JP2005321219A - スケール、スケール製造方法および光学式変位測定装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 簡便かつ安価に製造でき、検出の信頼性が向上するスケールおよび光学式変位測定装置を提供する。
【解決手段】 光源310および受光手段320を有する検出ヘッド300に対して相対移動可能に設けられ、光源310からの光を受光手段320に向けて反射する光学パターン210を一面に有するスケール200であって、光学パターン210が設けられる一面220に研磨面を有し、一面220の裏面230には凹凸を有する粗面を備える。
【選択図】 図1
Description
スケール200には光学パターン210が設けられるおもて面220に対してうら面230も存在するところ、このうら面230からの反射光がおもて面220からの反射光に影響すると検出不能または検出誤差に繋がる。
そこで、スケール200のうら面230に光吸収性の塗料(例えば、黒色)を塗布したり、酸化クロム等の光を反射しにくい膜231を成膜する。
または、実際に相対変位量を検出したい装置(例えば、ガイドに沿ってスライダがスライドするスライド機構)に光学式変位測定装置を取り付けるにあたって、スケール取付面に反射を避ける加工(塗料の塗布や光吸収性膜の成膜等)を行っている。
このような構成によれば、上記発明と同様の作用効果を奏することができる。すなわち、スケールのうら面からの反射が受光手段での検出に影響を与えないので、受光手段での検出精度を向上させることができる。当該光学式変位測定装置をスライダ装置等に取り付ける場合に、スケールのうら面やスケール取付面に何らの加工も必要としないので、スケール取り付け精度を向上させることができる。また、スケールのうら面が当初から凹凸の粗面であれば、うら面を特に加工しなくてもよいので、加工工程を簡素化し、製造コストが安価な光学式変位測定装置とすることができる。
本発明の一実施形態について説明する。
図1に、反射型光学式変位測定装置100を示す。この反射型光学式変位測定装置100は、一面に光学パターン210を有するスケール200と、スケール200に向けて光を照射する光源310およびスケール200からの反射光を受光する受光手段320を有する検出ヘッド300と、受光手段320で受光された受光信号に基づいてスケール200と検出ヘッド300との相対変位を検出する変位検出部(不図示)と、を備える。
ガラス基材240は、低熱膨張係数を有する低熱膨張ガラスであり、測長方向に長さを有する長手状に形成されている。一般にこのような低熱膨張ガラスにあっては、購入時には表裏両面に凹凸があったり、厚みが均一ではなかったりするところ、均一の厚みを有する長手状のスケール200として切り出されるとともに、光学パターンが設けられるおもて面220が鏡面加工される。なお、うら面230は、特に加工されず、凹凸を有するままの状態である。
光反射部212のパターンは、ガラス基材に成膜された金属膜に対してリソグラフィ等により形成される。
検出ヘッド300の光源310は、特に限定されず、白色の発光ダイオードやレーザー光源などが例として挙げられる。受光手段320は、受光した光から電気信号を出力する光電変換機能を有する構成であればよく、例えば、フォトダイオードなどが例としてあげられる。
この際、スケール200のうら面230やスケール取付面400には、特に塗料や成膜等の加工を施す必要はない。
(1)スケール200のうら面230に凹凸があるので、うら面が光学粗面となり、うら面からの反射が受光手段320に入射しない。その結果、光学式変位測定装置100の測定誤差を低減し、測定の信頼性を向上させることができる。
(2)スケール200のおもて面220にのみ鏡面加工をすればよく、うら面230については特に加工を施さないので、製造工程を簡素化できる。その結果、製造コストが削減され、製造効率が向上される。
(3)スケール200をスケール取付面400に取り付けるにあたって、スケール200のうら面230には特に光吸収材等を設ける必要もないので、取り付け精度を向上させることができる。
例えば、スケール200のうら面230は、特に加工しないことで凹凸を有する光学粗面とする例を説明したが、例えば、研削加工あるいはサンドブラスト等の方法によりスケール200のうら面230に積極的に光散乱面を形成してもよい。
Claims (4)
- 光源および受光手段を有する検出ヘッドに対して相対移動可能に設けられ、前記光源からの光を前記受光手段に向けて反射する光学パターンを一面に有するスケールであって、
前記光学パターンが設けられる一面に研磨面を有し、前記一面の裏面には凹凸を有する粗面を備える
ことを特徴とするスケール。 - 光源および受光手段を有する検出ヘッドに対して相対移動可能に設けられ、前記光源からの光を前記受光手段に向けて反射する光学パターンを一面に有するスケールの製造方法であって、
表裏両面に凹凸を有するガラス基材に対して前記光学パターンが設けられる一面を研磨する研磨工程を備え、
前記一面の裏面は加工しない
ことを特徴とするスケール製造方法。 - 光源および受光手段を有する検出ヘッドに対して相対移動可能に設けられ、前記光源からの光を前記受光手段に向けて反射する光学パターンを一面に有するスケールの製造方法であって、
表裏両面に凹凸を有するガラス基材に対して前記光学パターンが設けられる一面を研磨する研磨工程と、
前記一面の裏面に対して光を散乱させる散乱面に削る工程と、を備える
ことを特徴とするスケール製造方法。 - 請求項1に記載のスケールと、
前記スケールに向けて光を照射する光源および前記スケールからの反射光を受光する受光手段を有する検出ヘッドと、を備える
ことを特徴とする光学式変位測定装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2004
- 2004-05-06 JP JP2004137381A patent/JP4394515B2/ja not_active Expired - Lifetime
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