JP2005340228A

JP2005340228A - 電気化学素子の製造方法および装置

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Publication number: JP2005340228A
Application number: JP2004152670A
Authority: JP
Inventors: Katsuo Naoi; 克夫直井; Kunio Miyahara; 邦男宮原; Eiji Horigome; 英司堀込; Satoru Maruyama; 哲丸山
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 2004-05-24
Filing date: 2004-05-24
Publication date: 2005-12-08

Abstract

【課題】少なくとも集電体フィルムと多孔質層とを含む積層シートを、所望のように、切断して、所定のサイズを有する積層体部品を作製することができ、信頼性が高い電気化学素子を、高い歩留まりで製造することができる電気化学素子の製造方法を提供する。
【解決手段】導電性を有する集電体フィルム２と、集電体フィルムの両面に形成された導電性材料を含む多孔質層４ａ、４ｂとを含む積層シー１に、ＹＶＯレーザ１１を照射し、積層シートとＹＶＯレーザを相対的に移動させて、積層シートを切断し、所定のサイズを有する積層体部品７を作製することを特徴とする電気化学素子の製造方法。
【選択図】図５

Description

本発明は、電気化学素子の製造方法および装置に関するものであり、さらに詳細には、少なくとも集電体フィルムと多孔質層とを含む積層シートを、所望のように、切断して、所定のサイズを有する積層体部品を作製することができ、信頼性が高い電気化学素子を、高い歩留まりで製造することができる電気化学素子の製造方法および装置に関するものである。

電気化学素子は、小型化、軽量化が容易であるため、携帯機器（小型電子機器）などのバックアップ用電源、電気自動車やハイブリッド自動車向けの補助電源などとしての利用が期待されており、その性能向上のため、種々の試みがなされている。

このような電気化学素子は、一般に、まず、アルミニウムなどからなる集電体フィルム、アンダーコート層および多孔質層を積層して、アノード電極あるいはカソード電極用の積層シートを形成し、積層シートを、金型を用いた打抜き加工によって、カットして、所定のサイズを有するアノード電極あるいはカソード電極を作製し、アノード電極あるいはカソード電極と、同様にして作製したカソード電極あるいはアノード電極とをセパレータを介して、貼り合わせて、積層体ユニットを作製し、積層体ユニットをフィルムで包んだり、金属缶に収納したりして、製造されている。

しかしながら、金型を用いた打抜き加工によって、積層シートをカットして、所定のサイズを有するアノード電極あるいはカソード電極を作製する場合には、金型から切断面に加わる剪断力によって、集電体フィルムにばりや歪みが発生し、アノード電極とカソード電極とを、セパレータを介して、貼り合わせて、電気化学素子を生成したときに、短絡の原因になって、電気化学素子としての電気的特性を得ることができなくなり、アノード電極とカソード電極とが短絡したときには、アノード電極からカソード電極に電流が流れるため、電気化学素子をキャパシタとして用いる場合に、電荷を蓄積することができなって、キャパシタとして機能しなくなるという問題があった。

長期使用によって、金型が磨耗して、金型から積層シートに加わる剪断力が低下した場合には、集電体フィルムにばりや歪みが発生しやすくなるため、とくに深刻な問題になっていた。

したがって、本発明は、少なくとも集電体フィルムと多孔質層とを含む積層シートを、所望のように、切断して、所定のサイズを有する積層体部品を作製することができ、信頼性が高い電気化学素子を、高い歩留まりで製造することができる電気化学素子の製造方法および装置を提供することを目的とするものである。

本発明のかかる目的は、導電性を有する集電体フィルムと、前記集電体フィルムの少なくとも一方の表面に形成された導電性材料を含む多孔質層とを含む積層シートに、ＹＶＯレーザを照射し、前記積層シートと前記ＹＶＯレーザを相対的に移動させて、前記積層シートを切断し、所定のサイズを有する積層体部品を作製することを特徴とする電気化学素子の製造方法によって達成される。

本発明によれば、ＹＶＯレーザを用いて、積層シートを切断するように構成されているから、積層シートの切断面に、剪断力が加わることがなく、したがって、積層体部品の集電体フィルムにばりや歪みが発生することを確実に防止することが可能になるから、信頼性が高い電気化学素子を、高い歩留まりで、製造することが可能になる。

本発明の好ましい実施態様においては、前記積層体ユニットに対して、前記ＹＶＯレーザを二次元的に移動させて、前記積層シートを切断するように構成されている。

本発明の別の好ましい実施態様においては、前記ＹＶＯレーザに対して、前記積層シートを二次元的に移動させて、前記積層シートを切断するように構成されている。

本発明のさらに好ましい実施態様においては、作製されるべき前記積層体部品に対する前記ＹＶＯレーザの照射角度が、８０°以上、９０°未満になるように、前記積層シートに、前記ＹＶＯレーザを照射するように構成されている。

本発明のさらに好ましい実施態様によれば、ＹＶＯレーザのビーム断面と、積層体部品とが交わる角度が９０°に近い角度になるように、積層シートに、ＹＶＯレーザを照射することができ、したがって、積層体部品の端面が９０°に近い角度になるように、積層シートを切断して、積層体部品を作製することが可能になる。

本発明のさらに好ましい実施態様においては、前記ＹＶＯレーザのビーム断面と、作製されるべき前記積層体部品とが交わる角度が略９０°になるように、前記積層シートに、前記ＹＶＯレーザを照射するように構成されている。

本発明のさらに好ましい実施態様によれば、ＹＶＯレーザのビーム断面と、積層体部品とが交わる角度が略９０°になるように、ＹＶＯレーザが積層シートに照射されて、積層シートが切断され、積層体部品が作製されているから、積層体部品の端面が略９０°になるように、積層シートを切断して、積層体部品を作製することが可能になる。

本発明の前記目的はまた、それぞれが、導電性を有する集電体フィルムと、前記集電体フィルムの少なくとも一方の表面に形成された導電性材料を含む多孔質層とを含み、互いに積層された２以上の積層シートに、前記ＹＶＯレーザを照射し、前記２以上の積層シートと前記ＹＶＯレーザを相対的に移動させて、前記２以上の積層シートを同時に切断し、所定のサイズを有する２以上の積層体部品を作製することを特徴とする電気化学素子の製造方法によって達成される。

本発明の好ましい実施態様においては、切断されるべき前記２以上の積層シートの厚さに応じて、前記ＹＶＯレーザを発するレーザ光源と、前記２以上の積層シートとの距離を調整するように構成されている。

本発明のさらに好ましい実施態様によれば、切断されるべき２以上の積層シートの厚さに応じて、ＹＶＯレーザを発するレーザ光源と、２以上の積層シートとの距離が調整されるから、ＹＶＯレーザの焦点の位置を、所望の位置に設定して、２以上の積層シートを同時に切断し、複数の積層体部品を同時に作製することが可能になる。

本発明の前記目的はまた、ＹＶＯレーザを発するレーザ光源と、導電性を有する集電体フィルムと、前記集電体フィルムの少なくとも一方の表面に形成された導電性材料を含む多孔質層とを含み、前記ＹＶＯレーザが照射される積層シートと前記ＹＶＯレーザとを相対的に移動させる移動機構と、前記ＹＶＯレーザが、前記積層シートに照射される位置の近傍に配置された集塵装置および／またはエアブロー装置とを備えたことを特徴とする電気化学素子の製造装置によって達成される。

本発明によれば、電気化学素子の製造装置は、ＹＶＯレーザを発するレーザ光源と、導電性を有する集電体フィルムと、集電体フィルムの少なくとも一方の表面に形成された導電性材料を含む多孔質層とを含み、ＹＶＯレーザが照射される積層シートと前記ＹＶＯレーザとを相対的に移動させる移動機構を備えているから、積層シートに、ＹＶＯレーザを照射し、積層体ユニットとＹＶＯレーザとを相対的に移動させて、積層シートを切断し、所定のサイズを有する積層体部品を作製することができ、したがって、積層シートの切断面に、剪断力が加わることがなく、積層体部品の集電体フィルムにばりや歪みが発生することを確実に防止することが可能になるから、信頼性が高い電気化学素子を、高い歩留まりで製造することが可能になり、さらに、電気化学素子の製造装置は、ＹＶＯレーザが、積層体ユニットに照射される位置の近傍に配置された集塵装置および／またはエアブロー装置を備えているから、ＹＶＯレーザによって、積層シートを切断したときに生じる微粉やガスを、積層シートの切断部から速やかに除去することができ、したがって、積層シートの切断によって発生した微粉が、電気化学素子に短絡を生じさせることを確実に防止して、信頼性が高い電気化学素子を、高い歩留まりで製造することが可能になる。

本発明の好ましい実施態様においては、前記積層シートが長尺状をなし、前記移動機構が、長尺状の前記積層シートを搬送する積層体ユニット搬送機構と、前記ＹＶＯレーザの走査機構とによって構成されている。

本発明の別の好ましい実施態様においては、前記積層シートがシート状をなし、電気化学素子の製造装置が、さらに、前記積層シートを支持する支持テーブルを備え、前記移動機構が、前記支持テーブルを三次元的に移動させるテーブル移動機構によって構成されている。

本発明の前記目的はまた、ＹＶＯレーザを発するレーザ光源と、それぞれが、導電性を有する集電体フィルムと、前記集電体フィルムの少なくとも一方の表面に形成された導電性材料を含む多孔質層とを含み、互いに積層された２以上の積層シートと、前記ＹＶＯレーザとを相対的に移動させる移動機構と、前記２以上の積層シートに、前記ＹＶＯレーザが照射される位置の近傍に配置された集塵装置および／またはエアブロー装置とを備えたことを特徴とする電気化学素子の製造装置によって達成される。

本発明の好ましい実施態様においては、電気化学素子の製造装置は、さらに、切断されるべき前記２以上の積層シートの厚さに応じて、前記ＹＶＯレーザを発するレーザ光源と、前記２以上の積層シートとの距離を調整する距離調整手段を備えている。

本発明によれば、少なくとも集電体フィルムと多孔質層とを含む積層シートを、所望のように、切断して、所定のサイズを有する積層体部品を作製することができ、信頼性が高い電気化学素子を、高い歩留まりで製造することができる電気化学素子の製造方法および装置を提供することが可能になる。

以下、添付図面に基づいて、本発明の好ましい実施態様につき、詳細に説明を加える。

図１は、本発明の好ましい実施態様にかかる電気化学キャパシタの製造装置によって切断される積層シートの略断面図である。

図１に示されるように、積層シート１は長尺状をなし、アノード電極あるいはカソード電極用の積層シートとして形成され、アルミニウムによって形成された集電体フィルム２と、集電体フィルム２の両面に塗布されたアンダーコート層３ａ、３ｂと、アンダーコート層３ａの表面に塗布されたカーボン材料を含む多孔質層４ａと、アンダーコート層３ｂの表面に塗布されたカーボン材料を含む多孔質層４ｂとを含んでいる。

図２は、図１に示された積層シート１の矢印Ａの方向から見た略平面図であり、図３は、図１に示された積層シート１の矢印Ｂの方向から見た略平面図である。

図２および図３に示されるように、集電体フィルム２の両表面には、長手方向両縁部を除き、アンダーコート層３ａおよび多孔質層４ａあるいはアンダーコート層３ｂおよび多孔質層４ｂが形成されている。

図４は、本発明の好ましい実施態様にかかる電気化学キャパシタの製造装置によって、積層シート１が切断されて、作製されるべき積層体部品の略平面図である。

図４に示されるように、多孔質層４ｂ、アンダーコート層３ｂ、集電体フィルム２、アンダーコート層３ａおよび多孔質層４ａが積層された積層シート１の部分が略矩形状をなし、その一縁部７ｂに、リード８として機能する略矩形状の集電体フィルム２が残されるように、積層シート１が切断されて、積層体部品７が作製される。

図５は、本発明の好ましい実施態様にかかる電気化学キャパシタの製造装置の略断面図である。

本実施態様にかかる電気化学キャパシタの製造装置は、長尺状の積層シート１が、所定の長さを有するように裁断された積層シート１を、所定のサイズに切断して、図４に示される積層体部品を作製可能に構成されており、図５に示されるように、その上面で、積層シート１を支持する支持テーブル１０と、支持テーブル１０の上方に配置され、支持テーブル１０に向けて、ＹＶＯレーザ１１を発するレーザ光源１２と、ｆθレンズ１３と、支持テーブル１０に向けて、エアを放出するエアブロー装置１４とを備えている。本実施態様において、ｆθレンズ１３は、角度調整機構（図示せず）によって、その角度が制御可能に構成されている。

本実施態様においては、支持テーブル１０は、数値制御されたテーブル移動機構（図示せず）により、略水平面内において、移動可能に構成されており、一方、レーザ光源１２は静止状態に保持されている。

上述のように、本実施態様にかかる電気化学キャパシタの製造装置は、積層シート１を、所定のサイズに切断して、図４に示される積層体部品を作製可能に構成されており、したがって、支持テーブル１０は、ＹＶＯレーザ１１が、図４に示される作製すべき積層体部品７の縁部に対応する部分に沿って、積層シート１に照射される。

支持テーブル１０のＹＶＯレーザ１１が照射される部分には、ＹＶＯレーザ１１が透過する空隙部が形成されている。図５においては、空隙部は、参照番号１５ａおよび１５ｂによって示されているが、本実施態様においては、図４に示される作製すべき積層体部品７の縁部７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄに対応する部分に沿って、ＹＶＯレーザ１１が照射されるから、空隙部１５ａ、１５ｂは、支持テーブル１０に、枠状に形成されている。

また、図５に示されるように、支持テーブル１０に形成された空隙部１５ａ、１５ｂ内には、それぞれ、集塵装置（図示せず）の集塵ノズル１６ａ、１６ｂが配置されている。図５においては、２つの集塵ノズル１６ａ、１６ｂのみが図示されているが、前述のように、支持テーブル１０には、空隙部１５ａ、１５ｂが枠状に形成されているから、作製すべき積層体部品７の各縁部７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄに対応して形成された空隙部内に、それぞれ、１つの集塵ノズル１６ａ、１６ｂが配置されている。

図５に示されるように、本実施態様にかかる電気化学キャパシタの製造装置は、さらに、支持テーブル１０の上方に、集電体フィルム２の縁部近傍の多孔質層４ａあるいは４ｂが形成されていない領域、すなわち、集電体フィルム２と多孔質層４ａとの境界あるいは集電体フィルム２と多孔質層４ｂとの境界と、その外側に位置する集電体フィルム２の縁部との間の領域を検出し、その画像を生成するＣＣＤカメラ１７を備えている。

図６は、図５に示された電気化学キャパシタの製造装置の制御系、検出系、駆動系および入力系を示すブロックダイアグラムである。

図６に示されるように、本実施態様にかかる電気化学キャパシタの製造装置の制御系は、電気化学キャパシタの製造装置全体の動作を制御するコントローラ２０を備え、電気化学キャパシタの製造装置の検出系は、集電体フィルム２の縁部近傍の多孔質層４ａあるいは４ｂが形成されていない領域を検出し、その画像を生成するＣＣＤカメラ１７を備えている。

また、電気化学キャパシタの製造装置の駆動系は、支持テーブル１０を、略水平面内において、二次元的に移動させるテーブル移動機構２１と、ｆθレンズ１３の角度を調整して、ＹＶＯレーザ１１が、積層シート１に照射される角度を調整する角度調整機構２２を備え、電気化学キャパシタの製造装置の入力系は、キーボード２３を備えている。

以上のように構成された本実施態様にかかる電気化学キャパシタの製造装置は、以下のようにして、積層シート１を切断して、所定のサイズを有する積層体部品７を作製する。

まず、ユーザーによって、積層シート１が、多孔質層４ａが上になるように、支持テーブル１０上にセットされる。

次いで、ユーザーによって、キーボード２３に、作製すべき積層体部品７のサイズを示す切断データが入力され、スタート信号が入力される。

キーボード２３に入力された切断データとスタート信号は、コントローラ２０に出力され、コントローラ２０は、切断データとスタート信号が入力されると、テーブル移動機構２１に第一の駆動信号を出力して、集電体フィルム２の縁部近傍の多孔質層４ａが形成されていない領域が、ＣＣＤカメラ１７に対向するように、支持テーブル１０を移動させ、次いで、ＣＣＤカメラ１７によって検出された集電体フィルム２の縁部近傍の多孔質層４ａが形成されていない領域の画像を取り込んで、メモリ（図示せず）に記憶させる。

次いで、ユーザーによって、積層シート１が、支持テーブル１０上から取り去られ、積層シート１が、多孔質層４ｂが上になるように、支持テーブル１０上に再セットされ、再スタート信号がキーボード２３に入力される。

再スタート信号はコントローラ２０に出力され、再スタート信号を受けると、コントローラ２０は、テーブル移動機構２１に第一の駆動信号を出力して、集電体フィルム２の縁部近傍の多孔質層４ｂが形成されていない領域が、ＣＣＤカメラ１７に対向するように、支持テーブル１０を移動させ、次いで、ＣＣＤカメラ１７によって検出された集電体フィルム２の縁部近傍の多孔質層４ｂが形成されていない領域の画像を取り込んで、メモリ（図示せず）に記憶させる。

さらに、コントローラ２０は、メモリに記憶された２つの画像を読み出して、集電体フィルム２の縁部近傍の多孔質層４ａが形成されていない領域の幅と、集電体フィルム２の縁部近傍の多孔質層４ｂが形成されていない領域の幅を比較する。

これは、本実施態様においては、アンダーコート層３ａおよび多孔質層４ａならびにアンダーコート層３ｂおよび多孔質層４ｂは、長尺状の集電体フィルム２の表面に、別のプロセスで、塗布によって形成されるため、集電体フィルム２と多孔質層４ａとの境界の位置と、集電体フィルム２と多孔質層４ｂとの境界の位置とが一致していないことがあり得るからである。

その結果、両者が一致していると判定したときは、コントローラ２０は、角度調整機構２２に第一の角度調整信号を出力して、積層シート１に照射されたＹＶＯレーザ１１のビーム断面と、作製すべき積層体部品７の縁部７ａに対応する積層シート１の部分とが交わる角度がほぼ９０°になるように、ｆθレンズ１３の角度を調整させる。

次いで、コントローラ２０は、テーブル移動機構２１に初期信号を出力して、レーザ光源１２から放出されるＹＶＯレーザ１１を、積層シート１の切断開始位置に照射可能な位置に、支持テーブル１０を移動させ、次いで、レーザ光源１２に第一の駆動信号を出力して、レーザ光源１２をオンさせる。

その結果、レーザ光源１２から、そのパワーが切断パワーに設定されたＹＶＯレーザ１１が放出され、積層シート１の切断開始位置に照射される。ここに、ＹＶＯレーザ１１の切断パワーは、積層シート１を切断するのに十分なレベルに設定される。

本実施態様においては、積層シート１の作製すべき積層体部品７の縁部７ａに対応する部分をまず切断し、次いで、縁部７ｂに対応する部分、形成すべきリード８の縁部８ａ、８ｂ、８ｃに対応する部分、積層シート１の作製すべき積層体部品７の縁部７ｃに対応する部分、縁部７ｄに対応する部分の順に、切断するように構成されており、したがって、積層シート１の切断開始位置は、作製すべき積層体部品７の縁部７ａと縁部７ｄとの交点になる。

次いで、コントローラ２０は、テーブル移動機構２１に第一の切断信号を出力して、積層シート１に対して、ＹＶＯレーザ１１が、作製すべき積層体部品７の縁部７ａに対応する積層シート１の部分に沿って、相対的に移動するように、支持テーブル１０を移動させる。

その結果、作製すべき積層体部品７の縁部７ａに沿って、積層シート１が切断される。

ここに、積層シート１に照射されたＹＶＯレーザ１１のビーム断面と、作製すべき積層体部品７の縁部７ａに対応する積層シート１の部分とが交わる角度がほぼ９０°になるように、ｆθレンズ１３の角度が調整されているから、積層体部品７の縁部７ａは、積層シート１の表面に対して、ほぼ９０°の角度を有するように切断される。

また、積層シート１は、ＹＶＯレーザ１１によって切断され、打抜き加工によって切断される場合のように、剪断力によって切断されるものではないから、集電体フィルム２にばりや歪みが発生することを確実に防止しつつ、積層シート１を切断することができる。

さらに、ＹＶＯレーザ１１によって、積層シート１を切断するときには、微粉やガスが発生するが、本実施態様においては、エアブロアー装置１４が設けられているから、ＹＶＯレーザ１１によって積層シート１を切断したときに発生した微粉やガスを、積層シート１の切断部から速やかに除去することができ、また、支持テーブル１０の各空隙部内に、それぞれ、１つの集塵ノズル１６ａ、１６ｂが配置されているから、ＹＶＯレーザ１１によって積層シート１を切断したときに発生した微粉やガスを、積層シート１の切断部から速やかに除去することができ、したがって、積層シート１を切断した際に発生した微粉によって、電気化学キャパシタに短絡が生じることを、確実に防止することが可能になる。

こうして、作製すべき積層体部品７の縁部７ａに沿って、積層シート１が切断され、ＹＶＯレーザ１１が、作製すべき積層体部品７の縁部７ａと縁部７ｂとの交点に対応する積層シート１の部分に達すると、コントローラ２０は、レーザ光源１２に駆動信号を出力して、レーザ光源１２をオフするとともに、テーブル移動機構２１に駆動停止信号を出力して、支持テーブル１０の作動を停止させる。

次いで、コントローラ２０は、角度調整機構２２に第二の角度調整信号を出力して、積層シート１に照射されたＹＶＯレーザ１１のビーム断面と、作製すべき積層体部品７の縁部７ｂに対応する積層シート１の部分とが交わる角度がほぼ９０°になるように、ｆθレンズ１３の角度を調整させる。

こうして、ＹＶＯレーザ１１の放出角度が調整されると、コントローラ２０は、レーザ光源１２に第一の駆動信号を出力して、レーザ光源１２をオンさせるとともに、テーブル移動機構２１に第二の切断信号を出力して、積層シート１に対して、ＹＶＯレーザ１１が、作製すべき積層体部品７の縁部７ｂに対応する積層シート１の部分に沿って、相対的に移動するように、支持テーブル１０を移動させる。

その結果、ＹＶＯレーザ１１が、リード８を形成すべき部分に達すると、コントローラ２０は、レーザ光源１２に駆動停止信号を出力して、レーザ光源１２をオフするとともに、テーブル移動機構２１に駆動停止信号を出力して、支持テーブル１０の作動を停止させる。

前述のように、ｆθレンズ１３の角度が調整されて、ＹＶＯレーザ１１が、積層体部品７の縁部７ｂに対応する積層シート１の部分に照射されるから、積層体部品７の縁部７ｂは、積層シート１の表面に対して、ほぼ９０°の角度を有するように切断される。

次いで、コントローラ２０は、角度調整機構２２に第三の角度調整信号を出力して、積層シート１に照射されたＹＶＯレーザ１１のビーム断面と、作製すべき積層体部品７のリード８の縁部８ａに対応する積層シート１の集電体フィルム２の部分とが交わる角度がほぼ９０°になるように、ｆθレンズ１３の角度を調整させる。

こうして、ＹＶＯレーザ１１の放出角度が調整されると、コントローラ２０は、レーザ光源１２に第一の駆動信号を出力して、レーザ光源１２をオンさせるとともに、テーブル移動機構２１に第三の切断信号を出力して、積層シート１に対して、ＹＶＯレーザ１１が、作製すべき積層体部品７のリード８の縁部８ａに対応する積層シート１の集電体フィルム２の部分に沿って、相対的に移動するように、支持テーブル１０を移動させる。

その結果、ＹＶＯレーザ１１が、形成すべきリード８の縁部８ａと縁部８ｂとの交点に対応する集電体フィルム２の部分に達すると、コントローラ２０は、レーザ光源１２に駆動停止信号を出力して、レーザ光源１２をオフするとともに、テーブル移動機構２１に駆動停止信号を出力して、支持テーブル１０の作動を停止させる。

次いで、コントローラ２０は、角度調整機構２２に第四の角度調整信号を出力して、積層シート１に照射されたＹＶＯレーザ１１のビーム断面と、作製すべき積層体部品７のリード８の縁部８ｂに対応する積層シート１の集電体フィルム２の部分とが交わる角度がほぼ９０°になるように、ｆθレンズ１３の角度を調整させる。

こうして、ＹＶＯレーザ１１の放出角度が調整されると、コントローラ２０は、レーザ光源１２に第一の駆動信号を出力して、レーザ光源１２をオンさせるとともに、テーブル移動機構２１に第四の切断信号を出力して、積層シート１に対して、ＹＶＯレーザ１１が、作製すべき積層体部品７のリード８の縁部８ｂに対応する積層シート１の集電体フィルム２の部分に沿って、相対的に移動するように、支持テーブル１０を移動させる。

その結果、ＹＶＯレーザ１１が、形成すべきリード８の縁部８ｂと縁部８ｃとの交点に対応する集電体フィルム２の部分に達すると、コントローラ２０は、レーザ光源１２に駆動停止信号を出力して、レーザ光源１２をオフするとともに、テーブル移動機構２１に駆動停止信号を出力して、支持テーブル１０の作動を停止させる。

次いで、コントローラ２０は、角度調整機構２２に第五の角度調整信号を出力して、積層シート１に照射されたＹＶＯレーザ１１のビーム断面と、作製すべき積層体部品７のリード８の縁部８ｃに対応する積層シート１の集電体フィルム２の部分とが交わる角度がほぼ９０°になるように、ｆθレンズ１３の角度を調整させる。

こうして、ＹＶＯレーザ１１の放出角度が調整されると、コントローラ２０は、レーザ光源１２に第一の駆動信号を出力して、レーザ光源１２をオンさせるとともに、テーブル移動機構２１に第五の切断信号を出力して、積層シート１に対して、ＹＶＯレーザ１１が、作製すべき積層体部品７のリード８の縁部８ｃに対応する積層シート１の集電体フィルム２の部分に沿って、相対的に移動するように、支持テーブル１０を移動させる。

その結果、ＹＶＯレーザ１１が、形成すべきリード８の縁部８ｃと作製すべき積層体部品７の縁部７ｂとの交点に対応する積層シート１の部分に達すると、コントローラ２０は、レーザ光源１２に駆動停止信号を出力して、レーザ光源１２をオフするとともに、テーブル移動機構２１に駆動停止信号を出力して、支持テーブル１０を停止させる。

以上のように、積層シート１に照射されたＹＶＯレーザ１１のビーム断面と、作製すべき積層体部品７のリード８の各縁部８ａ、８ｂ、８ｃに対応する集電体フィルム２の部分とが交わる角度がほぼ９０°になるように、ｆθレンズ１３の角度が調整されて、ＹＶＯレーザ１１が、積層体部品７のリード８に対応する集電体フィルム２の部分に照射され、集電体フィルム２が切断されるから、リード８の各縁部８ａ、８ｂ、８ｃは、積層シート１の表面に対して、ほぼ９０°の角度を有するように切断される。

その結果、ＹＶＯレーザ１１が、作製すべき積層体部品７の縁部７ｂと縁部７ｃとの交点に対応する積層シート１の部分に達すると、コントローラ２０は、レーザ光源１２に駆動停止信号を出力して、レーザ光源１２をオフするとともに、テーブル移動機構２１に駆動停止信号を出力して、支持テーブル１０の作動を停止させる。

次いで、コントローラ２０は、角度調整機構２２に第六の角度調整信号を出力して、積層シート１に照射されたＹＶＯレーザ１１のビーム断面と、作製すべき積層体部品７の縁部７ｃに対応する積層シート１の部分とが交わる角度がほぼ９０°になるように、ｆθレンズ１３の角度を調整させる。

こうして、ＹＶＯレーザ１１の放出角度が調整されると、コントローラ２０は、レーザ光源１２に第一の駆動信号を出力して、レーザ光源１２をオンさせるとともに、テーブル移動機構２１に第六の切断信号を出力して、積層シート１に対して、ＹＶＯレーザ１１が、作製すべき積層体部品７の縁部７ｃに対応する積層シート１の部分に沿って、相対的に移動するように、支持テーブル１０を移動させる。

その結果、ＹＶＯレーザ１１が、作製すべき積層体部品７の縁部７ｃと縁部７ｄとの交点に対応する積層シート１の部分に達すると、コントローラ２０は、レーザ光源１２に駆動停止信号を出力して、レーザ光源１２をオフするとともに、テーブル移動機構２１に駆動停止信号を出力して、支持テーブル１０の作動を停止させる。

前述のように、ｆθレンズ１３の角度が調整されて、ＹＶＯレーザ１１が、積層体部品７の縁部７ｃに対応する積層シート１の部分に照射されるから、積層体部品７の縁部７ｃは、積層シート１の表面に対して、ほぼ９０°の角度を有するように切断される。

次いで、コントローラ２０は、角度調整機構２２に第七の角度調整信号を出力して、積層シート１に照射されたＹＶＯレーザ１１のビーム断面と、作製すべき積層体部品７の縁部７ｃに対応する積層シート１の部分とが交わる角度がほぼ９０°になるように、ｆθレンズ１３の角度を調整させる。

こうして、ＹＶＯレーザ１１の放出角度が調整されると、コントローラ２０は、レーザ光源１２に第一の駆動信号を出力して、レーザ光源１２をオンさせるとともに、テーブル移動機構２１に第七の切断信号を出力して、積層シート１に対して、ＹＶＯレーザ１１が、作製すべき積層体部品７の縁部７ｄに対応する積層シート１の部分に沿って、相対的に移動するように、支持テーブル１０を移動させる。

その結果、ＹＶＯレーザ１１が、作製すべき積層体部品７の縁部７ｄと縁部７ａとの交点に対応する積層シート１の部分に達すると、コントローラ２０は、レーザ光源１２に駆動停止信号を出力して、レーザ光源１２をオフするとともに、テーブル移動機構２１に駆動停止信号を出力して、支持テーブル１０の作動を停止させ、積層シート１の切断操作を完了させる。

これに対して、メモリに記憶された画像に基づいて、集電体フィルム２の縁部近傍の多孔質層４ａが形成されていない領域の幅と、集電体フィルム２の縁部近傍の多孔質層４ｂが形成されていない領域の幅を比較した結果、両者が一致せず、集電体フィルム２と多孔質層４ａとの境界よりも、集電体フィルム２と多孔質層４ｂとの境界が、積層シート１の縁部に近い位置に位置していると判定したときは、コントローラ２０は、レーザ光源１２に第二の駆動信号を出力して、レーザ光源１２から、そのパワーがトリミングパワーに設定されたＹＶＯレーザ１１を放出させるとともに、テーブル移動機構２１にトリミング信号を出力して、ＹＶＯレーザ１１が、集電体フィルム２と多孔質層４ａとの境界に対応する位置と、集電体フィルム２と多孔質層４ｂとの境界との間に位置する多孔質層４ｂに照射されるように、支持テーブル１０を移動させる。

ここに、ＹＶＯレーザ１１のトリミングパワーは、多孔質層４ａあるいは多孔質層４ｂを除去するに十分で、かつ、積層シート１が切断されることがないようなレベルに設定される。

その結果、ＹＶＯレーザ１１によって、集電体フィルム２と多孔質層４ａとの境界に対応する位置と、集電体フィルム２と多孔質層４ｂとの境界との間に位置する多孔質層４ｂが、集電体フィルム２から除去されて、集電体フィルム２と多孔質層４ａとの境界と、集電体フィルム２と多孔質層４ｂとの境界とを一致させることができる。したがって、上述したのと同様にして、レーザ光源１２、角度調整機構２２およびテーブル移動機構２１を制御することによって、所望のように、積層シート１を切断して、所定のサイズを有する積層体部品７の作製することができる。

一方、メモリに記憶された画像に基づいて、集電体フィルム２の縁部近傍の多孔質層４ａが形成されていない領域の幅と、集電体フィルム２の縁部近傍の多孔質層４ｂが形成されていない領域の幅を比較した結果、両者が一致せず、集電体フィルム２と多孔質層４ｂとの境界よりも、集電体フィルム２と多孔質層４ａとの境界が、積層シート１の縁部に近い位置に位置していると判定したときは、コントローラ２０は表示手段（図示せず）にその旨を表示し、ユーザーによって、積層シート１が支持テーブル１０から取り去られ、再度、積層シート１が、多孔質層４ａが上になるように、支持テーブル１０上にセットされ、トリミング信号がキーボード２３に入力される。

トリミング信号は、コントローラ２０に出力され、トリミング信号を受けると、コントローラ２０は、メモリに記憶された画像に基づいて、集電体フィルム２と多孔質層４ａとの境界と、集電体フィルム２と多孔質層４ｂとの境界との位置を確定し、レーザ光源１２に第二の駆動信号を出力して、レーザ光源１２から、そのパワーがトリミングパワーに設定されたＹＶＯレーザ１１を放出させるとともに、テーブル移動機構２１にトリミング信号を出力して、ＹＶＯレーザ１１が、集電体フィルム２と多孔質層４ｂとの境界に対応する位置と、集電体フィルム２と多孔質層４ａとの境界との間に位置する多孔質層４ｂに照射されるように、支持テーブル１０を移動させる。

その結果、ＹＶＯレーザ１１によって、集電体フィルム２と多孔質層４ｂとの境界に対応する位置と、集電体フィルム２と多孔質層４ａとの境界との間に位置する多孔質層４ａが、集電体フィルム２から除去されて、集電体フィルム２と多孔質層４ｂとの境界と、集電体フィルム２と多孔質層４ａとの境界とを一致させることができる。したがって、上述したのと同様にして、レーザ光源１２、角度調整機構２２およびテーブル移動機構２１を制御することによって、所望のように、積層シート１を切断して、所定のサイズを有する積層体部品７の作製することができる。

本実施態様によれば、積層シート１は、ＹＶＯレーザ１１によって切断され、打抜き加工によって切断される場合のように、剪断力によって切断されるものではないから、集電体フィルム２にばりや歪みが発生することを確実に防止しつつ、積層シート１を切断することができ、信頼性が高い電気化学素子を、高い歩留まりで製造することが可能になる。

また、本実施態様によれば、積層シート１に照射されたＹＶＯレーザ１１のビーム断面と、作製すべき積層体部品７の縁部に対応する積層シート１の部分とが交わる角度がほぼ９０°になるように、ｆθレンズ１３の角度が調整されているから、積層体部品７の縁部を、積層シート１の表面に対して、ほぼ９０°の角度を有するように切断することが可能になる。

さらに、本実施態様によれば、積層シート１の切断に先立って、ＣＣＤカメラ１７により、集電体フィルム２と多孔質層４ａとの境界の位置と、集電体フィルム２と多孔質層４ｂとの境界の位置とを検出し、両者が一致していないときは、ＹＶＯレーザ１１によって、両者が一致するよに、不要な多孔質層４ａまたは４ｂの部分を除去するように構成されているから、電気化学キャパシタの電極集積効率を向上させることが可能になる。

また、本実施態様によれば、支持テーブル１０の各空隙部内に、それぞれ、１つの集塵ノズル１６ａ、１６ｂが配置されているから、ＹＶＯレーザ１１によって積層シート１を切断したときに発生した微粉やガスを、集塵ノズル１６ａ、１６ｂによって回収することができ、したがって、ＹＶＯレーザ１１によって積層シート１を切断したときに発生した微粉やガスを、積層シート１の切断部から速やかに除去することが可能になるから、ＹＶＯレーザ１１によって積層シート１を切断したときに発生した微粉によって、電気化学キャパシタに短絡が生じることを、確実に防止することが可能になる。

図７は、本発明の別の好ましい実施態様にかかる電気化学キャパシタの製造装置の略断面図である。

本実施態様にかかる電気化学キャパシタの製造装置は、長尺状の積層シート１を、所定のサイズに切断して、図４に示される積層体部品を作製可能に構成されており、図７に示されるように、その上面で、積層シート１を支持する支持テーブル３０と、支持テーブル３０の上方に配置され、支持テーブル３０に向けて、ＹＶＯレーザ３１を発するレーザ光源３２と、ｆθレンズ３３と、支持テーブル３０に向けて、エアを放出するエアブロー装置３４とを備えている。

本実施態様においては、積層シート１の切断にあたり、積層シート１は静止状態に保持され、ＹＶＯレーザ１１が、図４に示される作製すべき積層体部品７の縁部に対応する部分に沿って、積層シート１に照射されるように、レーザ光源３２が走査機構（図示せず）によって走査されるように構成されている。

したがって、図５および図６に示された電気化学キャパシタの製造装置と同様に、支持テーブル３０のＹＶＯレーザ３１が照射される部分には、ＹＶＯレーザ３１が透過する空隙部が形成されている。図７においては、空隙部は、参照番号３５ａおよび３５ｂによって示されているが、本実施態様においては、図４に示される作製すべき積層体部品７の縁部７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄに対応する部分に沿って、ＹＶＯレーザ３１が照射されるから、空隙部３５ａ、３５ｂは、支持テーブル１０に、枠状に形成されている。

また、図７に示されるように、作製すべき積層体部品７の各縁部７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄに対応して形成された支持テーブル１０の空隙部３５ａ、３５ｂ内に、それぞれ、１つの集塵装置（図示せず）の集塵ノズル３６ａ、３６ｂが配置されている。

図５および図６に示された電気化学キャパシタの製造装置と同様に、本実施態様においても、支持テーブル３０の上方に、集電体フィルム２の縁部近傍の多孔質層４ａあるいは４ｂが形成されていない領域を検出し、その画像を生成するＣＣＤカメラ３７が設けられている。

図７に示されるように、長尺状の積層シート１は、繰り出しローラ３８によって、支持テーブル３０上に繰り出され、巻き取りローラ３９によって巻き取られるように、構成されている。

図８は、図７に示された電気化学キャパシタの製造装置の制御系、検出系、駆動系および入力系を示すブロックダイアグラムである。

図８に示されるように、本実施態様にかかる電気化学キャパシタの製造装置の制御系は、電気化学キャパシタの製造装置全体の動作を制御するコントローラ４０を備え、電気化学キャパシタの製造装置の検出系は、集電体フィルム２の縁部近傍の多孔質層４ａあるいは４ｂが形成されていない領域を検出し、その画像を生成するＣＣＤカメラ３７を備えている。

また、電気化学キャパシタの製造装置の駆動系は、ＹＶＯレーザ３１が、図４に示される作製すべき積層体部品７の縁部に対応する部分に沿って、積層シート１に照射されるように、レーザ光源３２を走査する走査機構４１と、レーザ光源３２からのＹＶＯレーザ３１の放出角度を調整する角度調整機構４２と、長尺状の積層シート１を繰り出す繰り出しローラ３８と、積層シート１を巻き取る巻き取りローラ３９とを備え、電気化学キャパシタの製造装置の入力系は、キーボード４３を備えている。

まず、ユーザーによって、多孔質層４ａが上になるように、積層シート１が、繰り出しローラ３８から繰り出され、積層シート１の切断されるべき部分が、支持テーブル３０の空隙部３５ａ、３５ｂ上に位置するまで、積層シート１が、巻き取りローラ３９によって巻き取られる。

次いで、ユーザーによって、キーボード４３に、作製すべき積層体部品７のサイズを示す切断データが入力されるとともに、スタート信号が入力され、図５および図６に示された実施態様と同様にして、ＣＣＤカメラ３７によって、集電体フィルム２の縁部近傍の多孔質層４ａが形成されていない領域が検出され、その画像が、コントローラ４０のメモリ（図示せず）に記憶される。

さらに、ユーザーによって、積層シート１が、支持テーブル３０上から取り去られ、積層シート１が、多孔質層４ｂが上になるように、支持テーブル３０上に再セットされるとともに、再スタート信号がキーボード４３に入力され、ＣＣＤカメラ３７によって、集電体フィルム２の縁部近傍の多孔質層４ｂが形成されていない領域が検出され、その画像が、コントローラ４０のメモリ（図示せず）に記憶される。

次いで、コントローラ４０によって、集電体フィルム２の縁部近傍の多孔質層４ａが形成されていない領域の幅と、集電体フィルム２の縁部近傍の多孔質層４ｂが形成されていない領域の幅とが比較され、両者が一致しているときは、走査機構４１によって、ＹＶＯレーザ３１が、静止状態に保持された積層シート１上を、作製されるべき積層体部品７の縁部７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄおよびリード８の縁部８ａ、８ｂ、８ｃに沿って走査される点を除き、図５および図６に示された実施態様と同様にして、積層シート１が、所定のサイズに切断されて、積層体部品７が作製される。

これに対して、集電体フィルム２の縁部近傍の多孔質層４ａが形成されていない領域の幅と、集電体フィルム２の縁部近傍の多孔質層４ｂが形成されていない領域の幅とが一致せず、集電体フィルム２と多孔質層４ａとの境界よりも、集電体フィルム２と多孔質層４ｂとの境界が、積層シート１の縁部に近い位置に位置していると判定したときは、コントローラ４０は、レーザ光源３２に第二の駆動信号を出力して、レーザ光源３２から、そのパワーがトリミングパワーに設定されたＹＶＯレーザ３１を放出させるとともに、走査機構４１、繰り出しローラ３８および巻き取りローラ３９にトリミング信号を出力して、積層シート１の全長にわたって、ＹＶＯレーザ３１が、集電体フィルム２と多孔質層４ａとの境界に対応する位置と、集電体フィルム２と多孔質層４ｂとの境界との間に位置する多孔質層４ｂに照射されるように、レーザ光源３２を移動させる。

その結果、ＹＶＯレーザ３１によって、積層シート１の全長にわたって、集電体フィルム２と多孔質層４ａとの境界に対応する位置と、集電体フィルム２と多孔質層４ｂとの境界との間に位置する多孔質層４ｂが、集電体フィルム２から除去されて、集電体フィルム２と多孔質層４ａとの境界と、集電体フィルム２と多孔質層４ｂとの境界とを一致させることができる。したがって、上述したのと同様にして、レーザ光源３２、角度調整機構４２および走査機構４１を制御することによって、所望のように、積層シート１を切断して、所定のサイズを有する積層体部品７の作製することができる。

一方、集電体フィルム２の縁部近傍の多孔質層４ａが形成されていない領域の幅と、集電体フィルム２の縁部近傍の多孔質層４ｂが形成されていない領域の幅とが一致せず、集電体フィルム２と多孔質層４ｂとの境界よりも、集電体フィルム２と多孔質層４ａとの境界が、積層シート１の縁部に近い位置に位置していると判定したときは、コントローラ４０は表示手段（図示せず）にその旨を表示し、ユーザーによって、積層シート１が支持テーブル１０から取り去られ、再度、積層シート１が、多孔質層４ａが上になるように、支持テーブル１０上にセットされ、トリミング信号がキーボード４３に入力される。

トリミング信号を受けると、コントローラ４０は、メモリに記憶された画像に基づいて、集電体フィルム２と多孔質層４ａとの境界と、集電体フィルム２と多孔質層４ｂとの境界との位置を確定し、レーザ光源３２に第二の駆動信号を出力して、レーザ光源３２から、そのパワーがトリミングパワーに設定されたＹＶＯレーザ３１を放出させるとともに、走査機構４１、繰り出しローラ３８および巻き取りローラ３９にトリミング信号を出力して、積層シート１の全長にわたって、ＹＶＯレーザ３１が、集電体フィルム２と多孔質層４ｂとの境界に対応する位置と、集電体フィルム２と多孔質層４ａとの境界との間に位置する多孔質層４ｂに照射されるように、レーザ光源３２を移動させる。

その結果、ＹＶＯレーザ３１によって、積層シート１の全長にわたって、集電体フィルム２と多孔質層４ｂとの境界に対応する位置と、集電体フィルム２と多孔質層４ａとの境界との間に位置する多孔質層４ａが、集電体フィルム２から除去されて、集電体フィルム２と多孔質層４ｂとの境界と、集電体フィルム２と多孔質層４ａとの境界とを一致させることができる。したがって、上述したのと同様にして、レーザ光源３２、角度調整機構４２および走査機構４１を制御することによって、所望のように、積層シート１を切断して、所定のサイズを有する積層体部品７の作製することができる。

こうして、積層シート１が、所定のサイズに切断されて、積層体部品７が作製されると、コントローラ４０は、繰り出しローラ３８および巻き取りローラ３９に、それぞれ、駆動信号を出力して、支持テーブル３０上で、積層シート１を、１ピッチに相当する距離だけ、移動させる。

その結果、次の積層体部品７が切り出されるべき積層シート１の部分が、支持テーブル３０の空隙部３５ａ、３５ｂ上に位置決めされる。

ここに、１ピッチの長さは、積層シート１の搬送方向における積層体部品７の長さよりもわずかに大きくなるように設定される。

この時点では、集電体フィルム２と多孔質層４ａとの境界の位置と、集電体フィルム２と多孔質層４ｂとの境界の位置とが一致しているから、コントローラ４０は、ただちに、次の積層シート１の切断動作を開始させることができる。

本実施態様によれば、積層シート１は、ＹＶＯレーザ３１によって切断され、打抜き加工によって切断される場合のように、剪断力によって切断されるものではないから、集電体フィルム２にばりや歪みが発生することを確実に防止しつつ、積層シート１を切断することができ、信頼性が高い電気化学素子を、高い歩留まりで製造することが可能になる。

また、本実施態様によれば、積層シート１に照射されたＹＶＯレーザ３１のビーム断面と、作製すべき積層体部品７の縁部７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄおよびリード８の縁部８ａ、８ｂ、８ｃに対応する積層シート１の部分とが交わる角度がほぼ９０°になるように、ｆθレンズ３３の角度が調整されているから、積層体部品７の縁部を、積層シート１の表面に対して、ほぼ９０°の角度を有するように切断することが可能になる。

さらに、本実施態様によれば、積層シート１の切断に先立って、ＣＣＤカメラ３７により、集電体フィルム２と多孔質層４ａとの境界の位置と、集電体フィルム２と多孔質層４ｂとの境界の位置とを検出し、両者が一致していないときは、ＹＶＯレーザ３１によって、両者が一致するよに、不要な多孔質層４ａまたは４ｂの部分を除去するように構成されているから、電気化学キャパシタの電極集積効率を向上させることが可能になる。

また、本実施態様によれば、次の積層体部品７を作製するために、積層シート１を移動させる距離を、積層シート１の搬送方向における積層体部品７の長さよりもわずかに大きくなるように設定すればよく、材料の歩留まりを向上させることが可能になる。

本発明は、以上の実施態様に限定されることなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内で種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。

たとえば、前記実施態様においては、電気化学キャパシタの製造装置は、エアブロー装置１４および集塵ノズル１６ａ、１６ｂ、３６ａ、３６ｂを備えているが、エアブロー装置１４および集塵ノズル１６ａ、１６ｂ、３６ａ、３６ｂの双方を備えていることは必ずしも必要でなく、エアブロー装置１４あるいは集塵ノズル１６ａ、１６ｂ、３６ａ、３６ｂを備えていればよい。

さらに、前記実施態様においては、ｆθレンズ１３、３３の角度を調整するにあたり、ＹＶＯレーザ１１、３１をオフさせるともに、支持テーブル１０の作動あるいは走査機構４１の作動を停止させるように構成されているが、ｆθレンズ１３、３３の角度を調整するにあたり、ＹＶＯレーザ１１、３１をオフさせ、支持テーブル１０の作動あるいは走査機構４１の作動を停止させることは必ずしも必要でなく、積層シート１から積層体部品７を切り出す間、ＹＶＯレーザ１１、３１をオン状態に保持し、支持テーブル１０あるいは走査機構４１を作動し続けるように構成することもできる。

また、前記実施態様においては、積層シート１に照射されたＹＶＯレーザ１１、３１のビーム断面と、作製すべき積層体部品７の縁部７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄおよびリード８の縁部８ａ、８ｂ、８ｃに対応する積層シート１の部分とが交わる角度がほぼ９０°になるように、ｆθレンズ１３、３３の角度が調整されているが、積層シート１に照射されたＹＶＯレーザ１１、３１のビーム断面と、作製すべき積層体部品７の縁部７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄおよびリード８の縁部８ａ、８ｂ、８ｃに対応する積層シート１の部分とが交わる角度がほぼ９０°になるように、ｆθレンズ１３、３３の角度を調整することは必ずしも必要でない。作製すべき積層体部品７に対するＹＶＯレーザ１１、３１の照射角度が、８０°以上、９０°未満になるように、積層シート１にＹＶＯレーザ１１、３１を照射することが好ましいが、ＹＶＯレーザ１１、３１の照射角度は必ずしも限定されない。

さらに、前記実施態様においては、集電体フィルム２と多孔質層４ｂとの境界よりも、集電体フィルム２と多孔質層４ａとの境界が、積層シート１の縁部に近い位置に位置しているときには、ユーザーによって、積層シート１が、多孔質層４ａが上になるように、支持テーブル１０、３０上に再セットされるように構成されているが、支持テーブル１０、３０の他方の側に、トリミングパワーのＹＶＯレーザを放出する補助レーザ光源と、ＣＣＤカメラを設け、補助レーザ光源から放出されるＹＶＯレーザによって、集電体フィルム２と多孔質層４ｂとの境界に対応する位置と、集電体フィルム２と多孔質層４ａとの境界との間に位置する多孔質層４ａを、集電体フィルム２から除去し、集電体フィルム２と多孔質層４ｂとの境界と、集電体フィルム２と多孔質層４ａとの境界とを一致させるようにしてもよい。

また、図７および図８に示された実施態様においては、１ピッチの長さが、積層シート１の搬送方向における積層体部品７の長さよりもわずかに大きくなるように設定されているが、１ピッチの長さは、積層シート１の搬送方向における積層体部品７の長さ以上に設定されていればよい。

さらに、前記実施態様においては、積層シート１は、アルミニウムによって形成された集電体フィルム２と、集電体フィルム２の両面に塗布されたアンダーコート層３ａ、３ｂと、アンダーコート層３ａの表面に塗布されたカーボン材料を含む多孔質層４ａと、アンダーコート層３ｂの表面に塗布されたカーボン材料を含む多孔質層４ｂとを含んでいるが、集電体フィルム２の両面に、多孔質層４ａ、４ｂを備えていることは必ずしも必要でなく、少なくとも集電体フィルム２の一方の面に、多孔質層を備えていればよい。

また、前記実施態様においては、積層シート１は、アノード電極あるいはカソード電極用の積層シートとして形成されているが、積層シート１が、アノード電極あるいはカソード電極用の積層シートとして形成されていることは必ずしも必要でなく、積層シート１が、１または２以上のセパレータを介して、アノード電極およびカソード電極が積層されて、形成されていてもよい。この場合には、積層シート１が厚くなるから、ＹＶＯレーザ１１、３１の焦点を、所望のように調整するために、電気化学キャパシタの製造装置が、レーザ光源１２、３２の位置調整機構など、レーザ光源１２、３２と、積層シート１との距離を調整する機構を備えていることが好ましい。

さらに、図４に示された積層体部品７は一例であり、積層体部品の形状はとくに限定されるものではない。

また、本発明は、電気化学キャパシタの製造方法だけでなく、二次電池や電界キャパシタを含む電気化学素子の製造方法に、広く適用することができる。

図１は、本発明の好ましい実施態様にかかる電気化学キャパシタの製造装置によって切断される積層シートの略断面図である。図２は、図１に示された積層シートの矢印Ａの方向から見た略平面図である。図３は、図１に示された積層シートの矢印Ｂの方向から見た略平面図である。図４は、本発明の好ましい実施態様にかかる電気化学キャパシタの製造装置によって、積層シート１が切断されて、作製されるべき積層体部品の略平面図である。図５は、本発明の好ましい実施態様にかかる電気化学キャパシタの製造装置の略断面図である。図６は、図５に示された電気化学キャパシタの製造装置の制御系、検出系、駆動系および入力系を示すブロックダイアグラムである。図７は、本発明の別の好ましい実施態様にかかる電気化学キャパシタの製造装置の略断面図である。図８は、図７に示された電気化学キャパシタの製造装置の制御系、検出系、駆動系および入力系を示すブロックダイアグラムである。

符号の説明

１積層シート
２集電体フィルム
３ａ、３ｂアンダーコート層
４ａ、４ｂ多孔質層
７積層体部品
７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄ積層体部品の縁部
８リード
８ａ、８ｂ、８ｃ、８ｄリードの縁部
１０支持テーブル
１１ＹＶＯレーザ
１２レーザ光源
１３ｆθレンズ
１４エアブロー装置
１５ａ、１５ｂ空隙部
１６ａ、１６ｂ集塵ノズル
１７ＣＣＤカメラ
２０コントローラ
２１テーブル移動機構
２２角度調整機構
２３キーボード
３０支持テーブル
３１ＹＶＯレーザ
３２レーザ光源
３３ｆθレンズ
３４エアブロー装置
３５ａ、３５ｂ空隙部
３６ａ、３６ｂ集塵ノズル
３７ＣＣＤカメラ
３８繰り出しローラ
３９巻き取りローラ
４０コントローラ
４１走査機構
４２角度調整機構
４３キーボード

Claims

導電性を有する集電体フィルムと、前記集電体フィルムの少なくとも一方の表面に形成された導電性材料を含む多孔質層とを含む積層シートに、ＹＶＯレーザを照射し、前記積層シートと前記ＹＶＯレーザを相対的に移動させて、前記積層シートを切断し、所定のサイズを有する積層体部品を作製することを特徴とする電気化学素子の製造方法。
それぞれが、導電性を有する集電体フィルムと、前記集電体フィルムの少なくとも一方の表面に形成された導電性材料を含む多孔質層とを含み、互いに積層された２以上の積層シートに、前記ＹＶＯレーザを照射し、前記２以上の積層シートと前記ＹＶＯレーザを相対的に移動させて、前記２以上の積層シートを同時に切断し、所定のサイズを有する２以上の積層体部品を作製することを特徴とする電気化学素子の製造方法。
ＹＶＯレーザを発するレーザ光源と、導電性を有する集電体フィルムと、前記集電体フィルムの少なくとも一方の表面に形成された導電性材料を含む多孔質層とを含み、前記ＹＶＯレーザが照射される積層シートと前記ＹＶＯレーザとを相対的に移動させる移動機構と、前記ＹＶＯレーザが、前記積層シートに照射される位置の近傍に配置された集塵装置および／またはエアブロー装置とを備えたことを特徴とする電気化学素子の製造装置。
ＹＶＯレーザを発するレーザ光源と、それぞれが、導電性を有する集電体フィルムと、前記集電体フィルムの少なくとも一方の表面に形成された導電性材料を含む多孔質層とを含み、互いに積層された２以上の積層シートと、前記ＹＶＯレーザとを相対的に移動させる移動機構と、前記２以上の積層シートに、前記ＹＶＯレーザが照射される位置の近傍に配置された集塵装置および／またはエアブロー装置とを備えたことを特徴とする電気化学素子の製造装置。
さらに、切断されるべき前記２以上の積層シートの厚さに応じて、前記ＹＶＯレーザを発するレーザ光源と、前記２以上の積層シートとの距離を調整する距離調整手段を備えたことを特徴とする請求項４に記載の電気化学素子の製造装置。