JP2005340058A - 有機elディスプレイ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 プラスチックフィルム11上に、透明導電バリア層14、接着層18、保護層26、該保護層26に埋設された透明電極24、有機EL層30、金属電極32、及び封止層36が順に形成されている。透明導電バリア層14は、有機EL層30への水蒸気の侵入をブロックするバリア機能とプラスチックフィルム11の帯電を防止する機能とを有し、有機EL層30は塗布法によって形成される。
【選択図】 図4
Description
これに関連する技術として、特許文献1及び2には、転写技術を利用することにより、プラスチックフィルムを基板とする液晶表示素子用電極基板を製造することが記載されている。また、特許文献3には、表示装置用に使用される透明導電膜付のプラスチックフィルムについて記載されている。
Claims (18)
- プラスチックフィルムと、
前記プラスチックフィルム上に形成された透明導電バリア層と、
前記透明導電バリア層上に形成された接着層と、
前記接着層上に形成された保護層と、
前記保護層に埋設された透明電極と、
前記透明電極上に形成された有機EL層と、
前記有機EL層上に形成された金属電極と、
前記金属電極を被覆する封止層とを有することを特徴とする有機ELディスプレイ。 - 前記有機EL層は、塗布法により形成されたものであることを特徴とする請求項1に記載の有機ELディスプレイ。
- 前記プラスチックフィルムの前記有機EL層が形成された面側と反対面に透明絶縁バリア層がさらに形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の有機ELディスプレイ。
- 前記プラスチックフィルムと、前記透明導電バリア層及び前記透明絶縁バリア層との間に有機層がそれぞれ形成されていることを特徴とする請求項3に記載の有機ELディスプレイ。
- 前記透明導電バリア層は、アモルファス(非晶質)のITO層よりなることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の有機ELディスプレイ。
- 前記透明導電バリア層は、熱処理を行うことにより、シート抵抗値が熱処理前のシート抵抗値に対して90%未満に低下する特性を有することを特徴とする請求項5に記載の有機ELディスプレイ。
- 前記透明導電バリア層のシート抵抗値は、20乃至10000Ω/□であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の有機ELディスプレイ。
- 前記透明導電バリア層の水蒸気透過度は、0.1g/m2・day未満であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の有機ELディスプレイ。
- 前記透明導電バリア層の膜厚は、10乃至150nmであることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一項に記載の有機ELディスプレイ。
- 前記透明電極は、結晶質のITO層よりなることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか一項に記載の有機ELディスプレイ。
- 前記透明電極の比抵抗値は、3×10-4Ω・cm以下であることを特徴とする請求項10に記載の有機ELディスプレイ。
- 前記透明絶縁バリア層は、シリコン酸化層、シリコン窒化層、酸化アルミニウム層のうちのいずれか1つよりなることを特徴とする請求項3に記載の有機ELディスプレイ。
- 仮基板上に剥離層を形成する工程と、
前記剥離層上に透明電極を形成する工程と、
前記透明電極を被覆する保護層を形成する工程と、
前記保護層上に、接着層を介して、一方の面に透明導電バリア層を備えたプラスチックフィルムを、該透明導電バリア層の面側から接着する工程と、
前記仮基板を前記剥離層との界面から剥離し、前記積層された剥離層、透明電極、保護層を前記プラスチックフィルム上に転写する工程と、
前記剥離層を除去する工程と、
前記透明電極上に有機EL層を形成する工程と、
前記有機EL層上に金属電極を形成する工程と、
前記金属電極を被覆する封止層を形成する工程とを有することを特徴とする有機ELディスプレイの製造方法。 - 前記有機EL層を形成する工程は、塗布法によって行われることを特徴とする請求項13に記載の有機ELディスプレイの製造方法。
- 前記有機EL層を形成する工程は、
前記透明電極上にホール輸送層を形成する工程と、
前記ホール輸送層上に発光層を形成する工程とを含むことを特徴とする請求項14に記載の有機ELディスプレイの製造方法。 - 前記プラスチックフィルムの他方の面には、透明絶縁バリア層が形成されていることを特徴とする請求項13に記載の有機ELディスプレイの製造方法。
- 前記透明導電バリア層はアモルファス(非晶質)のITO層よりなり、前記透明電極は結晶質のITO層よりなることを特徴とする請求項13乃至16のいずれか一項に記載の有機ELディスプレイの製造方法。
- 前記透明導電バリア層のシート抵抗値は、20乃至10000Ω/□であることを特徴とする請求項13乃至17のいずれか一項に記載の有機ELディスプレイの製造方法。
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