JP3677868B2 - 光学式変位測定装置 - Google Patents

光学式変位測定装置 Download PDF

Info

Publication number
JP3677868B2
JP3677868B2 JP13307396A JP13307396A JP3677868B2 JP 3677868 B2 JP3677868 B2 JP 3677868B2 JP 13307396 A JP13307396 A JP 13307396A JP 13307396 A JP13307396 A JP 13307396A JP 3677868 B2 JP3677868 B2 JP 3677868B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
detection sensor
position detection
optical system
optical
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP13307396A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH09318315A (ja
Inventor
尚之 西川
裕司 高田
啓史 松田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Electric Works Co Ltd
Original Assignee
Matsushita Electric Works Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Works Ltd filed Critical Matsushita Electric Works Ltd
Priority to JP13307396A priority Critical patent/JP3677868B2/ja
Publication of JPH09318315A publication Critical patent/JPH09318315A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3677868B2 publication Critical patent/JP3677868B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Measurement Of Optical Distance (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、三角測距法によって測定物体までの距離や変位を測定するための光学式変位測定装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来から図13に示すような光学式変位測定装置が知られている。図13に示す光学式変位測定装置は、レーザダイオードなどの発光源1、光を測定物体2に投光する投光レンズ6などを持つ投光光学系、測定物体2からの反射、散乱光を受光する受光レンズ11を備えた受光光学系、受光光学系の結像面に配置されて受光スポットの位置によって電流出力が変化するようになったPSDのような位置検出センサ3とで構成してある。
【0003】
ここで、レーザダイオードなどの投光源1から射出された光(投光ビーム)は投光レンズ6を介して測定物体2に照射される。測定物体2からの反射光は受光レンズ11を介して受光素子である位置検出センサ3(PSD)に受光される。つまり図13において、S1 で反射された反射光が位置検出センサ3のS′1 に結像する。図13においてHは測定物体2の測定範囲を示している。そして、測定物体2の位置が変化すると、位置検出センサ3に形成される受光スポットの位置が変化し(つまり、測定物体2の位置が変化すると、S2 で反射された反射光がS′2 で結像し、S3 で反射された反射光がS′3 で結像し)、位置検出センサ3を構成するPSDはその受光位置に応じて変化する電流I1 、I2 を出力する。この出力をI/V変換器にそれぞれ入力し、電流電圧変換、適当な増幅を行ったのち、検波回路にてそれぞれの同期検波を行って信号成分のみを検出し、平滑化のために積分回路にて積分された後、その出力を演算部で処理して測距情報を得るようになっている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
上記のような従来の変位測定装置においては、図13に見られるように、測定物体2に照射される光の拡散反射による光を受光し、その光の結像位置から測距を行うことを目的としている。例えば、紙のように完全に拡散する物体に光を照射すると、反射光はランベルトの法則に従って分布する。受光光学系の光軸は投光ビームの照射方向と異なる方向にあるが、測定物体2からの反射光は拡散反射をするため測定物体2からの光を受光することができる。例えば、受光レンズ11から測定物体2までの距離が40mm、投光光学系と受光光学系の光軸のなす角度が20°、投光ビームのパワー1mWで完全拡散物体に近い白色のセラミックスを測定した場合、位置センサに入射する光量は約1μWである。一般的には投光ビームの光量の10-3〜10-4程度の割合で位置検出センサ3に入射すると考えられる。
【0005】
ところが、測定物体2が光沢のある面の場合、測距に関係のない光も入射し、測距誤差を引き起こすことがある。
図14は投光ビームの裾に広がった光が光沢のある測定物体2に正反射して、受光光学系に入射した例である。一般にこの種の測定器では、数10μm〜1mm程度の測定物体2上の特定領域の変位を測定するのを目的とするため、投光ビームは投光レンズ6によって測定物体2上に集光させる。この集光された光の拡散光のみが受光レンズ11に入射する必要がある。ところが、実際には、集光させた光の周辺にも測距には不必要な光が存在している。図12に投光側の光ビームの実際の強度分布を示す。光源は半導体レーザで、投光レンズ6の焦点距離は4mmである。このグラフでは中心の強度を1と正規化している。理想的には測距したい部分以外の光の光量はゼロであって欲しいが、実際には投光ビームの中心から数mmの光量が中心の光量の10-4〜10-5程度残る。この原因としては、レーザの強度分布が原理的にガウス分布に従うため周辺部の光が若干残ることや、それ以外に、半導体レーザのパッケージ内での乱反射光や投光レンズ6の汚れによる散乱光などによることが挙げられる。また、測定物体2が金属や研磨面などの光沢のある面の場合、投光ビームから数mmも離れた光が、図14の破線で示すように測定物体2の正反射により光がほとんど減衰せずに受光光学系に入射する。このため本来測距に必要な光(図14において実線で示す)と正反射光(図14において破線で示す)の両方が位置検出センサ3上に形成されたことになり、測距誤差の原因となっている。また、測定物体2が光沢面ではない場合でも、測定物体2上に油などが付着し、その部分の正反射光が位置検出センサ3に入射することもある。
【0006】
別の例を図15に示す。これは図15の破線で示すように測定物体2に照射された投光ビームの正反射光が測定装置や装置周辺の取付け金具などに当たって、正反射して再度測定物体2に戻り、その光の一部が測定物体2上で正反射して位置検出センサ3に入射する場合である。また、測定装置や装置周辺の取付け金具などに当たった光が拡散して測定物体2で正反射する場合もある。いずれの場合も、正反射するため、光があまり減衰しないため、これらの光が位置検出センサ3に入射すると、前述の場合と同様に測距誤差の原因となる。また、測定物体2が平面もしくは平面に近い物体で、2次反射光が測定物体2で正反射する位置が投光ビームと受光光学系の間で起こる場合、図15のように本来測距に必要な結像点より投光光学系に近い側に入射する。
【0007】
別の例を図16に示す。この従来例にあっては、図15とほぼ同じであるが、2次反射光が測定物体2で正反射する位置に投光ビームに対して受光光学系と反対側で起こる場合で、この時は測距に必要な結像点より投光光学系に遠い側に入射するものである。
図14乃至図16において、実線は測距に必要な光、破線は不要光を示している。
【0008】
本発明は上記の従来例の問題点に鑑みて発明したものであって、簡単な構成で位置検出センサに入る測距に必要のない光を除去できる光学式変位測定装置を提供することを課題とするものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明の光学式変位測定装置は、光ビームを発生する投光源1と、光ビームを測定物体2に照射する投光光学系と、光ビームの測定物体2での反射光を集光する受光光学系と、受光光学系の結像面に配置されて受光スポットの位置を検出する位置検出センサ3とを備えた三角測距原理による光学式変位測定装置であって、測定物体2の所定の位置に照射された光ビームの拡散光を受光光学系に集光してできる光は通過させ、それ以外の光が入らないようにするための遮光体4を位置検出センサ3の前に設けるものにおいて、受光光学系を保持するための光学筒9の後端部に位置検出センサ3を取付けるとともに、光学筒9の後端部の開口縁又は位置検出センサ3の上下に対向するように設けた溝に板状の遮光体4をスライド自在にはめ込むことで該遮光体4を受光スポットの移動方向に平行に移動自在となるように設けて成ることを特徴とするものである。このような構成とすることで、遮光体4で不要な光を除去でき、光沢のある面の測定を正確に行うことができるものであり、この際、簡単に、不要光を遮光する位置に遮光体4を移動して正確に不要光を遮光することができ、これにあたって、遮光体4を簡単な構成とし且つ簡単に遮光体4を受光スポットの移動方向に平行に移動自在にすることができるものである。
【0010】
また、位置検出センサ3の位置を調節することができる保持部材7によって位置検出センサ3を光学筒9の後端開口部12に取付けることが好ましい。このような構成とすることで、位置検出センサ3の位置を調節することが可能となる。
また、板状の遮光体4に透光窓部4bを設けることが好ましい。
また、位置検出センサ3が受光スポットの位置によって電流出力が変化するものであることが好ましい。このような構成とすることで、簡単な構成で位置検出センサ3を構成することができる。
【0011】
また、位置検出センサ3を遮光体4で隠す範囲を、投光側に近い部分のみに限定することが好ましい。このような構成とすることで、簡単な構造で不要光を除去することができる。
【0012】
また、位置検出センサ3を遮光体4で隠す範囲を、投光側に遠い部分のみに限定することが好ましい。このような構成とすることで、簡単な構造で不要光を除去することができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
本発明を以下添付図面に示す実施形態に基づいて詳述する。図1乃至図4に本発明の一実施形態を示す。光学式変位測定装置は、レーザダイオードなどの発光源1、光を測定物体2に集光する投光レンズ6などをもつ投光光学系、測定物体2からの反射、散乱光を受光する受光レンズ11を備えた受光光学系、受光光学系の結像面に配置されたPSDなどの位置検出センサ3を備えており、更に、位置検出センサ3の位置を調節することができる位置検出センサ3の保持部材7、位置検出センサ3の前に置かれた板状の遮光体4、投光光学系、受光光学系を保持するための光学筒8、9を備えている。ここで、光学筒8と光学筒9とは連結部材10により連結してあり、投光光学系側の光学筒8にはレーザダイオードなどの発光源1、投光レンズ6が装着してある。受光光学系側の光学筒9には受光レンズ11が装着してあり、更に、受光光学系側の光学筒9の後端開口部12の後面部には位置検出センサ3であるPSD(以下PSDとして説明する)が当接してあって、保持部材7によりPSDを受光光学系側の光学筒9の後端開口部12の後面部に押し当てて取付けてある。このようにして本発明の装置の光学ブロックが構成してある。
【0014】
保持部材7は中央縦片13の両端部から支持横片14を連出した略コ字状をしており、中央縦片13に弾性を有する板ばね片15を切り起こしにより形成してある。支持横片14には長孔16が設けてあり、受光光学系側の光学筒9の後端部の上下面には複数(実施形態では2個)の突起31が突設してあり、更にタッピング用の孔17が設けてある。そして、保持部材7をPSDに被せて長孔14を突起31にはめ込むことで、板ばね片15がPSDを受光光学系側の光学筒9の後端開口部12の後面部に押し当てるものであり、突起31にはめ込んだ状態で長孔16に沿って保持部材7を移動することで、PSDを横方向に移動調整することができるようになっており、調整後、長孔16に固定ねじ32を挿入してタッピング用の孔17に螺合することで、保持部材7を受光光学系側の光学筒9を固定し、PSDを固定するようになっている。ここで、タッピング用の孔17に代えてあらかじめ雌ねじが刻設されたねじ孔であってもよい。
【0015】
受光光学系側の光学筒9の後端開口部12の開口縁には上下に対向して溝が設けてあり、この溝に板状をした遮光体4がスライド自在にはめ込んであって、該遮光体4をPSDの前面側に配設してある。遮光体4は上記のように溝に対してスライド自在にすることで受光光学系によって結像される光の移動方向と平行な方向にスライド自在となっている。また、板状をした遮光体4には両側に遮光部4aを設けると共に中央部に透光窓部4bが設けてある。
【0016】
ここで、位置検出センサの光学的三角測距方式の測定距離原理につき図5に示す原理図に基づいて説明する。
レーザダイオードのような発光源1から射出した光は投光レンズ6を通り、測定物体2に照射される。ここで拡散した光は受光レンズ11により位置検出センサ3であるPSDの受光面上に集光される。測定物体2がΔγ変位した時のPSDの受光スポットの移動量をΔxとすると、位置検出センサ3であるPSD上にできる像の位置は下記の数1で示す(1)式のように決定される。
【0017】
【数1】
Figure 0003677868
【0018】
ここで、ΔxはPSD上の受光スポットの移動量、φはPSDの傾き、Δγは測定物体2の変位量、f′は受光レンズ11とPSDとの間の距離、θは投受光角度、Rcは基準距離である。
一方、長さLのPSD表面に受光スポットが照射されると両電極に下記の数2で示す(2)式、(3)式で表されるI1 、I2 の信号が現れる。
【0019】
【数2】
Figure 0003677868
【0020】
但し、I=I1 +I2 (全受光量)である。(2)式、(3)式より、Δxが下記の数3で示す(4)式で求められる。
【0021】
【数3】
Figure 0003677868
【0022】
図6には上記(2)式、(3)式により表されるI1 、I2 の信号から測距情報を得るためのブロック図が示してある。すなわち、PSD表面に受光スポットが照射されると、I1 、I2 の信号が現れるので、I1 、I2 の出力をI/V変換器25にそれぞれ入力し、電流電圧変換、適当な増幅を行った後、検波回路26にてそれぞれの同期検波を行って信号成分のみを検出し、平滑化のために積分回路27にて積分された後、その出力を演算部28で処理をして測距情報を得るようになっている。
【0023】
ここで、(1)式から分かるように、測定物体2の変位量ΔγとPSD上の受光スポットの移動量Δxとは非線型な関係なので、(1)式〜(4)式より、Δxを直接I1 、I2 から計算することは現実的でない。そこで、ΔγとI1 、I2 とが次の数4で示す(5)式のような簡単な関係式で求められるようにリニアライズ方法を用いて演算を簡単にしている。
【0024】
【数4】
Figure 0003677868
【0025】
ここで、k、gは本装置のセンサヘッド35とコントローラ36とを接続したシステム毎に異なる固有の補正係数で、調整時に実測データから計算で求めることができる。
また、図6に示す測距を求める制御ブロック図においては、式(4)又は式(5)においてI1 +I2 を一定に保つように光量をフィードバック制御している。これは、I1 +I2 を一定に保つことで、I1 −I2 からΔxを簡単に求めることができるようにするためである。
【0026】
ところで、PSDの受光面の端の方で光が結像すると、上記した(2)式、(3)式で示されるI1 、I2 の値の比が非常に大きくなってしまうため、一般にはPSDに結像する光の移動範囲ぎりぎりにPSDの長さLとすることはなく、PSDに結像する光の移動範囲よりもPSDの受光面の長さLを大きくとるようにすることが普通である。ところが、受光面積が大きくなった分、図14、図15、図16に示したような光路でPSDに入射する不要光を受光してしまうことになる。これを防ぐために、本発明においては、図4に示すように遮光体4により受光面の一部を塞ぐのである。図4においてMはPSDの表面の受光面における光の測距に必要な光の結像点33の移動範囲を示す。
【0027】
すなわち、図1には遮光体4により位置検出センサ3であるPSDの受光面の一部を遮蔽する例が示してある。ここで、S1 で反射された反射光が位置検出センサ3のS′1 に結像するのであるが、測定範囲をHとした場合、測定物体2の位置が変化すると、位置検出センサ3に形成される受光スポットの位置が変化する(つまり、図1において、測定物体2の位置が変化すると、S2 で反射された反射光がS′2 で結像し、S3 で反射された反射光がS′3 で結像する)ものであり、この結果、S′1 からS′3 までの範囲がPSDに結像する光の移動範囲であるから、このPSDに結像する光の移動範囲以外のPSDの表面を遮光体4により塞ぐようにしている。
【0028】
遮光体4を設置する位置は、次のようにして決められる。一つは所定の位置に置かれた測定物体2からの拡散光によるPSDの結像光の移動範囲以外の受光面すべてを遮光体4により塞ぐ。この場合、遮光体4によって遮光される部分であれば、図14乃至図16までに示される以外の光路で入射する不要光も遮光できる可能性が高い。また、PSD上の結像位置は、PSDの配置と測定物体2の位置によりあらかじめ決定されるため、無調整で遮光体4を設置することもできる。
【0029】
また、別の例としては、測定物体2に光沢面を設置し、測距誤差の発生しにくい拡散反射率の大きな物体での測距値とを比較し、その差が所定値になるように遮光体4を移動させて調整する方法を採用してもよい。遮光体4はすでに述べているように溝にスライド自在に取付けてあるので、遮光体4を溝に沿って結像点の移動方向に平行に移動させることで、遮光体4の遮光部4aを不要光を遮光する位置に移動させることができる。ここで、遮光体4をスライドさせるに当たっては、上記のように受光光学系側の光学筒9の後端開口部12に設けた溝18に遮光体4をスライド自在にはめ込むもののみに限定されず、遮光体4が結像点の移動方向に平行に自由に動くことができる構造になっていれば、PSD側に溝を設けて、これに遮光体4をスライド自在に挿入する構造や、あるいは溝でなく遮光体4を挿入する孔を設ける構造にしてもよいものである。
【0030】
図7、図8、図9には本発明の他の実施形態が示してある。この実施形態においては、PSDの投光光学系に近い側の受光面のみを板状をした遮光体4で隠す構造となっている。本実施形態に用いる遮光体4はコ字状をしていて、遮光部4aを遮光体4の投光光学系に近い側の端部に設けた例である。このことにより図14、図15に示す不要光を除去することができるものである。
【0031】
また、図10、図11には本発明の更に他の実施形態が示してある。この実施形態においては、PSDの投光光学系に遠い側の受光面のみを板状をした遮光体4で隠す構造となっている。本実施形態に用いる遮光体4はコ字状をしていて、遮光部4aを遮光体4の投光光学系に遠い側の端部に設けた例である。このことにより図16に示す不要光を除去することができるものである。
【0032】
【発明の効果】
本発明の請求項1記載の発明にあっては、上記のように、光ビームを発生する投光源と、光ビームを測定物体に照射する投光光学系と、光ビームの測定物体での反射光を集光する受光光学系と、受光光学系の結像面に配置されて受光スポットの位置を検出する位置検出センサとを備えた三角測距原理による光学式変位測定装置であって、測定物体の所定の位置に照射された光ビームの拡散光を受光光学系に集光してできる光は通過させ、それ以外の光が入らないようにするための遮光体を位置検出センサの前に設けるものにおいて、受光光学系を保持するための光学筒の後端部に位置検出センサを取付けるとともに、前記光学筒の後端部の開口縁又は位置検出センサの上下に対向するように設けた溝に板状の遮光体をスライド自在にはめ込むことで該遮光体を受光スポットの移動方向に平行に移動自在となるように設けてあるので、不要光を遮光体で除去して光沢面に対して誤差の少ない測距が可能となるものであり、この際、遮光体を受光スポットの移動方向に平行に移動自在に設けてあるので不要光を遮光する位置に遮光体を移動して正確に不要光を遮光することができ、これにあたって、遮光体が板状に構成してあるので、遮光体の構成を簡略化でき、組み込み等が簡単にでき、スライドも簡単にできるものである。
【0033】
また、請求項2記載の発明にあっては、上記請求項1記載の発明の効果に加えて、位置検出センサ3の位置を調節することができる保持部材7によって位置検出センサ3を光学筒9の後端開口部12に取付けることで、位置検出センサ3の位置を調節することができるものである。
また、請求項4記載の発明にあっては、上記請求項1記載の発明の効果に加えて、位置検出センサが受光スポットの位置によって電流出力が変化するものであるから、簡単な構成で位置検出センサを構成することができるものである。
【0034】
また、請求項5記載の発明にあっては、上記請求項1記載の発明の効果に加えて、位置検出センサを遮光体で隠す範囲を、投光側に近い部分のみに限定してあるので、更に構造が簡単となり、低コスト化が図れるものである。
【0035】
また、請求項6記載の発明にあっては、上記請求項1記載の発明の効果に加えて、位置検出センサを遮光体で隠す範囲を、投光側に遠い部分のみに限定してあるので、更に構造が簡単となり、低コスト化が図れるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態の概略説明図である。
【図2】同上の装置の一部分解斜視図である。
【図3】同上の装置の他の方向から見た一部分解斜視図である。
【図4】同上の結像した光の移動範囲と不要光を遮光板で遮光する例を示す説明図である。
【図5】同上の測距原理図である。
【図6】同上の測距を求める制御ブロック図である。
【図7】本発明の他の実施形態を示し、投光光学系に近い側の受光面のみを遮光体で遮光する場合における不要光の一例を示す概略説明図である。
【図8】同上の投光光学系に近い側の受光面のみを遮光体で遮光する場合における不要光の他例を示す概略説明図である。
【図9】同上の装置の一部分解斜視図である。
【図10】本発明の更に他の実施形態を示し、投光光学系に遠い側の受光面のみを遮光体で遮光する場合における概略説明図である。
【図11】同上の装置の一部分解斜視図である。
【図12】投光側の光ビームの実際の強度分布を示すグラフである。
【図13】従来例の概略説明図である。
【図14】従来例の問題点を示す概略説明図である。
【図15】従来例の問題点を示す概略説明図である。
【図16】従来例の問題点を示す概略説明図である。
【符号の説明】
1 投光源
2 測定物体
3 位置検出センサ
4 遮光体

Claims (6)

  1. 光ビームを発生する投光源と、光ビームを測定物体に照射する投光光学系と、光ビームの測定物体での反射光を集光する受光光学系と、受光光学系の結像面に配置されて受光スポットの位置を検出する位置検出センサとを備えた三角測距原理による光学式変位測定装置であって、測定物体の所定の位置に照射された光ビームの拡散光を受光光学系に集光してできる光は通過させ、それ以外の光が入らないようにするための遮光体を位置検出センサの前に設けるものにおいて、受光光学系を保持するための光学筒の後端部に位置検出センサを取付けるとともに、前記光学筒の後端部の開口縁又は位置検出センサの上下に対向するように設けた溝に板状の遮光体をスライド自在にはめ込むことで該遮光体を受光スポットの移動方向に平行に移動自在となるように設けて成ることを特徴とする光学式変位測定装置。
  2. 位置検出センサの位置を調節することができる保持部材によって位置検出センサを光学筒の後端開口部に取付けて成ることを特徴とする請求項1記載の光学式変位測定装置。
  3. 板状の遮光体に透光窓部を設けて成ることを特徴とする請求項1記載の光学式変位測定装置。
  4. 位置検出センサが受光スポットの位置によって電流出力が変化するものであることを特徴とする請求項1記載の光学式変位測定装置。
  5. 位置検出センサを遮光体で隠す範囲を、投光側に近い部分のみに限定して成ることを特徴とする請求項1記載の光学式変位測定装置。
  6. 位置検出センサを遮光体で隠す範囲を、投光側に遠い部分のみに限定して成ることを特徴とする請求項1記載の光学式変位測定装置。
JP13307396A 1996-05-28 1996-05-28 光学式変位測定装置 Expired - Fee Related JP3677868B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13307396A JP3677868B2 (ja) 1996-05-28 1996-05-28 光学式変位測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13307396A JP3677868B2 (ja) 1996-05-28 1996-05-28 光学式変位測定装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH09318315A JPH09318315A (ja) 1997-12-12
JP3677868B2 true JP3677868B2 (ja) 2005-08-03

Family

ID=15096221

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP13307396A Expired - Fee Related JP3677868B2 (ja) 1996-05-28 1996-05-28 光学式変位測定装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3677868B2 (ja)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2811761B1 (fr) * 2000-07-17 2002-10-11 Production Rech S Appliquees Ellipsometre a haute resolution spatiale fonctionnant dans l'infrarouge
JP2009097872A (ja) 2007-10-12 2009-05-07 Sharp Corp 光学式測距センサ、物体検出装置、洗浄便座、および光学式測距センサの製造方法
JP5337419B2 (ja) * 2008-07-11 2013-11-06 アンリツ株式会社 変位測定装置、それを用いたシール部材形状測定装置及びそれらに用いられる変位検出装置
JP5178393B2 (ja) 2008-08-20 2013-04-10 シャープ株式会社 光学式測距センサおよび電子機器
JP4837757B2 (ja) 2009-03-16 2011-12-14 シャープ株式会社 光学式測距センサおよび電子機器
JP5666870B2 (ja) * 2009-11-09 2015-02-12 シャープ株式会社 光学式測距装置および電子機器および光学式測距装置の校正方法
US10866070B2 (en) * 2018-06-08 2020-12-15 Axon Enterprise, Inc. Systems and methods for detecting a distance between a conducted electrical weapon and a target

Also Published As

Publication number Publication date
JPH09318315A (ja) 1997-12-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10330466B2 (en) Compensation of light intensity across a line of light providing improved measuring quality
US6624899B1 (en) Triangulation displacement sensor
EP2840353B1 (en) Scanning apparatus with patterned probe light
JPS6036908A (ja) 三角測量原理に基づく測定法を用いる、物体表面上の点と基準レベルとの間の距離を非接触的に測定するための測量方法
EP0867775A3 (en) Proximity exposure device with distance adjustment device
JP3677868B2 (ja) 光学式変位測定装置
US20020126257A1 (en) Ocular optical characteristic measuring apparatus
KR19980063666A (ko) 자동초점조정방법 및 장치
NL9100205A (nl) Inrichting voor het optisch meten van de hoogte van een oppervlak.
KR960009024A (ko) 노광장비에서의 자동초점과 자동수평 조절장치 및 조절방법
JP2668937B2 (ja) 位置指定装置
JPH06213658A (ja) 距離測定方法及び装置
JP2002195807A (ja) 光学式変位測定装置及びその投光光量補正方法
EP0115184A1 (en) An automatic focus control device
JPH09257467A (ja) 光学式変位測定装置
DE50115284D1 (de) Optischer sensor zur messung des abstands und der neigung einer fläche
JP3375678B2 (ja) 物体縁部の非接触検出方法及び装置
US6456384B1 (en) Moiré interferometer with overlapping illumination and imaging systems
US6637656B2 (en) Optical reading apparatus and optical reading method
JP3817232B2 (ja) 変位測定装置
JPH0729452Y2 (ja) 変位測定装置
JPH0725618Y2 (ja) 変位測定装置
JPH0643893B2 (ja) 距離測定装置
JP2565274B2 (ja) 高さ測定装置
JP4112112B2 (ja) 変位測定装置

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20040224

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20040622

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20040823

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20050419

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20050502

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080520

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090520

Year of fee payment: 4

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090520

Year of fee payment: 4

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100520

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100520

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110520

Year of fee payment: 6

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees