JP2005328499A - 表面弾性波素子用タンタル酸リチウム基板の製造方法とその基板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本製造方法は、タンタル酸リチウム材料をタンタル酸リチウムのキュリー温度(Tc)以上の温度で加熱還元してタンタル酸リチウム還元剤を製造する段階と、上記タンタル酸リチウム還元剤を単一分極処理されたタンタル酸リチウム基板と交代に積層してタンタル酸リチウム積層体を作る段階と、上記積層体をタンタル酸リチウムのキュリー温度(Tc)未満の温度で加熱してタンタル酸リチウム基板を還元させる段階と、上記積層体からタンタル酸リチウム基板を分離し、これを加工して表面弾性波素子用基板に製造する段階とを含んで構成される。
Description
表2は特許文献1のように、タンタル酸リチウムを単一分極処理した後、キュリー温度未満の温度で還元性気体である水素を使用して還元熱処理し、タンタル酸リチウム基板の嵩比抵抗を高抵抗測定器で測定して示したものである。
比較例IIは、本出願人の既出願した特許文献2に記載された方式のように、キュリー温度未満の温度で真空と還元雰囲気を交代に投入して還元させることにより、タンタル酸リチウム基板の還元反応速度を増加させたものである。単一分極化されたタンタル酸リチウム基板を、キュリー温度未満の温度で、100mmHg以下の真空状態と、還元性気体である水素を使用して組成された還元性雰囲気が反復保持される雰囲気で還元処理し、高抵抗測定器を使用してその嵩比抵抗を測定して表3に示した。反復回数は真空状態と還元性雰囲気を、その保持時間だけ各々1回ずつ保持した時を1回にしたものである。本比較例では真空状態保持時間及び総還元処理時間を各々5分、24時間に固定した。
Claims (5)
- タンタル酸リチウム材料をタンタル酸リチウムのキュリー温度(Tc)以上の温度で加熱還元してタンタル酸リチウム還元剤を製造する段階と、
上記タンタル酸リチウム還元剤を、単一分極処理されたタンタル酸リチウム基板と交代に積層してタンタル酸リチウム積層体を作る段階と、
上記積層体をタンタル酸リチウムのキュリー温度(Tc)未満の温度で加熱してタンタル酸リチウム基板を還元させる段階と、
上記積層体からタンタル酸リチウム基板を分離し、これを加工して表面弾性波素子用基板を製造する段階と、
を含んで構成されることを特徴とする表面弾性波素子用タンタル酸リチウム基板の製造方法。 - 上記還元されたタンタル酸リチウム基板の嵩比抵抗が108〜1012Ω・cmであることを特徴とする請求項1に記載の表面弾性波素子用タンタル酸リチウム基板の製造方法。
- 上記還元されたタンタル酸リチウム基板の嵩比抵抗が109〜1011Ω・cmであることを特徴とする請求項2に記載の表面弾性波素子用タンタル酸リチウム基板の製造方法。
- 上記積層体は還元性雰囲気下で加熱されることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の表面弾性波素子用タンタル酸リチウム基板の製造方法。
- 請求項4に記載の製造方法によって製造されたことを特徴とする表面弾性波素子用タンタル酸リチウム基板。
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