JP2005320455A - Adhesive composition, material for connecting circuit, connecting structure of circuit member and semiconductor device - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an adhesive composition rapidly carrying out a radical polymerization reaction at a low temperature, having a wide process margin, excellent adhesive strength and connection resistance and further excellent storage stability and to provide a material for connecting circuits, a connecting structure of circuit members and a semiconductor device. <P>SOLUTION: The adhesive composition solving the problems comprises a thermoplastic resin, a radically polymerizable compound, a first radical polymerization initiator having 90-145°C half-life temperature for 1 min and a second radical polymerization initiator having 150-175°C half-life temperature for 1 min. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、接着剤組成物、回路接続材料、回路部材の接続構造及び半導体装置に関する。   The present invention relates to an adhesive composition, a circuit connection material, a circuit member connection structure, and a semiconductor device.

従来、半導体素子や液晶表示素子用の接着剤としては、接着性に優れ、特に高温高湿条件下でも優れた接着性を示すエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂が用いられている(例えば、特許文献1参照)。斯かる接着剤は、170〜250℃の温度で1〜3時間加熱することにより硬化し接着性が得られる。   Conventionally, as an adhesive for a semiconductor element or a liquid crystal display element, a thermosetting resin such as an epoxy resin having excellent adhesiveness and particularly excellent adhesiveness even under high temperature and high humidity conditions has been used (for example, patents). Reference 1). Such an adhesive is cured by heating at a temperature of 170 to 250 ° C. for 1 to 3 hours to obtain adhesiveness.

近年、半導体素子の高集積化、液晶素子の高精細化に伴い、素子間及び配線間ピッチの狭小化が進んでいる。このような半導体素子等に上述した接着剤を用いた場合は、硬化させる時の加熱温度が高く、また硬化する速度も遅いため、所望の接続部のみならず周辺部材まで加熱し、周辺部材の損傷等の影響を及ぼす傾向がある。さらに低コスト化のためには、スループットを向上させる必要があり、低温(100〜170℃)、短時間(1時間以内)、換言すれば「低温速硬化」での接着が要求されている。   In recent years, with the high integration of semiconductor elements and the high definition of liquid crystal elements, the pitch between elements and between wirings is becoming narrower. When the above-described adhesive is used for such a semiconductor element or the like, since the heating temperature when curing is high and the curing speed is slow, not only the desired connection part but also the peripheral member is heated. There is a tendency to affect damage. In order to further reduce the cost, it is necessary to improve the throughput, and adhesion at low temperature (100 to 170 ° C.), short time (within 1 hour), in other words, “low temperature rapid curing” is required.

一方、近年アクリレート誘導体やメタクリレート誘導体とラジカル重合開始剤であるパーオキサイドとを併用したラジカル硬化型接着剤が注目されている。この接着剤は、反応性に優れる反応活性種であるラジカルの重合反応を利用して硬化、接着するものであるため、比較的短時間で硬化が可能である(例えば、特許文献2参照)。
特開平01−113480号公報 特開2002−203427号公報
On the other hand, in recent years, radical curable adhesives using acrylate derivatives or methacrylate derivatives in combination with peroxides as radical polymerization initiators have attracted attention. Since this adhesive cures and adheres using a radical polymerization reaction, which is a reactive species with excellent reactivity, it can be cured in a relatively short time (see, for example, Patent Document 2).
Japanese Patent Laid-Open No. 01-113480 JP 2002-203427 A

しかしながら、ラジカル硬化型接着剤は反応性に優れるため、硬化処理を行う際のプロセスマージンが狭くなる傾向がある。例えば、半導体素子や液晶表示素子を電気的に接続するために上述したラジカル硬化型の接着剤を用いる場合、その硬化物を得る際の温度や時間等のプロセス条件が多少でも変動すると接着強度、接続抵抗等の特性が安定して得られない傾向にある。   However, since the radical curable adhesive is excellent in reactivity, the process margin when performing the curing process tends to be narrowed. For example, in the case of using the above-mentioned radical curable adhesive to electrically connect a semiconductor element or a liquid crystal display element, if the process conditions such as the temperature and time when obtaining the cured product vary somewhat, the adhesive strength, There is a tendency that characteristics such as connection resistance cannot be obtained stably.

そこで本発明は、低温で十分迅速に硬化処理を行うことができ、且つ硬化処理を行う際のプロセスマージンが広く、十分に安定した接着強度や接続抵抗が得られる接着剤組成物、回路接続材料、回路部材の接続構造及び半導体装置を提供するものである。   Accordingly, the present invention provides an adhesive composition and a circuit connecting material that can be cured sufficiently quickly at a low temperature, have a wide process margin when performing the curing process, and provide sufficiently stable adhesive strength and connection resistance. A circuit member connection structure and a semiconductor device are provided.

上記課題を解決する本発明の接着剤組成物は、熱可塑性樹脂と、ラジカル重合性化合物と、1分間半減期温度が90〜145℃である第1のラジカル重合開始剤と、1分間半減期温度が150〜175℃である第2のラジカル重合開始剤と、を含有することを特徴とする。   The adhesive composition of the present invention that solves the above problems includes a thermoplastic resin, a radical polymerizable compound, a first radical polymerization initiator having a 1-minute half-life temperature of 90 to 145 ° C., and a 1-minute half-life. And a second radical polymerization initiator having a temperature of 150 to 175 ° C.

ここで、「1分間半減期温度」とは、半減期が1分となる温度をいい、「半減期」とは、化合物の濃度が初期値の半分に減少するまでの時間をいう。   Here, “one-minute half-life temperature” refers to the temperature at which the half-life is 1 minute, and “half-life” refers to the time until the concentration of the compound decreases to half of the initial value.

本発明の接着剤組成物は、熱可塑性樹脂と、ラジカル重合性化合物と、ラジカル重合開始剤とを含む、いわゆるラジカル硬化型接着剤組成物である。このようにラジカル重合性化合物を含有する接着剤組成物は反応性に優れるため、低温であっても十分に短時間で硬化させることが可能である。更に、ラジカル重合開始剤として1分間半減期温度が異なる二種類のラジカル重合開始剤を用いることにより、硬化処理を行う際のプロセスマージンを広げることが可能となる。したがって、このような接着剤組成物から得られる硬化物は、その硬化物を得る際のプロセス温度や時間が変動したとしても、接着強度や接続抵抗等の特性を安定したものとすることができる。また、硬化物の経時的な特性低下も抑制することができる。   The adhesive composition of the present invention is a so-called radical curable adhesive composition containing a thermoplastic resin, a radical polymerizable compound, and a radical polymerization initiator. Thus, since the adhesive composition containing a radically polymerizable compound is excellent in reactivity, it can be cured in a sufficiently short time even at a low temperature. Further, by using two types of radical polymerization initiators having different half-life temperatures for 1 minute as radical polymerization initiators, it becomes possible to widen the process margin when performing the curing treatment. Therefore, the cured product obtained from such an adhesive composition can have stable properties such as adhesive strength and connection resistance even when the process temperature and time when the cured product is obtained fluctuate. . Moreover, the characteristic deterioration with time of the cured product can also be suppressed.

更に、1分間半減期温度が上述の範囲にあるラジカル硬化型接着剤は概して活性化エネルギーが低いため、貯蔵安定性に劣る傾向がある。しかしながら、本発明の接着剤組成物から得られる硬化物は、従来のものに比べて、一層優れた貯蔵安定性を備えることも可能となる。これは、本発明の接着剤組成物において、1分間半減期温度が異なる二種類のラジカル重合開始剤を用いていることに起因すると、本発明者らは考えている。   Furthermore, radical curable adhesives having a one-minute half-life temperature in the above range generally have low activation energy and therefore tend to have poor storage stability. However, the cured product obtained from the adhesive composition of the present invention can be provided with more excellent storage stability than conventional ones. The present inventors believe that this is caused by using two types of radical polymerization initiators having different 1-minute half-life temperatures in the adhesive composition of the present invention.

更にまた、本発明の接着剤組成物を用いると硬化処理を短時間で行うことができ、且つプロセスマージンを広げることができるため、半導体素子や液晶素子等の素子間及び配線間ピッチが狭小化したとしても、所望の接続部のみならず周辺部材まで加熱し、周辺部材の損傷等の影響を及ぼすことを防止することができ、スループットを向上させることが可能となる。   Furthermore, when the adhesive composition of the present invention is used, the curing process can be performed in a short time and the process margin can be widened, so that the pitch between elements such as semiconductor elements and liquid crystal elements and between wirings is reduced. Even if this is done, not only the desired connection portion but also the peripheral member can be heated to prevent the peripheral member from being affected, and the throughput can be improved.

また、本発明の接着剤組成物において、ラジカル重合性化合物が分子内に2つ以上の(メタ)アクリロイル基を有すると好ましい。このような接着剤組成物を用いると、一層短時間で硬化処理を行うことができるようになる。これは、ラジカル重合性化合物が、反応性に富むラジカル反応性基である(メタ)アクリロイル基を2つ以上有することに起因すると、本発明者らは推測している。   In the adhesive composition of the present invention, it is preferable that the radically polymerizable compound has two or more (meth) acryloyl groups in the molecule. When such an adhesive composition is used, the curing process can be performed in a shorter time. The present inventors presume that this is because the radically polymerizable compound has two or more (meth) acryloyl groups, which are radically reactive radical reactive groups.

更に、このようなラジカル重合性化合物は、反応性基として(メタ)アクリロイル基を用いるため、被着体の材質を選ばず強固な接着性を得ることができる。したがって、このようなラジカル重合性化合物を含む本発明の接着剤組成物は、汎用性に優れ、例えば半導体素子や液晶表示素子に用いた場合にもより安定した接着強度や接続抵抗等の特性を得ることができる。   Furthermore, since such a radical polymerizable compound uses a (meth) acryloyl group as a reactive group, it can obtain strong adhesiveness regardless of the material of the adherend. Therefore, the adhesive composition of the present invention containing such a radically polymerizable compound is excellent in versatility, and has more stable characteristics such as adhesive strength and connection resistance even when used in, for example, a semiconductor element or a liquid crystal display element. Can be obtained.

更に、第1のラジカル重合開始剤及び第2のラジカル重合開始剤が、共に分子量180〜1000のパーオキシエステル誘導体であることが好ましい。   Furthermore, it is preferable that both the first radical polymerization initiator and the second radical polymerization initiator are peroxyester derivatives having a molecular weight of 180 to 1000.

第1のラジカル重合開始剤及び第2のラジカル重合開始剤のいずれもが、同種のパーオキシエステル誘導体であり、しかも上記数値範囲内の分子量であると、相互に相溶性に優れるため、得られる硬化物は、その全体にわたって一層安定した接着強度や接続抵抗等の特性を示すものとなる。   Since both the first radical polymerization initiator and the second radical polymerization initiator are the same kind of peroxyester derivative and have a molecular weight within the above numerical range, they are excellent in compatibility with each other, and thus can be obtained. The cured product exhibits characteristics such as adhesive strength and connection resistance that are more stable throughout.

また、本発明の接着剤組成物は、熱可塑性樹脂100質量部に対して、ラジカル重合性化合物を50〜250質量部含有し、且つ第1のラジカル重合開始剤及び第2のラジカル重合開始剤をそれぞれ0.05〜30質量部含有することが好ましい。この本発明の接着剤組成物は、その構成材料を上記の範囲の配合割合とすることによって、本発明の効果をより顕著に発揮することができる。   The adhesive composition of the present invention contains 50 to 250 parts by mass of a radical polymerizable compound with respect to 100 parts by mass of the thermoplastic resin, and the first radical polymerization initiator and the second radical polymerization initiator. It is preferable to contain 0.05-30 mass parts of each. This adhesive composition of this invention can exhibit the effect of this invention more notably by making the constituent material into the mixture ratio of said range.

更に、この接着剤組成物には導電性粒子を含有させることが好ましい。このような接着剤組成物は、導電性を有することになる。そうすると、この接着剤組成物は回路電極や半導体等の電気工業や電子工業の分野において導電性接着剤として用いることができるようになる。更に、この場合、接着剤組成物が導電性であるため、硬化後の接続抵抗を一層低くすることが可能となる。   Further, the adhesive composition preferably contains conductive particles. Such an adhesive composition has conductivity. Then, this adhesive composition can be used as a conductive adhesive in the fields of electric industry and electronic industry such as circuit electrodes and semiconductors. Further, in this case, since the adhesive composition is conductive, the connection resistance after curing can be further reduced.

また、この導電性粒子の配合割合については、熱可塑性樹脂100質量部に対して、導電性粒子を0.5〜30質量部含有していることが好ましい。導電性粒子を上記の範囲の配合割合とすることによって、このような接着剤組成物は、導電性粒子の効果を一層発揮することができる。例えば、回路電極の接続に用いた場合、対向する回路電極間で導電しなかったり、あるいは隣接する回路電極間で短絡(ショート)したりすることを防止することができる。更に、導電性粒子を上記の配合割合で含有した接着剤組成物は、電気的な接続の異方性を示すことも可能となり、異方導電性接着剤組成物として用いることができるようになる。   Moreover, about the mixture ratio of this electroconductive particle, it is preferable to contain 0.5-30 mass parts of electroconductive particles with respect to 100 mass parts of thermoplastic resins. By setting the conductive particles to a blending ratio in the above range, such an adhesive composition can further exhibit the effect of the conductive particles. For example, when used for connection of circuit electrodes, it is possible to prevent electrical conduction between opposing circuit electrodes, or short circuit between adjacent circuit electrodes. Furthermore, the adhesive composition containing the conductive particles in the above blending ratio can also show anisotropy of electrical connection, and can be used as an anisotropic conductive adhesive composition. .

そして、本発明の回路接続材料は、対向する回路電極同士を電気的に接続するための回路接続材料であって、回路接続材料が上述した接着剤組成物を含有することを特徴とする。   And the circuit connection material of this invention is a circuit connection material for electrically connecting circuit electrodes which oppose, Comprising: A circuit connection material contains the adhesive composition mentioned above, It is characterized by the above-mentioned.

このような回路接続材料は、対向する回路電極同士の接着を低温であっても十分短時間で行うことができ、プロセスマージンを広げることも可能となる。更に、このような回路接続材料から得られる硬化物は、その硬化物を得る際のプロセス温度や時間が変動したとしても、接着強度や接続抵抗等の特性を安定したものとすることができる。また、硬化物の経時的な特性低下も抑制することができる。更に、この回路接続材料が導電性粒子を上記の配合割合で含有すれば、電気的な接続の異方性を示すことができ、回路電極用の異方導電性回路接続材料として用いることも可能である。   Such a circuit connection material can bond the circuit electrodes facing each other in a sufficiently short time even at a low temperature, and can widen the process margin. Further, a cured product obtained from such a circuit connection material can stabilize characteristics such as adhesive strength and connection resistance even if the process temperature and time when the cured product is obtained fluctuate. Moreover, the characteristic deterioration with time of the cured product can also be suppressed. Furthermore, if this circuit connection material contains conductive particles in the above-mentioned blending ratio, it can exhibit electrical connection anisotropy and can be used as an anisotropic conductive circuit connection material for circuit electrodes. It is.

また、上述した接着剤組成物又は回路接続材料はフィルム状に形成されていることが好ましい。フィルム状とした接着剤組成物又は回路接続材料は取扱性に優れるため、スループットを一層向上させることができる。   Moreover, it is preferable that the adhesive composition or circuit connection material described above is formed in a film shape. Since the adhesive composition or circuit connecting material in the form of a film is excellent in handleability, the throughput can be further improved.

また、本発明の回路部材の接続構造は、第1の回路基板の主面上に第1の回路電極が形成された第1の回路部材と、第2の回路基板の主面上に第2の回路電極が形成された第2の回路部材と、第1の回路基板の主面と第2の回路基板の主面との間に設けられ、第1の回路電極と第2の回路電極とを対向配置させた状態で電気的に接続する回路接続部材と、
を備える回路部材の接続構造であって、回路接続部材は、上述した回路接続材料の硬化物であることを特徴とする。
The circuit member connection structure of the present invention includes a first circuit member in which a first circuit electrode is formed on the main surface of the first circuit board, and a second circuit member on the main surface of the second circuit board. A second circuit member formed with the first circuit electrode, a first circuit board, a main surface of the second circuit board, and a second circuit electrode; A circuit connecting member for electrical connection in a state of being opposed to each other;
A circuit member connection structure comprising: the circuit connection member is a cured product of the circuit connection material described above.

このような回路部材の接続構造は、電気的に接続した回路電極を有効に利用することができる。すなわち、第1の回路電極と第2の回路電極とを電気的に接続できるように上述した回路接続材料を用いるため、本発明の接続構造を有する回路部材は、品質のばらつきが少なく、十分に安定した特性を示すことができる。更に、回路接続材料の硬化物が導電性粒子を含む場合は、接続抵抗を低くすることができる。この導電性粒子を配合することによって、対向する回路電極間で導電しなかったり、あるいは隣接する回路電極間で短絡(ショート)したりすることを防止することができる。また、導電性粒子を上記の配合割合で含有すれば、電気的な接続の異方性を示し、異方性回路接続材料とすることも可能である。   Such a connection structure of circuit members can effectively use electrically connected circuit electrodes. That is, since the circuit connection material described above is used so that the first circuit electrode and the second circuit electrode can be electrically connected, the circuit member having the connection structure of the present invention has a small variation in quality and is sufficiently Stable characteristics can be shown. Furthermore, when the hardened | cured material of a circuit connection material contains electroconductive particle, connection resistance can be made low. By blending these conductive particles, it is possible to prevent electrical conduction between opposing circuit electrodes, or short circuit between adjacent circuit electrodes. Further, if the conductive particles are contained in the above blending ratio, anisotropy of electrical connection is exhibited and an anisotropic circuit connection material can be obtained.

また、本発明の半導体装置は、半導体素子と、半導体素子を搭載する基板と、半導体素子及び基板間に設けられ、半導体素子及び基板を電気的に接続する半導体素子接続部材と、を備える半導体装置であって、半導体素子接続部材は、上述した接着剤組成物の硬化物又はフィルム状接着剤であることを特徴とする。   According to another aspect of the present invention, there is provided a semiconductor device comprising: a semiconductor element; a substrate on which the semiconductor element is mounted; and a semiconductor element connecting member that is provided between the semiconductor element and the substrate and electrically connects the semiconductor element and the substrate. And a semiconductor element connection member is the hardened | cured material or film adhesive of the adhesive composition mentioned above, It is characterized by the above-mentioned.

このような半導体装置は、半導体素子と基板とを電気的に接続する接着剤組成物の硬化物が上述した接着剤組成物の硬化物であることから、品質のばらつきが少なく、十分に安定した特性を示すことができる。更に、接着剤組成物の硬化物が導電性粒子を含む場合は、接続抵抗を低くすることができる。この導電性粒子を配合することによって、対向する半導体素子及び基板間で導電しなかったりすることを防止することができる。また、導電性粒子を上記の配合割合で含有すれば、電気的な接続の異方性を示し、異方性半導体とすることも可能である。   In such a semiconductor device, since the cured product of the adhesive composition that electrically connects the semiconductor element and the substrate is the cured product of the above-described adhesive composition, the variation in quality is small and sufficiently stable. Characteristics can be shown. Furthermore, when the hardened | cured material of adhesive composition contains electroconductive particle, connection resistance can be made low. By blending the conductive particles, it is possible to prevent the semiconductor element and the substrate that are opposed from being electrically conductive. Further, if the conductive particles are contained in the above-described blending ratio, anisotropy of electrical connection is exhibited, and an anisotropic semiconductor can be obtained.

本発明によれば、低温で十分迅速に硬化処理を行うことができ、且つ硬化処理を行う際のプロセスマージンが広く、十分に安定した接着強度や接続抵抗が得られる接着剤組成物、回路接続材料、回路部材の接続構造及び半導体装置を提供できる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the adhesive composition and circuit connection which can perform a curing process sufficiently rapidly at low temperature, have a wide process margin at the time of performing a curing process, and can obtain sufficiently stable adhesive strength and connection resistance A material, a circuit member connection structure, and a semiconductor device can be provided.

以下、場合により添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について説明する。なお、同一要素には同一符号を用いるものとし、重複する説明は省略する。また以下の説明において(メタ)アクリレートとは、アクリレート又はそれに対応するメタクリレートを意味するものとする。   Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings as the case may be. In addition, the same code | symbol shall be used for the same element and the overlapping description is abbreviate | omitted. In the following description, (meth) acrylate means acrylate or a corresponding methacrylate.

(接着剤組成物)
本発明の接着剤組成物は、熱可塑性樹脂、ラジカル重合性化合物、1分間半減期温度が90〜145℃である第1のラジカル重合開始剤、及び1分間半減期温度が150〜175℃である第2のラジカル重合開始剤を含有するものである。
(Adhesive composition)
The adhesive composition of the present invention comprises a thermoplastic resin, a radical polymerizable compound, a first radical polymerization initiator having a half-life temperature of 90 to 145 ° C, and a half-life temperature of 150 to 175 ° C for 1 minute. It contains a certain second radical polymerization initiator.

ここで、本発明に係る熱可塑性樹脂は、接着する対象物(以下、単に「被着体」という。)同士の接着を強固なものにするために用いられる。   Here, the thermoplastic resin according to the present invention is used to strengthen the adhesion between objects to be bonded (hereinafter simply referred to as “adhered bodies”).

本発明で用いる熱可塑性樹脂としては、特に制限なく公知のものを使用することができる。具体的には、ポリイミド、ポリアミド、フェノキシ樹脂類、ポリ(メタ)アクリレート類、ポリイミド類、ポリウレタン類、ポリエステル類、ポリビニルブチラール類等を用いることができる。これらは単独あるいは2種類以上を混合して用いられ得る。更に、これらの樹脂は分子内にシロキサン結合やフッ素置換基を有していてもよい。これらは混合する樹脂同士が完全に相溶するか、若しくはミクロ相分離が生じて白濁する状態であれば好適に用いることができる。   As a thermoplastic resin used by this invention, a well-known thing can be used without a restriction | limiting in particular. Specifically, polyimide, polyamide, phenoxy resins, poly (meth) acrylates, polyimides, polyurethanes, polyesters, polyvinyl butyrals, and the like can be used. These may be used alone or in combination of two or more. Furthermore, these resins may have a siloxane bond or a fluorine substituent in the molecule. These can be suitably used as long as the resins to be mixed are completely compatible with each other or microphase separation occurs and the liquid becomes cloudy.

また、この熱可塑性樹脂の分子量が大きいほど後述するフィルムを容易に形成することができ、また、接着剤としての流動性に影響する溶融粘度を広範囲に設定することも可能となる。溶融粘度を広範囲に設定することができれば、半導体素子や液晶素子等の接続に用いた場合、素子間及び配線間ピッチが狭小化したとしても、周辺部材に接着剤が付着することを一層防止することができ、スループットを向上させることが可能となる。ただし、この分子量の値が、150000を超えると他の成分との相溶性が劣る傾向があり、5000未満では後述するフィルムとして使用する場合にフィルム形成が不十分となる傾向がある。よって、この分子量は重量平均分子量として5000〜150000であると好ましく、10000〜80000であるとより好ましい。   Moreover, the later-described film can be easily formed as the molecular weight of the thermoplastic resin increases, and the melt viscosity that affects the fluidity as an adhesive can be set in a wide range. If the melt viscosity can be set in a wide range, even when the pitch between the elements and between the wirings is narrowed when used to connect a semiconductor element or a liquid crystal element, the adhesion of the adhesive to the peripheral members is further prevented. And throughput can be improved. However, if this molecular weight value exceeds 150,000, the compatibility with other components tends to be poor, and if it is less than 5000, film formation tends to be insufficient when used as a film described later. Therefore, this molecular weight is preferably 5000 to 150,000 as a weight average molecular weight, and more preferably 10,000 to 80,000.

また、本発明に係るラジカル重合性化合物とは、何らかのエネルギーが付与されることによってラジカルが発生し、そのラジカルが連鎖反応によって重合してポリマーを形成する性能を有する化合物をいう。このラジカル重合反応は一般にカチオン重合やアニオン重合よりも迅速に反応が進行する。よって、ラジカル重合性化合物を用いる本発明においては、比較的短時間での重合が可能となる。   In addition, the radical polymerizable compound according to the present invention refers to a compound having a capability of generating a radical by applying some energy and polymerizing the radical by a chain reaction to form a polymer. This radical polymerization reaction generally proceeds more rapidly than cationic polymerization or anionic polymerization. Therefore, in the present invention using a radical polymerizable compound, polymerization can be performed in a relatively short time.

本発明で用いるラジカル重合性化合物としては、(メタ)アクリル基、(メタ)アクリロイル基やビニル基等、分子内にオレフィンを有する化合物であれば、特に制限なく公知のものを使用することができる。この中でも(メタ)アクリロイル基を有するラジカル重合性化合物であることが好ましい。   As the radical polymerizable compound used in the present invention, a known compound can be used without particular limitation as long as it is a compound having an olefin in the molecule, such as a (meth) acryl group, a (meth) acryloyl group or a vinyl group. . Among these, a radically polymerizable compound having a (meth) acryloyl group is preferable.

具体的には、(メタ)アクリロイル基を有するラジカル重合性化合物としては、エポキシ(メタ)アクリレートオリゴマー、ウレタン(メタ)アクリレートオリゴマー、ポリエーテル(メタ)アクリレートオリゴマー、ポリエステル(メタ)アクリレートオリゴマー等のオリゴマー、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリアルキレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニロキシエチル(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、イソシアヌル酸変性2官能(メタ)アクリレート、イソシアヌル酸変性3官能(メタ)アクリレート、2,2’−ジ(メタ)アクリロイロキシジエチルホスフェート、2−(メタ)アクリロイロキシエチルアシッドホスフェート等の多官能(メタ)アクリレート化合物等が挙げられる。これらの化合物は、必要に応じて単独あるいは2種以上を混合して用いてもよい。   Specifically, the radical polymerizable compound having a (meth) acryloyl group includes an epoxy (meth) acrylate oligomer, a urethane (meth) acrylate oligomer, a polyether (meth) acrylate oligomer, a polyester (meth) acrylate oligomer, and the like. , Trimethylolpropane tri (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, polyalkylene glycol di (meth) acrylate, dicyclopentenyl (meth) acrylate, dicyclopentenyloxyethyl (meth) acrylate, neopentyl glycol di (Meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, isocyanuric acid modified bifunctional (meth) acrylate, isocyanuric acid modified trifunctional (meth) acrylic Over DOO, 2,2'-di (meth) acryloyloxy diethyl phosphate, a polyfunctional (meth) acrylate compounds such as 2- (meth) acryloyloxyethyl acid phosphate. These compounds may be used alone or in admixture of two or more as required.

このように反応性基として(メタ)アクリロイル基を用いれば、被着体の材質を選ばず強固な接着をすることができる。この被着体としては、プリント配線板やポリイミド等の有機基材をはじめ、銅、アルミニウム等の金属やITO(indium tin oxide)、窒化珪素(SiN)、二酸化珪素(SiO)等が挙げられる。 Thus, if a (meth) acryloyl group is used as a reactive group, strong adhesion can be achieved regardless of the material of the adherend. Examples of the adherend include organic substrates such as printed wiring boards and polyimides, metals such as copper and aluminum, ITO (indium tin oxide), silicon nitride (SiN), silicon dioxide (SiO 2 ), and the like. .

更に、ラジカル重合性化合物が分子内に(メタ)アクリロイル基を2つ以上有すると、接着に要する加熱時間をより短くでき、接着に要する加熱温度をより低くできるので好ましい。これは、ラジカル重合性化合物の分子内にラジカル反応性基である(メタ)アクリロイル基をより多く有することに起因すると考えられる。   Furthermore, it is preferable that the radical polymerizable compound has two or more (meth) acryloyl groups in the molecule because the heating time required for adhesion can be shortened and the heating temperature required for adhesion can be further reduced. This is considered due to having more (meth) acryloyl groups which are radical reactive groups in the molecule of the radical polymerizable compound.

更にこのラジカル重合性化合物の配合割合は、熱可塑性樹脂100部に対して、50〜250質量部であることが好ましく、60〜150質量部であることが更に好ましい。ラジカル重合性化合物の配合割合が50質量部未満であると、被着体に付与した接着剤組成物の硬化物の耐熱性が低下する傾向にあり、250質量部を超えると、接着剤組成物を後述するフィルムとして用いる場合にフィルム形成が不十分となる傾向にある。   Furthermore, the blending ratio of the radical polymerizable compound is preferably 50 to 250 parts by mass, and more preferably 60 to 150 parts by mass with respect to 100 parts of the thermoplastic resin. When the blending ratio of the radical polymerizable compound is less than 50 parts by mass, the heat resistance of the cured product of the adhesive composition imparted to the adherend tends to decrease. When the blending ratio exceeds 250 parts by mass, the adhesive composition When the film is used as a film to be described later, film formation tends to be insufficient.

また、本発明の接着剤組成物はラジカル重合開始剤を含む。ラジカル重合性化合物は、一旦ラジカル重合反応を開始すると、連鎖反応が進行し、強固な硬化が可能となるが、最初にラジカルを発生させることが比較的困難であるため、ラジカルを比較的容易に生成可能なラジカル重合開始剤を含有させる。   Moreover, the adhesive composition of this invention contains a radical polymerization initiator. Once a radical polymerization compound has started radical polymerization reaction, chain reaction proceeds and strong curing is possible. However, since it is relatively difficult to generate radicals at first, it is relatively easy to generate radicals. A radical polymerization initiator capable of being produced is contained.

本発明においては、ラジカル重合開始剤として、1分間半減期温度が90〜145℃である第1のラジカル重合開始剤と、1分間半減期温度が150〜175℃である第2のラジカル重合開始剤を併用する。   In the present invention, as the radical polymerization initiator, a first radical polymerization initiator having a one-minute half-life temperature of 90 to 145 ° C. and a second radical polymerization start having a one-minute half-life temperature of 150 to 175 ° C. Use the agent together.

このような第1のラジカル重合開始剤としては、1分間半減期温度が90〜145℃であれば公知の化合物を用いることができ、第2のラジカル重合開始剤としては、1分間半減期温度が150〜175℃であれば公知の化合物を用いることができる。   As the first radical polymerization initiator, a known compound can be used as long as the 1-minute half-life temperature is 90 to 145 ° C., and the second radical polymerization initiator is a 1-minute half-life temperature. If it is 150-175 degreeC, a well-known compound can be used.

この中でも第1のラジカル重合開始剤及び第2のラジカル重合開始剤が共にパーオキシエステル誘導体であることが好ましい。いずれもパーオキシエステル誘導体であれば、相互に相溶性に優れるため、得られる硬化物は、その全体にわたって一層安定した接着強度や接続抵抗等の特性を示すものとなる。   Among these, it is preferable that both the first radical polymerization initiator and the second radical polymerization initiator are peroxyester derivatives. If both are peroxyester derivatives, they are excellent in compatibility with each other, and the resulting cured product exhibits characteristics such as more stable adhesive strength and connection resistance throughout the whole.

第1のラジカル重合開始剤としては、具体的には、クミルパーオキシネオデカノエート、1,1,3,3−テトラメチルブチルパーオキシネオデカノエート、1−シクロヘキシル−1−メチルエチルパーオキシノエデカノエート、t−ヘキシルパーオキシネオデカノエート、t−ブチルパーオキシネオデカノエート、t−ブチルパーオキシピバレート、1,1,3,3−テトラメチルブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート、2,5−ジメチル−2,5−ジ(2−エチルヘキサノイルパーオキシ)ヘキサン、t−ヘキシルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート、t−ブチルパーオキシネオヘプタノエート、t−アミルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート、ジ−t−ブチルパーオキシヘキサヒドロテレフタレート、t−アミルパーオキシ−3,5,5−トリメチルヘキサノエート、3−ヒドロキシ−1,1−ジメチルブチルパーオキシネオデカノエート、1,1,3,3−テトラメチルブチルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート、t−アミルパーオキシネオデカノエート、t−アミルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート、2,2’−アゾビス−2,4−ジメチルバレロニトリル、1,1’−アゾビス(1−アセトキシ−1−フェニルエタン)、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル、2,2’−アゾビス(2−メチルブチロニトリル)、ジメチル−2,2’−アゾビスイソブチロニトリル、4,4’−アゾビス(4−シアノバレリン酸)、1,1’−アゾビス(1−シクロヘキサンカルボニトリル)等が挙げられる。   Specifically, as the first radical polymerization initiator, cumylperoxyneodecanoate, 1,1,3,3-tetramethylbutylperoxyneodecanoate, 1-cyclohexyl-1-methylethylperper Oxynoedecanoate, t-hexylperoxyneodecanoate, t-butylperoxyneodecanoate, t-butylperoxypivalate, 1,1,3,3-tetramethylbutylperoxy-2- Ethylhexanoate, 2,5-dimethyl-2,5-di (2-ethylhexanoylperoxy) hexane, t-hexylperoxy-2-ethylhexanoate, t-butylperoxy-2-ethylhexa Noate, t-butylperoxyneoheptanoate, t-amylperoxy-2-ethylhexanoate, di-t-butylper Xylhexahydroterephthalate, t-amylperoxy-3,5,5-trimethylhexanoate, 3-hydroxy-1,1-dimethylbutylperoxyneodecanoate, 1,1,3,3-tetramethylbutyl Peroxy-2-ethylhexanoate, t-amylperoxyneodecanoate, t-amylperoxy-2-ethylhexanoate, 2,2′-azobis-2,4-dimethylvaleronitrile, 1, 1'-azobis (1-acetoxy-1-phenylethane), 2,2'-azobisisobutyronitrile, 2,2'-azobis (2-methylbutyronitrile), dimethyl-2,2'-azo Examples include bisisobutyronitrile, 4,4′-azobis (4-cyanovaleric acid), 1,1′-azobis (1-cyclohexanecarbonitrile), and the like. It is.

また、第2のラジカル重合開始剤としては、具体的には、t−ヘキシルパーオキシイソプロピルモノカーボネート、t−ブチルパーオキシマレイン酸、t−ブチルパーオキシ−3,5,5−トリメチルヘキサノエート、t−ブチルパーオキシラウレート、2,5−ジメチル−2,5−ジ(3−メチルベンゾイルパーオキシ)ヘキサン、t−ブチルパーオキシ−2−エチルヘキシルモノカーボネート、t−ヘキシルパーオキシベンゾエート、2,5−ジメチル−2,5−ジ(ベンゾイルパーオキシ)ヘキサン、t−ブチルパーオキシベンゾエート、ジブチルパーオキシトリメチルアジペート、t−アミルパーオキシノルマルオクトエート、t−アミルパーオキシイソノナノエート、t−アミルパーオキシベンゾエート等が挙げられる。   Specific examples of the second radical polymerization initiator include t-hexyl peroxyisopropyl monocarbonate, t-butyl peroxymaleic acid, t-butyl peroxy-3,5,5-trimethylhexanoate. , T-butylperoxylaurate, 2,5-dimethyl-2,5-di (3-methylbenzoylperoxy) hexane, t-butylperoxy-2-ethylhexyl monocarbonate, t-hexylperoxybenzoate, 2 , 5-dimethyl-2,5-di (benzoylperoxy) hexane, t-butylperoxybenzoate, dibutylperoxytrimethyladipate, t-amylperoxynormal octoate, t-amylperoxyisononanoate, t- Examples include amyl peroxybenzoate.

なお、本発明の接着剤組成物は第1のラジカル重合開始剤と第2のラジカル重合開始剤とを併用していればよく、第1のラジカル重合開始剤を2種以上用いてもよく、第2のラジカル重合開始剤を2種以上用いることも可能である。   The adhesive composition of the present invention may be a combination of the first radical polymerization initiator and the second radical polymerization initiator, and two or more kinds of the first radical polymerization initiator may be used. Two or more second radical polymerization initiators can be used.

第1のラジカル重合開始剤及び第2のラジカル重合開始剤の分子量は、重量平均分子量として180〜1000であることが好ましい。第1のラジカル重合開始剤及び第2のラジカル重合開始剤のいずれもが、上記数値範囲内の分子量であると、相溶性に優れるため、得られる硬化物は、その全体にわたって一層安定した接着強度や接続抵抗等の特性を示すものとなる。   The molecular weights of the first radical polymerization initiator and the second radical polymerization initiator are preferably 180 to 1000 as the weight average molecular weight. If both the first radical polymerization initiator and the second radical polymerization initiator have a molecular weight within the above numerical range, the resulting cured product has a more stable adhesive strength over the whole. And characteristics such as connection resistance.

第1のラジカル重合開始剤及び第2のラジカル重合開始剤の添加量は、熱可塑性樹脂100部に対して、いずれかが0.05〜30質量部であることが好ましく、いずれもが0.05〜30質量部であることが更に好ましい。また、いずれもが0.1〜20質量部であることが特に好ましい。第1のラジカル重合開始剤及び第2のラジカル重合開始剤のいずれかの添加量が0.05質量部未満であると、ラジカル重合が十分に開始されない傾向にあり、第1のラジカル重合開始剤及び第2のラジカル重合開始剤のいずれかの添加量が30質量部を超えると、貯蔵安定性が低下する傾向にある。   As for the addition amount of a 1st radical polymerization initiator and a 2nd radical polymerization initiator, it is preferable that either is 0.05-30 mass parts with respect to 100 parts of thermoplastic resins, and all are 0. It is still more preferable that it is 05-30 mass parts. Moreover, it is especially preferable that all are 0.1-20 mass parts. When the addition amount of either the first radical polymerization initiator or the second radical polymerization initiator is less than 0.05 parts by mass, radical polymerization tends not to be sufficiently started, and the first radical polymerization initiator And when the addition amount of either of 2nd radical polymerization initiators exceeds 30 mass parts, it exists in the tendency for storage stability to fall.

なお、本発明において付与するエネルギーの形態としては特に限定されないが、熱、電子線、ガンマ線、紫外線、赤外線等が挙げられる。   In addition, although it does not specifically limit as a form of the energy provided in this invention, A heat | fever, an electron beam, a gamma ray, an ultraviolet-ray, infrared rays etc. are mentioned.

本発明の接着剤組成物を用いると接着強度や接続抵抗が十分に安定した硬化物が得られる要因は現在のところ詳細には明らかにされていない。しかしながら、本発明者らは、その要因の一つとして、1分間半減期温度が異なる2種のラジカル重合開始剤を用いることにより、異なるプロセス条件によっても、比較的安定したラジカル重合速度が得られるためと考えている。ただし、要因はこれに限定されない。   The reason why a cured product having sufficiently stable adhesive strength and connection resistance can be obtained by using the adhesive composition of the present invention has not been clarified in detail at present. However, as one of the factors, the present inventors can obtain a relatively stable radical polymerization rate even under different process conditions by using two kinds of radical polymerization initiators having different 1-minute half-life temperatures. I think because. However, the factor is not limited to this.

本発明の接着剤組成物には導電性粒子を含有させると好ましい。導電性粒子を含有させることによって、その接着剤組成物に導電性を付与することができる。そうすると、回路電極や半導体等の電気工業や電子工業の分野において導電性接着剤として用いることが可能となる。   The adhesive composition of the present invention preferably contains conductive particles. By containing conductive particles, conductivity can be imparted to the adhesive composition. If it does so, it will become possible to use as a conductive adhesive in the field | areas of electric industry and electronic industry, such as a circuit electrode and a semiconductor.

ここで用いられる導電性粒子は、電気的接続を得ることができる導電性を有していれば特に制限はないが、例えばAu、Ag、Ni、Cu、はんだ等の金属やカーボン等が挙げられる。また、非導電性のガラス、セラミック、プラスチック等を核とし、この核に上記の金属やカーボンを被覆したものであってもよい。この中でも金属自体が熱溶融性の金属である場合、又はプラスチックを核とし金属若しくはカーボンで被覆したものである場合が好ましい。これらの場合、接着剤組成物の硬化物を加熱や加圧によって変形させることが一層容易となるため、電極同士を電気的に接続する際に、電極と接着剤組成物との接触面積を増加させ、電極間の導電性を向上させることができる。   The conductive particles used here are not particularly limited as long as they have conductivity capable of obtaining electrical connection, and examples thereof include metals such as Au, Ag, Ni, Cu, and solder, and carbon. . Further, non-conductive glass, ceramic, plastic or the like may be used as a core, and the metal or carbon may be coated on the core. Among these, the case where the metal itself is a heat-meltable metal, or the case where the metal is coated with a metal or carbon with a plastic as a nucleus is preferable. In these cases, since it becomes easier to deform the cured product of the adhesive composition by heating or pressurization, the contact area between the electrode and the adhesive composition is increased when the electrodes are electrically connected to each other. And the conductivity between the electrodes can be improved.

また、この導電性粒子の表面を、更に高分子樹脂で被覆した層状粒子を用いてもよい。層状粒子の状態で導電性粒子を接着剤組成物に添加すると、導電性粒子の配合量を増加させた場合であっても、樹脂で被覆されているので導電性粒子同士の接触によって短絡が生じることを一層抑制し、電極回路間の絶縁性も向上させることができる。なお、これらの導電性粒子や層状粒子は単独あるいは2種以上混合して用いてもよい。   Moreover, you may use the layered particle | grains which coat | covered the surface of this electroconductive particle further with polymer resin. When conductive particles are added to the adhesive composition in the state of layered particles, even if the amount of conductive particles is increased, a short circuit occurs due to contact between the conductive particles because they are coated with resin. This can be further suppressed and the insulation between the electrode circuits can be improved. In addition, you may use these electroconductive particle and layered particle individually or in mixture of 2 or more types.

導電性粒子の平均粒径は分散性、導電性の観点から1〜18μmであることが好ましい。導電性粒子の配合割合は、接着剤組成物100体積%に対して0.1〜30体積%であることが好ましく、0.1〜10体積%であることが更に好ましい。この値が、0.1体積%未満であると導電性が十分に得られない傾向があり、30体積%を超えると回路の短絡が起こる傾向がある。なお、導電性粒子の配合割合(体積%)は23℃における接着剤組成物を硬化させる前の各成分の体積をもとに決定されるが、各成分の体積は比重を利用して重量から体積に換算する方法や、その成分を溶解したり膨潤させたりせず、その成分をよくぬらす適当な溶媒(水、アルコール等)を入れたメスシリンダー等の容器にその成分を投入し、増加した体積から算出する方法によって求めることができる。   The average particle diameter of the conductive particles is preferably 1 to 18 μm from the viewpoints of dispersibility and conductivity. The blending ratio of the conductive particles is preferably 0.1 to 30% by volume, more preferably 0.1 to 10% by volume with respect to 100% by volume of the adhesive composition. If this value is less than 0.1% by volume, sufficient conductivity may not be obtained, and if it exceeds 30% by volume, a short circuit tends to occur. In addition, although the mixture ratio (volume%) of electroconductive particle is determined based on the volume of each component before hardening | curing the adhesive composition in 23 degreeC, the volume of each component uses weight based on specific gravity. Increased by adding the component into a container such as a graduated cylinder containing a suitable solvent (water, alcohol, etc.) that wets the component well without dissolving or swelling the component or converting it into a volume. It can obtain | require by the method of calculating from a volume.

また、本発明の接着剤組成物には、アルコキシシラン誘導体やシラザン誘導体に代表されるカップリング剤及び密着向上剤、レベリング剤等の接着助剤を添加することが好ましい。これにより本発明の効果をより顕著に発揮することができ、更に良好な密着性や取扱性を付与することもできるようになる。具体的には、下記一般式(1)で示される化合物を添加することが好ましい。

Figure 2005320455
ここで、式中、R、R及びRはそれぞれ独立に水素、炭素数1〜5のアルキル基、炭素数1〜5のアルコキシ基、炭素数1〜5のアルコキシカルボニル基、又はアリール基を示し、Rは水素、又はメチル基を示し、nは1〜10の整数を示す。 Moreover, it is preferable to add adhesion assistants, such as a coupling agent represented by the alkoxysilane derivative and the silazane derivative, an adhesion improvement agent, and a leveling agent, to the adhesive composition of this invention. As a result, the effects of the present invention can be exhibited more remarkably, and even better adhesion and handleability can be imparted. Specifically, it is preferable to add a compound represented by the following general formula (1).
Figure 2005320455
Here, in the formula, R 1 , R 2 and R 3 are each independently hydrogen, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 5 carbon atoms, an alkoxycarbonyl group having 1 to 5 carbon atoms, or aryl. Represents a group, R 4 represents hydrogen or a methyl group, and n represents an integer of 1 to 10.

更に、この一般式(1)において、Rが炭素数1〜5のアルキル基又はアリール基であり、R及びRがそれぞれ独立に炭素数2〜3のアルコキシ基であり、nが2〜4であると接着性、及び接続抵抗により優れるため好ましい。なお、一般式(1)で表される化合物は1種を単独で用いても、2種以上を混合して用いてもよい。 Furthermore, in this general formula (1), R 1 is an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms or an aryl group, R 2 and R 3 are each independently an alkoxy group having 2 to 3 carbon atoms, and n is 2 Since it is excellent in adhesiveness and connection resistance as it is-4, it is preferable. In addition, the compound represented by General formula (1) may be used individually by 1 type, or 2 or more types may be mixed and used for it.

また、本発明の接着剤組成物は、この他にも使用目的に応じて別の材料を添加することができる。例えば、接着剤の橋架け率を向上させる接着性向上剤を併用してもよい。これにより接着強度を一層高めることができる。すなわち、(メタ)アクリロイル基を有するラジカル重合性化合物に加え、アリル基、マレイミド基、ビニル基等のラジカル重合可能な官能基を有する化合物を添加してもよい。具体的には、N−ビニルイミダゾール、N−ビニルピリジン、N−ビニルピロリドン、N−ビニルホルムアミド、N−ビニルカプロラクタム、4,4’−ビニリデンビス(N,N−ジメチルアニリン)、N−ビニルアセトアミド、N,N−ジメチルアクリルアミド、N−イソプロピルアクリルアミド、N,N−ジエチルアクリルアミドアクリルアミド等が挙げられる。なお、これらの接着性向上剤は1種を単独で用いても、2種以上を混合して用いても良い。   In addition to the above, the adhesive composition of the present invention may contain other materials depending on the purpose of use. For example, you may use together the adhesive improvement agent which improves the crosslinking rate of an adhesive agent. Thereby, adhesive strength can be raised further. That is, in addition to a radical polymerizable compound having a (meth) acryloyl group, a compound having a radical polymerizable functional group such as an allyl group, a maleimide group, or a vinyl group may be added. Specifically, N-vinylimidazole, N-vinylpyridine, N-vinylpyrrolidone, N-vinylformamide, N-vinylcaprolactam, 4,4′-vinylidenebis (N, N-dimethylaniline), N-vinylacetamide N, N-dimethylacrylamide, N-isopropylacrylamide, N, N-diethylacrylamideacrylamide and the like. In addition, these adhesive improvement agents may be used individually by 1 type, or may mix and use 2 or more types.

また、単官能(メタ)アクリレート等の流動性向上剤を併用してもよい。これにより流動性を向上させることができる。具体的には、ペンタエリスリトール(メタ)アクリレート、2−シアノエチル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニロキシエチル(メタ)アクリレート、2−(2−エトキシエトキシ)エチル(メタ)アクリレート、2−エトキシエチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、n−ヘキシル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、イソデシル(メタ)アクリレート、イソオクチル(メタ)アクリレート、n−ラウリル(メタ)アクリレート、2−メトキシエチル(メタ)アクリレート、2−フェノキシエチル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリール(メタ)アクリレート、2−(メタ)アクリロイロキシエチルホスフェート、N,N−ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート、N,N−ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート、N,N−ジメチルアミノプロピル(メタ)アクリレート、N,N−ジメチルアミノプロピル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリロイルモルホリンが挙げられる。なお、これらの流動性向上剤は1種を単独で用いても、2種以上を混合して用いても良い。   Moreover, you may use together fluidity improvers, such as a monofunctional (meth) acrylate. Thereby, fluidity | liquidity can be improved. Specifically, pentaerythritol (meth) acrylate, 2-cyanoethyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, dicyclopentenyl (meth) acrylate, dicyclopentenyloxyethyl (meth) acrylate, 2- (2- Ethoxyethoxy) ethyl (meth) acrylate, 2-ethoxyethyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, n-hexyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, Isobornyl (meth) acrylate, isodecyl (meth) acrylate, isooctyl (meth) acrylate, n-lauryl (meth) acrylate, 2-methoxyethyl (meth) acrylate, 2-phenoxyethyl ( Acrylate), tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, 2- (meth) acryloyloxyethyl phosphate, N, N-dimethylaminoethyl (meth) acrylate, N, N-dimethylaminoethyl (meth) acrylate, N, Examples thereof include N-dimethylaminopropyl (meth) acrylate, N, N-dimethylaminopropyl (meth) acrylate, and (meth) acryloylmorpholine. In addition, these fluidity improvers may be used individually by 1 type, or may mix and use 2 or more types.

更に、接着性を向上させるゴム系の材料を併用してもよい。これにより応力を緩和することもできるようになる。具体的には、ポリイソプレン、ポリブタジエン、カルボキシル基末端ポリブタジエン、水酸基末端ポリブタジエン、1,2−ポリブタジエン、カルボキシル基末端1,2−ポリブタジエン、水酸基末端1,2−ポリブタジエン、アクリルゴム、スチレン−ブタジエンゴム、水酸基末端スチレン−ブタジエンゴム、アクリロニトリル−ブタジエンゴム、カルボキシル基、水酸基、(メタ)アクリロイル基またはモルホリン基をポリマー末端に含有するアクリロニトリル−ブタジエンゴム、カルボキシル化ニトリルゴム、水酸基末端ポリ(オキシプロピレン)、アルコキシシリル基末端ポリ(オキシプロピレン)、ポリ(オキシテトラメチレン)グリコール、ポリオレフィングリコール、ポリ−ε−カプロラクトンが挙げられる。   Furthermore, a rubber-based material that improves adhesiveness may be used in combination. As a result, the stress can be relaxed. Specifically, polyisoprene, polybutadiene, carboxyl-terminated polybutadiene, hydroxyl-terminated polybutadiene, 1,2-polybutadiene, carboxyl-terminated 1,2-polybutadiene, hydroxyl-terminated 1,2-polybutadiene, acrylic rubber, styrene-butadiene rubber, Hydroxyl-terminated styrene-butadiene rubber, acrylonitrile-butadiene rubber, carboxyl group, hydroxyl group, acrylonitrile-butadiene rubber containing carboxyl group, (meth) acryloyl group or morpholine group at the polymer end, carboxylated nitrile rubber, hydroxyl-terminated poly (oxypropylene), alkoxy Examples include silyl group-terminated poly (oxypropylene), poly (oxytetramethylene) glycol, polyolefin glycol, and poly-ε-caprolactone.

なお、ゴム系の材料は、接着性向上の観点から、極性が高い官能基であるシアノ基、カルボキシル基を側鎖あるいは末端に含むゴム系の材料であることが好ましく、更に流動性向上の観点から、液状であることがより好ましい。具体的には、液状アクリロニトリル−ブタジエンゴム、カルボキシル基、水酸基、(メタ)アクリロイル基またはモルホリン基をポリマー末端に含有する液状アクリロニトリル−ブタジエンゴム、液状カルボキシル化ニトリルゴムが挙げられ、極性基であるアクリロニトリル含有量がこれらのゴム系材料全体の10〜60質量%であることが更に好ましい。なお、これらのゴム系材料は1種を単独で用いても、2種以上を混合して用いても良い。   The rubber-based material is preferably a rubber-based material containing a cyano group or a carboxyl group, which is a highly polar functional group, in the side chain or terminal from the viewpoint of improving adhesiveness, and further improving the fluidity. Therefore, it is more preferable that it is liquid. Specific examples include liquid acrylonitrile-butadiene rubber, liquid acrylonitrile-butadiene rubber containing a carboxyl group, hydroxyl group, (meth) acryloyl group or morpholine group at the polymer terminal, and liquid carboxylated nitrile rubber. Acrylonitrile which is a polar group The content is more preferably 10 to 60% by mass of the whole of these rubber-based materials. In addition, these rubber materials may be used individually by 1 type, or 2 or more types may be mixed and used for them.

更にまた、t−ブチルピロカテコール、t−ブチルフェノール、p-メトキシフェノール等に代表される重合禁止剤などの添加剤を併用してもよい。これにより貯蔵安定性を更に高めることができる。   Furthermore, an additive such as a polymerization inhibitor represented by t-butylpyrocatechol, t-butylphenol, p-methoxyphenol and the like may be used in combination. Thereby, storage stability can further be improved.

本発明の接着剤組成物は、常温で液状である場合にはペースト状にして使用することができる。常温で固体の場合には、加熱してペースト化する他、溶剤を使用してペースト化してもよい。使用できる溶剤としては、接着剤組成物と反応せず、且つ十分な溶解性を示すものであれば、特に制限はないが、常圧での沸点が50〜150℃であるものが好ましい。沸点が50℃未満であると、室温で容易に揮発する傾向があるため、密封した環境下でラジカル重合反応を行わなければならず、使用が制限される傾向にある。また、沸点が150℃を超えると、溶剤を揮発させることが難しく、接着後において十分な接着強度が得られない傾向にある。   The adhesive composition of the present invention can be used in the form of a paste when it is liquid at room temperature. When it is solid at room temperature, it may be pasted by heating, or may be pasted using a solvent. The solvent that can be used is not particularly limited as long as it does not react with the adhesive composition and exhibits sufficient solubility, but a solvent having a boiling point of 50 to 150 ° C. at normal pressure is preferable. If the boiling point is less than 50 ° C., the solvent tends to volatilize easily at room temperature, so the radical polymerization reaction must be performed in a sealed environment, and the use tends to be limited. On the other hand, if the boiling point exceeds 150 ° C., it is difficult to volatilize the solvent, and sufficient adhesive strength tends not to be obtained after bonding.

また、本発明の接着剤組成物はフィルム状にしてから用いることも可能である。このフィルムの製造方法は、接着剤組成物に溶剤を加えた混合液を、フッ素樹脂フィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、離型紙等の剥離性基材上に塗布し、あるいは不織布等の基材に混合液を含浸させて剥離性基材上に載置し、溶剤等を除去することによってフィルムを得ることができる。このように接着剤組成物をフィルム状とすると、取扱性に優れ一層便利である。   The adhesive composition of the present invention can also be used after it is formed into a film. This film is produced by applying a mixed solution obtained by adding a solvent to an adhesive composition onto a peelable substrate such as a fluororesin film, a polyethylene terephthalate film or a release paper, or a mixed solution on a substrate such as a nonwoven fabric. The film can be obtained by impregnating and placing on a peelable substrate and removing the solvent and the like. Thus, when the adhesive composition is in the form of a film, the handleability is excellent and it is more convenient.

また、本発明の接着剤組成物に導電性粒子を添加してフィルムを作製すると、異方導電性フィルムとすることができる。この異方導電性フィルムは、例えば、基板上の対向する電極間に載置し、加熱加圧することにより両電極を接着することができるとともに、電気的に接続することができる。ここで電極を形成する基板としては、半導体、ガラス、セラミック等の無機質、ポリイミド、ポリカーボネート等の有機物、ガラス/エポキシ等のこれら複合の各組み合わせが適用できる。   Moreover, when conductive particles are added to the adhesive composition of the present invention to produce a film, an anisotropic conductive film can be obtained. For example, the anisotropic conductive film is placed between opposing electrodes on the substrate, and both electrodes can be bonded and electrically connected by heating and pressurizing. Here, as the substrate on which the electrode is formed, an inorganic material such as a semiconductor, glass or ceramic, an organic material such as polyimide or polycarbonate, or a combination of these composites such as glass / epoxy can be applied.

更に、本発明の接着剤組成物は加熱及び加圧を併用して接着させることができる。加熱温度は、50〜190℃の温度が好ましい。圧力は被着体に損傷を与えない範囲であればよく、0.1〜10MPaが好ましい。これらの加熱及び加圧は、0.5秒〜120秒間の範囲で行うことが好ましい。   Furthermore, the adhesive composition of the present invention can be bonded by using both heating and pressing. The heating temperature is preferably 50 to 190 ° C. The pressure may be in a range that does not damage the adherend, and is preferably 0.1 to 10 MPa. These heating and pressurization are preferably performed in the range of 0.5 seconds to 120 seconds.

更にまた、本発明の接着剤組成物は、短時間で反応を行うことができ、貯蔵安定性にも優れることから、好適に回路接続材料として用いることができる。例えば、第1の回路部材の回路電極と第2の回路部材の回路電極とを電気的に接続する際に、これらの回路部材を対向配置した状態で、本発明の接着剤組成物を一方の回路電極に付与し、他方の回路電極とラジカル重合反応により電気的に接続させることができる。このように接着剤組成物を回路接続材料として用いると、電気的に接続を短時間で行うことができ、接続を行う際のプロセス温度や時間が変動したとしても、接着強度や接続抵抗等の特性を安定したものとすることができる。また、回路接続材料の硬化物の経時的な特性低下も抑制することができる。更に、この回路接続材料が導電性粒子を含有すれば、電気的な接続の異方性を示すことができ、回路電極用の異方導電性回路接続材料として用いることも可能である。   Furthermore, since the adhesive composition of the present invention can react in a short time and is excellent in storage stability, it can be suitably used as a circuit connecting material. For example, when electrically connecting the circuit electrode of the first circuit member and the circuit electrode of the second circuit member, the adhesive composition of the present invention is applied to one of the circuit members in a state where these circuit members are arranged to face each other. It can be applied to the circuit electrode and electrically connected to the other circuit electrode by radical polymerization reaction. Thus, when the adhesive composition is used as a circuit connection material, electrical connection can be performed in a short time, and even if the process temperature and time during connection vary, the adhesive strength, connection resistance, etc. The characteristics can be stabilized. In addition, it is possible to suppress deterioration in characteristics of the cured circuit connection material over time. Furthermore, if this circuit connection material contains conductive particles, it can exhibit anisotropy of electrical connection and can also be used as an anisotropic conductive circuit connection material for circuit electrodes.

そして、この回路接続材料は、熱膨張係数の異なる異種の被着体の回路接続材料としても使用することができる。具体的には、異方導電性接着剤、銀ペースト、銀フィルム等に代表される回路接続材料、CSP用エラストマー、CSP用アンダーフィル材、LOCテープ等に代表される半導体素子接着材料として用いることができる。   The circuit connection material can also be used as a circuit connection material for different types of adherends having different thermal expansion coefficients. Specifically, it is used as a semiconductor element adhesive material typified by anisotropic conductive adhesives, silver paste, circuit connection materials typified by silver films, CSP elastomers, CSP underfill materials, LOC tapes, etc. Can do.

(回路部材の接続構造)
次に、本発明の回路部材の接続構造の好適な実施形態について説明する。図1は、本発明の回路部材の接続構造の一実施形態を示す概略断面図である。図1に示すように、本実施形態の回路部材の接続構造1は、相互に対向する第1の回路部材20及び第2の回路部材30を備えており、第1の回路部材20と第2の回路部材30との間には、これらを電気的に接続する回路接続部材10が設けられている。 第1の回路部材20は、第1の回路基板21と、回路基板21の主面21a上に形成される第1の回路電極22とを備えている。なお、回路基板21の主面21a上には、場合により絶縁層(図示せず)が形成されていてもよい。
(Circuit member connection structure)
Next, a preferred embodiment of the circuit member connection structure of the present invention will be described. FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an embodiment of a circuit member connection structure of the present invention. As shown in FIG. 1, the circuit member connection structure 1 of the present embodiment includes a first circuit member 20 and a second circuit member 30 that face each other. Between these circuit members 30, a circuit connection member 10 is provided for electrically connecting them. The first circuit member 20 includes a first circuit board 21 and a first circuit electrode 22 formed on the main surface 21 a of the circuit board 21. Note that an insulating layer (not shown) may be formed on the main surface 21a of the circuit board 21 in some cases.

一方、第2の回路部材30は、第2の回路基板31と、第2の回路基板31の主面31a上に形成される第2の回路電極32とを備えている。また、回路基板31の主面31a上にも、場合により絶縁層(図示せず)が形成されていてもよい。   On the other hand, the second circuit member 30 includes a second circuit board 31 and a second circuit electrode 32 formed on the main surface 31 a of the second circuit board 31. In addition, an insulating layer (not shown) may be formed on the main surface 31a of the circuit board 31 according to circumstances.

第1の回路部材20及び第2の回路部材30としては、電気的接続を必要とする電極が形成されているものであれば特に制限されない。具体的には、液晶ディスプレイに用いられているITO等で電極が形成されているガラス又はプラスチック基板、プリント配線板、セラミック配線板、フレキシブル配線板、半導体シリコンチップ等が挙げられ、これらは必要に応じて組み合わせて用いることができる。このように、本実施形態では、プリント配線板やポリイミド等の有機物からなる材質をはじめ、銅、アルミニウム等の金属やITO(indium tin oxide)、窒化ケイ素(SiN)、二酸化ケイ素(SiO)等の無機材質のように多種多様な表面状態を有する回路部材を用いることができる。 The first circuit member 20 and the second circuit member 30 are not particularly limited as long as electrodes that require electrical connection are formed. Specific examples include glass or plastic substrates with electrodes formed of ITO or the like used for liquid crystal displays, printed wiring boards, ceramic wiring boards, flexible wiring boards, semiconductor silicon chips, and the like. They can be used in combination. As described above, in the present embodiment, a material made of an organic material such as a printed wiring board or polyimide, a metal such as copper or aluminum, ITO (indium tin oxide), silicon nitride (SiN x ), silicon dioxide (SiO 2 ). Circuit members having various surface states such as inorganic materials such as the above can be used.

回路接続部材10は、絶縁性物質11及び導電性粒子7を含有している。導電性粒子7は、対向する第1の回路電極22と第2の回路電極32との間のみならず、主面21aと31aとの間にも配置されている。本実施形態の回路部材の接続構造1においては、第1の回路電極22と第2の回路電極32とが、導電性粒子7を介して電気的に接続されている。このため、第1の回路電極22及び第2の回路電極32の間の接続抵抗が十分に低減される。したがって、第1の回路電極22及び第2の回路電極32の間の電流の流れを円滑にすることができ、回路の持つ機能を十分に発揮することができる。また、この導電性粒子7を上述した配合割合とすることによって電気的な接続の異方性を示すことも可能である。   The circuit connecting member 10 contains an insulating material 11 and conductive particles 7. The conductive particles 7 are disposed not only between the first circuit electrode 22 and the second circuit electrode 32 facing each other but also between the main surfaces 21a and 31a. In the circuit member connection structure 1 of the present embodiment, the first circuit electrode 22 and the second circuit electrode 32 are electrically connected via the conductive particles 7. For this reason, the connection resistance between the first circuit electrode 22 and the second circuit electrode 32 is sufficiently reduced. Therefore, the flow of current between the first circuit electrode 22 and the second circuit electrode 32 can be made smooth, and the functions of the circuit can be sufficiently exhibited. Moreover, it is also possible to show the anisotropy of electrical connection by setting the conductive particles 7 to the above-described mixing ratio.

なお、回路接続部材10が導電性粒子7を含有していない場合には、第1の回路電極22及び第2の回路電極32の間に所望の量の電流が流れるように、それらを直接接触させるか若しくは十分に近づけることで電気的に接続される。   In addition, when the circuit connection member 10 does not contain the conductive particles 7, they are in direct contact with each other so that a desired amount of current flows between the first circuit electrode 22 and the second circuit electrode 32. It is electrically connected by making it close or sufficiently close.

回路接続部材10は上記接着剤組成物を含む回路接続材料の硬化物により構成されていることから、第1の回路部材20又は第2の回路部材30に対する回路接続部材10の接着強度が十分に高くなり、この状態を長期間にわたって持続させることができる。したがって、第1の回路電極22及び第2の回路電極32間の電気特性の長期信頼性を十分に高めることが可能となる。   Since the circuit connection member 10 is composed of a cured product of a circuit connection material containing the adhesive composition, the adhesive strength of the circuit connection member 10 to the first circuit member 20 or the second circuit member 30 is sufficient. It becomes high and this state can be maintained for a long time. Therefore, the long-term reliability of the electrical characteristics between the first circuit electrode 22 and the second circuit electrode 32 can be sufficiently increased.

(半導体装置)
次に、本発明の半導体装置の実施形態について説明する。図2は、本発明の半導体装置の一実施形態を示す概略断面図である。図2に示すように、本実施形態の半導体装置2は、半導体素子50と、半導体の支持部材となる基板60とを備えており、半導体素子50及び基板60の間には、これらを電気的に接続する半導体素子接続部材40が設けられている。また、半導体素子接続部材40は基板60の主面60a上に積層され、半導体素子50は更にその半導体素子接続部材40上に積層されている。
(Semiconductor device)
Next, embodiments of the semiconductor device of the present invention will be described. FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing an embodiment of the semiconductor device of the present invention. As shown in FIG. 2, the semiconductor device 2 of the present embodiment includes a semiconductor element 50 and a substrate 60 serving as a semiconductor support member, and these are electrically connected between the semiconductor element 50 and the substrate 60. A semiconductor element connection member 40 is provided to connect to the semiconductor element. The semiconductor element connection member 40 is stacked on the main surface 60 a of the substrate 60, and the semiconductor element 50 is further stacked on the semiconductor element connection member 40.

基板60は回路パターン61を備えており、回路パターン61は、基板60の主面60a上で半導体接続部材40を介して又は直接に半導体素子50と電気的に接続されている。そして、これらが封止材70により封止され、半導体装置2が形成される。   The substrate 60 includes a circuit pattern 61, and the circuit pattern 61 is electrically connected to the semiconductor element 50 via the semiconductor connection member 40 on the main surface 60 a of the substrate 60 or directly. And these are sealed with the sealing material 70, and the semiconductor device 2 is formed.

半導体素子50の材料としては特に制限されないが、シリコン、ゲルマニウムの4族の半導体素子、GaAs、InP、GaP、InGaAs、InGaAsP、AlGaAs、InAs、GaInP、AlInP、AlGaInP、GaNAs、GaNP、GaInNAs、GaInNP、GaSb、InSb、GaN、AlN、InGaN、InNAsPなどのIII-V族化合物半導体素子、HgTe、HgCdTe、CdMnTe、CdS、CdSe、MgSe、MgS、ZnSe、ZeTeなどのII-VI族化合物半導体素子、そして、CuInSe(ClS)などの種々のものを用いることができる。   The material of the semiconductor element 50 is not particularly limited, but silicon, germanium group 4 semiconductor element, GaAs, InP, GaP, InGaAs, InGaAsP, AlGaAs, InAs, GaInP, AlInP, AlGaInP, GaNAs, GaNP, GaInNAs, GaInNP, III-V group compound semiconductor devices such as GaSb, InSb, GaN, AlN, InGaN, InNAsP, II-VI group compound semiconductor devices such as HgTe, HgCdTe, CdMnTe, CdS, CdSe, MgSe, MgS, ZnSe, ZeTe, and Various materials such as CuInSe (ClS) can be used.

半導体素子接続部材40は、絶縁性物質11及び導電性粒子7を含有している。導電性粒子7は、半導体素子50と回路パターン61との間のみならず、半導体素子50と主面60aとの間にも配置されている。本実施形態の半導体装置2においては、半導体素子50と回路パターン61とが、導電性粒子7を介して電気的に接続されている。このため、半導体素子50及び回路パターン61間の接続抵抗が十分に低減される。したがって、半導体素子50及び回路パターン61間の電流の流れを円滑にすることができ、半導体の有する機能を十分に発揮することができる。また、この導電性粒子7を上述した配合割合とすることによって電気的な接続の異方性を示すことも可能である。   The semiconductor element connection member 40 contains the insulating substance 11 and the conductive particles 7. The conductive particles 7 are disposed not only between the semiconductor element 50 and the circuit pattern 61 but also between the semiconductor element 50 and the main surface 60a. In the semiconductor device 2 of the present embodiment, the semiconductor element 50 and the circuit pattern 61 are electrically connected via the conductive particles 7. For this reason, the connection resistance between the semiconductor element 50 and the circuit pattern 61 is sufficiently reduced. Therefore, the current flow between the semiconductor element 50 and the circuit pattern 61 can be made smooth, and the functions of the semiconductor can be fully exhibited. Moreover, it is also possible to show the anisotropy of electrical connection by setting the conductive particles 7 to the above-described mixing ratio.

なお、半導体素子接続部材40が導電性粒子7を含有していない場合には、半導体素子50と回路パターン61とを所望の量の電流が流れるように直接接触させるか若しくは十分に近づけることで電気的に接続される。   When the semiconductor element connecting member 40 does not contain the conductive particles 7, the semiconductor element 50 and the circuit pattern 61 are brought into direct contact with each other so that a desired amount of current flows or sufficiently close to the electric current. Connected.

半導体素子接続部材40は上記接着剤組成物を含む接着剤組成物の硬化物により構成されていることから、半導体素子50及び基板60に対する半導体素子接続部材40の接着強度が十分に高くなり、この状態を長期間にわたって持続させることができる。したがって、半導体素子50及び基板60間の電気特性の長期信頼性を十分に高めることが可能となる。   Since the semiconductor element connection member 40 is composed of a cured product of the adhesive composition containing the adhesive composition, the bonding strength of the semiconductor element connection member 40 to the semiconductor element 50 and the substrate 60 is sufficiently high. The state can be sustained for a long time. Therefore, the long-term reliability of the electrical characteristics between the semiconductor element 50 and the substrate 60 can be sufficiently increased.

以下に、本発明を実施例に基づいて具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be specifically described based on examples, but the present invention is not limited thereto.

(導電性粒子の調整)
ポリスチレン粒子の表面に、厚さ0.2μmになるようにニッケル層を設け、更にこのニッケル層の外側に、厚さ0.02μmになるように金層を設け、平均粒径4μm、比重2.5の導電性粒子を作製した。
(Adjustment of conductive particles)
A nickel layer is provided on the surface of the polystyrene particles so as to have a thickness of 0.2 μm, and a gold layer is provided outside the nickel layer so as to have a thickness of 0.02 μm. 5 conductive particles were produced.

[実施例1]
フェノキシ樹脂(平均分子量45000、ユニオンカーバイト社製、商品名:PKHC)50質量部を、メチルエチルケトン75質量部に溶解して、固形分40質量%の溶液とした。
[Example 1]
50 parts by mass of phenoxy resin (average molecular weight 45000, manufactured by Union Carbide, trade name: PKHC) was dissolved in 75 parts by mass of methyl ethyl ketone to obtain a solution having a solid content of 40% by mass.

そして、この溶液にラジカル重合性化合物として、イソシアヌル酸EO変性ジアクリレート(東亜合成社製、商品名:M−215)を25質量部、ウレタンアクリレート(共栄社化学社製、商品名:AT−600)を20質量部、2−(メタ)アクリロイロキシエチルホスフェート(共栄社化学社製、商品名:ライトエステルP−2M)を5質量部、ラジカル重合開始剤としてt−ヘキシルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート(1分間半減期温度132.6℃、日本油脂社製、商品名:パーヘキシルO)を1.5質量部、t−ヘキシルパーオキシベンゾエート(1分間半減期温度160.3℃、日本油脂社製、商品名:パーヘキシルZ)を1.5質量部配合した。得られた混合液に導電性粒子を1.5体積%となるように配合分散させ、接着剤組成物Aを得た。   And as a radically polymerizable compound in this solution, 25 parts by mass of isocyanuric acid EO-modified diacrylate (manufactured by Toa Gosei Co., Ltd., trade name: M-215), urethane acrylate (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd., trade name: AT-600) 20 parts by mass, 5- (meth) acryloyloxyethyl phosphate (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd., trade name: Light Ester P-2M) as a radical polymerization initiator, t-hexylperoxy-2-ethylhexa 1.5 parts by weight of noate (1 minute half-life temperature 132.6 ° C., manufactured by NOF Corporation, trade name: Perhexyl O), t-hexyl peroxybenzoate (1 minute half-life temperature 160.3 ° C., NOF 1.5 parts by mass of trade name: Perhexyl Z) Conductive particles were blended and dispersed in the obtained mixture so as to be 1.5% by volume to obtain an adhesive composition A.

次いで、得られた接着剤組成物Aを、片面を表面処理した厚さ80μmのフッ素樹脂フィルムに公知の塗工装置を用いて塗布し、70℃で10分間熱風乾燥を行うことにより、層の厚さが15μmのフィルム状回路接続材Aを得た。   Next, the obtained adhesive composition A was applied to a fluororesin film having a thickness of 80 μm with one side surface-treated using a known coating apparatus, followed by hot-air drying at 70 ° C. for 10 minutes, A film-like circuit connecting material A having a thickness of 15 μm was obtained.

[実施例2]
ラジカル重合開始剤であるt−ヘキシルパーオキシ−2−エチルヘキサノエートの配合割合を1質量部とし、t−ヘキシルパーオキシベンゾエートの配合割合を2質量部とした以外は実施例1と同様にして、フィルム状回路接続材Bを得た。
[Example 2]
Except that the blending ratio of the radical polymerization initiator t-hexylperoxy-2-ethylhexanoate was 1 part by mass and the blending ratio of t-hexylperoxybenzoate was 2 parts by mass, the same as in Example 1. Thus, a film-like circuit connecting material B was obtained.

[比較例1]
ラジカル重合開始剤であるt−ヘキシルパーオキシ−2−エチルヘキサノエートの配合割合を3質量部とし、t−ヘキシルパーオキシベンゾエートを用いない以外は実施例1と同様にして、フィルム状回路接続材Cを得た。
[Comparative Example 1]
A film-like circuit connection was carried out in the same manner as in Example 1 except that the blending ratio of t-hexylperoxy-2-ethylhexanoate as a radical polymerization initiator was 3 parts by mass and t-hexylperoxybenzoate was not used. Material C was obtained.

[比較例2]
ラジカル重合開始剤であるt−ヘキシルパーオキシ−2−エチルヘキサノエートを用いず、t−ヘキシルパーオキシベンゾエートの配合割合を3質量部とした以外は実施例1と同様にして、フィルム状回路接続材Dを得た。
[Comparative Example 2]
A film-like circuit was obtained in the same manner as in Example 1 except that the radical polymerization initiator t-hexylperoxy-2-ethylhexanoate was not used and the blending ratio of t-hexylperoxybenzoate was changed to 3 parts by mass. Connection material D was obtained.

[比較例3]
ラジカル重合開始剤として、t−ヘキシルパーオキシ−2−エチルヘキサノエート及びt−ヘキシルパーオキシベンゾエートの代わりにジイソプロピルパーオキシジカーボネート(1分間半減期温度88.3℃、日本油脂社製、商品名:パーロイルIPP)を3質量部配合した以外は実施例1と同様にして、フィルム状回路接続材Eを得た。
[Comparative Example 3]
As radical polymerization initiator, instead of t-hexylperoxy-2-ethylhexanoate and t-hexylperoxybenzoate, diisopropyl peroxydicarbonate (1-minute half-life temperature 88.3 ° C, manufactured by NOF Corporation, product A film-like circuit connecting material E was obtained in the same manner as in Example 1 except that 3 parts by mass of name: Parroyl IPP) was blended.

(評価方法1)
〔接続抵抗の測定〕
上記製法によって得られたフィルム状回路接続材A〜Dを用いて、ライン幅25μm、ピッチ50μm、厚さ18μmの銅回路配線を500本有するフレキシブル回路板(FPC)と、0.2μmの酸化インジウム(ITO)の薄層を形成したガラス(厚さ1.1mm、表面抵抗20Ω/□)とを、熱圧着装置(加熱方式:コンスタントヒート型、東レエンジニアリング社製)により幅2mmにわたり電気的に接続した。この際の加熱加圧の条件は、加熱温度を160℃、170℃、190℃、加圧圧力を3MPa、加熱加圧時間を15秒間とした。この電気的に接続した回路間の抵抗値を、接着直後、及び85℃、85%RHの高温高湿槽中に120時間保持した後にマルチメータを用いて測定した。抵抗値は隣接する回路間の抵抗150点の平均(x+3σ)で示した。得られた結果を表1に示す。
(Evaluation method 1)
(Measurement of connection resistance)
A flexible circuit board (FPC) having 500 copper circuit wires having a line width of 25 μm, a pitch of 50 μm, and a thickness of 18 μm, and 0.2 μm of indium oxide, using the film-like circuit connecting materials A to D obtained by the above-described manufacturing method. Electrically connected to a glass (thickness 1.1 mm, surface resistance 20 Ω / □) formed with a thin layer of (ITO) over a width of 2 mm by a thermocompression bonding device (heating method: constant heat type, manufactured by Toray Engineering Co., Ltd.) did. The heating and pressing conditions at this time were 160 ° C., 170 ° C. and 190 ° C., a heating pressure of 3 MPa, and a heating and pressing time of 15 seconds. The resistance value between the electrically connected circuits was measured using a multimeter immediately after bonding and after being held in a high-temperature and high-humidity bath at 85 ° C. and 85% RH for 120 hours. The resistance value was expressed as an average (x + 3σ) of 150 resistances between adjacent circuits. The obtained results are shown in Table 1.

(評価方法2)
〔接着強度の測定〕
上記製法によって得られたフィルム状回路接続材A〜Dの接着強度をJIS−Z0237に準じて90度剥離法で測定し評価した。ここで、接着強度の測定装置はテンシロンUTM−4(剥離速度50mm/min、25℃、東洋ボールドウィン社製)を使用した。得られた結果を表2に示す。

Figure 2005320455
(Evaluation method 2)
(Measurement of adhesive strength)
The adhesive strength of the film-like circuit connecting materials A to D obtained by the above production method was measured and evaluated by a 90-degree peeling method according to JIS-Z0237. Here, Tensilon UTM-4 (peeling speed 50 mm / min, 25 ° C., manufactured by Toyo Baldwin) was used as an adhesive strength measuring device. The obtained results are shown in Table 2.
Figure 2005320455

実施例1、2のフィルム状回路接続材A及びBは、加熱温度160〜190℃において、接着直後及び85℃、85%RHの高温高湿槽中に120時間保持した後であっても、良好な接続抵抗及び接着強度を示し、広域の加熱温度に対して良好な特性を示すことが分かった。これに対して、本発明によらない比較例1のフィルム状回路接続材Cでは、170℃加熱時の85℃、85%RH、120時間保持後、及び190℃加熱時で接続抵抗が高くなり、かつ接着強度は接着直後、及び85℃、85%RHの高温高湿槽中に120時間保持した後とも実施例1、2と比較して低い値を示した。更に、比較例2のフィルム状回路接続材Dでは160〜170℃加熱時の接続抵抗が高くなり、さらに接着強度が低い値を示した。   Even when the film-like circuit connecting materials A and B of Examples 1 and 2 were heated at a temperature of 160 to 190 ° C. and immediately after being held in a high-temperature and high-humidity tank at 85 ° C. and 85% RH for 120 hours, It was found that good connection resistance and adhesive strength were exhibited, and good characteristics were exhibited over a wide range of heating temperatures. On the other hand, in the film-like circuit connecting material C of Comparative Example 1 that is not according to the present invention, the connection resistance is increased after holding at 85 ° C. and 85% RH for 120 hours at 170 ° C. and after heating at 190 ° C. And the adhesive strength showed a low value compared with Example 1, 2 immediately after adhesion | attachment, and after hold | maintaining for 120 hours in a 85 degreeC and 85% RH high-temperature / humidity tank. Furthermore, in the film-like circuit connecting material D of Comparative Example 2, the connection resistance when heated at 160 to 170 ° C. was high, and the adhesive strength was low.

(評価方法3)
実施例1及び比較例3で得られたフィルム状回路接続材A及びEを、真空包装材に収容し、40℃で3日間放置した後、FPC及びITOを上述の加熱圧着装置により160℃、3MPa、10秒間の条件下で加熱圧着を行った。得られたフィルムについて評価方法1及び2に準じて接続抵抗と接着強度を測定した。その結果を表2に示す。

Figure 2005320455
(Evaluation method 3)
The film-like circuit connecting materials A and E obtained in Example 1 and Comparative Example 3 were accommodated in a vacuum packaging material and allowed to stand at 40 ° C. for 3 days. Thermocompression bonding was performed under conditions of 3 MPa for 10 seconds. The connection resistance and adhesive strength of the obtained film were measured according to Evaluation Methods 1 and 2. The results are shown in Table 2.
Figure 2005320455

表2において、実施例1のフィルム状回路接続材Aは、40℃放置前後において、良好な接続抵抗及び接着強度を示し、貯蔵安定性に優れることが分かった。これに対して、本発明によらない比較例3のフィルム状回路接続材Eでは、40℃、3日放置後に接続抵抗が上昇し、かつ接着強度が半減し、安定性が良好ではないことが分かった。   In Table 2, it turned out that the film-form circuit connection material A of Example 1 shows favorable connection resistance and adhesive strength before and behind leaving at 40 degreeC, and is excellent in storage stability. On the other hand, in the film-like circuit connecting material E of Comparative Example 3 not according to the present invention, the connection resistance increases after leaving at 40 ° C. for 3 days, the adhesive strength is reduced by half, and the stability is not good. I understood.

本発明の回路部材の接続構造の一実施形態を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows one Embodiment of the connection structure of the circuit member of this invention. 本発明の半導体装置の一実施形態を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows one Embodiment of the semiconductor device of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1・・・回路部材の接続構造、2・・・半導体装置、7・・・導電性粒子、10・・・回路接続部材、11・・・絶縁性物質、20・・・第1の回路部材、21・・・第1の回路基板、22・・・第1の回路電極、30・・・第2の回路部材、31・・・第2の回路基板、32・・・第2の回路電極、40・・・半導体素子接続部材、50・・・半導体素子、60・・・基板、61・・・回路パターン、70・・・封止材。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Connection structure of a circuit member, 2 ... Semiconductor device, 7 ... Conductive particle, 10 ... Circuit connection member, 11 ... Insulative substance, 20 ... 1st circuit member , 21 ... 1st circuit board, 22 ... 1st circuit electrode, 30 ... 2nd circuit member, 31 ... 2nd circuit board, 32 ... 2nd circuit electrode 40 ... Semiconductor element connecting member, 50 ... Semiconductor element, 60 ... Substrate, 61 ... Circuit pattern, 70 ... Sealing material.

Claims (11)

熱可塑性樹脂と、ラジカル重合性化合物と、1分間半減期温度が90〜145℃である第1のラジカル重合開始剤と、1分間半減期温度が150〜175℃である第2のラジカル重合開始剤と、を含有することを特徴とする接着剤組成物。   A thermoplastic resin, a radically polymerizable compound, a first radical polymerization initiator having a one-minute half-life temperature of 90 to 145 ° C., and a second radical polymerization start having a one-minute half-life temperature of 150 to 175 ° C. And an adhesive composition. 前記ラジカル重合性化合物が分子内に2つ以上の(メタ)アクリロイル基を有することを特徴とする請求項1記載の接着剤組成物。   The adhesive composition according to claim 1, wherein the radically polymerizable compound has two or more (meth) acryloyl groups in the molecule. 前記第1のラジカル重合開始剤及び前記第2のラジカル重合開始剤が、共に分子量180〜1000のパーオキシエステル誘導体であることを特徴とする請求項1又は2に記載の接着剤組成物。   The adhesive composition according to claim 1 or 2, wherein both the first radical polymerization initiator and the second radical polymerization initiator are peroxyester derivatives having a molecular weight of 180 to 1000. 前記熱可塑性樹脂100質量部に対して、前記ラジカル重合性化合物を50〜250質量部含有し、且つ前記第1のラジカル重合開始剤及び前記第2のラジカル重合開始剤をそれぞれ0.05〜30質量部含有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の接着剤組成物。   The radically polymerizable compound is contained in an amount of 50 to 250 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the thermoplastic resin, and the first radical polymerization initiator and the second radical polymerization initiator are respectively added in an amount of 0.05 to 30. The adhesive composition according to any one of claims 1 to 3, wherein the adhesive composition is contained in parts by mass. 更に導電性粒子を含有することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の接着剤組成物。   Furthermore, electroconductive particle is contained, The adhesive composition as described in any one of Claims 1-4 characterized by the above-mentioned. 前記熱可塑性樹脂100質量部に対して、前記導電性粒子を0.5〜30質量部含有することを特徴とする請求項5記載の接着剤組成物。   The adhesive composition according to claim 5, wherein 0.5 to 30 parts by mass of the conductive particles are contained with respect to 100 parts by mass of the thermoplastic resin. 対向する回路電極同士を電気的に接続するための回路接続材料であって、
前記回路接続材料が請求項1〜6のいずれか一項に記載の接着剤組成物を含有することを特徴とする回路接続材料。
A circuit connection material for electrically connecting opposing circuit electrodes,
The said circuit connection material contains the adhesive composition as described in any one of Claims 1-6, The circuit connection material characterized by the above-mentioned.
請求項1〜6のいずれか一項に記載の接着剤組成物をフィルム状に形成してなることを特徴とするフィルム状接着剤。   A film adhesive comprising the adhesive composition according to any one of claims 1 to 6 formed into a film. 請求項7記載の回路接続材料をフィルム状に形成してなることを特徴とするフィルム状回路接続材。   A film-like circuit connecting material, wherein the circuit connecting material according to claim 7 is formed into a film shape. 第1の回路基板の主面上に第1の回路電極が形成された第1の回路部材と、
第2の回路基板の主面上に第2の回路電極が形成された第2の回路部材と、
前記第1の回路基板の主面と前記第2の回路基板の主面との間に設けられ、前記第1の回路電極と前記第2の回路電極とを対向配置させた状態で電気的に接続する回路接続部材と、
を備える回路部材の接続構造であって、
前記回路接続部材は、請求項7記載の回路接続材料の硬化物であることを特徴とする回路部材の接続構造。
A first circuit member having a first circuit electrode formed on the main surface of the first circuit board;
A second circuit member having a second circuit electrode formed on the main surface of the second circuit board;
It is provided between the main surface of the first circuit board and the main surface of the second circuit board, and is electrically in a state where the first circuit electrode and the second circuit electrode are arranged to face each other. A circuit connection member to be connected;
A circuit member connection structure comprising:
8. The circuit member connection structure according to claim 7, wherein the circuit connection member is a cured product of the circuit connection material according to claim 7.
半導体素子と、
前記半導体素子を搭載する基板と、
前記半導体素子及び前記基板間に設けられ、前記半導体素子及び前記基板を電気的に接続する半導体素子接続部材と、
を備える半導体装置であって、
前記半導体素子接続部材は、請求項1〜6のいずれか一項に記載の接着剤組成物の硬化物であることを特徴とする半導体装置。
A semiconductor element;
A substrate on which the semiconductor element is mounted;
A semiconductor element connecting member provided between the semiconductor element and the substrate and electrically connecting the semiconductor element and the substrate;
A semiconductor device comprising:
The said semiconductor element connection member is a hardened | cured material of the adhesive composition as described in any one of Claims 1-6, The semiconductor device characterized by the above-mentioned.
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