JP2005339827A - 有機el発光素子基板ならびにその有機el発光素子基板を用いた画像表示装置およびその有機el発光素子基板製造装置 - Google Patents
有機el発光素子基板ならびにその有機el発光素子基板を用いた画像表示装置およびその有機el発光素子基板製造装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005339827A JP2005339827A JP2004153352A JP2004153352A JP2005339827A JP 2005339827 A JP2005339827 A JP 2005339827A JP 2004153352 A JP2004153352 A JP 2004153352A JP 2004153352 A JP2004153352 A JP 2004153352A JP 2005339827 A JP2005339827 A JP 2005339827A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- organic
- substrate
- region
- emitting element
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 228
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 27
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 117
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 74
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 74
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 13
- 239000003086 colorant Substances 0.000 claims description 10
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 10
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims description 4
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 claims description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 abstract description 115
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 11
- 238000002347 injection Methods 0.000 abstract description 11
- 239000007924 injection Substances 0.000 abstract description 11
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 10
- 230000002265 prevention Effects 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 129
- 238000000034 method Methods 0.000 description 48
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 39
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 25
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 22
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 13
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 13
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 13
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 9
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 9
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 9
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 8
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 8
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 8
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 8
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 7
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- KWKXNDCHNDYVRT-UHFFFAOYSA-N dodecylbenzene Chemical compound CCCCCCCCCCCCC1=CC=CC=C1 KWKXNDCHNDYVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 6
- 229920002098 polyfluorene Polymers 0.000 description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 5
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 5
- RFFLAFLAYFXFSW-UHFFFAOYSA-N 1,2-dichlorobenzene Chemical compound ClC1=CC=CC=C1Cl RFFLAFLAYFXFSW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 4
- ZYGHJZDHTFUPRJ-UHFFFAOYSA-N coumarin Chemical compound C1=CC=C2OC(=O)C=CC2=C1 ZYGHJZDHTFUPRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 4
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 4
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 4
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 3
- 125000002080 perylenyl group Chemical group C1(=CC=C2C=CC=C3C4=CC=CC5=CC=CC(C1=C23)=C45)* 0.000 description 3
- CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N peryrene Natural products C1=CC(C2=CC=CC=3C2=C2C=CC=3)=C3C2=CC=CC3=C1 CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 3
- -1 polyphenylene vinylene Polymers 0.000 description 3
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 3
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 3
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- OCJBOOLMMGQPQU-UHFFFAOYSA-N 1,4-dichlorobenzene Chemical compound ClC1=CC=C(Cl)C=C1 OCJBOOLMMGQPQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002284 Cellulose triacetate Polymers 0.000 description 2
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004962 Polyamide-imide Substances 0.000 description 2
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N [(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-diacetyloxy-3-[(2s,3r,4s,5r,6r)-3,4,5-triacetyloxy-6-(acetyloxymethyl)oxan-2-yl]oxy-6-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5,6-triacetyloxy-2-(acetyloxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxan-2-yl]methyl acetate Chemical compound O([C@@H]1O[C@@H]([C@H]([C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O)O[C@H]1[C@@H]([C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@@H](COC(C)=O)O1)OC(C)=O)COC(=O)C)[C@@H]1[C@@H](COC(C)=O)O[C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 2
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 2
- 150000001555 benzenes Chemical class 0.000 description 2
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 2
- QARVLSVVCXYDNA-UHFFFAOYSA-N bromobenzene Chemical compound BrC1=CC=CC=C1 QARVLSVVCXYDNA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 2
- 239000006231 channel black Substances 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 229960000956 coumarin Drugs 0.000 description 2
- 235000001671 coumarin Nutrition 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 2
- 229940117389 dichlorobenzene Drugs 0.000 description 2
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 125000005678 ethenylene group Chemical class [H]C([*:1])=C([H])[*:2] 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000008204 material by function Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 2
- 229920002312 polyamide-imide Polymers 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 2
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RELMFMZEBKVZJC-UHFFFAOYSA-N 1,2,3-trichlorobenzene Chemical compound ClC1=CC=CC(Cl)=C1Cl RELMFMZEBKVZJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZPQOPVIELGIULI-UHFFFAOYSA-N 1,3-dichlorobenzene Chemical compound ClC1=CC=CC(Cl)=C1 ZPQOPVIELGIULI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KLCLIOISYBHYDZ-UHFFFAOYSA-N 1,4,4-triphenylbuta-1,3-dienylbenzene Chemical class C=1C=CC=CC=1C(C=1C=CC=CC=1)=CC=C(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 KLCLIOISYBHYDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IBSQPLPBRSHTTG-UHFFFAOYSA-N 1-chloro-2-methylbenzene Chemical compound CC1=CC=CC=C1Cl IBSQPLPBRSHTTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JTPNRXUCIXHOKM-UHFFFAOYSA-N 1-chloronaphthalene Chemical compound C1=CC=C2C(Cl)=CC=CC2=C1 JTPNRXUCIXHOKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NPDACUSDTOMAMK-UHFFFAOYSA-N 4-Chlorotoluene Chemical compound CC1=CC=C(Cl)C=C1 NPDACUSDTOMAMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FCNCGHJSNVOIKE-UHFFFAOYSA-N 9,10-diphenylanthracene Chemical class C1=CC=CC=C1C(C1=CC=CC=C11)=C(C=CC=C2)C2=C1C1=CC=CC=C1 FCNCGHJSNVOIKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 229920000265 Polyparaphenylene Polymers 0.000 description 1
- NRCMAYZCPIVABH-UHFFFAOYSA-N Quinacridone Chemical class N1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=C1C(=O)C3=CC=CC=C3NC1=C2 NRCMAYZCPIVABH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 description 1
- 239000006230 acetylene black Substances 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 description 1
- 150000001491 aromatic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000000740 bleeding effect Effects 0.000 description 1
- 229910000420 cerium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 235000009508 confectionery Nutrition 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- VBVAVBCYMYWNOU-UHFFFAOYSA-N coumarin 6 Chemical class C1=CC=C2SC(C3=CC4=CC=C(C=C4OC3=O)N(CC)CC)=NC2=C1 VBVAVBCYMYWNOU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 229910001651 emery Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007496 glass forming Methods 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- SYSQUGFVNFXIIT-UHFFFAOYSA-N n-[4-(1,3-benzoxazol-2-yl)phenyl]-4-nitrobenzenesulfonamide Chemical class C1=CC([N+](=O)[O-])=CC=C1S(=O)(=O)NC1=CC=C(C=2OC3=CC=CC=C3N=2)C=C1 SYSQUGFVNFXIIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VOFUROIFQGPCGE-UHFFFAOYSA-N nile red Chemical class C1=CC=C2C3=NC4=CC=C(N(CC)CC)C=C4OC3=CC(=O)C2=C1 VOFUROIFQGPCGE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012860 organic pigment Substances 0.000 description 1
- 150000002902 organometallic compounds Chemical class 0.000 description 1
- BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoceriooxy)cerium Chemical compound [Ce]=O.O=[Ce]=O BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000005191 phase separation Methods 0.000 description 1
- 229920003227 poly(N-vinyl carbazole) Polymers 0.000 description 1
- 229920000553 poly(phenylenevinylene) Polymers 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920006267 polyester film Polymers 0.000 description 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 1
- 229920001709 polysilazane Polymers 0.000 description 1
- 229920000123 polythiophene Chemical class 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- YYMBJDOZVAITBP-UHFFFAOYSA-N rubrene Chemical class C1=CC=CC=C1C(C1=C(C=2C=CC=CC=2)C2=CC=CC=C2C(C=2C=CC=CC=2)=C11)=C(C=CC=C2)C2=C1C1=CC=CC=C1 YYMBJDOZVAITBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006234 thermal black Substances 0.000 description 1
- 229920002803 thermoplastic polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 1
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N zinc oxide Inorganic materials [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
【解決手段】透明基板5の一方の面に反射防止機能9を設け、他方の面に透明導電性膜4を設け、透明導電性膜4上に、樹脂皮膜3が存在する領域と、存在しない領域を選択的に形成し、周囲が樹脂皮膜3で囲まれた複数の独立した領域となるように形成する。樹脂皮膜3は、溶液2に対して、透明導電性膜4が露出している領域より濡れにくくするとともに、各独立した領域には異なる色を発色させる有機EL材料を含有する溶液2を噴射付与する。溶液2は、隣接する発光素子間を分離するための樹脂皮膜3には付きにくく、導電性膜4が露出している領域には付着しやすいため、互いの発光素子がきれい、かつ完全に分離独立した有機EL発光素子群を形成する。
【選択図】図8
Description
溶媒・・・・ドデシルベンゼン/ジクロロベンゼン(1/1、体積比)
赤・・・・・・ポリフルオレン/ペリレン染料(98/2、重量比)
緑・・・・・・ポリフルオレン/クマリン染料(98.5/1.5、重量比)
青・・・・・・ポリフルオレン
他の方式として、米国特許第3596275号明細書、米国特許第3298030号明細書等に開示されている方式(Sweet方式)がある。これは連続振動発生法によって帯電量の制御された記録液体の小滴を発生させ、この発生された帯電量の制御された小滴を、一様の電界が掛けられている偏向電極間を飛翔させることで、記録部材上に記録を行うものであり、通常、連続流方式、あるいは荷電制御方式と呼ばれている。
例えば透明導電性膜が露出している領域は、前記有機EL材料を溶解した溶液に対して接触角が20〜50°となるように選ばれる。もし、それより大きな値を示すような場合には、溶液中に界面活性剤を添加し、その値の範囲になるように調整すればよい。
これらの材料は、前記有機EL材料を溶解した溶液に対して濡れにくく、接触角が70〜90°という値をとる。より濡れにくくするために、シリコーン材料、フッ素材料などを添加し、接触角が90°〜100°となるようにしてもよい。
領域1・・・・・・ポリフルオレン/ペリレン染料(98/2、重量比)
領域2・・・・・・ポリフルオレン/クマリン染料(98.5/1.5、重量比)
領域3・・・・・・ポリフルオレン
Claims (9)
- 透明基板の一方の面に反射防止機能を設け、もう片方の面に透明導電性膜を設けた透明基板上の該透明導電性膜上に、樹脂皮膜が存在する領域と、存在しない領域を選択的に形成するとともに、周囲が樹脂皮膜で囲まれた複数の独立した領域とした構成となるように形成し、前記透明導電性膜が露出している領域で、周囲を樹脂皮膜で囲まれた領域に、有機EL材料を含有する溶液の液滴を噴射付与し、有機EL発光素子群を形成した有機EL発光素子基板において、前記樹脂皮膜は、前記溶液に対して、前記透明導電性膜が露出している領域より濡れにくく、前記独立した領域には異なる色を発色させる有機EL材料を含有する溶液が噴射付与されてなることを特徴とする有機EL発光素子基板。
- 透明基板の一方の面に反射防止機能を設け、もう片方の面に透明導電性膜を設けた透明基板上の該透明導電性膜上に、樹脂皮膜が存在する領域と、存在しない領域を選択的に形成するとともに、周囲が樹脂皮膜で囲まれた複数の独立した領域とした構成となるように形成し、前記透明導電性膜が露出している領域で、周囲を樹脂皮膜で囲まれた複数の独立した領域に、異なる色を発色させる有機EL材料を含有する溶液を噴射付与し、有機EL発光素子群を形成した有機EL発光素子基板において、前記樹脂皮膜は、前記溶液に対して、前記透明導電性膜が露出している領域より濡れにくくするとともに、非透光性材料としたことを特徴とする有機EL発光素子基板。
- 前記異なる色を発色させる溶液は、それぞれ赤色、緑色、青色を発色させる有機EL材料を含有する溶液であることを特徴とする請求項1もしくは2記載の有機EL発光素子基板。
- 前記反射防止機能は、基板表面に設けられた反射防止膜によるものであることを特徴とする請求項3記載の有機EL発光素子基板。
- 前記反射防止機能は、基板表面に設けられた微粒子によるものであることを特徴とする請求項3記載の有機EL発光素子基板。
- 前記反射防止機能は、基板部材の表面粗さをあらくすることによって得られるものであることを特徴とする請求項3記載の有機EL発光素子基板。
- 前記独立した領域が、領域1、領域2、領域3と並んだ領域を1つのユニットとし、該ユニットが複数配列してなるとともに、前記領域は、各領域が並ぶ方向が短手、該方向に垂直方向が長手とされた細長形状であり、前記3つの領域には、赤色、緑色、青色を発色させる有機EL材料を含有する溶液の液滴を噴射付与してなることを特徴とする請求項3乃至6のいずれか1に記載の有機EL発光素子基板。
- 請求項3乃至6のいずれか1に記載の有機EL発光素子基板を用い、前記有機EL材料を含有する溶液中の揮発成分を揮発させ、固形分を前記領域上に残留させ、該領域から電極を引き出した構成とするとともに、前記基板の反射防止機能を設けた面から光を取り出すことを特徴とする画像表示装置。
- 透明基板の一方の面に反射防止機能を設け、もう片方の面に透明導電性膜を設けた透明基板上の該透明導電性膜上に、樹脂皮膜が存在する領域と、存在しない領域を選択的に形成するとともに、周囲が樹脂皮膜で囲まれた構成となるように形成し、前記透明導電性膜が露出している領域で周囲を樹脂皮膜で囲まれた領域に、有機EL材料を含有する溶液の液滴を噴射付与し、該溶液中の揮発成分を揮発させ、固形分を前記透明導電性膜を有する透明基板上に残留させることによって有機EL発光素子群を形成する有機EL発光素子基板製造装置において、前記透明導電性膜を有する透明基板に対して有機EL材料を含有した溶液を噴射する噴射ヘッドと、該噴射ヘッドに溶液付与情報を入力する情報入力手段とを有し、前記噴射ヘッドは、保持手段に搭載されて前記基板に相対する位置に配されるとともに、前記透明導電性膜を有する透明基板と相対移動を行いつつ、前記情報入力手段により入力された前記溶液付与情報に基づいて前記溶液を噴射する有機EL発光素子基板製造装置であって、前記噴射ヘッドを利用して噴射される有機EL材料を含有した溶液は、前記導電性膜が露出している領域に対して濡れやすく、前記樹脂皮膜に対して濡れにくい溶液であることを特徴とする有機EL発光素子基板製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004153352A JP2005339827A (ja) | 2004-05-24 | 2004-05-24 | 有機el発光素子基板ならびにその有機el発光素子基板を用いた画像表示装置およびその有機el発光素子基板製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004153352A JP2005339827A (ja) | 2004-05-24 | 2004-05-24 | 有機el発光素子基板ならびにその有機el発光素子基板を用いた画像表示装置およびその有機el発光素子基板製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005339827A true JP2005339827A (ja) | 2005-12-08 |
JP2005339827A5 JP2005339827A5 (ja) | 2009-05-14 |
Family
ID=35493170
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004153352A Pending JP2005339827A (ja) | 2004-05-24 | 2004-05-24 | 有機el発光素子基板ならびにその有機el発光素子基板を用いた画像表示装置およびその有機el発光素子基板製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005339827A (ja) |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000231985A (ja) * | 1999-02-12 | 2000-08-22 | Denso Corp | 有機el素子 |
JP2000353594A (ja) * | 1998-03-17 | 2000-12-19 | Seiko Epson Corp | 薄膜パターニング用基板 |
JP2001068269A (ja) * | 1999-07-29 | 2001-03-16 | Agilent Technol Inc | Elディスプレイ用の基板装置、その製造方法、及び使用される製造装置 |
JP2002122702A (ja) * | 2000-10-17 | 2002-04-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学フィルム、及び表示素子 |
JP2002252083A (ja) * | 2000-11-27 | 2002-09-06 | Seiko Epson Corp | 有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法および有機エレクトロルミネッセンス装置並びに電子機器 |
JP2003031374A (ja) * | 2001-07-17 | 2003-01-31 | Sony Corp | 有機電界発光素子 |
JP2003208977A (ja) * | 2002-01-11 | 2003-07-25 | Seiko Epson Corp | 有機el装置の製造方法及びその装置、電気光学装置、並びに電子機器 |
JP2003270429A (ja) * | 2002-03-18 | 2003-09-25 | Seiko Epson Corp | デバイス製造装置およびデバイス |
JP2003332068A (ja) * | 2002-05-15 | 2003-11-21 | Nitto Denko Corp | エレクトロルミネッセンス素子 |
JP2004001296A (ja) * | 2002-05-31 | 2004-01-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 積層膜付きフィルムとその製造方法及びフィルム型表示素子 |
JP2004094191A (ja) * | 2002-04-08 | 2004-03-25 | Nitto Denko Corp | 光拡散性シート、光学素子および画像表示装置 |
JP2004093682A (ja) * | 2002-08-29 | 2004-03-25 | Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd | El表示パネル、el表示パネルの駆動方法、el表示装置の駆動回路およびel表示装置 |
JP2004103334A (ja) * | 2002-09-06 | 2004-04-02 | Seiko Epson Corp | 有機el装置および電子機器 |
-
2004
- 2004-05-24 JP JP2004153352A patent/JP2005339827A/ja active Pending
Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000353594A (ja) * | 1998-03-17 | 2000-12-19 | Seiko Epson Corp | 薄膜パターニング用基板 |
JP2000231985A (ja) * | 1999-02-12 | 2000-08-22 | Denso Corp | 有機el素子 |
JP2001068269A (ja) * | 1999-07-29 | 2001-03-16 | Agilent Technol Inc | Elディスプレイ用の基板装置、その製造方法、及び使用される製造装置 |
JP2002122702A (ja) * | 2000-10-17 | 2002-04-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学フィルム、及び表示素子 |
JP2002252083A (ja) * | 2000-11-27 | 2002-09-06 | Seiko Epson Corp | 有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法および有機エレクトロルミネッセンス装置並びに電子機器 |
JP2003031374A (ja) * | 2001-07-17 | 2003-01-31 | Sony Corp | 有機電界発光素子 |
JP2003208977A (ja) * | 2002-01-11 | 2003-07-25 | Seiko Epson Corp | 有機el装置の製造方法及びその装置、電気光学装置、並びに電子機器 |
JP2003270429A (ja) * | 2002-03-18 | 2003-09-25 | Seiko Epson Corp | デバイス製造装置およびデバイス |
JP2004094191A (ja) * | 2002-04-08 | 2004-03-25 | Nitto Denko Corp | 光拡散性シート、光学素子および画像表示装置 |
JP2003332068A (ja) * | 2002-05-15 | 2003-11-21 | Nitto Denko Corp | エレクトロルミネッセンス素子 |
JP2004001296A (ja) * | 2002-05-31 | 2004-01-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 積層膜付きフィルムとその製造方法及びフィルム型表示素子 |
JP2004093682A (ja) * | 2002-08-29 | 2004-03-25 | Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd | El表示パネル、el表示パネルの駆動方法、el表示装置の駆動回路およびel表示装置 |
JP2004103334A (ja) * | 2002-09-06 | 2004-04-02 | Seiko Epson Corp | 有機el装置および電子機器 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4305478B2 (ja) | 液状体の吐出方法、配線基板の製造方法、カラーフィルタの製造方法、有機el発光素子の製造方法 | |
TW587023B (en) | Method of generating ejection pattern data and head motion pattern data; apparatus for generating ejection pattern data; apparatus for ejecting functional liquid droplet; drawing system; method of manufacturing organic EL device, electron emitting device | |
JP2008094044A (ja) | ヘッドユニットおよび液滴吐出装置、液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、有機el素子の製造方法、配線基板の製造方法 | |
TW200528198A (en) | Ejection device, material coating method, method of manufacturing color filter substrate, method of manufacturing electroluminescence display device, and method of manufacturing plasma display device | |
JP2005270725A (ja) | パターン基板、パターン基板の製造方法、及びパターン基板の製造装置 | |
JP2007256312A (ja) | カラーフィルタの製造方法、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法及びこれに用いるインクジェット塗工装置 | |
JP3949045B2 (ja) | 機能性素子シートおよびその製造方法 | |
JP2003257617A (ja) | 機能性素子基板および該機能性素子基板を用いた画像表示装置 | |
JP2005081159A (ja) | 機能性基体製造装置ならびに製造される機能性基体 | |
JP4010854B2 (ja) | 機能性素子基板、その製造装置、および画像表示装置 | |
JP2005339826A (ja) | 有機el発光素子基板及び画像表示装置 | |
JP2005339816A (ja) | 有機elディスプレイ基板 | |
JP2005339827A (ja) | 有機el発光素子基板ならびにその有機el発光素子基板を用いた画像表示装置およびその有機el発光素子基板製造装置 | |
JP2005339810A (ja) | 有機el発光素子基板、該基板を用いた画像表示装置、及び有機el発光素子基板製造装置 | |
JP4773691B2 (ja) | フレキシブル機能性素子基板及びその製造装置 | |
JP2005339809A (ja) | 有機el発光素子基板、該基板を用いた画像表示装置、及び有機el発光素子基板の製造装置 | |
JP2003264072A (ja) | 機能性素子基板、画像表示装置およびその製造装置 | |
JP2003255848A (ja) | 機能性素子基板の製造装置および機能性素子基板、ならびに該機能性素子基板を用いた画像表示装置 | |
JP2003264070A (ja) | 機能性素子基板及び画像表示装置 | |
JP2003251245A (ja) | 機能性素子基板、画像表示装置およびその製造装置 | |
JP2003264068A (ja) | 機能性素子基板、画像表示装置およびその製造装置 | |
JP2012238479A (ja) | インクジェット装置 | |
JP2003264078A (ja) | 機能性素子基板、画像表示装置およびその製造装置 | |
JP2004081923A (ja) | 機能性素子基板、画像表示装置およびその製造装置 | |
JP2003264077A (ja) | 機能性素子基板、画像表示装置およびその製造システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060721 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060721 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20090210 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20090312 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090327 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090413 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090421 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090615 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090707 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090826 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100921 |