JP2005337425A

JP2005337425A - 直動案内ユニット

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Publication number: JP2005337425A
Application number: JP2004158813A
Authority: JP
Inventors: Hideki Kuwabara; 英樹桑原
Original assignee: Nippon Thompson Co Ltd
Current assignee: Nippon Thompson Co Ltd
Priority date: 2004-05-28
Filing date: 2004-05-28
Publication date: 2005-12-08
Anticipated expiration: 2024-05-28
Also published as: JP4565548B2

Abstract

【課題】この直動案内ユニットは，軌道レールを摺動するスライダを３部材で構成し，ケーシングに対してねじ等を使用せずに，３部材を互いに固定して超小形化を可能する。【解決手段】スライダ２は，軌道溝２６とリターン溝１９を形成したケーシング３，ケーシング３の上面の嵌合溝２８に嵌入する上蓋４，及びケーシング３の下面の嵌合溝２９に嵌入する下蓋５から構成されている。上蓋４と下蓋５とは，ケーシング３の鍔部１０を挟み込んで，ピン４４とピン孔１４との係合で互いに固着されている。
【選択図】図４

Description

この発明は，軌道溝を備えた軌道レール及び該軌道レール上を転動体を介して相対移動するスライダから成る超小型化可能な構造を持つ直動案内ユニットに関する。

近年，直動案内ユニットとしては，半導体製造装置，各種組立装置，検査装置，医療機器，測定装置等の各種装置において，往復運動を行う部品に対して高精度，超小型化，滑らかな往復運動等の性能を達成できるものが求められている。最近では，直動案内ユニットとしては，高精度や高速化等の性能向上に加えてメンテナンスフリーが重視されると共に，特に，超小型化のものが要望されるようになり，それに伴って，直動案内ユニットを構成する部材や部品が小さい構造になり，それらの部品の組立誤差，組立工数等から部品点数を減らし，一体化したものが要求され，また，小径な穴，小径なねじ孔等の加工，ねじ固着等を構成部品から無くすことが求められるようになった。即ち，直動案内ユニットは，機械装置の不可欠な重要な機械要素を構成しており，多種のサイズ，多種型式のものが使用されているが，特に，超小形でありながら，スライダが軌道レール上に軽快に摺動案内できるものが要望されている。

従来，直動案内ユニットとして，小型化に対応できるようにケーシングに取り付ける部品の部品点数を低減し，各部材を組み立てるのに嵌め込み式で固定されるものが開発されている。該直動案内ユニットについては，例えば，スライダは，上部とそれから垂下する一対の袖部とから成るケーシング，及びケーシングの両端面側に位置するエンドキャップ部と両エンドキャップ部と一体のカバー部とから成る複合部材から構成されている。複合部材は，第１複合部材と，第１複合部材の外側に係止固定された第２複合部材から構成されている。ケーシングの両端部に設けた第１係止部の凹部に第１複合部材に設けた第２係止部の凸部をそれぞれ嵌め込み式に係止し，ケーシングに複合部材を係止固定するものになっている（例えば，特許文献１参照）。

また，直動形ガイド装置として，部品点数及び組立工数を少なくしてコストを低減し，部品の製造作業を簡単にして加工コストを低減するものが知られている。該直動形ガイド装置は，直線状のガイドレールに跨がって移動する移動ブロックを第１〜第３の３つの構成部材で構成する。第１構成部材は，前後両端のエンドキャップ部分，および両エンドキャップ部分を一体に連結し，かつ移動ブロックの両脚状部分の左右方向外側の下部を形成する連結部分から形成されている。第２構成部材は，金属製であって，両エンドキャップ部分間における転動体循環路の往路および復路に対応する長さ部分にはまる本体部分，および本体部分にこれと同じ長さになるように一体に形成され，かつ移動ブロックの両脚状部分の左右方向内側の下部を形成する下方突出部分から形成されている。第３構成部材は，第１構成部材の両エンドキャップ部分と第２構成部材の前後方向の両端部との間にそれぞれはまる構造に形成されている（例えば，特許文献２参照）。

また，従来知られている線運動案内装置としては，軸線を有する案内レールと，少なくとも１つの環状転動体ユニットを介して案内レール上を軸方向に移動する少なくとも１つの案内キャリッジとを組み合わせたものがある。該線運動案内装置は，キャリッジが正しく位置決めする位置決め空間が形成されたキャリッジ用ケーシングにキャリッジ部材とそれぞれの転向板とをその位置決め空間に組み込む構造になっている（例えば，特許文献３参照）。
特開２００２−２２７８４０号公報特開平６−１４７２２２号公報特許第２９３６１６６号明細書及び図面

しかしながら，上記の直動案内ユニットは，ケーシングに複合部材を取り付けるためにケーシングに係止部を形成しなければならない構造であり，ケーシングは軌道溝を形成する焼入れされた鋼材で作製されているので，焼入れする前工程から係止部を形成する必要があった。従って，上記直動案内ユニットは，構成が複雑で面倒なものになり，更に超小形な直動案内ユニットを形成するには加工，組立等がむずかしいものになっていた。

また，上記の直動形ガイド装置は，移動ブロックを構成する３つの構成部材である第ｌ構成部材と第３構成部材とを第２構成部材にねじで取り付けるために，第２構成部材の本体部分の端面にねじ穴を形成しなければならない構造に形成されているので，構成そのものが複雑になり面倒なものになり，更に超小形な直動案内ユニットを形成するには加工，組立等がむずかしいものになっていた。

また，上記の線運動案内装置は，キャリッジ用ケーシングには，正しく位置決めする位置決め空間を設けなければならないので，構成が複雑で面倒なものになり，さらに超小形な直動案内ユニットを形成するには加工，組立等がむずかしいものになっていた。

また，その他の従来開発されている超小形な直動案内ユニットは，基本的には，軌道レール上を跨架して摺動移動するスライダは，ケーシングと，その両端に固定されたエンドキャップから成り，互いにねじで固定された構造を有している。そこで，直動案内ユニットについて，従来よりも更にコンパクトに構成して，更に簡略化し，超小形に構成しても容易に製作可能で組立可能な構造であり，しかも，高剛性，滑らかな動き，高精度などの性能を発揮できるものを如何に構成するかの課題があった。

この発明の目的は，上記の課題を解決することであり，本出願人に係る特開２００２−２２７８４０号公報に開示された直動案内ユニットに比較して更に一層小型化に対応でき，極小な構造のタイプに適用して好ましいものであり，軌道レール上を摺動移動するスライダを，主としてケーシングと，エンドキャップに代わる第１部材と第２部材の３つの構成部材から構成して部品点数を減少し，第１部材と第２部材との固定をねじ等を用いずに，互いに嵌め合い型の凹凸部で構成して可及的に小型に形成することを可能にした超小形化を可能にする構造を持つ直動案内ユニットを提供することである。

この発明は，長手方向両側面に第１軌道溝を備えた軌道レール，前記軌道レールに対して相対移動し且つ前記第１軌道溝に対向する第２軌道溝を備えたスライダ，及び前記第１軌道溝と前記第２軌道溝とで形成される負荷路を転動する複数の転動体を有し，前記スライダは，前記転動体を循環させるための一端が前記負荷路の両端にそれぞれ連通する一対の方向転換路と前記一対の方向転換路の他端に連通するリターン路とを備えていることから成る直動案内ユニットにおいて，
前記スライダは，前記第２軌道溝と前記リターン路を形成する第１リターン路溝とを備えたケーシング，前記ケーシングの両端面間に渡って延びて前記第２軌道溝に連通する前記方向転換路を形成する方向転換路面を備えた第１部材，及び前記方向転換路面と共働して前記方向転換路を形成する方向転換路溝と前記第１リターン路溝と共働して前記リターン路を形成する第２リターン路溝とを備えた第２部材から成り，前記ケーシングは，一方の面が前記第１部材で且つ他方の面が前記第２部材で固定状態に挟み込まれ，前記第１部材と前記第２部材とは，互いに嵌め込みによって固着されていることを特徴とする直動案内ユニットに関する。

この直動案内ユニットは，前記第１部材と前記第２部材とは，いずれか一方に形成された凸部でなるピンと，他方に形成された凹部でなるピン孔とが互いに嵌着することによって固着されるものである。更に，前記ピンの外形形状は，円形から両側を平面状に欠円した欠円部を設けた形状に形成されている。

この直動案内ユニットにおいて，前記ケーシングに形成された前記リターン路溝は，前記ケーシングの両外側面に形成されている。

この直動案内ユニットにおいて，前記軌道レールは断面略矩形状でなり，前記軌道レールの前記側面には前記長手方向に沿って所定間隔に隔置した他部品への取付用ねじ孔が形成されている。

この直動案内ユニットは，前記ケーシングには，前記軌道レールに跨架するための凹部，前記一方の面の両側で前記長手方向に沿ってそれぞれ延びる前記第１部材の第１外枠部を嵌入する第１嵌合溝，及び前記他方の面の両側で前記長手方向に沿ってそれぞれ延びる前記第２部材の第２外枠部を嵌入する第２嵌合溝が形成されており，前記リターン路溝は前記第２嵌合溝に形成され，前記第２軌道溝は前記凹部の内側面に形成されているものである。

この直動案内ユニットにおいて，前記第１部材は，前記ケーシングの両端に位置して前記方向転換路の一部を構成する前記方向転換路面を形成する一対の第１端板部，及び前記第１端板部に一体構造で前記第１端板部間に延びて前記ケーシングの前記第１嵌合溝に嵌入する一対の第１外枠部から成り，前記第１部材には前記第１端板部と前記第１外枠部とが前記ケーシングの前記一方の面から嵌入する第１嵌合窓が形成され，前記第１端板部の端面には前記第２部材に固着するための前記ピン又は前記ピン孔が形成されている。

この直動案内ユニットにおいて，前記第２部材は，前記第１端板部の両端に配設され且つ前記第１端板部の前記ピン又は前記ピン孔に対向する位置に前記第１部材と固着するための前記ピン孔又は前記ピンが形成された一対の第２端板部，及び前記第２端板部に一体構造で前記第２端板部間に延びて前記ケーシングの前記第２嵌合溝に嵌入する一対の第２外枠部から成り，前記第２外枠部は，前記第２外枠部の両端部が前記ケーシングの端面に位置し且つ前記負荷路に連通する前記方向転換路溝が形成された方向転換路部，及び前記方向転換路部間に延びて前記リターン路溝が形成され且つ前記ケーシングの前記第２嵌合溝に嵌入する外枠嵌合部を備えており，互いに対向する前記外枠嵌合部間及び互いに対向する前記方向転換路部間には，前記ケーシングの前記他方の面から嵌入する第２嵌合窓が形成されている。

この直動案内ユニットは，前記ケーシングの両側に前記第１嵌合溝と前記第２嵌合溝とを形成することによって前記ケーシングの前記両側には鍔部がそれぞれ形成され，前記スライダの幅方向の剛性を維持するため，前記鍔部を前記第１部材の前記第１外枠部と前記第２部材の前記第２外枠部とで挟み込み且つ前記第１外枠部と前記第２外枠部とが前記鍔部の側面から突出することなく配設されているものである。

この直動案内ユニットは，上記のように，スライダが軌道溝とリターン路を形成する第１リターン路溝を形成したケーシング，方向転換路の一部を形成した第１部材，及び方向転換路を形成する方向転換路溝と前記第１リターン路溝とでリターン路を形成する第２リターン路溝を形成した第２部材から構成されているので，スライダそのものが３個の部材という極めて少ない部品点数で構成されて構成そのものがシンプルであり，しかも，ケーシングを第１部材と第２部材とで挟み込んだ状態で第１部材と第２部材とを一度の組立工数で互いに嵌め合いによって固着して３個の部材を固定することによって，スライダ自体の剛性を確保した状態で組立の積算誤差も発生することなく高精度に容易に，簡単に組み立てることができる。また，この直動案内ユニットは，上記のように超小形に形成されるにもかかわらず，３個の部材の位置決め等を高精度に確実に確保できるので，軌道レールに対してスライダが滑らかな高精度な往復移動が可能になり，機器等の摺動運動に対してスムーズに高精度に対応できる。

以下，図面を参照して，この発明による直動案内ユニットの実施例を説明する。この直動案内ユニットは，本出願人の出願に係る特開２００２−２２７８４０号公報に開示した直動案内ユニットを発展させて，一層簡素化，一層超小形化に構成して製作が容易にできるものであり，スライダが高剛性で，スライダがスムーズな往復移動でき，位置決め，高精度等の性能を発揮できるものである。

この直動案内ユニットは，概して，長手方向の両側面２５に軌道溝１２（第１軌道溝）を備えた軌道レール１，軌道レール１に対して相対移動し且つ軌道溝１２に対向する軌道溝２６（第２軌道溝）を備えたスライダ２，及び軌道溝１２と軌道溝２６とで形成される軌道路である負荷路１５を転動する複数の転動体であるボール１１を有している。スライダ２は，転動体１１が循環転走するように，一端が負荷路１５の両端にそれぞれ連通する一対の方向転換路３５と方向転換路３５の他端に連通するリターン路２０とを備えている。言い換えれば，スライダ２には，ボール１１が負荷路１５，一方の方向転換路３５，リターン路２０及び他方の方向転換路３５から成る無限循環路を転走するように組み込まれている。

この直動案内ユニットでは，軌道レール１は，例えば，幅が１ｍｍ，高さが２．５ｍｍのサイズの超小形の形状に形成されるものである。軌道レール１は，サイズが超小形に形成される場合には，小さ過ぎてベース等に固定するための取付用孔等を形成することができないタイプに形成されている。従って，軌道レール１は，ベース等の他の部品に固定される場合には，有効ストロークでない部分を利用して固定したり，或いは接着剤，溶着等で他の部品に固定することができる。軌道レール１には，相手ベース等に取り付けるための下面基準面９及び側面基準面８が設けられており，また，スライダ２には，相手ワーク等の部材に取り付けるため，上面基準面６と側面基準面７が設けられている。スライダ２の上面基準面６及び側面基準面７は，後述の上蓋４と下蓋５との上面や側面から僅かに突出した上面４９及び側面１７に形成されている。

この直動案内ユニットは，特に，スライダ２を超小形に且つ部品点数を低減した構造に構成したことに特徴を有するものである。スライダ２は，ケーシング３，第１部材である上蓋４及び第２部材である下蓋５との３個の部品から構成され，３個の部品を固定するため，ケーシング３を上蓋４と下蓋５とで挟み込んで，ケーシング３に固着ねじ，ねじ穴，ピン穴，ピン等を用いることなく，上蓋４と下蓋５とを互いに嵌め合いによって固着したものである。即ち，スライダ２を組み立てるため，ケーシング３に上蓋４と下蓋５とを固着するのに，ケーシング３の両端面１８は，構成部材の上蓋４と下蓋５とを固着するための従来のようなねじ穴，凹凸等の係着部を設けることを不要にし，ストレートでシンプルな形状の平らな端面１８に形成されている。ここで，第１部材を上蓋４とし，第２部材を下蓋５として説明しているが，上蓋４と下蓋５とは互いに上下関係を意図したものでなく，説明をし易くするため図面に対応して称呼したものである。

スライダ２は，具体的には，軌道溝２６及びリターン路２０を形成するリターン路溝１９（第１リターン路溝）が形成されたケーシング３，ケーシング３の上面４９（一方の面）に位置して方向転換路３５の一部分を形成する方向転換路面２３が形成された上蓋４，及びケーシング３の下面５０（他方の面）に位置して方向転換路面２３と共働して方向転換路３５を形成する方向転換路溝３４とリターン路溝１９と共働してリターン路２０を形成するリターン路溝３６（第２リターン路溝）が形成された下蓋５から構成されている。上蓋４は，ケーシング３の両端面１８間に渡って延びており，詳しくは，ケーシング３の長手方向の長さに対応する長さの外枠部４２と，その両端とそれぞれ一体構造の方向転換路面２３を備えた端板部４１とから構成されている。上蓋４の方向転換路面２３は，ケーシング３の軌道溝２６の両端に連通するように形成されている。この直動案内ユニットでは，上蓋４と下蓋５とは，いずれか一方に形成された凸状の嵌着突出部でなるピン４４と，他方に形成された凹状の嵌着部でなるピン孔１４とが互いに嵌着即ち嵌め合いすることによって固着される。実施例では，上蓋４にピン４４が形成され，下蓋５にピン孔１４が形成されている。

この直動案内ユニットにおいて，図４〜図７に示すように，ケーシング３には，移動方向即ち長手方向に沿って延びる軌道レール１に跨架するための幅方向の中央部に凹部２７が形成され，一方の面である上面４９の両側で長手方向に沿ってそれぞれ延びる上蓋４の外枠部４２を嵌入する嵌合溝２８（第１嵌合溝），及び他方の面である下面５０の両側で長手方向に沿ってそれぞれ延びる下蓋５の外枠部３２を嵌入する嵌合溝２９（第２嵌合溝）が形成されている。ケーシング３のリターン路溝１９は嵌合溝２９に形成され，また，軌道溝２６は凹部２７の内側面に形成されている。即ち，ケーシング３に形成されたリターン路溝１９は，ケーシング３の嵌合溝２９である両外側面に形成されている。リターン路溝１９は，下側の嵌合溝２９に続きリターン路２０を形成するため半円状に形成されており，転動体１１をスムーズに案内することができ，また，下蓋５の製作がし易い形状に形成されている。ケーシング３の上面４９は，ワーク等の他の部材を取り付ける取付面１６であって上面基準面６が形成されており，ワーク等を取り付けるための取付用ねじ孔１３が形成されている。また，ケーシング３は，上側の嵌合溝２８と下側の嵌合溝２９との間には，両側面１７が幅方向に延びる鍔部１０に形成され，鍔部１０の側面１７のいずれか一方が側面基準面７に形成されている。ケーシング３の両端面１８には，平面状でなり，ねじ穴，ピン穴，凹部，凸部等の固着手段は全く形成されておらず，上蓋４の内側端面５１が密接して配置される。

また，図１２〜図１６に示すように，第１部材である上蓋４は，ケーシング３の両端に位置する一対の端板部４１（第１端板部），及び端板部４１に一体構造で，互いに対向する端板部４１間に延びている一対の外枠部４２（第１外枠部）から構成されている。端板部４１には，方向転換路３５の一部を構成する方向転換路面２３が形成されている。外枠部４２は，ケーシング３の上側の嵌合溝２８に嵌入してケーシング３に上蓋４が配設される。また，上蓋４には，端板部４１と外枠部４２とがケーシング３の一方の面である上面４９から上蓋４を嵌入する嵌合窓４７（第１嵌合窓）が形成され，端板部４１の外側の端面２４には，下蓋５に固着するための凸部又は凹部，図では凸部であるピン４４が形成されている。端板部４１の方向転換路面２３は，後述の下蓋５の方向転換路溝３４と共働して方向転換路３５を形成している。

また，図１２に示すように，正面から見ると，端板部４１と外枠部４２とで嵌合凹部４３が形成され，ケーシング３の鍔部１０を包み込む即ち嵌入する状態に形成されている。更に，図１３に示すように，平面から見ると，端板部４１と外枠部４２とでケーシング３の上面４９からケーシング３を嵌入する嵌合窓４７が形成されている。端板部４１の下面である合わせ面４０を下蓋５の合わせ面３０に蓋をする状態に，上蓋４の嵌合窓４７をケーシング３の鍔部１０を挟み込むように嵌合し，上蓋４の端板部４１の下面に形成された方向転換路面２３と，下蓋５の外枠部３２の方向転換路部３３に形成された方向転換路溝３４とが共働して方向転換路３５が構成されるようになっている。端板部４１の外側の端面２４には，上蓋４を下蓋５に固着するため，実施例では嵌着突出部でなるピン４４が形成されている。ピン４４は，上蓋４の幅方向の両側に一対形成され，上蓋４と下蓋５との固着を強固な固着を可能にしている。また，ピン４４の外形形状は，実施例では，具体的に，図１４や図１６に示すように，両側が平面状に欠円された欠円部即ち平坦部４６に形成されており，樹脂成形時に形成し易い形状に形成されている。また，上蓋４の端板部４１には，その下面中央に，ケーシング３の凹部２７に対応して軌道レール１に跨架するための凹部４５が形成されている。

また，図８〜図１１に示すように，第２部材である下蓋５は，互いに対向する一対の端板部３１（第２端板部），及び端板部３１に一体構造で互いに対向する端板部３１間に延びている互いに対向する一対の外枠部３２（第２外枠部）から構成されている。下蓋５の端板部３１は，その内側端面２１が上蓋４の端板部４１の外側端面２４に接して配設され，端板部３１には，凸状の嵌着突出部又は凹状の嵌着部，図では上蓋４に形成されたピン４４に対向する位置に上蓋４に固着するための嵌着部でなるピン孔１４が形成されている。また，下蓋５の外枠部３２は，ケーシング３の下面５０側に形成された嵌合溝２９に嵌入して配設される。外枠部３２には，その両端部がケーシング３の端面１８に位置し且つ負荷路１５に連通する方向転換路溝３４が形成された方向転換路部３３，及び両端に隔置した方向転換路部３３間に延びてリターン路溝３６が形成され且つケーシング３の嵌合溝２９に嵌入する外枠嵌合部３７を備えている。また，下蓋５には，互いに対向する外枠嵌合部３７間及び互いに対向する方向転換路部３３間には，ケーシング３の他方の面である下面５０から下蓋５を嵌入する嵌合窓３８（第２嵌合窓）が形成されている。

この直動案内ユニットは，下蓋５の端板部３１に続く外枠部３２に形成された合わせ面３０が上蓋４の端板部４１の下面の合わせ面４０に合わさると共に，ケーシング３の鍔部１０が上蓋４の嵌合凹部４３と下蓋５の外枠部３２との間で挟み込む状態になって，ケーシング３，上蓋４及び下蓋５が互いに固定されることになる。また，下蓋５の外枠部３２には，上蓋４と合わさって方向転換路３５を形成する方向転換路部３３が両端に形成され，外枠部３２の両端の方向転換路部３３を連結する外枠嵌合部３７が方向転換路部３３と一体に形成されている。この実施例では，方向転換路部３３には，転動体のボール１１の大きさより僅かに大きい幅と深さでなる方向転換路溝３４が略半円状に形成されている。また，下蓋５には，軌道レール１側には，軌道レール１の軌道溝１２に嵌入するすくい爪３９が形成されている。外枠部３２の外枠嵌合部３７にはリターン路溝３６が形成されている。この実施例では，リターン路溝３６が１／４円状から切り上がった形状（図４参照）に形成されている。また，端板部３１に形成されたピン孔１４の形状は，上蓋４のピン４４の外形形状を考慮して円形の孔形状に形成されてもよいものである。下蓋５の外枠部３２には，下蓋５を図９の平面から見ると，外枠部３２における互いに対向する外枠嵌合部３２間及び方向転換路部３３間には，ケーシング３を下面５０から下蓋５を嵌入する嵌合窓３８が形成されている。また，下蓋５の図１０の側面から見ると，端板部３１と方向転換路部３３間とには，ケーシング３の凹部２７に対応して軌道レール１に跨架するための凹部２２が形成されている。

この直動案内ユニットは，上記のように，ケーシング３の両側に嵌合溝２８と嵌合溝２９とを形成することによって，ケーシング３の両側には鍔部１０がそれぞれ形成されている。ケーシング３の鍔部１０は剛性に富んだ金属製であり，上蓋４と下蓋５とは樹脂製である。この直動案内ユニットは，鍔部１０を上蓋４の外枠部４２と下蓋５の外枠部３２とで挟み込み，外枠部４２と外枠部３２とが鍔部１０の側面から突出することなく配設されているので，スライダ２の幅方向の剛性が維持されている。また，スライダ２は，軌道レール１に跨架するため，ケーシング３の凹部２７，上蓋４の凹部４５，及び下蓋５の凹部２２は整合するように位置決めされていることは勿論である。

この発明による直動案内ユニットは，上記のように構成されているので，スライダ２を超小形に形成することができる。即ち，この直動案内ユニットは，ケーシング３を挟み込んだ第１部材である上蓋４と第２部材である下蓋５とを，ケーシング３に固定ねじ等を用いずに，ピン４４とピン孔１４とを互いに嵌め合いによって一度の組立工数で固着できるので，スライダ２そのものが極めてシンプルで構造が簡単であり，３部品の組立による累積誤差が発生せずに高精度に３部材を組み立てることができ，しかも，他の部品を取り付ける部分が幅方向全域に延びる金属製ケーシング３が支配しているので，スライダ２の所定の剛性が確保でき，スライダ２そのものを超小形に形成することができる。また，スライダ２は，例えば，長さを６．５ｍｍ，幅を４ｍｍ，高さを２．５ｍｍの超小形に形成することができ，それに伴って軌道レール１を超小形，例えば，幅を１ｍｍ，高さを１．４ｍｍの超小形に形成でき，それによって，直動案内ユニット自体を超小形，例えば，総高さを２．５ｍｍの超小形に形成することができる。

次に，図１７を参照して，この発明による直動案内ユニットの別の実施例を説明する。この実施例では，軌道レール１Ａは，断面略矩形状であって高さが高く，例えば，３．１ｍｍのサイズに形成されているので，軌道レール１Ａの側面２５に長手方向に沿って所定間隔に隔置した他部品への取付用ねじ孔４８を形成することができる。この実施例は，スライダ２は上記実施例と同一のものを適用できるので，同一部材については同一の符号を付して重複する説明を省略する。

この発明による直動案内ユニットは，半導体製造装置，各種組立装置，精密機械，測定装置，医療機器，マイクロマシーン，各種ロボット等の各種装置の摺動部に組み込んで利用され，超小形化，高剛性，滑らかな動き，高精度等の性能を発揮できる。

この発明による直動案内ユニットの一実施例を示す正面図である。図１の直動案内ユニットを示す平面図である。図１の直動案内ユニットを示す側面図である。図１の直動案内ユニットのＡ−Ａ断面を示す断面図である。図１の直動案内ユニットにおけるケーシングを示す正面図である。図５のケーシングを示す側面図である。図５のケーシングを示す下面図である。図１の直動案内ユニットにおける下蓋を示す正面図である。図８の下蓋を示す平面図である。図９の下蓋を示す側面図である。図９の下蓋のＢ−Ｂ断面を示す断面図である。図１の直動案内ユニットにおける上蓋を示す正面図である。図１２の上蓋を示す下面図である。図１３の上蓋を示す側面図である。図１３の上蓋のＣ−Ｃ断面を示す断面図である。図１４の上蓋のＥ部を拡大した側面図である。この発明による直動案内ユニットの別の実施例を示す正面図である。

符号の説明

１軌道レール
２スライダ
３ケーシング
４上蓋（第１部材）
５下蓋（第２部材）
１０鍔部
１１転動体
１２，２６軌道溝
１３取付用ねじ孔
１４ピン孔
１５負荷路
１９リターン路溝（第１リターン路溝）
２０リターン路
２１内側端面
２３方向転換路面
２４外側端面
２５側面
２７凹部
２８嵌合溝（第１嵌合溝）
２９嵌合溝（第２嵌合溝）
３１端板部（第２端板部）
３２外枠部（第２外枠部）
３３方向転換路部
３４方向転換路溝
３５方向転換路
３６リターン路溝（第２リターン路溝）
３７外枠嵌合部
３８嵌合窓（第２嵌合窓）
４１端板部（第１端板部）
４２外枠部（第１外枠部）
４４ピン
４７嵌合窓（第１嵌合窓）
４８取付用ねじ孔
４９上面
５０下面
５１内側端面

Claims

長手方向両側面に第１軌道溝を備えた軌道レール，前記軌道レールに対して相対移動し且つ前記第１軌道溝に対向する第２軌道溝を備えたスライダ，及び前記第１軌道溝と前記第２軌道溝とで形成される負荷路を転動する複数の転動体を有し，
前記スライダは，前記転動体を循環させるための一端が前記負荷路の両端にそれぞれ連通する一対の方向転換路と前記一対の方向転換路の他端に連通するリターン路とを備えていることから成る直動案内ユニットにおいて，
前記スライダは，前記第２軌道溝と前記リターン路を形成する第１リターン路溝とを備えたケーシング，前記ケーシングの両端面間に渡って延びて前記第２軌道溝の両端にそれぞれ連通する前記方向転換路を形成する方向転換路面を備えた第１部材，及び前記方向転換路面と共働して前記方向転換路を形成する方向転換路溝と前記第１リターン路溝と共働して前記リターン路を形成する第２リターン路溝とを備えた第２部材から成り，
前記ケーシングは，一方の面が前記第１部材で且つ他方の面が前記第２部材で固定状態に挟み込まれ，前記第１部材と前記第２部材とは，互いに嵌め込みによって固着されていることを特徴とする直動案内ユニット。
前記第１部材と前記第２部材とは，いずれか一方に形成された嵌着突出部でなるピンと，他方に形成された嵌着部でなるピン孔とが互いに嵌着することによって固着されることを特徴とする請求項１に記載の直動案内ユニット。
前記ピンの外形形状は，円形から両側を平面状に欠円した欠円部を設けた形状に形成されていることを特徴とする請求項２に記載の直動案内ユニット。
前記ケーシングに形成された前記第１リターン路溝は，前記ケーシングの両外側面に形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の直動案内ユニット。
前記軌道レールは断面略矩形状でなり，前記軌道レールの前記側面には前記長手方向に沿って所定間隔に隔置した他部品への取付用ねじ孔が形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の直動案内ユニット。
前記ケーシングには，前記一方の面の両側で前記長手方向に沿ってそれぞれ延びる前記第１部材の第１外枠部を嵌入する第１嵌合溝，及び前記他方の面の両側で前記長手方向に沿ってそれぞれ延びる前記第２部材の第２外枠部を嵌入する第２嵌合溝が形成されており，前記第１リターン路溝は前記第２嵌合溝に形成され，前記第２軌道溝は前記軌道レールに跨架するための凹部の内側面に形成されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の直動案内ユニット。
前記第１部材は，前記ケーシングの両端に位置して前記方向転換路の一部を構成する前記方向転換路面を形成する一対の第１端板部，及び前記第１端板部に一体構造で前記第１端板部間に延びて前記ケーシングの前記第１嵌合溝に嵌入する一対の第１外枠部から成り，前記第１部材には前記第１端板部と前記第１外枠部とが前記ケーシングの前記一方の面から嵌入する第１嵌合窓が形成され，前記第１端板部の端面には前記第２部材に固着するための前記ピン又は前記ピン孔が形成されていることを特徴とする請求項６に記載の直動案内ユニット。
前記第２部材は，前記第１端板部の両端に配設され且つ前記第１端板部の前記ピン又は前記ピン孔に対向する位置に前記第１部材と固着するための前記ピン孔又は前記ピンが形成された一対の第２端板部，及び前記第２端板部に一体構造で前記第２端板部間に延びて前記ケーシングの前記第２嵌合溝に嵌入する一対の第２外枠部から成り，前記第２外枠部は，前記第２外枠部の両端部が前記ケーシングの端面に位置し且つ前記負荷路に連通する前記方向転換路溝が形成された方向転換路部，及び前記方向転換路部間に延びて前記第２リターン路溝が形成され且つ前記ケーシングの前記第２嵌合溝に嵌入する外枠嵌合部を備えており，互いに対向する前記外枠嵌合部間及び互いに対向する前記方向転換路部間には，前記ケーシングの前記他方の面から嵌入する第２嵌合窓が形成されていることを特徴とする請求項７に記載の直動案内ユニット。
前記ケーシングの両側に前記第１嵌合溝と前記第２嵌合溝とを形成することによって前記ケーシングの前記両側には鍔部がそれぞれ形成され，前記スライダの幅方向の剛性を維持するため，前記鍔部を前記第１部材の前記第１外枠部と前記第２部材の前記第２外枠部とで挟み込み且つ前記第１外枠部と前記第２外枠部とが前記鍔部の側面から突出することなく配設されていることを特徴とする請求項６〜８のいずれか１項に記載の直動案内ユニット。