JP2005321266A - マイクロ化学システム用チップ - Google Patents
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Abstract
【課題】 流路中にデッドボリュームが発生するのを防止でき、且つ流路内の簡易な圧力調整の下、液体の定量的な送液を行うことができるマイクロ化学システム用チップを提供する。
【解決手段】 マイクロ化学システム用チップ1は、内壁親水性の上流側主流路10a、相対的に内壁疎水性の合流部20、及び内壁親水性の下流側主流路10bから成る主流路10と、合流部20と接続した内壁疎水性の副流路30、40とを備える。副流路30は開閉弁33に接続され、副流路は空気吸引ユニット15に接続されている。疎水−親水境界面50における境界面維持力P10は、疎水−親水境界面60における境界面維持力P20より小さい。上流側主流路10aや下流側主流路10bが水で満たされ、合流部20が空気で満たされた状態で、空気吸引ユニット15を作動させた上で、開閉弁33の開閉動作させることにより、合流部20内の液体は下流側主流路10bに向かって送液される。
【選択図】 図1
【解決手段】 マイクロ化学システム用チップ1は、内壁親水性の上流側主流路10a、相対的に内壁疎水性の合流部20、及び内壁親水性の下流側主流路10bから成る主流路10と、合流部20と接続した内壁疎水性の副流路30、40とを備える。副流路30は開閉弁33に接続され、副流路は空気吸引ユニット15に接続されている。疎水−親水境界面50における境界面維持力P10は、疎水−親水境界面60における境界面維持力P20より小さい。上流側主流路10aや下流側主流路10bが水で満たされ、合流部20が空気で満たされた状態で、空気吸引ユニット15を作動させた上で、開閉弁33の開閉動作させることにより、合流部20内の液体は下流側主流路10bに向かって送液される。
【選択図】 図1
Description
本発明は、マイクロ化学システム用チップに関し、特に主流路中の試料溶液の流れを制御するマイクロ化学システム用チップに関する。
従来から、化学反応を微小空間で行うための集積化技術が、化学反応の高速性や微少量での反応、オンサイト分析等の観点から注目されており、そのための研究が、世界的に精力的に進められている。
化学反応の集積化技術の1つとして、微細な流路の中で試料溶液の混合、反応、分離、抽出、検出等を行う所謂マイクロ化学システムがある。このマイクロ化学システムで行われるものとしては、反応の例としてジアゾ化反応、ニトロ化反応、抗原抗体反応などがあり、抽出、分離の例として溶媒抽出、電気泳動分離、カラム分離等がある。マイクロ化学システムは、分離だけを目的としたような単一の機能のみで用いられてもよく、また複合的に用いられてもよい。
上記の機能のうち、分離のみを目的としたものとして、極微量のタンパクや核酸等を分析する電気泳動装置が提案されている。これは互いに接合された2つのガラス基板から成るマイクロ化学システム用チップ(以下単に「マイクロチップ」という)を備えている。この部材は板状であるので、断面が円形又は角形のガラスキャピラリーチューブに比べて破損しにくく、取り扱いが容易である。
また、マイクロチップの流路中の試料溶液の流れを制御するものとして、以下のような流路が開示されている(例えば、特許文献1参照)。
図7に示すように、マイクロチップ内部の流路61は、その中央部に疎水領域64が形成されると共に、その疎水領域64よりLだけ上流側で気体導入流路65が接続され、さらに、この気体導入流路65より上流側で試料溶液導入流路62及び戻り流路63が接続されている。また、気体導入流路65は、流路61と接続する部分に疎水領域66を有する。
この流路61は以下のように試料溶液の流れを制御する。
まず、試料溶液導入流路62から流路61に試料溶液を導入すると、導入された試料溶液は流路61と疎水領域64との界面で停止し、また、疎水領域66を越えて気体導入流路65には流れない。これは、試料溶液に疎水領域64,66の境界面で留まろうとする表面張力が生じるからである。このとき、試料溶液導入流路62から導入された試料溶液が多量であり、流路61内に留めることができない場合は、戻り流路63から余剰量を戻す。
次に、気体取り入れ経路65から流路61に気体を導入すると、導入された気体により試料溶液導入流路62内に留められていた試料溶液はミクロ液滴として疎水領域64を通って流路61の下流に流れる。このミクロ液滴の容積は、長さL及び流路61の流路断面積を変えることにより調節される。
特表2001−518614号公報
しかしながら、上記従来の方法による試料溶液の流れの制御には、気体導入流路65から導入される気体の圧力を試料溶液が疎水領域64の境界面で留まろうとする表面張力より大きくする必要があるため、その圧力を相当大きくしなくてはならないという問題があった。
また、上述のように導入される気体の圧力が相当大きくなるため、流路61内の試料溶液が試料溶液導入流路62や戻り流路63に逆流しないよう、試料溶液導入流路62及び戻り流路63を閉じるようにしたり、試料溶液導入流路62から過剰の試料溶液を注入する等、内部の圧力の調整が複雑となるという問題があった。
また、戻り流路63には試料溶液導入流路62の余剰溶液が残留し易く、即ちデッドボリュームが発生し易いため、経時的に変化し易い液体を流路61に流すことができないという問題があった。
本発明の目的は、流路中にデッドボリュームが発生するのを防止でき、且つ流路内の簡易な圧力調整の下、液体の定量的な送液を行うことができるマイクロ化学システム用チップを提供することにある。
上記目的を達成するために、請求項1記載のチップは、液体を流す内壁親水性の主流路であって、前記親水性より相対的に内壁疎水性の合流部を有する主流路を備えるマイクロ化学システム用チップにおいて、前記合流部の上流側部において前記主流路に接続された内壁疎水性の第1の副流路と、前記合流部の下流側部において前記主流路に接続された内壁疎水性の第2の副流路と、前記第1の副流路、前記合流部及び前記第2の副流路の順に流体を間欠的に移動させる移動手段とを備えることを特徴とする。
請求項2記載のチップは、請求項1記載のチップにおいて、前記合流部の上流側部における疎水−親水境界面での前記液体と前記流体との境界面維持力が前記合流部の下流側部における疎水−親水境界面での前記液体と前記流体との境界面維持力より小さいことを特徴とする。
請求項3記載のチップは、請求項2記載のチップにおいて、前記合流部の上流側における前記主流路の流路断面積当たり流路周囲長が前記合流部の下流側における前記主流路の流路断面積当たり流路周囲長より小さいことを特徴とする。
請求項4記載のチップは、請求項3記載のチップにおいて、前記合流部の流路断面積当たり流路周囲長が前記上流側部から前記下流側部に向かって漸増していることを特徴とする。
請求項5記載のチップは、請求項2乃至4のいずれか1項に記載のチップにおいて、前記合流部の上流側部における疎水−親水境界面での純水の接触角の変化が前記合流部の下流側部における疎水−親水境界面での純水の接触角の変化より小さいことを特徴とする。
請求項6記載のチップは、請求項5記載のチップにおいて、前記合流部の内壁疎水性が前記上流側部から前記下流側部に向かって漸増していることを特徴とする。
請求項7記載のチップは、請求項2乃至6のいずれか1項に記載のチップにおいて、前記合流部より下流側における前記主流路の内壁親水性は、前記合流部より上流側における前記主流路の内壁親水性より大きいことを特徴とする。
請求項8記載のチップは、請求項1乃至7のいずれか1項に記載のチップにおいて、前記第2の副流路の流路断面積当たり流路周囲長は、前記合流部の流路断面積当たり流路周囲長より大きいことを特徴とする。
請求項9記載のチップは、請求項1乃至8のいずれか1項に記載のチップにおいて、前記移動手段は、前記第1の副流路に設けられた開閉弁と、前記第2の副流路に接続された流体吸引ユニットとを備えることを特徴とする。
請求項10記載のチップは、請求項9記載のチップにおいて、前記移動手段は、さらに、前記第2の副流路に設けられた前記合流部前記流体吸引ユニットへの一方向弁を備えることを特徴とする。
請求項11記載のチップは、請求項1乃至8のいずれか1項に記載のチップにおいて、前記移動手段は、前記第1の副流路に接続された気体往復動手段と、前記気体往復動手段と前記合流部の間に設けられ、前記気体往復動手段から前記合流部への第1の一方向弁とを備え、前記第2の副流路は前記気体往復動手段と前記第1の一方向弁の間に接続され、前記移動手段は、さらに、前記第2の副流路に設けられ、前記合流部から前記気体往復動手段への第2の一方向弁を備えることを特徴とする。
請求項12記載のチップは、請求項11記載のチップにおいて、前記気体往復動手段は、前記第1の副流路に接続された流体溜めと、前記流体溜め内の流体を加熱する加熱ユニットとを備えることを特徴とする。
請求項13記載のチップは、請求項11記載のチップにおいて、前記気体往復動手段は、前記第1の副流路に接続されたベローズと、前記ベローズを動作させる動作ユニットとを備えることを特徴とする。
請求項14記載のチップは、請求項1乃至13のいずれか1項に記載のチップにおいて、前記流体は気体であることを特徴とする。
請求項1記載のチップによれば、液体を流す内壁親水性の主流路であって、その親水性より相対的に内壁疎水性の合流部を有する主流路と、合流部の上流側部において主流路に接続された内壁疎水性の第1の副流路と、合流部の下流側部において主流路に接続された内壁疎水性の第2の副流路と、第1の副流路、合流部及び第2の副流路の順に流体を間欠的に移動させる移動手段とを備えるので、流路中にデッドボリュームが発生するのを防止でき、且つ流路内の簡易な圧力調整の下、液体の定量的な送液を行うことができる。
請求項2記載のチップによれば、合流部の上流側部における疎水−親水境界面での液体と流体との境界面維持力が合流部の下流側部における疎水−親水境界面での液体と流体との境界面維持力より小さいので、液体の定量的な送液を確実に行うことができる。
請求項3記載のチップによれば、合流部の上流側における主流路の流路断面積当たり流路周囲長が合流部の下流側における主流路の流路断面積当たり流路周囲長より小さいので、合流部の上流側部における液体と流体との境界面維持力を合流部の下流側部における液体と流体との境界面維持力より容易に小さくすることができる。
請求項4記載のチップによれば、合流部の流路断面積当たり流路周囲長が上流側部から下流側部に向かって漸増しているので、合流部の上流側部における液体と流体との境界面維持力を合流部の下流側部における液体と流体との境界面維持力より確実に容易に小さくすることができる。
請求項5記載のチップによれば、合流部の上流側部における疎水−親水境界面での純水の接触角の変化が合流部の下流側部における疎水−親水境界面での純水の接触角の変化より小さいので、合流部の上流側部における液体と流体との境界面維持力を合流部の下流側部における液体と流体との境界面維持力より容易に小さくすることができる。
請求項6記載のチップによれば、合流部の内壁疎水性が上流側部から下流側部に向かって増大しているので、合流部の上流側部における液体と流体との境界面維持力を合流部の下流側部における液体と流体との境界面維持力より確実に小さくすることができる。
請求項7記載のチップによれば、合流部より上流側における主流路の内壁親水性は、合流部より下流側における主流路の内壁親水性より大きいので、合流部の上流側部における液体と流体との境界面維持力を合流部の下流側部における液体と流体との境界面維持力より容易に小さくすることができる。
請求項8記載のチップによれば、第2の副流路の流路断面積当たり流路周囲長は、合流部の流路断面積当たり流路周囲長より大きいので、合流部内の液体を確実に下流側主流路に送液することができる。
請求項9記載のチップによれば、移動手段は、第1の副流路に設けられた開閉弁と、第2の副流路に接続された流体吸引ユニットとを備えるので、流体の間欠的な移動を確実に行うことができる。
請求項10記載のチップによれば、移動手段は、さらに、第2の副流路に設けられた合流部から流体吸引ユニットへの一方向弁を備えるので、流体が合流部から流体吸引ユニットに向かって流れるのを許容すると共に、逆の流れを禁止することができる。
請求項11記載のチップによれば、移動手段は、第1の副流路に接続された気体往復動手段と、気体往復動手段と前記合流部の間に設けられ、気体往復動手段から合流部への第1の一方向弁と、第2の副流路に設けられ、合流部から気体往復動手段への第2の一方向弁を備えるので、流体の間欠的な移動を簡単な構成で実現することができる。
請求項12記載のチップによれば、気体往復動手段は、第1の副流路に設けられた流体溜めと、流体溜め内の流体を加熱する加熱手段とを備えるので、気体の往復動を簡単な構成で実現することができる。
請求項13記載のチップによれば、気体往復動手段は、第1の副流路に設けられたベローズと、ベローズを往復動させる動作ユニットとを備えるので、気体の往復動を確実に行うことができる。
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。
図1は、本発明の実施の形態に係るマイクロ化学システム用チップの構成を概略的に示す図であり、(a)は平面図であり、(b)は線Ib−Ibに沿う断面図であり、(c)は流路の内壁の表面処理状態を示す。
図1において、マイクロ化学システム用チップ(以下、単に「マイクロチップ」という)1は、後述する流路用の溝を備えるガラス基板1aと、該溝を覆うようにガラス基板1aに接合されたガラス基板1bとを備える。
ガラス基板1aの溝によって画成される流路は、幅が広く内壁親水性の上流側主流路10a、ディフューザー部20aが上流側主流路10aと接続すると共に、幅が狭く且つ上流側主流路10aの親水性よりも相対的に内壁疎水性の合流部20、及び合流部20と接続すると共に、幅が合流部20と同じ且つ上流側主流路10aと同じ程度に内壁親水性の下流側主流路10bから成る主流路10と、ディフューザー部20aにおいて合流部20と接続した内壁疎水性の副流路30と、下流側主流路10b側において合流部20と接続した内壁疎水性の副流路40とを備える。合流部20及び副流路30,40の各内壁が疎水性であることは、図1(c)においてハッチングで示されている。
上流側主流路10a及び下流側主流路10bは、幅及び深さ共に、例えば数百マイクロメートル以下の流路断面積が小さい微小流路(マイクロチャンネル)である。副流路30,40の幅は下流側主流路10bの幅より狭いことが望ましい。上流側主流路10a、下流側主流路10b、及び合流部20の深さは同じ且つ一定である。また、副流路30,40の深さは、合流部20等の深さより浅いか同じ深さである。
ガラス基板1bは、上流側主流路10aに連通する貫通孔11と、副流路30に連通する貫通孔12と、副流路40に連通する貫通孔13と、下流側主流路10bに連通する貫通孔14とを備える。貫通孔11には、親水性の試料溶液を上流側主流路10aに導入する不図示の試料溶液導入部が接続され、貫通孔12は、例えば電磁弁から成る開閉弁33を介して大気に開放され、あるいはマイクロコンプレッサにより加圧され(図1(c))、貫通孔13には、副流路40から空気を排出すべく空気吸引ユニット15が接続され(図1(c))、貫通孔14には、下流側主流路10bから排出される試料溶液を受容する試料溶液排出部が接続されている。開閉弁33は、不図示の制御ユニットにより開閉動作が制御される。
さらに、副流路40には、空気が合流部20から貫通孔13に向かって流れるのを許容すると共に、逆の流れを禁止する一方向弁13a(不図示)を設けてもよい。一方向弁13aは、一方向弁機能を持つ気体アイソレータで構成される。
上記において、流路内壁の「親水性」とは、内壁に付着した純水のその面に対する接触角が小さいことをいい、同「疎水性」とは、内壁に付着した純水のその面に対する接触角が大きいことをいう。
このように、図1のマイクロチップ1には、上流側主流路10aと合流部20の間に疎水−親水境界部50が形成され、合流部20と下流側主流路10bの間には疎水−親水境界部60が形成される(図1(c))。
以下、図1のマイクロチップ1における疎水−親水境界面50,60等で生起する境界面維持力について説明する。
本説明では、説明の便宜上、上流側主流路10aに導入される流体は親水性液体、具体的には水とし、副流路30に導入される流体は疎水性気体、具体的には空気とする。
図1のマイクロチップ1のように微小流路の場合、疎水−親水境界面において流路内壁面に、液滴を付着させると、疎水性側壁面は液滴をはじくように作用し、親水性側壁面は液滴を取り込むように作用するので疎水性壁面上の液滴は安定せずにその全て又は大部分が親水性壁面上に移動して、液滴は疎水−親水境界面を跨いで広がることなく界面エネルギー状態が安定する。このような流路内壁面上の液体の挙動は、疎水−親水境界面付近において流路の断面中心部まで影響を及ぼすので、流路の内壁が疎水側と親水側に分割されて疎水−親水境界面を有する場合、親水側流路に充満たされた液体と疎水側流路に満たされた気体は、その疎水−親水境界面付近で界面を形成して安定的に維持される。
このように、流路断面が小さい微小流路内の疎水−親水境界面における液体の挙動は、重力の影響よりも、流路内壁面と液体の界面張力による規制力に支配されるようになり、液体・気体間の境界面維持力は、(1)液体に対する流路内壁面の界面張力因子(親水性の大小)と、(2)流路の断面形状因子とに依存する。
前者(1)の液体に対する流路内壁面の界面張力因子の影響は、流路内壁面の親水性が不連続に大きく変化する(疎水−親水境界面)ほど大きく、即ち、流路内壁面に対する純水の接触角が急激に変化するほど大きくなる。
後者(2)の流路の断面形状因子は、流路内壁周囲長Lが大きいほど、また流路断面積Sが小さいほど大きく、即ち、流路断面積当たりの流路周囲長(L/S)が大きいほど大きくなる。
また、後者(2)の方法では、図1に示すように、合流部20のディフューザー部20aにおいて流路断面積当たりの流路周囲長(L/S)が下流側主流路10b側から上流側主流路10a側に向かって漸増している。これにより、疎水−親水境界面50における境界面維持力P10を疎水−親水境界面60における境界面維持力P20より確実に小さくすることができる。
疎水側流路に満たされる気体は、親水側流路に満たされる親水性液体と表面エネルギーが異なり相溶性がなければ、空気に限定されず、他の気体であってもよく、このような気体以外にも、例えば有機溶媒のような液体であってもよい。これらの気体や液体は、疎水性であるのが望ましいが、境界界面維持力が確保され、界面を安定的に形成維持されるのであれば親水性であってもよい。本実施の形態においては、疎水側流路に満たされる流体は、合流部20への導入や排出を確実に行うことができるという観点からは気体、具体的には空気が用いられている。
また、本実施の形態に係る図1のマイクロチップ1では、上流側主流路10a及び下流側主流路10bの内壁面が同じ親水性であり、合流部20の内壁面が相対的に疎水性であることから、疎水−親水境界部50における内壁の純水に対する接触角θ1は、疎水−親水境界部60における内壁の純水に対する接触角θ2と同じであるのに対して、上流側主流路10aの断面積が下流側主流路10bの断面積より大きいことから、上流側主流路10aと合流部20の間の疎水−親水境界部50における流路断面積当たり流路周囲長(L1/S1)が合流部20と下流側主流路10bの間の疎水−親水境界部60における流路断面積当たり流路周囲長(L2/S2)より小さいので(図2)、疎水−親水境界部50における境界面維持力P10は、疎水−親水境界部60における境界面維持力P20より小さい。
また、図1のマイクロチップ1において、第2の副流路40の流路断面積当たり流路周囲長は、合流部20の流路断面積当たり流路周囲長より大きいので、合流部20内の試料溶液は、副流路40へは流れにくく下流側主流路10bへは流れ易い。なお、合流部20内の空気は、空気吸引ユニット15による空気吸引により強制的に副流路40に流れる。
図3(a)〜図3(c)は、図1のマイクロチップの作動原理を説明するのに用いられる図である。
本説明では、説明の便宜上、上流側主流路10aに導入される流体は親水性液体、具体的には水とし、副流路30に導入される流体は疎水性気体、具体的には空気とする。
図3(a)において、まず、主流路10全体に液体を導入すると、内壁親水性の上流側主流路10aや下流側主流路10bは、水で満たされ、内壁疎水性の合流部20は、水がはじかれて空気で満たされる(図3(a))。
次いで、空気吸引ユニット15を作動させた上で、開閉弁33を閉状態にして合流部20を負圧にすると、疎水−親水境界面50における境界面維持力P10が疎水−親水境界面60における境界面維持力P20より小さいことから、疎水−親水境界面60は維持されるが、疎水−親水境界面50は均衡が破られて、上流側主流路10a内の液体が合流部20に流入する(図3(b))。
次いで、空気吸引ユニット15を作動させたまま、開閉弁33を開状態にすると、大気圧又は正圧により外気が副流路30を介して合流部20に導入されて、合流部20内に導入された気体は下流側主流路10bに向かって移動し、その後副流路40を介して空気吸引ユニット15に吸引される。これにより、合流部20内の液体は下流側主流路10bに向かって送液される(図3(c))。このとき空気吸引ユニット15を停止もしくは不図示の副流路内のバルブを閉状態にすると、合流部20内の液体はより確実に送液される。さらに、開閉弁33を再び閉じることにより、図3(a)の状態を経て図3(b)の状態になる。
このように、図1のマイクロチップ1は、以上の動作を繰り返すことにより、副流路30、合流部20及び副流路40の順に空気が間欠的に移動して液体のマイクロポンプとして作用し、もって、主流路10中にデッドボリュームが発生するのを防止でき、且つ主流路10内の簡易な圧力調整の下、試料溶液の定量的な送液を行うことができる。
また、このようなマイクロポンプは、開閉弁33を開状態にすることにより、上流側主流路10a及び下流側主流路10b間の合流部20の液体を気体で隔離することができることから、マイクロバルブとして機能させることもできる。
図4は、図1のマイクロチップの製造方法を説明するのに用いられる図である。
図4において、同一材質、同一形状の2枚のガラス基板1a,1bを用意する(図4(a),図4(b))。
ガラス基板1a,1bは、表面が親水性の板状基板であればよく、例えば、石英ガラス、ソーダライムシリカガラス、アルミノ瑳酸ガラス(パイレックス(登録商標))、アルミノ硼珪酸ガラス、無アルカリガラス(NA30等のTFT液晶用ガラス)など、表面が清浄であれば純水の接触角は約20°以下となるものを用いるのが好ましい。
ガラス基板1a,1bとして、上記ガラスを用いることにより、上流側主流路10a及び下流側主流路10bは、水又は水溶液に対して親水性となる。
次いで、ガラス基板1aに、感光性フォトレジストを用いる光露光法により、クロム膜60nmと金膜400nmの2層積層金属マスキング膜を図1(c)に示す溝形状の部分を除いて被覆し、ガラス基板1aのマスキングされない部分をフッ酸硝酸混合エッチング液でエッチングし、その後、マスキング膜を剥離して、ガラス基板1aに溝10を作成する(図4(c))。
次に、ガラス基板1aに作成された溝のうち、上流側主流路10a及び下流側主流路10bを画成する内壁部分にフォトレジストのマスキング膜を被覆し、マスキング剤が被覆されていない部分に、n-オクタデシルトリクロロシラン(OTS)、オクタデシルジメテルクロロシラン、パーフルオロデシルトリクロロシラン(FDTS)、フルオロアルキル基、アミノアルキル基、フェニル基等の有機基を有するシラン、メタクリロキシプロピルトリメトキンシシラン(MAOP)等の撥水性化合物を含む液を被覆し、加熱によリガラス基板1aとの結合を増強させ、その後、フォトレジストのマスキング膜を剥離して、合流部20、副流路30,40となる内壁に疎水性処理を施す。この疎水性処理は、自動車用の窓ガラスの撥水剤として市販されているレインX撥水剤(ユネルコ社製)を用いて行ってもよい(図4(d))。疎水性は、純水の接触角が70度以上であるのが好ましいが、90度以上がより好ましい。
一方、ガラス基板1bには、貫通孔11,12,13,14をガラス基板1aの溝の位置に合わせて微小ドリルでの孔あけ加工し、ガラス板1bと同様の方法により合流部20及び副流路30,40の内壁となる部分に上述した疎水性処理を施す(図4(e))。
以上の処理を行った後、ガラス基板1bに形成された貫通孔11,12,13,14がガラス基板1aに形成された溝10の端部に一致するように位置あわせしつつガラス基板1aをガラス基板1bに接合して、マイクロチップ1を製造する(図4(f))。
上記製造方法では、合流部20の内壁に疎水処理を施しているが、疎水性の材料を使用し、合流部20に疎水処理を施すことなく、上流側主流路10aや下流側主流路10bの内壁面の親水性が合流部20のものより増大するように上流側主流路10aや下流側主流路10bの内壁面に親水処理を施してもよい。親水性を増大するためには、スパッタリング真空成膜方法等により内壁面に酸化チタンの光触媒を被覆し、この光触媒に紫外線照射処理を施す。
上記実施の形態では、疎水−親水境界面50における境界面維持力P10を疎水−親水境界面60における境界面維持力P20より小さくする方法として、疎水−親水境界面50における合流部20の疎水性(純水の接触角θ1)と疎水−親水境界面60における合流部20の疎水性(純水の接触角θ2)を同じとし、疎水−親水境界面50における流路断面積当たり流路周囲長(L1/S1)を疎水−親水境界面60における流路断面積当たり流路周囲長(L2/S2)より小さくしているが、その他に、疎水−親水境界面50における流路周囲長(L1/S1)を疎水−親水境界部60における流路断面積当たり流路周囲長(L2/S2)を同じとして、(1)疎水−親水境界面50における合流部20の内壁疎水性(純水の接触角θ1’)と疎水−親水境界面60における合流部20の内壁疎水性(純水の接触角θ2’)とを変える方法(図5(a))と、(2)疎水−親水境界面50における上流側主流路10aの内壁親水性(純水の接触角θ1”)と疎水−親水境界面60における下流側主流路10bの内壁親水性(純水の接触角θ2”)とを変える方法(図5(b))とがある。
前者(1)の方法では、図5(a)に示すように、上流側主流路10aと下流側主流路10bにおける内壁親水性は同じであるが、合流部20の内壁疎水性の程度を下流側主流路10b側から上流側主流路10a側に向かって漸増している。これにより、疎水−親水境界面50における境界面維持力P10を疎水−親水境界面60における境界面維持力P20より確実に小さくすることができる。
合流部20の内壁疎水性を上流側主流路10aから下流側主流路10bに向かって漸増する疎水処理方法は、ガラス材で形成された合流部20の内壁に前述の有機シランの撥水性化合物を被覆し、その後紫外線照射処理を施す。その際、紫外線照射量を上流側主流路10a側から下流側主流路10b側に向かって漸減させて撥水性化合物のガラス内壁との結合力を上流側で小さくし、もって内壁疎水性に上流から下流に向かって勾配を形成する方法が採用できる。
後者(2)の方法では、図5(b)に示すように、合流部20の内面疎水性が主流路10の流れ方向に関して一定であり、下流側主流路10bの内壁親水性(純水の接触角θ2”)が上流側主流路10aの内壁親水性より一層親水性になるように下流側主流路10bの内壁に親水性処理を施す。これにより、疎水−親水境界面50における境界面維持力P10を疎水−親水境界面60における境界面維持力P20より容易に小さくすることができる。
下流側主流路10bの内壁に施す親水性処理方法は、流路をガラス材で形成した下流側主流路10bの内壁にスパッタリング真空成膜方法等により酸化チタンの光触媒を被覆し、この光触媒に紫外線照射処理を施す。
上記実施の形態では、合流部20への空気の導入を空気吸引ユニット15と開閉弁33により行っているが、以下のように副流路30内に封入した気体を熱によって膨張収縮することにより行うこともできる。
図6(a)は、図1における合流部20に空気を導入する方法の他の変形例を説明するのに用いられる図である。 図6(a)において、副流路30には、開閉弁33と合流部20の間において空気溜め32が設けられ(接続され)ており、空気溜め32の対応位置においてマイクロチップ1を挟むように、空気溜め32内の空気を加熱するパネルヒータ31が配置されている(一方の面にのみ貼付けてもよい)。また、副流路40には、合流部20からの空気の排出方向への流れは許容するが、その逆の流れは禁止する一方向弁13aが設けられている。
図6(a)において、合流部に液体が充たされ、開閉弁33が閉状態のときに、パネルヒータ31をオン作動させて空気溜め32内の気体を膨張させ、合流部20内の液体を下流側主流路10bに押し出し、合流部20に気体が充たされる。そのとき、空気は一方向弁13aを介して排出される。次いで、パネルヒータ31をオフ作動させて空気溜め32内の気体を収縮させるとともに副流路40からの空気吸引により上流側主流路10aから合流部20に液体が吸引され、合流部20は液体で充たされる。次いで、その途中で開閉弁33をオン作動させることにより、開閉弁33を介して空気が空気溜め32に流入する。以上の作動を繰り返すことにより、上流側主流路10a内の液体を下流側主流路10bに移送することができる。
図6(b)は、図1における合流部20に空気を導入する方法の他の変形例を説明するのに用いられる図である。
図6(b)において、副流路30には、開閉弁33と合流部20の間において空気溜め32が設けられており、空気溜め32の対応位置においてマイクロチップ1を挟むように、空気溜め32内の空気を加熱するパネルヒータ31が配置されている。また、副流路40は空気溜め32と合流部20の間に、空気溜め32から合流部20への空気の流れは禁止するが、その逆は許容する一方向弁13aが設けられており、副流路40は空気溜め32と一方向弁12aの間に接続されている。一方向弁12aは、その構造が一方向弁13aと逆向きである。
図6(b)において、開閉弁33を閉状態のままにしてパネルヒータ31をオン・オフ作動させることにより、空気溜め32内の気体を膨張収縮させることができ、これにより、空気溜め32内の気体は、膨張時に一方向弁12aを介して合流部20に導入されて合流部20内の流体を下流側主流路10bに移動し、収縮時に一方向弁13aを介して合流部20から吸引されて上流側主流路10a内の流体を合流部20に流入させ、もって上流側主流路10a内の液体を下流側主流路10bに移送することができる。
上記変形例では、パネルヒータ31で副流路30にある空気溜め32の空気を加熱膨張させて合流部20に導入していたが、空気溜め32とパネルヒータ31に代えて、副流路30にベローズを設け、このベローズを動作させる動作ユニットを配置してもよい。これにより、空気の往復動を確実に行うことができる。
1 マイクロ化学システム用チップ
1a,1b ガラス基板
10a 上流側主流路
10b 下流側主流路
11,12,13,14 貫通孔
12a,13a 一方向弁
15 空気吸引ユニット(移動手段)
20 合流部
30,40 副流路
31 パネルヒータ(気体往復動手段)
32 空気溜め
33 開閉弁
50,60 疎水−親水境界面
1a,1b ガラス基板
10a 上流側主流路
10b 下流側主流路
11,12,13,14 貫通孔
12a,13a 一方向弁
15 空気吸引ユニット(移動手段)
20 合流部
30,40 副流路
31 パネルヒータ(気体往復動手段)
32 空気溜め
33 開閉弁
50,60 疎水−親水境界面
Claims (14)
- 液体を流す内壁親水性の主流路であって、前記親水性より相対的に内壁疎水性の合流部を有する主流路を備えるマイクロ化学システム用チップにおいて、
前記合流部の上流側部において前記主流路に接続された内壁疎水性の第1の副流路と、前記合流部の下流側部において前記主流路に接続された内壁疎水性の第2の副流路と、前記第1の副流路、前記合流部及び前記第2の副流路の順に流体を間欠的に移動させる移動手段とを備えることを特徴とするマイクロ化学システム用チップ。 - 前記合流部の上流側部における疎水−親水境界面での前記液体と前記流体との境界面維持力が前記合流部の下流側部における疎水−親水境界面での前記液体と前記流体との境界面維持力より小さいことを特徴とする請求項1記載のマイクロ化学システム用チップ。
- 前記合流部の上流側における前記主流路の流路断面積当たり流路周囲長が前記合流部の下流側における前記主流路の流路断面積当たり流路周囲長より小さいことを特徴とする請求項2記載のマイクロ化学システム用チップ。
- 前記合流部の流路断面積当たり流路周囲長が前記上流側部から前記下流側部に向かって漸増していることを特徴とする請求項3記載のマイクロ化学システム用チップ。
- 前記合流部の上流側部における疎水−親水境界面での純水の接触角の変化が前記合流部の下流側部における疎水−親水境界面での純水の接触角の変化より小さいことを特徴とする請求項2乃至4のいずれか1項に記載のマイクロ化学システム用チップ。
- 前記合流部の内壁疎水性が前記上流側部から前記下流側部に向かって漸増していることを特徴とする請求項5記載のマイクロ化学システム用チップ。
- 前記合流部より下流側における前記主流路の内壁親水性は、前記合流部より上流側における前記主流路の内壁親水性より大きいことを特徴とする請求項2乃至6のいずれか1項に記載のマイクロ化学システム用チップ。
- 前記第2の副流路の流路断面積当たり流路周囲長は、前記合流部の流路断面積当たり流路周囲長より大きいことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載のマイクロ化学システム用チップ。
- 前記移動手段は、前記第1の副流路に設けられた開閉弁と、前記第2の副流路に接続された流体吸引ユニットとを備えることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載のマイクロ化学システム用チップ。
- 前記移動手段は、さらに、前記第2の副流路に設けられた前記合流部から前記流体吸引ユニットへの一方向弁を備えることを特徴とする請求項9記載のマイクロ化学システム用チップ。
- 前記移動手段は、前記第1の副流路に接続された気体往復動手段と、前記気体往復動手段と前記合流部の間に設けられ、前記気体往復動手段から前記合流部への第1の一方向弁とを備え、前記第2の副流路は前記気体往復動手段と前記第1の一方向弁の間に接続され、前記移動手段は、さらに、前記第2の副流路に設けられ、前記合流部から前記気体往復動手段への第2の一方向弁を備えることを特徴とする請求項項1乃至8のいずれか1項に記載のマイクロ化学システム用チップ。
- 前記気体往復動手段は、前記第1の副流路に接続された流体溜めと、前記流体溜め内の流体を加熱する加熱ユニットとを備えることを特徴とする請求項11記載のマイクロ化学システム用チップ。
- 前記気体往復動手段は、前記第1の副流路に接続されたベローズと、前記ベローズを動作させる動作ユニットとを備えることを特徴とする請求項11記載のマイクロ化学システム用チップ。
- 前記流体は気体であることを特徴とする請求項1乃至13のいずれか1項に記載のマイクロ化学システム用チップ。
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Cited By (7)
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---|---|---|---|---|
JP2007212267A (ja) * | 2006-02-09 | 2007-08-23 | Komatsu Ltd | サンプル検査装置及び方法 |
JP2010524713A (ja) * | 2007-04-23 | 2010-07-22 | ヒューレット−パッカード デベロップメント カンパニー エル.ピー. | マイクロ流体デバイス及びマイクロ流体デバイスを内蔵する流体射出デバイス |
JP2010532269A (ja) * | 2007-07-03 | 2010-10-07 | エフ ホフマン−ラ ロッシュ アクチェン ゲゼルシャフト | ポリマー表面上にマイクロ流体システムを製造する方法 |
KR101176949B1 (ko) * | 2011-05-31 | 2012-08-30 | 동아대학교 산학협력단 | 마이크로채널 에어 밸브 |
JP2012532327A (ja) * | 2009-07-07 | 2012-12-13 | ベーリンガー インゲルハイム マイクロパーツ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 血漿分離リザーバ |
WO2015072186A1 (en) * | 2013-11-18 | 2015-05-21 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor micro-analysis chip and method of manufacturing the same |
JP2017080820A (ja) * | 2015-10-22 | 2017-05-18 | 学校法人立命館 | 流体デバイスの製造方法および流体デバイス |
-
2004
- 2004-05-07 JP JP2004138686A patent/JP2005321266A/ja not_active Withdrawn
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007212267A (ja) * | 2006-02-09 | 2007-08-23 | Komatsu Ltd | サンプル検査装置及び方法 |
JP2010524713A (ja) * | 2007-04-23 | 2010-07-22 | ヒューレット−パッカード デベロップメント カンパニー エル.ピー. | マイクロ流体デバイス及びマイクロ流体デバイスを内蔵する流体射出デバイス |
JP2010532269A (ja) * | 2007-07-03 | 2010-10-07 | エフ ホフマン−ラ ロッシュ アクチェン ゲゼルシャフト | ポリマー表面上にマイクロ流体システムを製造する方法 |
JP2012532327A (ja) * | 2009-07-07 | 2012-12-13 | ベーリンガー インゲルハイム マイクロパーツ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 血漿分離リザーバ |
KR101176949B1 (ko) * | 2011-05-31 | 2012-08-30 | 동아대학교 산학협력단 | 마이크로채널 에어 밸브 |
WO2015072186A1 (en) * | 2013-11-18 | 2015-05-21 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor micro-analysis chip and method of manufacturing the same |
JP2015099031A (ja) * | 2013-11-18 | 2015-05-28 | 株式会社東芝 | 半導体マイクロ分析チップ及びその製造方法 |
CN105473995A (zh) * | 2013-11-18 | 2016-04-06 | 株式会社东芝 | 半导体微量分析芯片和制造它的方法 |
JP2017080820A (ja) * | 2015-10-22 | 2017-05-18 | 学校法人立命館 | 流体デバイスの製造方法および流体デバイス |
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