため、ワーク保持部に袋状ワークを差し込むような状態で保持させることができる。つまり袋状ワークをワーク保持部が突き上げた状態で保持することができる。
さらに袋状ワークは、それの外面の中間部から側方にせり出したフランジを有するものであり、複数のワーク保持部は、袋状ワークの下部がゆるく嵌る開口を有し、かつフランジを着座させる部分を備えた穴状ワーク保持部とされ、それら穴状ワーク保持部は液槽の液面とほぼ平行な一平面上に位置している。
穴状ワーク保持部を有するために、側面にフランジを有する袋状ワークを、その穴に着座させた状態で保持することができる。
軸状ワーク保持部と穴状ワーク保持部とが一つのワーク保持具に併設され、かつ袋状ワークは、穴状ワーク保持部に保持される第1保持状態と軸状ワークに保持される第2保持状態とが択一的に切り替えられるように、ワーク保持具にワーク保持状態の変換手段が設けられている。
ワーク保持状態の変換手段を有することから、袋状ワークを軸状ワーク保持部で保持する状態と穴状ワーク保持部で保持する状態とを選択して切り替えることができる。
本発明のめっき工程用ワーク保持具は、
袋状空間を有する袋状ワークを保持して、液槽に貯留されためっき液に浸漬するためのめっき工程用ワーク保持具であって、
一面上に並んだ複数の保持部を有し、袋状ワークを保持部によって保持することによって袋状ワークを一面上に並んだ状態でめっき液に浸漬して、袋状ワークを液槽の液面に沿って並んだ状態とし、袋状ワークを処理する。
袋状空間を有する袋状ワークを保持部によって保持し、めっき液中で保持部を介して袋状ワークに電圧を印加することにより、袋状ワークの内面にめっき処理を施すことができる。一面上にワーク保持部が並んでいることから、この保持具を使用しためっきラインにおいては、液槽の深さを従来より浅くすることができる。そして従来よりも狭い場所、天井の高さが低い場所においても、めっきラインを設置することができる。さらに、袋状ワークを一面上に、すなわち1段で保持するため、従来のように上段と下段に保持された袋状ワーク間のめっき厚のばらつきを防ぐことができる。
上方を向いた第1支持部材を有し、第1支持部材の先端部が袋状ワークを保持するための保持部とされる。これにより、第1支持部材の先端部に、袋状ワークの袋状空間の開口部を下側に向けた状態で保持し、めっき処理を施すことができる。
そしてより具体的には、
第1支持部材は、中に空洞を有する突起管により構成され、突起管を介して、先端部によって保持された袋状ワークの袋状空間内に存在する気体又は/及びめっき液を吸引する、または袋状空間にめっき液を吐出することによって袋状ワークの袋状空間をなす内面にめっき処理を施すことができる。すなわち突起管から袋状ワークの袋状空間内の気体や液体を吸引することにより、または突起管から袋状空間にめっき液等を吐出することにより、袋状空間に新たなめっき液等の液体を進入させて、めっき処理を施すことができる。
本発明のめっき工程用ワーク保持具は、
第1支持部材に替わって袋状ワークを着座させて支持する第2支持部材と、
袋状ワークが第2支持部材に着座するとともに、第1支持部材の先端が袋状ワークの頭部内面から離間した第1位置と、袋状ワークをその頭部内面に第1支持部材が当接して突き上げ、袋状ワークを第2支持部材から離間させて支持する第2位置との間で、第1支持部材と第2支持部材とを相対的に移動可能に支持する支持部材移動機構と、
を含み、
第1支持部材によって、複数の袋状ワークを第一面上に支持し、
第2支持部材によって、複数の袋状ワークを第1面上、またはこれと異なる第2面上に支持する。
第1支持部材によって突き上げ状態で、袋状ワークを支持することができる。第2支持部材によって、袋状ワークを着座させた状態で支持することができる。この状態を切り替えることにより、袋状ワークの外面めっき処理と内面めっき処理とを異なる工程によって行うことができる。
めっき工程用ワーク保持具は、少なくとも保持部を含む構成部分が導電体で形成され、外部の通電装置により、その導電体を通じて袋状ワークに電圧を印加することが可能である。また保持部が複数並んだ保持部の列が、同一面上に並列に配置すれば、同時に多数の袋状ワークをめっき処理することができる。
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施例を説明する。図1は袋状ワークの一例として袋ナットを示すものである。袋ナット1は、めねじ部4を有する本体2と、本体2におねじ部材の螺入側とは反対側の開口を塞ぐキャップ部3とを備え、めねじ部4とその奥部の空所(ボルト等のおねじ部材の先端部が進入する部分)とにより袋状の空間(閉鎖空間)5が形成される。本体2の外面には、側方にせり出したフランジ7を有する。このような袋ナットの一例として、ハブナットが挙げられる。このような袋ナット1が、鍛造加工さらに転造もしくは切削等によるねじ加工、キャップ部3の溶接及び必要に応じて熱処理の後、洗浄や防錆、めっき等のために所定の液槽に浸漬される。
その際、図2に示すようなワーク保持具である浸漬保持具21を用いる。この浸漬保持具21は、上面と下面とを貫通する貫通孔を有する基底部27、基底部27の上面側の貫通孔上から延びた吸引管(または吐出管)である軸状ワーク保持部(第1支持部材)としての突起管25、基底部27から延びたガイド軸24、複数の突起管25とガイド軸24とが挿入される挿入孔(貫通孔)を有する穴状ワーク保持部(第2支持部材)としての摺動板26、ガイド軸24を支持する支持軸23a,23b、さらにその支持軸23a,23bと接続される支持板22を備える。この浸漬保持具21は、電流を流すことができるように、金属などの導体によって形成される。例えば、チタンを使用することができる。ただし、支持板22は、支持軸23aと支持軸24bとの絶縁をとるために不導体で形成される(支持軸23aと支持軸24bとの絶縁がとれれば、支持板22の全体が不導体である必要はない)。支持板22は、搬送ラインに連結され得る形状であれば、図のような形状に限られない。基底部27が、2列並列に形成されているが、必ずしも2列、または並列に形成される必要はない。また突起管が各基底部27上に3本形成されているが、突起管の数は、3本に限られない。基底部の数や突起管の数を増やすと、多くの袋状ワークを同時に処理することが可能となる。
従来の多段の袋状ワーク保持部を有する浸漬保持具の場合、前処理やめっき処理を施す液槽が深く形成される必要があるのに対し、この浸漬保持具21は、突起管25が一面上に並ぶ(1段に形成されている)ため、前処理やめっき処理を施す液槽の深さを浅くすることができる。水洗槽も浅くすることができるため、給水量や放水量が少なくなる。まためっき処理ラインを設置する建屋を従来よりも低くできる。さらに従来の多段の浸漬保持具の場合は、上段に保持された袋状ワークと、下段に保持された袋状ワークとのめっき厚に差が生じるが、この浸漬保持具21は、一段に形成されているため、袋状ワークのめっき厚に差が生じにくい。従来の多段の浸漬保持具では、めっき厚を25μmとするためにめっき処理を施すと、製品間に10μm程度のめっき厚のばらつきが生じていた。この浸漬保持具は、被めっき物が、一面上にならぶ一段構造であるため、製品間のめっき厚のばらつきを2〜3μm程度に抑えることができる。
図3に浸漬保持具21の拡大断面図を示す。基底部27には、複数の貫通孔28が形成され(図2の実施例の場合、一つの基底部27には、3箇所の貫通孔)、その貫通孔28上に突起管25が形成されている。突起管25の先端部35を除く部分の表面には、絶縁部12(例えば、樹脂モールド)が形成されている。突起管25の貫通孔34と、基底部27の貫通孔28は連なって形成されており、基底部貫通孔28の下部から突起管貫通孔34の上部へ、あるいは突起管貫通孔34の上部から基底部貫通孔28の下部へと、気体または液体が流動可能である。これら突起管34の先端部35(保持部)に1つずつ袋ナット1が装着される。摺動板26には、ガイド軸24a、突起管25を挿入するための貫通孔33が形成されており、摺動板26は、ガイド軸24aにガイドされ、ガイド軸24aに沿って摺動可能である。また摺動板26の貫通孔33内に突起管25が位置する。したがって摺動板26、ガイド軸24によって支持部材移動機構が構成される。さらに浸漬保持具21にモータなどの駆動装置を備えて上下移動させてもよい。この場合、駆動装置も支持部材移動機構に含まれる。ガイド軸24aと基底部27とは、絶縁部11(例えば、塩化ビニル)によって電気的に絶縁されている。
図4に浸漬保持具21の拡大斜視図を示す。真中の突起管25に袋ナット1が装着された例を示す。袋ナット1は、突起管25の先端部35に被せる状態で装着される。図は、他の突起管25に袋ナット1が装着されていないが、表面処理工程においては、通常、すべての突起管25の先端部に袋ナットを装着する。また図は、摺動板26が、上に移動した上昇位置にセットされているところを示す。摺動板26が、上昇位置にある状態では、後述するように内面めっきを施すことができる。ワーク保持部である先端部35は、同一平面上に1段として形成されている。この実施例の場合は、突起管が3本であるが、突起管の数は、3本に限られない。さらにガイド軸と複数の突起管が一直線上に並ぶ必要は、必ずしもない。
図5に電解めっきラインの例を示す。各処理工程を施すための液槽51ないし67が並んで設置され、その上方に浸漬保持具21を搬送するための搬送ライン72が設置されている。さらに搬送ライン72や各液槽の諸条件を制御するための制御盤71が設置されている。搬送ライン72は、浸漬保持具21を上下させるための昇降装置73と、浸漬保持具21を連結するための連結部74を備える(半光沢槽59上以外の浸漬保持具21、連結部74、昇降装置73は、省略されて描かれていない)。各液槽において順次処理が行われることにより、袋状ワークとしての袋ナット1に電解めっき(例えばニッケルクロムメッキ等)が施される。
まず、ロード/アンロード工程(ステーション)(図示されていない)で、浸漬保持具21の突起管25に、袋ナット1が、開口が下を向くようにして取り付けられる。そして、袋ナット1が突起管25に装着された浸漬保持具21は、搬送ライン72に連結され、その巡回搬送路に沿って搬送されつつ、それぞれの液槽に浸漬される。
巡回搬送路72は、例えばチェーン等の無限軌道が、図示されていないモーター等の駆動装置(ワーク保持具送り装置)により巡回させられるものである。巡回搬送路72の連結部74および昇降装置73は、巡回搬送路72に沿って巡回する。
ある浸漬保持具21は、巡回搬送路72に沿って間欠的に送られつつ、各液槽上において停止し、下降してその液槽に浸漬される。そして液槽から引き上げられ、次の液槽へ送られる。前進、停止、下降、上昇、前進により、各液槽を一巡して、その浸漬保持具21に装着されている袋ナットに電解めっきが施される。そしてこれらの工程終了後、ロード/アンロードステーションに戻り、袋ナット1ごと浸漬保持具21が連結部74から取り外され、代わりに、未処理の袋ナット1を多数保持する別の浸漬保持具21が連結部74に装着される。浸漬保持具7は、保持部が1段として形成されているために、この保持具を使用するめっきラインにおいては、各液層の深さを従来よりも浅底に形成することができる。また上昇・下降のストロークを従来より短くすることができる。
次に各工程について説明する。電解めっきの工程に先立ち、脱脂等の前工程が施される。主要なものは、脱脂槽51における脱脂工程、陰極酸電解槽52における電解(スケール除去)工程、酸洗槽54における酸洗工程、陽極電解脱脂槽56における電解脱脂(活性化)工程、中和槽57における中和工程である。これらの間に、水洗槽53、55、58が配置されて、洗浄される。前工程が終了すると、続いてめっき工程が実施される。めっき工程は、半光沢槽59、トリNi槽60、光沢Ni61、ジュールNi槽62、クロム槽64によって行われる。また水洗槽63,65,66によって洗浄され、乾燥槽67にて乾燥されて、ロード/アンロードステーション(図示されていない)によって、処理の行われた袋ナットが取り外され、未処理の袋ナットが装着される。つまり浸漬保持具21は、間欠的に巡回移動して、各液槽51〜66等への浸漬を繰り返し、各種処理が施される。間欠移動の停止時に、各浸漬保持具21が一斉に下降することにより、脱脂、洗浄、めっき等の工程が並列的に実施される。
ここで、一つの浸漬保持具21に着目し、それに保持された複数の袋ナットに対する各工程を順に説明する。ロード/アンロードステーションで、浸漬保持具21を介して工程ライン(巡回搬送路)に供給された多数の袋ナットは、そのステーションから一定量前進して停止し、アルカリ脱脂工程で所定のアルカリ溶液(脱脂層51)に浸漬(下降)されてアルカリ脱脂が行われる。次に、ここから引き上げられ(上昇)、一定量前進してから、熱処理により袋ナットに生じているスケールを除去する(スケールとばし)陰極酸電解工程が電解槽52において実施される。続いて、ここから引き上げられ(上昇)、一定量前進してから水洗槽53に浸漬(下降)されて、水洗工程53が実施される。その水洗の後、袋ナットは(浸漬保持具21と共に)引き上げられ、また一定量前進して、今度は袋ナットが硫酸溶液等(酸洗槽54)に浸漬(下降)される。
それから、袋ナットは、水洗槽55で、上記と同様の水洗工程により上記硫酸溶液等が洗われた後、めっきの付きを良くするために、所定のアルカリ溶液(陽極電解脱脂槽56)に浸漬され、表面を活性化する陽極電解脱脂工程が施される。さらに、中和工程(中和槽57)、上記と同様の水洗工程(水洗槽58)を経て、めっき工程に至る。
めっき工程においては、半光沢槽59、トリNi槽60、光沢Ni槽61、ジュールNi槽62の各槽においてニッケルめっきが施される。めっき槽57に多数の袋ナットが浸漬保持具21に保持された状態で浸漬(下降)され、袋ナットにめっき層が形成される。半光沢槽59においては、後述するように、内面めっき、外面めっきが施される。続くトリNi槽60、光沢Ni槽61、ジュールNi槽62の各槽においては、外面めっきが施される。
このようなめっき工程により、内面に半光沢めっき、外面に光沢めっきを施すことができる。外面は、光沢仕上げにできるため装飾効果を確保できる。つまり内面と外面とを異なるめっき層として仕上げることができる。また内面全体にめっき処理を施すことができるため、内面においても防錆効果が得られるばかりではなく、内面は半光沢めっきで薄く仕上げることができるために、ねじの精度を確保しやすい。
このめっき工程が終われば、一定量前進してから、水洗槽63に浸漬されて水洗される。そしてさらにクロム槽64に浸漬され、クロムめっきが施される。続いて水洗工程の水洗槽65,66に至り、そこでめっき液が洗われる。
浸漬保持具21の使用は、必ずしも上記のようなめっき工程に限られない。必要に応じて一部めっき工程を行わないこともできるし、あるいはさらに別の工程を行うこともできる。
図6を用いて、浸漬保持具21を使用した電解めっきラインにおける処理工程について説明する。浸漬保持具21に保持された袋ナット1は、前処理工程の液槽に順次浸漬されて表面を清浄化され、水洗槽58で洗浄された後、めっき工程の半光沢槽59へ移動する。半光沢槽59において、内面めっき、外面めっきを施される。(a)に示すように、半光沢めっき槽59上に移動した浸漬保持具21は、下降して、(b)に示すように、半光沢めっき槽59に浸漬される。このとき液槽とほぼ平行な平面に沿って、複数の袋状ワークが一段に並んだ状態で浸漬される。半光沢めっき槽59には、ノズル86を有する流動補助具85が設置されている。流動補助具を図7に示す。流動補助具85は、上面にノズル86を複数有する。このノズル86には、貫通孔(図示されていない)が形成され、貫通孔は、流動補助具85の下面に連結されているパイプ87と接続されている。そして図6に示すように、流動補助具85の下面から、パイプ87によってポンプ75へと接続されている。
図6(b)に示すように、流動補助具85の上面に形成されたノズル86に浸漬保持具21の基底部27の貫通孔28(図3参照)が当接する。内面めっきを施す場合には、摺動板26は、上昇位置にセットされる。
図8を用いて、半光沢槽59内における内面めっきと外面めっきの浸漬保持具21の摺動板26の位置を説明する。図の左側において内面めっき、右側において外面めっきを施す。(a)に示すように袋ナット1を水洗槽58で洗浄した後、まず半光沢槽59の前部(図の左側)において、摺動板26を上げた位置にして、基底部27の貫通孔28が、流動補助具85のノズル86に当接された状態で、袋ナット1に内面めっきを施す。図に示すようにストッパー37を液槽に備え、これに摺動板26が載ることにより、摺動板26を上昇位置としてもよい。あるいは、浸漬保持具21にモータなどの駆動装置を備えて上下に移動させてもよい。これらは、支持部材相対位置変換装置である。(b)に突起管25の先端部分の拡大図を示す。摺動板26が上昇位置にある場合、図の左側に示すように、突起管25の先端部分は、袋ナット1の内面と非接触状態である。この状態で内面めっきを施すことができる。続いて、(a)の右側に示すように、半光沢槽59の後部(図の右側)において、摺動板26を下げた位置にして、袋ナット1に外面めっきを施す。(b)の右側に、突起管の先端部分の拡大図を示す。摺動板26が下降位置にある場合、図に示すように突起管25の先端部分は、袋ナット1の内面に接触した状態である。この状態で電圧を印加して、外面めっきを施すことができる。なお前部(図の左側)において摺動板26が下がる状態になり、後部(図の右側)において摺動板26が上がる状態となるようにし、外面めっき、内面めっきの順にめっき処理を行ってもよい。
めっき処理を施す場合の電圧印加は、半光沢槽59に図9に示すような通電装置となる電圧印加部を形成することによって行うことができる。(a)は、半光沢槽59の電極印加部を説明するための図である。半光沢槽59の前部(図の左側)において、内面めっき、後部(図の右側)において、外面めっきを施す。電圧印加部76,78は、負の電圧、電圧印加部77は、正の電圧を印加することができる。そして、この電圧印加部76,77,78に浸漬保持具21が設置される。
図9(b)に示すように、内面めっきを施す場合には、電圧印加部76,77に、浸漬保持具21が設置される。そして電源線79aにより電圧印加部76から支持軸23aへ負の電圧が印加される。さらに電源線79bにより、電圧印加部77から支持軸23bへ、正の電圧が印加される。
図10を用いて、内面めっきの処理を説明する。内面めっきを施す場合は、摺動板26を上昇位置(第1位置)にする(第1保持状態)。これにより、袋ナット1の袋状空間の頭部面6と突起管25の先端面29とは、接触せずに間隙を有する状態となる。この状態で、半光沢槽59に浸漬し、図9に示したように浸漬保持具21を電圧印加部76,77に設置して、一方の支持軸23aからガイド軸24aに負、他方の支持軸23bからガイド軸24bに、正の電圧を印加する。ガイド軸24aと基底部27とは、絶縁部11により電気的に絶縁されている。また摺動板26とガイド軸24bとは、絶縁部13により電気的に絶縁されている。これによりガイド軸24a、摺動板26から袋ナット1に外面に負の電圧が印加される。さらにガイド軸24b、基底部27から突起管25に正の電圧が印加される。袋ナット1が負、その袋状空間内に挿入された突起管25が正に印加されることから、袋状ナット1の内面にめっきが施される。なお外部アノードを設置して、このアノードに通電すれば、内面めっきと同時に外面めっきも施すことができる。
袋ナットを浸漬保持具21で保持した状態で、めっき液48中に単に浸漬した場合は、袋ナット1の袋状空間5に、空気等の気体が存在するために、内面が十分にめっきされない。そこで内面めっきを施す場合には、図11(a)に示すように、突起管25、流動補助具85につながる負圧吸引装置としてのポンプ75によって、袋状空間5内の気体や液体を吸引する。袋状空間5内の気体を吸引することにより、液槽内のめっき液48が袋状空間内に流入して、袋状空間内を充満することができる。すなわち吸引することによりめっき液を流動させつつ、電解めっきのための電圧を印加する。あるいは、流動させた後に電圧を印加させるようにしてもよい。従来は、袋状空間5に満たされた気体により、めっき液48が袋状空間の奧部まで侵入しないため、袋状空間の開口周辺しか、めっき処理を施すことができなかったが、このように吸引することにより袋状空間5をめっき液48で満たすことができ、また袋ナット1の内面に対向して正電極(突起管25)を配置し、袋ナットの内面に電流を十分流すことができることから、袋ナット1の内面全域をめっきすることができる。さらに吸引を続けると、めっき液48が流動して、良好なめっき処理が可能となる。あるいは(b)に示すように、加圧吐出装置として、例えばポンプを使用して、突起管25からめっき液48を袋ナットの袋状空間5に噴出させて、めっき処理を行ってもよい。噴出させることにより、内面全体にめっき処理を施すことができる。この場合、内面に圧力がかかることになるため、図12(a)に示すように、袋ナット1の頭部3を固定部材41で抑えて袋ナット1を強制的に固定するとよい。または、図12(b)に示すようにフランジ部7を固定部材42で抑えるようにしてもよい。なお図11においては、突起管が袋状空間内に挿入されているが、図13に示すように開口部近傍に端部が位置するようにして、同様に処理してもよい。この場合も袋状空間5内をめっき液48で充満させることができ、また袋ナット1の内面に電流を十分流すことができる。
次に外面めっきについて、図14を用いて説明する。外面めっきを施す場合には、摺動板26を下降位置(第2位置)にセットする(第2保持状態)。そして電圧印加部78(図9参照)によって、支持軸23b、ガイド軸24b、基底部27、突起管25に負の電圧が印加される。また電圧印加部78から、支持軸23a、ガイド軸24a、摺動板26、基底部27と負の電圧が印加される。摺動板26が下降位置にある場合には、袋ナット1の袋状空間の頭部面6は、突起管25の先端面29と接触している。このため突起管25から袋ナット1に負の電圧が印加される。また図15に示すように、半光沢槽59内にアノード91を設置する。このようにして袋ナット1側が負、アノード側が正の電圧となることによって、袋ナット1の外面にめっき処理を施すことができる。
さらに液槽内のアノード91以外に、補助陽極92を設置した例を図16に示す。図16は、液槽を上から眺めたところを示す。液槽内の両側にアノード91が対向して設置されている。そしてアノード間に複数の補助陽極92が設置されている。この補助陽極に囲まれた領域に、浸漬保持具21に保持された袋ナット1が、それぞれ設置されることになる。そしてアノード91、補助陽極92に正の電圧を印加し、前述のように電圧印加部78によって、支持軸23b、ガイド軸24b、基底部27、突起管25、袋ナット1に負の電圧が印加される。このようにして袋ナット1の外面にめっき処理を施すことができる。袋ナット1を取り囲むように補助陽極92が設置されていることから、電流が安定して、かつ均一に流れることができ、外面に、より一様な厚さのめっきを施すことができる。
内面めっきの他の方法について図17を用いて説明する。(a)に示すように、浸漬保持具の摺動板126によって保持された袋ナット1は、めっき液48上に移動される。そして液面上で、突起管125から、めっき液を噴出する。めっき液を噴出することにより、袋ナット1の内面全域をめっき処理することができる。このとき、噴出圧によって袋ナットが動かないように、袋ナット1の頭部を抑えて固定しておくとよい。内面めっき処理工程が終了すると、続いて(b)に示すように、めっき液内に、袋ナットを浸漬し、外面めっきを施す。
図18を用いて、処理液循環方法を説明する。図18は、めっき槽151、例えば、半光沢槽を示す。このめっき槽151には、流出管135、ポンプ75、流入管136が備えられている。袋ナット1を、浸漬保持具によって保持して、めっき槽151へ浸漬し、流出管135の先端部が、袋ナット1の袋状空間に挿入されるようにする。あるいは、前述の浸漬保持具21のように突起管が袋状空間に挿入され、流動補助具85を経て、流出管135へ連結される構造としてもよい。この状態で、袋ナット1に電圧を印加して、めっき処理を施す。この時、ポンプ75で袋ナット1の袋状空間内の気体または液体を吸引する。そして流出管135、ポンプ75と吸入された気体または液体は、流入管136によってめっき槽151内へ、流入される。これにより、めっき槽151内の処理液に流動が起こり、めっき効率を上げることができる。
図19に保持部が一段として形成された治具の他の実施例を示す。保持用治具161は、支持軸164上に複数の保持軸163が形成されている。この実施例においては、各支持軸164に3本の保持軸163が形成されている。この保持軸163によって、袋状ワークを保持する。3本の支持軸164を結合軸165によって結合しており、さらに支持軸164と結合軸165とをフレーム軸162によって支えている。そしてフレーム軸162上には、連結部166が形成され、この連結部166によってめっきラインに連結される。この実施例においても、保持部が一面上(一段)に形成されているため、めっきラインの各液槽を浅く形成することができる。このため、めっきラインの建屋を高くする必要がなく、めっきライン設置のスペースを小さくすることができる。
なお袋状ワークとして図21に示すような袋ナット301に対し本発明を適用することができる。
以上の効果を確かめるために、めっき処理を行い、袋ナットのめっき層の厚さについて測定した。内面は、めっきによって十分に、全領域に渡り被覆されていることが確認された。
さらにアノードと補助陽極を使用して、ナットに外面めっきを施して、そのめっき厚を過電流式非破壊膜厚計を用いて測定を行った。測定箇所にばらつきが少なく、ほぼ同じ程度の膜厚を得ることができた。以上の試験から、両側のアノードと補助陽極を使用した場合には、外側のめっき膜厚のばらつきが小さく、一様にめっき処理が施されていることが確認された。
以上の内面めっきにおける袋状空間の気体または液体の吸引や噴出、このための浸漬保持具、補助陽極は、ニッケルめっきに限られない。さらに被めっき物は、袋状空間を有するワークであれば、袋ナットに限られない。内面めっきと外面めっきとを異なる工程において行うことで、内面と外面とを異なるめっき層に仕上げることができる。
浸漬保持具が利用される袋状ワークの一例としての袋ナット。 浸漬保持具の実施例。 浸漬保持具の拡大断面図。 浸漬保持具の拡大斜視図。 めっき処理ラインの実施例。 めっき処理ラインにおける浸漬保持具の動作を説明する図。 流動補助具を説明する図。 内面めっき、外面めっきにおける浸漬保持具の使用状態を説明する図。 液槽の電圧印加部について説明する図。 内面めっきにおける摺動板の位置と電圧印加について説明する図。 内面めっきを施すための気体・液体の吸引または吐出について説明する図。 袋ナットの固定について説明する図。 突起管が開口部近傍に位置する場合を示す図。 外面めっきにおける摺動板の位置と電圧印加について説明する図。 液槽内のアノードについて説明する図。 アノードと補助陽極について説明する図。 処理液の吐出によるめっき処理について説明する図。 処理液の循環について説明する図。 保持部が一段として形成された治具の他の実施例 従来の浸漬保持具とめっき処理を説明する図。 袋状ワークの他の実施例としての袋ナットの図。
符号の説明
1 袋ナット
21 浸漬保持具
24 ガイド軸
25 突起管
26 摺動板
27 基底部
59 半光沢槽
72 搬送ライン
75 ポンプ
76,77,78 電圧印加部
91 アノード
92 補助陽極

Claims (11)

  1. 袋状空間及びその開口部を有する袋状ワークをめっきする方法であって、
    脱脂、酸洗、めっき、洗浄等の各工程に対応して必要な液槽が配置され、それら各液槽に順次袋状ワークを浸漬してめっき工程を進行させるめっきラインを使用し、また袋状ワークを順次各液槽に浸漬していくために、前記液槽の液面とほぼ平行な平面に沿って、袋状ワークをその開口部が下側を向くように1段のみ保持するワーク保持具を複数使用するとともに、複数の袋状ワークを保持する前記ワーク保持具の各々を、前記めっきラインの複数の前記液槽を通るように移動させ、かつその移動経路における前記液槽に対応する位置において、複数の袋状ワークをその液槽の液面とほぼ平行な平面に沿って1段分のみ保持する前記ワーク保持具を、その1段の袋状ワークが前記液槽に浸漬されるに必要なストロークで下降・上昇させ、その下降・上昇を各液槽で繰り返して前記ワーク保持具を順次移動させていくことによりめっき工程を実施することを特徴とする袋状ワークのめっき方法。
  2. 袋状空間及びその開口部を有する袋状ワークをめっきするめっきラインであって、
    脱脂、酸洗、めっき、洗浄等の各工程に対応して互いに隣接して配置された複数の液槽と、
    前記液槽の液面とほぼ平行な平面に沿って、袋状ワークをその開口部が下側を向くように1段のみ保持する複数のワーク保持具と、
    複数の袋状ワークを保持しする前記ワーク保持具の各々を、前記めっきラインの複数の前記液槽を通るように移動させるワーク保持具送り装置と、
    その移動経路における前記液槽に対応する位置において、複数の袋状ワークをその液槽の液面とほぼ平行な平面に沿って1段分のみ保持する前記ワーク保持具を、その1段のワークが前記液槽に浸漬されるに必要なストロークで下降・上昇させる昇降装置と、を含み、
    前記液槽の各々は、前記袋状ワークを1段のみ保持するワーク保持具の昇降ストロークに対応する浅底の液槽形態とされ、そのような各液槽で下降・上昇を繰り返して前記ワーク保持具を順次移動させていくことによりめっき工程を実施することを特徴とする袋状ワークのめっきライン。
  3. 袋状空間及びその開口部を有する袋状ワークを、脱脂、酸洗、めっき、洗浄等の各工程に対応して配置された複数の液槽を通るように移動装置で移動させるとともに、その移動経路の前記液槽に対応する位置において昇降機構により下降・上昇させてそれらの液槽に前記袋状ワークを順次浸漬していくためのめっき工程用ワーク保持具であって、
    前記移動装置により移動する前記昇降機構に着脱可能に連結される連結部を有する本体フレームと、
    その本体フレームに設けられ、前記液槽の液面とほぼ平行な平面に沿って、複数の袋状ワークをその開口部が下側を向くようにほぼ同一高さで1段のみ保持する複数のワーク保持部と、
    を備えることを特徴とするめっき工程用ワーク保持具。
  4. 前記複数のワーク保持部は、前記本体フレームに前記液面とほぼ直角に立設され、前記袋状ワークの下側の開口部から前記袋状空間内に入り込み、その先端が袋状空間の内面に当接して、袋状ワークを突き上げ状態で保持する軸状ワーク保持部とされ、それら軸状ワーク保持部の先端は前記液槽の液面とほぼ平行な一平面上に位置している請求項3に記載のめっき工程用ワーク保持具。
  5. 前記袋状ワークは、それの外面の中間部から側方にせり出したフランジを有するものであり、前記複数のワーク保持部は、前記袋状ワークの下部がゆるく嵌る開口を有し、かつ前記フランジを着座させる部分を備えた穴状ワーク保持部とされ、それら穴状ワーク保持部は前記液槽の液面とほぼ平行な一平面上に位置している請求項3に記載のめっき工程用ワーク保持具。
  6. 前記軸状ワーク保持部と前記穴状ワーク保持部とが一つのワーク保持具に併設され、かつ前記袋状ワークは、前記穴状ワーク保持部に保持される第1保持状態と前記軸状ワークに保持される第2保持状態とが択一的に切り替えられるように、前記ワーク保持具にワーク保持状態の変換手段が設けられている請求項4又は5に記載のめっき工程用ワーク保持具。
  7. 袋状空間を有する袋状ワークを保持して、液槽に貯留されためっき液に浸漬するためのめっき工程用ワーク保持具であって、
    一面上に並んだ複数の保持部を有し、前記袋状ワークを前記保持部によって保持することによって袋状ワークを一面上に並んだ状態で前記めっき液に浸漬して、前記袋状ワークを前記液槽の液面に沿って並んだ状態とし、前記袋状ワークを処理することを特徴とするめっき工程用ワーク保持具。
  8. 上方を向いた第1支持部材を有し、前記第1支持部材の先端部が前記袋状ワークを保持するための保持部とされ、前記第1支持部材の前記先端部に、前記袋状ワークの前記袋状空間の開口部を下側に向けた状態で保持し、めっき処理を施す請求項7に記載のめっき工程用ワーク保持具。
  9. 前記第1支持部材は、中に空洞を有する突起管により構成され、前記突起管を介して、前記先端部によって保持された前記袋状ワークの前記袋状空間内に存在する気体又は/及びめっき液を吸引する、または前記袋状空間にめっき液を吐出することによって前記袋状ワークの前記袋状空間をなす内面にめっき処理を施す請求項8に記載のめっき工程用ワーク保持具。
  10. 前記第1支持部材に替わって前記袋状ワークを着座させて支持する第2支持部材と、
    前記袋状ワークが第2支持部材に着座するとともに、前記第1支持部材の先端が前記袋状ワークの内面から離間した第1位置と、前記袋状ワークをその頭部内面に前記第1支持部材が当接して突き上げ、前記袋状ワークを前記第2支持部材から離間させて支持する第2位置との間で、前記第1支持部材と第2支持部材とを相対的に移動可能に支持する支持部材移動機構と、
    を含み、
    前記第1支持部材によって、複数の前記袋状ワークを第一面上に支持し、
    前記第2支持部材によって、複数の前記袋状ワークを前記第1面上、またはこれと異なる第2面上に支持することを特徴とする請求項8又は9に記載のめっき工程用ワーク保持具。
  11. 少なくとも保持部を含む構成部分が導電体で形成され、外部の通電装置により、その導電体を通じて前記袋状ワークに電圧を印加することが可能な請求項7ないし10のいずれか1項に記載のめっき工程用ワーク保持具。
JP2004170524A 2004-06-08 2004-06-08 めっき工程用ワーク保持具 Active JP4603822B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004170524A JP4603822B2 (ja) 2004-06-08 2004-06-08 めっき工程用ワーク保持具

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004170524A JP4603822B2 (ja) 2004-06-08 2004-06-08 めっき工程用ワーク保持具

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2005350700A true JP2005350700A (ja) 2005-12-22
JP4603822B2 JP4603822B2 (ja) 2010-12-22

Family

ID=35585424

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004170524A Active JP4603822B2 (ja) 2004-06-08 2004-06-08 めっき工程用ワーク保持具

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4603822B2 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2492021A1 (en) * 2011-02-28 2012-08-29 Nissan Motor Manufacturing (UK) Ltd. Fastener for use in electrodeposition and method
CN108722781A (zh) * 2017-04-24 2018-11-02 奥克斯空调股份有限公司 一种换热器防腐设备
JP2020147823A (ja) * 2019-03-15 2020-09-17 高村工業株式会社 電着塗装用搬送ハンガー装置
CN111876807A (zh) * 2020-06-11 2020-11-03 海天塑机集团有限公司 一种注塑机前机筒镀铬方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4824617B1 (ja) * 1969-01-02 1973-07-23
JPH0790692A (ja) * 1993-09-16 1995-04-04 Nissin Kogyo Kk 表面処理用ハンガー装置
JP2001335994A (ja) * 2000-03-21 2001-12-07 Sugiura Seisakusho Co Ltd 袋状ワークの表面処理方法及び表面処理ライン

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4824617B1 (ja) * 1969-01-02 1973-07-23
JPH0790692A (ja) * 1993-09-16 1995-04-04 Nissin Kogyo Kk 表面処理用ハンガー装置
JP2001335994A (ja) * 2000-03-21 2001-12-07 Sugiura Seisakusho Co Ltd 袋状ワークの表面処理方法及び表面処理ライン

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2492021A1 (en) * 2011-02-28 2012-08-29 Nissan Motor Manufacturing (UK) Ltd. Fastener for use in electrodeposition and method
CN108722781A (zh) * 2017-04-24 2018-11-02 奥克斯空调股份有限公司 一种换热器防腐设备
JP2020147823A (ja) * 2019-03-15 2020-09-17 高村工業株式会社 電着塗装用搬送ハンガー装置
CN111876807A (zh) * 2020-06-11 2020-11-03 海天塑机集团有限公司 一种注塑机前机筒镀铬方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP4603822B2 (ja) 2010-12-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4603822B2 (ja) めっき工程用ワーク保持具
JP3600787B2 (ja) 袋状ワークの表面処理方法及び表面処理ライン
AU2019204152B2 (en) Portable and modular production electroplating system
JP5223449B2 (ja) めっき処理ライン
JP4613035B2 (ja) 袋状ワークの電解めっき方法および電解めっき装置
JP3586420B2 (ja) 袋状ワークのめっき方法及びめっきライン
JP2005350703A (ja) 袋状ワークの電解めっき方法、電解めっき用袋状ワーク保持治具及び袋状ワークの電解めっき装置
JP2005350698A (ja) 袋状ワークの電解めっき方法、電解めっき装置、および電解めっき用保持具
CN210788423U (zh) 一种提高五金工件电镀效率的超声波清洗机
CN112239862B (zh) 水平斜置方式逐片连续生产的化学沉积设备及方法
JP4574237B2 (ja) 電解めっき装置
JP2010189736A (ja) 自動めっき装置
CN115971145B (zh) 一种石墨舟清洗设备及清洗方法
JP2005350701A (ja) 袋状ワークの電解めっき方法および電解めっき装置
US20150136182A1 (en) Continuous-type apparatus for surface treatment of workpieces
CN113235154B (zh) 一种半导体前驱体不锈钢容器电抛装置及工艺
KR101637376B1 (ko) 트롤리 컨베이어 방식의 아노다이징 표면 처리 시스템
JP2010007155A (ja) めっき装置
CN212442291U (zh) 一种铁件除杂设备
JP5164694B2 (ja) めっき方法
KR102035233B1 (ko) 도금 시스템
JP2017025414A (ja) 表面処理装置
CN106488658B (zh) 高密度基板半加成工艺种子层快速蚀刻方法
JP2018004556A (ja) 腐食ピット材製造装置、及び腐食ピット材製造方法
JP2009094523A (ja) 基板処理装置及び方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070606

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20100531

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100603

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100730

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100816

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100830

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20100916

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20101004

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131008

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4603822

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250