JP2003239963A - 直動案内ユニット - Google Patents
直動案内ユニットInfo
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/08—Arrangements for covering or protecting the ways
- F16C29/084—Arrangements for covering or protecting the ways fixed to the carriage or bearing body movable along the guide rail or track
- F16C29/088—Seals extending in the longitudinal direction of the carriage or bearing body
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/005—Guide rails or tracks for a linear bearing, i.e. adapted for movement of a carriage or bearing body there along
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/04—Ball or roller bearings
- F16C29/06—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load
- F16C29/063—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body, e.g. a carriage or part thereof, provided between the legs of a U-shaped guide rail or track
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Rolling Contact Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 この直動案内ユニットは，軌道レールのベッ
ドへの取り付けを高精度に行い，軌道レールに対するス
ライダの摺動抵抗を低減する。 【解決手段】 軌道レール１１の側部１３の外側には，
幅Ｈが側部１３の底面２３から軌道レール１１の重心Ｇ
の位置を越える位置まで延びる凸面部３が形成されてい
る。凸面部３の表面は，ベッド２に設けられた取付け基
準面２６に整合する面に加工された取付け基準面２５に
構成されている。スライダ１２には，摺動方向の側面と
軌道レール１１の側部１３の長手方向の内側面１６との
間をシールする上面シール７が設けられており，側部１
３の内側面１６には上面シール７のリップ部２７が接す
る摺接溝５が長手方向に延びて形成されている。
ドへの取り付けを高精度に行い，軌道レールに対するス
ライダの摺動抵抗を低減する。 【解決手段】 軌道レール１１の側部１３の外側には，
幅Ｈが側部１３の底面２３から軌道レール１１の重心Ｇ
の位置を越える位置まで延びる凸面部３が形成されてい
る。凸面部３の表面は，ベッド２に設けられた取付け基
準面２６に整合する面に加工された取付け基準面２５に
構成されている。スライダ１２には，摺動方向の側面と
軌道レール１１の側部１３の長手方向の内側面１６との
間をシールする上面シール７が設けられており，側部１
３の内側面１６には上面シール７のリップ部２７が接す
る摺接溝５が長手方向に延びて形成されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は，例えば，半導体
製造装置等の各種組立装置，ＮＣ加工機，測定，試験装
置等の摺動部に適用される軌道レールに対して長手方向
に沿って移動するスライダを備えた直動案内ユニットに
関する。
製造装置等の各種組立装置，ＮＣ加工機，測定，試験装
置等の摺動部に適用される軌道レールに対して長手方向
に沿って移動するスライダを備えた直動案内ユニットに
関する。
【０００２】
【従来の技術】近年，メカトロ技術の発展が目覚まし
く，当該技術を支える基礎的且つ汎用的な装置として直
動案内ユニットがある。直動案内ユニットは，半導体製
造装置等の各種組立装置，ＮＣ加工機，測定，試験装置
等の各技術分野の装置に組み込まれて多用されている
が，技術の発展と共にその用途は拡大しており，高精
度，低摩擦化，高速摺動化，組立容易性，汎用化等の各
種の要求が高まっている。
く，当該技術を支える基礎的且つ汎用的な装置として直
動案内ユニットがある。直動案内ユニットは，半導体製
造装置等の各種組立装置，ＮＣ加工機，測定，試験装置
等の各技術分野の装置に組み込まれて多用されている
が，技術の発展と共にその用途は拡大しており，高精
度，低摩擦化，高速摺動化，組立容易性，汎用化等の各
種の要求が高まっている。
【０００３】従来，直動案内ユニットとして，例えば，
本出願人に係る特開２００１−１２４６５号公報に開示
されたものが知られている。該直動案内ユニットは，軌
道レールとスライダの側面とに取付け基準面を形成した
ものであり，軌道レールとスライダとをそれぞれベッド
又はテーブルに基準面で位置決めされた状態で取り付け
ることにより，テーブルのベッドに対する位置ずれや姿
勢の変化を防止したものである。軌道レールは，軌道レ
ール取付け基準側面と軌道レール取付け基準底面を，そ
れぞれベッドの軌道レール取付け側面と軌道レール取付
け上面に対して，突き合わせて位置決めされた状態で取
付けボルトにより取り付けられる。また，スライダは，
スライダヘッド部において，スライダ取付け基準側面と
スライダ取付け基準頂面をテーブルのスライダ取付け側
面とスライダ取付け下面に対して，突き合わせて位置決
めされた状態で取付けボルトにより取り付けられる。
本出願人に係る特開２００１−１２４６５号公報に開示
されたものが知られている。該直動案内ユニットは，軌
道レールとスライダの側面とに取付け基準面を形成した
ものであり，軌道レールとスライダとをそれぞれベッド
又はテーブルに基準面で位置決めされた状態で取り付け
ることにより，テーブルのベッドに対する位置ずれや姿
勢の変化を防止したものである。軌道レールは，軌道レ
ール取付け基準側面と軌道レール取付け基準底面を，そ
れぞれベッドの軌道レール取付け側面と軌道レール取付
け上面に対して，突き合わせて位置決めされた状態で取
付けボルトにより取り付けられる。また，スライダは，
スライダヘッド部において，スライダ取付け基準側面と
スライダ取付け基準頂面をテーブルのスライダ取付け側
面とスライダ取付け下面に対して，突き合わせて位置決
めされた状態で取付けボルトにより取り付けられる。
【０００４】また，本出願人に係る特開平１１−３０２
３４号公報に開示されたスライド装置は，Ｕ字状の軌道
レールにボールねじを装備したものであり，スライダに
は軌道溝の上面と軌道レールとの隙間は上面シールによ
ってシールされている。
３４号公報に開示されたスライド装置は，Ｕ字状の軌道
レールにボールねじを装備したものであり，スライダに
は軌道溝の上面と軌道レールとの隙間は上面シールによ
ってシールされている。
【０００５】また，直動案内ユニットにおいて，図１０
に示されるような軌道レール４０が知られている。軌道
レール４０は，互いに平行に長手方向に延びる一対の側
部４３と両側部４３と一体構造の底部４４を有し，機器
類のベース，機台等のベッドに底面４２が載置されて取
り付けられるものである。一対の側部４３の上面４９
は，互いに同程度まで上方に延びている。軌道レール４
０の側部４３間には案内路６２が形成され，案内路６２
にはスライダが軌道レール４０の長手方向に沿って摺動
するように組み込まれるものである。軌道レール４０の
外側面４５には凸面部４１が設けられ，また，軌道レー
ル４０の内側面４７には軌道溝４６が形成されている。
軌道レール４０では，凸面部４１の外側面４８の幅ＨＰ
は，軌道レール４０の底面４２から重心ＧＰの位置まで
は延びておらず，底面４２から重心ＧＰまでの重心高さ
ＨＧＰより低い即ち小さく構成されている。
に示されるような軌道レール４０が知られている。軌道
レール４０は，互いに平行に長手方向に延びる一対の側
部４３と両側部４３と一体構造の底部４４を有し，機器
類のベース，機台等のベッドに底面４２が載置されて取
り付けられるものである。一対の側部４３の上面４９
は，互いに同程度まで上方に延びている。軌道レール４
０の側部４３間には案内路６２が形成され，案内路６２
にはスライダが軌道レール４０の長手方向に沿って摺動
するように組み込まれるものである。軌道レール４０の
外側面４５には凸面部４１が設けられ，また，軌道レー
ル４０の内側面４７には軌道溝４６が形成されている。
軌道レール４０では，凸面部４１の外側面４８の幅ＨＰ
は，軌道レール４０の底面４２から重心ＧＰの位置まで
は延びておらず，底面４２から重心ＧＰまでの重心高さ
ＨＧＰより低い即ち小さく構成されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】近年，直動案内ユニッ
トについては，高精度化であって安価なものが求められ
ているのが現状である。直動案内ユニットでは，一対の
側部と底部から成るＵ字状の軌道レールについて，例え
ば，前掲特開２００１−１２４６５号公報に開示された
直動案内ユニットのように，軌道レールの両側の側部に
形成されている凸面部の幅が小さかったので，加工する
上で，不安定なことから加工が面倒であり高精度に加工
しずらいものであった。
トについては，高精度化であって安価なものが求められ
ているのが現状である。直動案内ユニットでは，一対の
側部と底部から成るＵ字状の軌道レールについて，例え
ば，前掲特開２００１−１２４６５号公報に開示された
直動案内ユニットのように，軌道レールの両側の側部に
形成されている凸面部の幅が小さかったので，加工する
上で，不安定なことから加工が面倒であり高精度に加工
しずらいものであった。
【０００７】例えば，上記の直動案内ユニットにおける
軌道レールは，図１０に示すようなものである。即ち，
軌道レール４０は，上記のように，凸面部４１の外側面
４８の幅ＨＰが底面４２から重心ＧＰまでの重心高さＨ
ＧＰより低く構成されているので，例えば，凸面部４１
の外側面４８をベッドに対する取付け基準面に構成した
とすると，凸面部４１の外側面４８を，治具５０の載置
面５１に載置した場合には，外側面４８の幅ＨＰが狭い
即ち小さいため，側部４３の上面４９側が載置面５１に
倒れかかって角度θの傾斜状態になる。即ち，上記のよ
うな軌道レール４０について，凸面部４１の外側面４８
を治具５０の載置面５１に密着させて倒れない即ち傾斜
状態を無くすようにするには，軌道レール４０を治具５
０の載置面５１に垂直に支えるため，その都度，他の治
具を必要としていた。言い換えれば，軌道レール４０
は，上記のように凸面部４１の外側面４８が狭いため，
軌道レール４０の底面４２と凸面部４１の外側面４８と
の角度を垂直（９０°）に加工することが困難になり，
凸面部４１の外側面４８をベッドに設けた取付け基準面
に対する取付け基準面に構成することに困難があった。
軌道レールは，図１０に示すようなものである。即ち，
軌道レール４０は，上記のように，凸面部４１の外側面
４８の幅ＨＰが底面４２から重心ＧＰまでの重心高さＨ
ＧＰより低く構成されているので，例えば，凸面部４１
の外側面４８をベッドに対する取付け基準面に構成した
とすると，凸面部４１の外側面４８を，治具５０の載置
面５１に載置した場合には，外側面４８の幅ＨＰが狭い
即ち小さいため，側部４３の上面４９側が載置面５１に
倒れかかって角度θの傾斜状態になる。即ち，上記のよ
うな軌道レール４０について，凸面部４１の外側面４８
を治具５０の載置面５１に密着させて倒れない即ち傾斜
状態を無くすようにするには，軌道レール４０を治具５
０の載置面５１に垂直に支えるため，その都度，他の治
具を必要としていた。言い換えれば，軌道レール４０
は，上記のように凸面部４１の外側面４８が狭いため，
軌道レール４０の底面４２と凸面部４１の外側面４８と
の角度を垂直（９０°）に加工することが困難になり，
凸面部４１の外側面４８をベッドに設けた取付け基準面
に対する取付け基準面に構成することに困難があった。
【０００８】また，前掲特開平１１−３０２３４号公報
に開示されたスライド装置は，一対の側部と底部から成
るＵ字状の軌道レールから成り，スライダに組み込まれ
ている上面シールのリップが摺接する軌道レールの内側
面が粗面な状態の加工であるので，スライダが滑らかに
摺動することがむずかしく，シール性能が不安定になっ
ていた。
に開示されたスライド装置は，一対の側部と底部から成
るＵ字状の軌道レールから成り，スライダに組み込まれ
ている上面シールのリップが摺接する軌道レールの内側
面が粗面な状態の加工であるので，スライダが滑らかに
摺動することがむずかしく，シール性能が不安定になっ
ていた。
【０００９】そこで，直動案内ユニットに関して，全体
的構造をコンパクトに構成し，テーブルとベッドをそれ
ぞれスライダと軌道レールに対して取付け位置及び姿勢
を予め決められた状態で迅速に且つ高精度に取り付ける
と共に，軌道レールに対するスライダの摺動について低
摩擦でスムースに移動できることにより，長期に渡って
使用されても，スライダと軌道レールとが，例えば，テ
ーブルとベッドに対して予め定められた位置と姿勢が確
保されるものが望まれている。
的構造をコンパクトに構成し，テーブルとベッドをそれ
ぞれスライダと軌道レールに対して取付け位置及び姿勢
を予め決められた状態で迅速に且つ高精度に取り付ける
と共に，軌道レールに対するスライダの摺動について低
摩擦でスムースに移動できることにより，長期に渡って
使用されても，スライダと軌道レールとが，例えば，テ
ーブルとベッドに対して予め定められた位置と姿勢が確
保されるものが望まれている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この発明の目的は，上記
の課題を解決することであり，直動案内ユニットにおけ
る軌道レールを機器類のベース，機台等のベッドに対し
て容易に且つ高精度に位置決めし，また，軌道レールに
対するスライダを低摩擦即ち低摺動抵抗でスムースに摺
動させることであり，軌道レールをベッドに位置決めし
て取り付けるため，軌道レールの側部の両外側に設けら
れた凸面部を幅広く形成して凸面部の表面を取付け基準
面に形成し，また，軌道レールの側部の両内側面にスラ
イダに装備されている上面シールが摺接するための摺接
溝を形成し，低摺動抵抗に構成した直動案内ユニットを
提供することである。
の課題を解決することであり，直動案内ユニットにおけ
る軌道レールを機器類のベース，機台等のベッドに対し
て容易に且つ高精度に位置決めし，また，軌道レールに
対するスライダを低摩擦即ち低摺動抵抗でスムースに摺
動させることであり，軌道レールをベッドに位置決めし
て取り付けるため，軌道レールの側部の両外側に設けら
れた凸面部を幅広く形成して凸面部の表面を取付け基準
面に形成し，また，軌道レールの側部の両内側面にスラ
イダに装備されている上面シールが摺接するための摺接
溝を形成し，低摺動抵抗に構成した直動案内ユニットを
提供することである。
【００１１】この発明は，互いに平行に長手方向に延び
る一対の側部を有し且つベッドに取り付けられる軌道レ
ール，及び前記軌道レールの前記側部間に形成された案
内路を前記軌道レールの長手方向に沿って摺動するスラ
イダから成る直動案内ユニットにおいて，前記軌道レー
ルの前記側部の外側には，幅が前記側部の底面から前記
軌道レールの重心の位置を越える位置まで延びる凸面部
が形成されており，前記凸面部の表面は前記ベッドに設
けられた取付け基準面に整合する面に加工された取付け
基準面に構成されていることを特徴とする直動案内ユニ
ットに関する。
る一対の側部を有し且つベッドに取り付けられる軌道レ
ール，及び前記軌道レールの前記側部間に形成された案
内路を前記軌道レールの長手方向に沿って摺動するスラ
イダから成る直動案内ユニットにおいて，前記軌道レー
ルの前記側部の外側には，幅が前記側部の底面から前記
軌道レールの重心の位置を越える位置まで延びる凸面部
が形成されており，前記凸面部の表面は前記ベッドに設
けられた取付け基準面に整合する面に加工された取付け
基準面に構成されていることを特徴とする直動案内ユニ
ットに関する。
【００１２】前記軌道レールの前記側部に形成された前
記凸面部は，前記軌道レールの長手方向に延びている。
記凸面部は，前記軌道レールの長手方向に延びている。
【００１３】前記軌道レールの前記側部に設けられた前
記凸面部は，一方又は両方の前記側部に形成されてい
る。
記凸面部は，一方又は両方の前記側部に形成されてい
る。
【００１４】前記軌道レールは，一対の前記側部と前記
側部の下部で一体構造に構成された底部とによって断面
Ｕ字形状に形成されている。
側部の下部で一体構造に構成された底部とによって断面
Ｕ字形状に形成されている。
【００１５】前記凸面部の前記幅は，前記軌道レールの
前記重心の位置を越える位置は前記重心の位置より１ｍ
ｍ以上である。
前記重心の位置を越える位置は前記重心の位置より１ｍ
ｍ以上である。
【００１６】前記凸面部の前記幅は，前記軌道レールの
前記側部の高さの半分程度までである。
前記側部の高さの半分程度までである。
【００１７】また，この発明は，互いに平行に長手方向
に延びる一対の側部を有し且つベッドに取り付けられる
軌道レール，及び前記軌道レールの前記側部間に形成さ
れた案内路を前記軌道レールの長手方向に沿って摺動す
るスライダから成る直動案内ユニットにおいて，前記ス
ライダには前記スライダの摺動方向の側面と前記軌道レ
ールの前記側部の長手方向の内側面との間の隙間をシー
ルする上面シールが設けられており，前記側部の前記内
側面には前記上面シールのリップ部が接する摺接溝が長
手方向に延びて形成されていることを特徴とする直動案
内ユニットに関する。
に延びる一対の側部を有し且つベッドに取り付けられる
軌道レール，及び前記軌道レールの前記側部間に形成さ
れた案内路を前記軌道レールの長手方向に沿って摺動す
るスライダから成る直動案内ユニットにおいて，前記ス
ライダには前記スライダの摺動方向の側面と前記軌道レ
ールの前記側部の長手方向の内側面との間の隙間をシー
ルする上面シールが設けられており，前記側部の前記内
側面には前記上面シールのリップ部が接する摺接溝が長
手方向に延びて形成されていることを特徴とする直動案
内ユニットに関する。
【００１８】前記側部の前記摺接溝に対する前記上面シ
ールの前記リップ部の摺接は，前記摺接溝と前記リップ
部の先端とは零又はほとんど零状態の隙間である。
ールの前記リップ部の摺接は，前記摺接溝と前記リップ
部の先端とは零又はほとんど零状態の隙間である。
【００１９】前記側部の前記内側面に形成された前記摺
接溝は，その長手方向に延びる両側部が前記側部の前記
内側面に対して所定の角度で傾斜した傾斜面と，前記傾
斜面をそれぞれ結び且つ前記上面シールの前記リップ部
が摺接する平らな平滑面とから凹溝に形成されている。
接溝は，その長手方向に延びる両側部が前記側部の前記
内側面に対して所定の角度で傾斜した傾斜面と，前記傾
斜面をそれぞれ結び且つ前記上面シールの前記リップ部
が摺接する平らな平滑面とから凹溝に形成されている。
【００２０】前記スライダは，前記軌道レールの前記側
部の前記内側面に形成された軌道溝に対向する軌道溝が
形成されたケーシング，前記ケーシングの両端面に取り
付けられたエンドキャップ，前記エンドキャップの端面
にそれぞれ取り付けられたエンドシール，及び前記ケー
シングに形成された前記軌道溝と前記軌道レールの前記
側部に形成された前記軌道溝との間に形成される負荷軌
道路を転走する転動体からなるものである。
部の前記内側面に形成された軌道溝に対向する軌道溝が
形成されたケーシング，前記ケーシングの両端面に取り
付けられたエンドキャップ，前記エンドキャップの端面
にそれぞれ取り付けられたエンドシール，及び前記ケー
シングに形成された前記軌道溝と前記軌道レールの前記
側部に形成された前記軌道溝との間に形成される負荷軌
道路を転走する転動体からなるものである。
【００２１】前記上面シールは，前記エンドキャップと
前記ケーシングに接して配置された芯金と前記芯金に固
定された前記リップ部を備えた弾性体とから構成されて
いる。
前記ケーシングに接して配置された芯金と前記芯金に固
定された前記リップ部を備えた弾性体とから構成されて
いる。
【００２２】前記上面シールの前記弾性体に形成された
前記リップ部は，前記弾性体の上面が凹部になって前記
軌道レールの前記摺接溝に向かって細くなる形状に形成
されている。
前記リップ部は，前記弾性体の上面が凹部になって前記
軌道レールの前記摺接溝に向かって細くなる形状に形成
されている。
【００２３】前記上面シールは，前記ケーシングと前記
エンドキャップとの側面に接して長手方向に延びる側面
部と，前記側面部の両端にそれぞれ設けられ且つ前記エ
ンドキャップの端面に配置されて前記エンドシールとの
間で挟持される屈曲端部とから構成されている。
エンドキャップとの側面に接して長手方向に延びる側面
部と，前記側面部の両端にそれぞれ設けられ且つ前記エ
ンドキャップの端面に配置されて前記エンドシールとの
間で挟持される屈曲端部とから構成されている。
【００２４】前記上面シールを構成する前記芯金の前記
屈曲端部は，前記芯金の前記側面部とほぼ同幅の上部と
該上部から下方へ延びる下部とから構成され，前記エン
ドキャップの端面に形成された取付け面に配置されてい
る。
屈曲端部は，前記芯金の前記側面部とほぼ同幅の上部と
該上部から下方へ延びる下部とから構成され，前記エン
ドキャップの端面に形成された取付け面に配置されてい
る。
【００２５】前記軌道レールの前記側部の前記内側面に
形成された前記軌道溝と前記摺接溝とは，互いに平行に
延びるように同時加工されている。
形成された前記軌道溝と前記摺接溝とは，互いに平行に
延びるように同時加工されている。
【００２６】前記軌道レールの前記底部には前記軌道レ
ールを前記ベッドへ取り付けるための取付ボルトが挿通
される取付け孔が形成され，前記スライダの上面にはテ
ーブルを取り付けるための取付けねじ穴が形成されてい
る。
ールを前記ベッドへ取り付けるための取付ボルトが挿通
される取付け孔が形成され，前記スライダの上面にはテ
ーブルを取り付けるための取付けねじ穴が形成されてい
る。
【００２７】この直動案内ユニットは，上記のように構
成されているので，軌道レールをベッドに対して高精度
で，容易且つ迅速に位置決めして取り付けることがで
き，軌道レールの凸面部の表面を取付け基準面に容易
に，迅速に，安価に加工することができ，また，軌道レ
ールに対するスライダを低摺動抵抗でスムースに相対摺
動させることができる。即ち，この直動案内ユニット
は，ベッドに対して軌道レールを取付け基準面で予め定
められた位置と姿勢で設定することにより，スライダに
取り付けたテーブルを軌道レールに沿って摺動させて
も，ベッドに対して軌道レールを高精度に取り付けてい
るので，スライダに取り付けたテーブル等の機器を精度
良い姿勢に保つことができ，直動案内ユニットを組み込
んだ半導体製造装置，検査装置，測定器，加工機，組立
機等の装置において，ワークの加工，部品の組立てや搬
送等を行う際に，ワーク等の部品や機器の位置及び姿勢
を高精度に維持することができる。
成されているので，軌道レールをベッドに対して高精度
で，容易且つ迅速に位置決めして取り付けることがで
き，軌道レールの凸面部の表面を取付け基準面に容易
に，迅速に，安価に加工することができ，また，軌道レ
ールに対するスライダを低摺動抵抗でスムースに相対摺
動させることができる。即ち，この直動案内ユニット
は，ベッドに対して軌道レールを取付け基準面で予め定
められた位置と姿勢で設定することにより，スライダに
取り付けたテーブルを軌道レールに沿って摺動させて
も，ベッドに対して軌道レールを高精度に取り付けてい
るので，スライダに取り付けたテーブル等の機器を精度
良い姿勢に保つことができ，直動案内ユニットを組み込
んだ半導体製造装置，検査装置，測定器，加工機，組立
機等の装置において，ワークの加工，部品の組立てや搬
送等を行う際に，ワーク等の部品や機器の位置及び姿勢
を高精度に維持することができる。
【００２８】
【発明の実施の形態】以下，図面を参照して，この発明
による直動案内ユニットの実施例を説明する。この発明
を説明するに際して用いた上下関係，側部，底部等の位
置関係に関する概念は，直動案内ユニットを典型的な姿
勢で設置した場合における位置関係であり，実際の使用
状態を何ら制限するものではないことは勿論である。
による直動案内ユニットの実施例を説明する。この発明
を説明するに際して用いた上下関係，側部，底部等の位
置関係に関する概念は，直動案内ユニットを典型的な姿
勢で設置した場合における位置関係であり，実際の使用
状態を何ら制限するものではないことは勿論である。
【００２９】この発明による直動案内ユニット１は，半
導体製造装置等の各種組立装置，ＮＣ加工機，測定，試
験装置等の摺動部（図示せず）に適用されるものであ
り，軌道レール１１に対して長手方向に沿って相対移動
するスライダ１２を備えたものである。直動案内ユニッ
ト１は，機器類のベース，機台等のベッド２に対して位
置決めして固定された長尺な軌道レール１１と，軌道レ
ール１１に対してその長手方向に沿って摺動するスライ
ダ１２から構成されている。軌道レール１１は，互いに
平行に長手方向に延びる一対の側部１３と，側部１３の
下部で互いに一体構造に構成する底部１４とから全体的
に断面Ｕ字形状に形成されている。スライダ１２は，軌
道レール１１の側部１３間に形成された案内路６を構成
する凹部１５に配設されて相対摺動するように構成され
ている。
導体製造装置等の各種組立装置，ＮＣ加工機，測定，試
験装置等の摺動部（図示せず）に適用されるものであ
り，軌道レール１１に対して長手方向に沿って相対移動
するスライダ１２を備えたものである。直動案内ユニッ
ト１は，機器類のベース，機台等のベッド２に対して位
置決めして固定された長尺な軌道レール１１と，軌道レ
ール１１に対してその長手方向に沿って摺動するスライ
ダ１２から構成されている。軌道レール１１は，互いに
平行に長手方向に延びる一対の側部１３と，側部１３の
下部で互いに一体構造に構成する底部１４とから全体的
に断面Ｕ字形状に形成されている。スライダ１２は，軌
道レール１１の側部１３間に形成された案内路６を構成
する凹部１５に配設されて相対摺動するように構成され
ている。
【００３０】直動案内ユニット１では，軌道レール１１
の底部１４には軌道レール１１を機器類のベース，機台
等のベッド２へ取り付けるための取付ボルト（図示せ
ず）が挿通される取付け孔１９が形成され，また，スラ
イダ１２の上面３６にはテーブル等の機器（図示せず）
を取り付けるための取付けねじ穴３４が形成されてい
る。従って，スライダ１２が軌道レール１１に対して摺
動移動することにより，テーブル等の機器はベッド２に
対して相対移動することができる。図１では，軌道レー
ル１１に対して１つのスライダ１２のみを示している
が，二つ以上のスライダ１２を軌道レール１１に配設し
てもよいことは勿論である。また，軌道レール１１の高
さは一般的には極力低く形成されており，それによって
直動案内ユニット１はコンパクトに形成されている。
の底部１４には軌道レール１１を機器類のベース，機台
等のベッド２へ取り付けるための取付ボルト（図示せ
ず）が挿通される取付け孔１９が形成され，また，スラ
イダ１２の上面３６にはテーブル等の機器（図示せず）
を取り付けるための取付けねじ穴３４が形成されてい
る。従って，スライダ１２が軌道レール１１に対して摺
動移動することにより，テーブル等の機器はベッド２に
対して相対移動することができる。図１では，軌道レー
ル１１に対して１つのスライダ１２のみを示している
が，二つ以上のスライダ１２を軌道レール１１に配設し
てもよいことは勿論である。また，軌道レール１１の高
さは一般的には極力低く形成されており，それによって
直動案内ユニット１はコンパクトに形成されている。
【００３１】スライダ１２は，主として，軌道レール１
１の側部１３の内側面１６に形成された軌道溝１７に対
向する軌道溝２４が形成されたケーシング２０，ケーシ
ング２０の両端面５７に取り付けられたエンドキャップ
２１，エンドキャップ２１の端面５８にそれぞれ取り付
けられたエンドシール２２，及びケーシング２０に形成
された軌道溝２４と軌道レール１１の側部１３に形成さ
れた軌道溝１７との間に形成される負荷軌道路５５を転
走するボールでなる転動体３０から構成されている。エ
ンドキャップ２１とエンドシール２２とは，取付けねじ
３３によってケーシング２０に取り付けられる。ケーシ
ング２０には，取付けねじ３３が螺着される複数のねじ
穴が形成されている。転動体３０が負荷軌道路５５を転
走することにより，スライダ１２は軌道レール１１に対
してスムーズに摺動できるように構成されている。
１の側部１３の内側面１６に形成された軌道溝１７に対
向する軌道溝２４が形成されたケーシング２０，ケーシ
ング２０の両端面５７に取り付けられたエンドキャップ
２１，エンドキャップ２１の端面５８にそれぞれ取り付
けられたエンドシール２２，及びケーシング２０に形成
された軌道溝２４と軌道レール１１の側部１３に形成さ
れた軌道溝１７との間に形成される負荷軌道路５５を転
走するボールでなる転動体３０から構成されている。エ
ンドキャップ２１とエンドシール２２とは，取付けねじ
３３によってケーシング２０に取り付けられる。ケーシ
ング２０には，取付けねじ３３が螺着される複数のねじ
穴が形成されている。転動体３０が負荷軌道路５５を転
走することにより，スライダ１２は軌道レール１１に対
してスムーズに摺動できるように構成されている。
【００３２】ケーシング２０は，略直方体の形状を有し
ており，軌道レール１１の幅範囲内に納まっている。ケ
ーシング２０の高さは，軌道レール１１と同様に極力低
く形成されている。ケーシング２０は，軌道レール１１
の側部１３の上面１８より上方に突出するスライダヘッ
ド部を備えているが，その突出量はケーシング２０に取
り付けるテーブル等の機器にもよるが，低く押さえられ
ている。従って，スライダ１２は，軌道レール１１と共
に直動案内ユニット１をコンパクトに構成しており，ス
ライダ１２を軌道レール１１に対して駆動するボールね
じや駆動モータ等の駆動機構等，周辺機器の設計自由度
が拡がり，直動案内ユニット１が適用される機械，装置
の小形に対応できるように構成されている。
ており，軌道レール１１の幅範囲内に納まっている。ケ
ーシング２０の高さは，軌道レール１１と同様に極力低
く形成されている。ケーシング２０は，軌道レール１１
の側部１３の上面１８より上方に突出するスライダヘッ
ド部を備えているが，その突出量はケーシング２０に取
り付けるテーブル等の機器にもよるが，低く押さえられ
ている。従って，スライダ１２は，軌道レール１１と共
に直動案内ユニット１をコンパクトに構成しており，ス
ライダ１２を軌道レール１１に対して駆動するボールね
じや駆動モータ等の駆動機構等，周辺機器の設計自由度
が拡がり，直動案内ユニット１が適用される機械，装置
の小形に対応できるように構成されている。
【００３３】転動体３０は，無限循環して転走するよう
に直動案内ユニット１に組み込まれており，転動体３０
が無限転走する無限循環路は，対向する軌道溝１７と軌
道溝２４とから成る負荷軌道路５５，転動体３０を循環
させるためのケーシング２０に形成された無負荷軌道路
としてのリターン孔，及び負荷軌道路５５とリターン孔
とに連通するエンドキャップ２１に形成された無負荷軌
道路としての方向転換路から構成される。スライダ１２
には，無限循環路に潤滑剤を供給するためのグリースニ
ップル３５が，一方のエンドシール２２の外面から突出
した状態でスライダ１２に取り付けられており，外部か
らの潤滑油が各無限循環路内に供給される。
に直動案内ユニット１に組み込まれており，転動体３０
が無限転走する無限循環路は，対向する軌道溝１７と軌
道溝２４とから成る負荷軌道路５５，転動体３０を循環
させるためのケーシング２０に形成された無負荷軌道路
としてのリターン孔，及び負荷軌道路５５とリターン孔
とに連通するエンドキャップ２１に形成された無負荷軌
道路としての方向転換路から構成される。スライダ１２
には，無限循環路に潤滑剤を供給するためのグリースニ
ップル３５が，一方のエンドシール２２の外面から突出
した状態でスライダ１２に取り付けられており，外部か
らの潤滑油が各無限循環路内に供給される。
【００３４】直動案内ユニット１では，スライダ１２に
は，上面シール７が組み込まれている。上面シール７
は，図１及び図２に示されるように，スライダ１２であ
るケーシング２０の軌道溝２４と軌道レール１１の軌道
溝１７で形成される負荷軌道路５５に上方からの塵埃や
異物等が侵入するのを防止する機能を有しており，スラ
イダ１２の摺動方向の側面５９と軌道レール１１の側部
１３の長手方向の内側面１６との間に配設されるように
スライダ１２に組み込まれている。
は，上面シール７が組み込まれている。上面シール７
は，図１及び図２に示されるように，スライダ１２であ
るケーシング２０の軌道溝２４と軌道レール１１の軌道
溝１７で形成される負荷軌道路５５に上方からの塵埃や
異物等が侵入するのを防止する機能を有しており，スラ
イダ１２の摺動方向の側面５９と軌道レール１１の側部
１３の長手方向の内側面１６との間に配設されるように
スライダ１２に組み込まれている。
【００３５】エンドキャップ２１は，ケーシング２０の
長手方向の両端面５７に取り付けられ，転動体３０を負
荷軌道路５５とリターン孔との間で方向転換させるため
方向転換路（図示せず）が形成されている。エンドキャ
ップ２１には，グリースニップル３５が接続される取付
け孔３８と取付けねじ３３が挿通する挿通孔３９とが形
成されている。エンドシール２２は，グリースニップル
３５が挿通される挿通孔，ケーシング２０に螺入される
取付けねじ３３が挿通するためのねじ挿通孔が，所定の
位置に形成されている。エンドシール２２は，負荷軌道
路３１の長手方向の両端部を覆うように軌道溝１７に整
合するようなリップ部を備えている。
長手方向の両端面５７に取り付けられ，転動体３０を負
荷軌道路５５とリターン孔との間で方向転換させるため
方向転換路（図示せず）が形成されている。エンドキャ
ップ２１には，グリースニップル３５が接続される取付
け孔３８と取付けねじ３３が挿通する挿通孔３９とが形
成されている。エンドシール２２は，グリースニップル
３５が挿通される挿通孔，ケーシング２０に螺入される
取付けねじ３３が挿通するためのねじ挿通孔が，所定の
位置に形成されている。エンドシール２２は，負荷軌道
路３１の長手方向の両端部を覆うように軌道溝１７に整
合するようなリップ部を備えている。
【００３６】直動案内ユニット１は，上記構成におい
て，特に，軌道レール１１の側部１３の外側には，幅Ｈ
が側部１３の底面２３から軌道レール１１の重心Ｇの位
置を越える位置まで延びる凸面部３が幅広に形成されて
おり，凸面部３の表面即ち外面２５が図２又は図３に示
すようにベッド２に設けられた基準部材３７の取付け基
準面２６に整合する面に加工された取付け基準面２５に
構成されていることを特徴とするものである。軌道レー
ル１１の側部１３に形成された凸面部３は，軌道レール
１１の長手方向に延びている。また，軌道レール１に設
けられた凸面部３は，通常，軌道レール１１の側部１３
の両側の外側に形成されているが，側部１３の外側だけ
に設けた場合もある。
て，特に，軌道レール１１の側部１３の外側には，幅Ｈ
が側部１３の底面２３から軌道レール１１の重心Ｇの位
置を越える位置まで延びる凸面部３が幅広に形成されて
おり，凸面部３の表面即ち外面２５が図２又は図３に示
すようにベッド２に設けられた基準部材３７の取付け基
準面２６に整合する面に加工された取付け基準面２５に
構成されていることを特徴とするものである。軌道レー
ル１１の側部１３に形成された凸面部３は，軌道レール
１１の長手方向に延びている。また，軌道レール１に設
けられた凸面部３は，通常，軌道レール１１の側部１３
の両側の外側に形成されているが，側部１３の外側だけ
に設けた場合もある。
【００３７】図９に示すように，軌道レール１１を加工
及び測定する場合に，軌道レール１１を基準ベースを構
成する治具５０の載置面５１上に設置することになる
が，この時に，凸面部３の幅Ｈが軌道レール１１の重心
Ｇの位置よりも越えて凸面部３の幅Ｈが広く即ち大きく
形成されているので，倒れを生じることなく，治具５０
の載置面５１即ち基準ベース上に設置することができ
る。従って，直動案内ユニット１における軌道レール１
１は，安定して加工及び測定することができるので，精
度が安定し，高精度で製作し易い構造を有している。軌
道レール１１の加工は，例えば，凸面部３に取付け基準
面２５を形成する研削加工，軌道レール１１の焼き入れ
後の曲がり歪み矯正加工等である。
及び測定する場合に，軌道レール１１を基準ベースを構
成する治具５０の載置面５１上に設置することになる
が，この時に，凸面部３の幅Ｈが軌道レール１１の重心
Ｇの位置よりも越えて凸面部３の幅Ｈが広く即ち大きく
形成されているので，倒れを生じることなく，治具５０
の載置面５１即ち基準ベース上に設置することができ
る。従って，直動案内ユニット１における軌道レール１
１は，安定して加工及び測定することができるので，精
度が安定し，高精度で製作し易い構造を有している。軌
道レール１１の加工は，例えば，凸面部３に取付け基準
面２５を形成する研削加工，軌道レール１１の焼き入れ
後の曲がり歪み矯正加工等である。
【００３８】軌道レール１１の側部１３に設けた凸面部
３の幅Ｈは，許容差等を考慮すれば，軌道レール１１の
重心Ｇの位置を越える位置が重心Ｇの位置より１ｍｍ以
上であることが好ましい。また，凸面部３の幅Ｈは，大
き過ぎると，凸面部３の外面の取付け基準面２５と基準
部材３７の取付け基準面２６との接触面積が大きくな
り，精度を出すことが難しくなるほど悪影響が生じてく
るので，軌道レール１１の総高さＴＨの半分程度までが
好ましい。軌道レール１１の側部１３の総高さＴＨが，
例えば，３０ｍｍであり，軌道レール１１の重心Ｇの位
置が軌道レール１１の底面２３から１０．９ｍｍの位置
である場合には，凸面部３の幅Ｈは１５ｍｍに形成する
ことができる。
３の幅Ｈは，許容差等を考慮すれば，軌道レール１１の
重心Ｇの位置を越える位置が重心Ｇの位置より１ｍｍ以
上であることが好ましい。また，凸面部３の幅Ｈは，大
き過ぎると，凸面部３の外面の取付け基準面２５と基準
部材３７の取付け基準面２６との接触面積が大きくな
り，精度を出すことが難しくなるほど悪影響が生じてく
るので，軌道レール１１の総高さＴＨの半分程度までが
好ましい。軌道レール１１の側部１３の総高さＴＨが，
例えば，３０ｍｍであり，軌道レール１１の重心Ｇの位
置が軌道レール１１の底面２３から１０．９ｍｍの位置
である場合には，凸面部３の幅Ｈは１５ｍｍに形成する
ことができる。
【００３９】また，直動案内ユニット１は，特に，軌道
レール１１の両側部１３の内側面１６には，上面シール
７のリップ部２７の先端５４が接するの摺接溝５を形成
されていることを特徴とするものである。摺接溝５は，
側部１３の長手方向に延びて形成されている。側部１３
の内側面１６に形成された摺接溝５は，図４に示すよう
に，その長手方向に延びる両側部が側部１３の内側面１
６に対して所定の角度θ1 で傾斜した傾斜面６１と，傾
斜面６１をそれぞれ結び且つ上面シール７のリップ部２
７の先端５４が摺接する平らな平滑面６０とから凹溝に
形成されている。軌道レール１１の側部１３に形成され
た摺接溝５は，図４に示すように，長手方向に治って凹
溝に形成されているので，上面シール７のリップ部２７
は僅かな隙間で摺接しても，負荷軌道路５５への塵埃等
の異物が侵入し難い構造になっている。
レール１１の両側部１３の内側面１６には，上面シール
７のリップ部２７の先端５４が接するの摺接溝５を形成
されていることを特徴とするものである。摺接溝５は，
側部１３の長手方向に延びて形成されている。側部１３
の内側面１６に形成された摺接溝５は，図４に示すよう
に，その長手方向に延びる両側部が側部１３の内側面１
６に対して所定の角度θ1 で傾斜した傾斜面６１と，傾
斜面６１をそれぞれ結び且つ上面シール７のリップ部２
７の先端５４が摺接する平らな平滑面６０とから凹溝に
形成されている。軌道レール１１の側部１３に形成され
た摺接溝５は，図４に示すように，長手方向に治って凹
溝に形成されているので，上面シール７のリップ部２７
は僅かな隙間で摺接しても，負荷軌道路５５への塵埃等
の異物が侵入し難い構造になっている。
【００４０】上面シール７は，図６〜図８に示す構成を
有しており，エンドキャップ２１とケーシング２０に接
して配置された芯金９と，芯金９に固定されたリップ部
２７を備えた弾性体８とから構成されている。上面シー
ルは，エンドキャップの外端面に芯金を支持して，芯全
に固着したリップの先端が軌道レールの上面シール摺接
溝に摺接（理想は零で接触）している。上面シール７の
弾性体８に形成されたリップ部２７は，例えば，図８に
示すように，弾性体８の上面が凹部３２になって軌道レ
ール１１の摺接溝５に向かって細くなる形状に形成され
ている。
有しており，エンドキャップ２１とケーシング２０に接
して配置された芯金９と，芯金９に固定されたリップ部
２７を備えた弾性体８とから構成されている。上面シー
ルは，エンドキャップの外端面に芯金を支持して，芯全
に固着したリップの先端が軌道レールの上面シール摺接
溝に摺接（理想は零で接触）している。上面シール７の
弾性体８に形成されたリップ部２７は，例えば，図８に
示すように，弾性体８の上面が凹部３２になって軌道レ
ール１１の摺接溝５に向かって細くなる形状に形成され
ている。
【００４１】上面シール７は，図７に示すように，ケー
シング２０とエンドキャップ２１との側面に接して長手
方向に延びる側面部２９と，側面部２９の両端にそれぞ
れ設けられ且つエンドキャップ２１の端面５８に配置さ
れてエンドシール２２との間で挟持される屈曲端部２８
とから構成されている。また，屈曲端部２８は，芯金９
の側面部２９とほぼ同幅の上部５２と，上部５２から下
方へ延びる下部５３とから構成され，エンドキャップ２
１の端面５８に形成された取付け面５６に配置されてい
る。
シング２０とエンドキャップ２１との側面に接して長手
方向に延びる側面部２９と，側面部２９の両端にそれぞ
れ設けられ且つエンドキャップ２１の端面５８に配置さ
れてエンドシール２２との間で挟持される屈曲端部２８
とから構成されている。また，屈曲端部２８は，芯金９
の側面部２９とほぼ同幅の上部５２と，上部５２から下
方へ延びる下部５３とから構成され，エンドキャップ２
１の端面５８に形成された取付け面５６に配置されてい
る。
【００４２】直動案内ユニット１では，側部１３の摺接
溝５に対する上面シール７のリップ部２７の摺接は，摺
接溝５とリップ部２７の先端５４（図８）とは理想的に
は零，又はほとんど零状態の隙間であることが，軌道レ
ール１１に対するスライダ１２の摺動抵抗を低減するこ
ととなり，好ましいものである。
溝５に対する上面シール７のリップ部２７の摺接は，摺
接溝５とリップ部２７の先端５４（図８）とは理想的に
は零，又はほとんど零状態の隙間であることが，軌道レ
ール１１に対するスライダ１２の摺動抵抗を低減するこ
ととなり，好ましいものである。
【００４３】また，直動案内ユニット１の軌道レール１
１を加工する場合に，軌道レール１１の側部１３の内側
面１６に形成された軌道溝１７と，摺接溝５とは，互い
に平行に延びるように同時加工，即ち，同時研削加工さ
れている。上面シール７が摺接する軌道レール１１に形
成された摺接溝５が軌道レール１１の軌道溝１７と同時
加工されているので，上面シール７が軌道レール１１の
摺接溝５に均一に摺接することになり，スライダ１２の
滑らかな摺動が得られることになる。
１を加工する場合に，軌道レール１１の側部１３の内側
面１６に形成された軌道溝１７と，摺接溝５とは，互い
に平行に延びるように同時加工，即ち，同時研削加工さ
れている。上面シール７が摺接する軌道レール１１に形
成された摺接溝５が軌道レール１１の軌道溝１７と同時
加工されているので，上面シール７が軌道レール１１の
摺接溝５に均一に摺接することになり，スライダ１２の
滑らかな摺動が得られることになる。
【００４４】
【発明の効果】この発明による直動案内ユニットは，上
記のように，軌道レールにおける側部に設けた凸面部の
基準面の幅が重心を超える程度にまで延びているので，
軌道レールをベッドに高精度に且つ迅速に位置設定で
き，ベッドに設けられて基準部材の取付け基準面に凸面
部の基準面を接触させるだけで，軌道レールがベッドに
歪んだり傾くこと無く，高精度に且つ迅速に位置決めし
て固定することができ，スライダの軌道レールでの摺動
移動に高精度に対応できる。また，この直動案内ユニッ
トは，軌道レールにおける側部の内側面に長手方向即ち
スライダの摺動方向に延びる凹溝を設けたので，スライ
ダに組み込まれている上面シールのリップ部が抵抗にな
ることなく，スムースに摺動でき，スライダの低摺動化
を達成できる。また，軌道レールの凸面部の幅を大き
し，側部の内側面に凹溝を設けるだけであるので，シン
プルで且つ安価に製造することができる。従って，この
直動案内ユニットを，半導体製造装置，検査装置，測定
器，加工機，組立機等に適用すれば，軌道レールのベッ
ドへの位置決めが高精度になり，スライダに取り付けた
テーブル等に設けた機器を高精度に摺動移動させると共
に，軌道レール上を低抵抗にスライダを摺動させること
ができる。
記のように，軌道レールにおける側部に設けた凸面部の
基準面の幅が重心を超える程度にまで延びているので，
軌道レールをベッドに高精度に且つ迅速に位置設定で
き，ベッドに設けられて基準部材の取付け基準面に凸面
部の基準面を接触させるだけで，軌道レールがベッドに
歪んだり傾くこと無く，高精度に且つ迅速に位置決めし
て固定することができ，スライダの軌道レールでの摺動
移動に高精度に対応できる。また，この直動案内ユニッ
トは，軌道レールにおける側部の内側面に長手方向即ち
スライダの摺動方向に延びる凹溝を設けたので，スライ
ダに組み込まれている上面シールのリップ部が抵抗にな
ることなく，スムースに摺動でき，スライダの低摺動化
を達成できる。また，軌道レールの凸面部の幅を大き
し，側部の内側面に凹溝を設けるだけであるので，シン
プルで且つ安価に製造することができる。従って，この
直動案内ユニットを，半導体製造装置，検査装置，測定
器，加工機，組立機等に適用すれば，軌道レールのベッ
ドへの位置決めが高精度になり，スライダに取り付けた
テーブル等に設けた機器を高精度に摺動移動させると共
に，軌道レール上を低抵抗にスライダを摺動させること
ができる。
【図１】この発明による直動案内ユニットの一実施例を
示す部分断面を含む斜視図である。
示す部分断面を含む斜視図である。
【図２】図１の直動案内ユニットからエンドシールを取
り外した状態をＡ矢視した正面図である。
り外した状態をＡ矢視した正面図である。
【図３】図２に示した軌道レールの正面図である。
【図４】図３に示した符号Ｂ領域を拡大して摺接溝を示
す拡大正面図である。
す拡大正面図である。
【図５】図３に示した軌道レールの側面図である。
【図６】図１の直動案内ユニットにおけるスライダに組
み込まれる上面シールを示す正面図である。
み込まれる上面シールを示す正面図である。
【図７】図６に示した上面シールの平面図である。
【図８】図７の上面シールにおけるＣ−Ｃ断面における
断面図である。
断面図である。
【図９】図３の軌道レールを治具の基準ベース上に設置
した場合の状態を示す説明図である。
した場合の状態を示す説明図である。
【図１０】従来の軌道レールを治具の基準ベース上に設
置した場合の状態を示す説明図である。
置した場合の状態を示す説明図である。
１ 直動案内ユニット
２ ベッド
３ 凸面部
５ 摺接溝（凹溝）
６ 案内路
７ 上面シール
８ 上面シールの弾性体
９ 上面シールの芯金
１０ 側部の外側面
１１ 軌道レール
１２ スライダ
１３ 側部
１４ 底部
１５ 凹部
１６ 側部の内側面
１７ 軌道溝（軌道レール）
１８ 側部の上面
２０ ケーシング
２１ エンドキャップ
２２ エンドシール
２３ 軌道レールの底部の底面
２４ 軌道溝（ケーシング）
２５ 軌道レールの凸面部の外面の取付け基準面
２６ 基準部材の取付け基準面
２７ 弾性部のリップ部
２８ 芯金の屈曲端部
２９ 芯金の側面部
３０ 転動体
３７ 基準部材
５０ 治具
５１ 治具の載置面
５２ 屈曲端部の上部
５３ 屈曲端部の下部
５４ リップ部の先端
５５ 負荷軌道路
５６ 取付け面
５７ ケーシングの端面
５８ エンドキャップの端面
５９ スライダの側面
６０ 摺接面の平らな平滑面
６１ 摺接面の両側の傾斜面
Ｇ 本発明の軌道レールの重心
ＨＧ 本発明の軌道レールの重心高さ
Ｈ 本発明の凸面部の幅
ＴＨ 本発明の軌道レールの側部の総高さ
θ1 凹溝の傾斜面の角度
─────────────────────────────────────────────────────
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Ｆターム(参考） 3C048 BC02 CC04 DD01 EE07
3J101 AA02 AA64 AA71 BA54 BA56
FA41 FA44 GA32 GA55 GA60
3J104 AA02 AA23 AA34 AA65 AA69
AA74 BA51 DA04 DA06 DA13
DA17 EA10
Claims (17)
- 【請求項１】 互いに平行に長手方向に延びる一対の側
部を有し且つベッドに取り付けられる軌道レール，及び
前記軌道レールの前記側部間に形成された案内路を前記
軌道レールの長手方向に沿って摺動するスライダから成
る直動案内ユニットにおいて，前記軌道レールの前記側
部の外側には，幅が前記側部の底面から前記軌道レール
の重心の位置を越える位置まで延びる凸面部が形成され
ており，前記凸面部の表面は前記ベッドに設けられた取
付け基準面に整合する面に加工された取付け基準面に構
成されていることを特徴とする直動案内ユニット。 - 【請求項２】 前記軌道レールの前記側部に形成された
前記凸面部は，前記軌道レールの長手方向に延びている
ことを特徴とする請求項１に記載の直動案内ユニット。 - 【請求項３】 前記軌道レールの前記側部に設けられた
前記凸面部は，一方又は両方の前記側部に形成されてい
ることを特徴とする請求項１又は２に記載の直動案内ユ
ニット。 - 【請求項４】 前記軌道レールは，一対の前記側部と前
記側部の下部で一体構造に構成された底部とによって断
面Ｕ字形状に形成されていることを特徴とする請求項１
〜３のいずれか１項に記載の直動案内ユニット。 - 【請求項５】 前記凸面部の前記幅は，前記軌道レール
の前記重心の位置を越える位置は前記重心の位置より１
ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１〜４のいずれ
か１項に記載の直動案内ユニット。 - 【請求項６】 前記凸面部の前記幅は，前記軌道レール
の前記側部の高さの半分程度までであることを特徴とす
る請求項１〜５のいずれか１項に記載の直動案内ユニッ
ト。 - 【請求項７】 前記スライダには前記スライダの摺動方
向の側面と前記軌道レールの前記側部の長手方向の内側
面との間をシールする上面シールが設けられており，前
記側部の前記内側面には前記上面シールのリップ部が接
する摺接溝が長手方向に延びて形成されていることを特
徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の直動案内
ユニット。 - 【請求項８】 互いに平行に長手方向に延びる一対の側
部を有し且つベッドに取り付けられる軌道レール，及び
前記軌道レールの前記側部間に形成された案内路を前記
軌道レールの長手方向に沿って摺動するスライダから成
る直動案内ユニットにおいて，前記スライダには前記ス
ライダの摺動方向の側面と前記軌道レールの前記側部の
長手方向の内側面との間の隙間をシールする上面シール
が設けられており，前記側部の前記内側面には前記上面
シールのリップ部が接する摺接溝が長手方向に延びて形
成されていることを特徴とする直動案内ユニット。 - 【請求項９】 前記側部の前記摺接溝に対する前記上面
シールの前記リップ部の摺接は，前記摺接溝と前記リッ
プ部の先端とは零又はほとんど零状態の隙間であること
を特徴とする請求項７又は８に記載の直動案内ユニッ
ト。 - 【請求項１０】 前記側部の前記内側面に形成された前
記摺接溝は，その長手方向に延びる両側部が前記側部の
前記内側面に対して所定の角度で傾斜した傾斜面と，前
記傾斜面をそれぞれ結び且つ前記上面シールの前記リッ
プ部が摺接する平らな平滑面とから凹溝に形成されてい
ることを特徴とする請求項７〜９のいずれか１項に記載
の直動案内ユニット。 - 【請求項１１】 前記スライダは，前記軌道レールの前
記側部の前記内側面に形成された軌道溝に対向する軌道
溝が形成されたケーシング，前記ケーシングの両端面に
取り付けられたエンドキャップ，前記エンドキャップの
端面にそれぞれ取り付けられたエンドシール，及び前記
ケーシングに形成された前記軌道溝と前記軌道レールの
前記側部に形成された前記軌道溝との間に形成される負
荷軌道路を転走する転動体からなることを特徴とする請
求項１〜１０のいずれか１項に記載の直動案内ユニッ
ト。 - 【請求項１２】 前記上面シールは，前記エンドキャッ
プと前記ケーシングに接して配置された芯金と前記芯金
に固定された前記リップ部を備えた弾性体とから構成さ
れていることを特徴とする請求項１１に記載の直動案内
ユニット。 - 【請求項１３】 前記上面シールの前記弾性体に形成さ
れた前記リップ部は，前記弾性体の上面が凹部になって
前記軌道レールの前記摺接溝に向かって細くなる形状に
形成されていることを特徴とする請求項１２又は１３に
記載の直動案内ユニット。 - 【請求項１４】 前記上面シールは，前記ケーシングと
前記エンドキャップとの側面に接して長手方向に延びる
側面部と，前記側面部の両端にそれぞれ設けられ且つ前
記エンドキャップの端面に配置されて前記エンドシール
との間で挟持される屈曲端部とから構成されていること
を特徴とする請求項１２又は１３に記載の直動案内ユニ
ット。 - 【請求項１５】 前記上面シールを構成する前記芯金の
前記屈曲端部は，前記芯金の前記側面部とほぼ同幅の上
部と該上部から下方へ延びる下部とから構成され，前記
エンドキャップの端面に形成された取付け面に配置され
ていることを特徴とする請求項１４に記載の直動案内ユ
ニット。 - 【請求項１６】 前記軌道レールの前記側部の前記内側
面に形成された前記軌道溝と前記摺接溝とは，互いに平
行に延びるように同時加工されていることを特徴とする
請求項７〜１５のいずれか１項に記載の直動案内ユニッ
ト。 - 【請求項１７】 前記軌道レールの前記底部には前記軌
道レールを前記ベッドへ取り付けるための取付ボルトが
挿通される取付け孔が形成され，前記スライダの上面に
はテーブルを取り付けるための取付けねじ穴が形成され
ているを特徴とする請求項１〜１６のいずれか１項に記
載の直動案内ユニット。
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2003
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