JP2005315997A - 光走査装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】 偏光方向が不揃いである複数のビームで走査する感光体上の光量差を抑制する。
【解決手段】 光走査装置10では、回転多面鏡32で偏向された複数のビームを反射する複数のミラー36へのビームの入射角度を、複数のミラー36のS偏光とP偏光との反射率差の累積が光量補正機能を備える場合で20%以下、光量補正機能を備えない場合で10%以下となるように設定する。
【選択図】 図5

Description

本発明は、複数の発光点を有する光源から射出された複数のビームで被走査面を走査する光走査装置に関する。
近年のレーザービームプリンタでは、高速高密度の画像形成を行うために、複数の発光点から複数のビームを射出する所謂面発光レーザーが光源として用いられているが、この面発光レーザーから射出される複数のビームは偏光方向が不揃いである場合がある。また、このビームを折り返して走査面に入射させるミラーは、ビームの偏光方向によって反射率が異なる。このため、走査面の光量が各ビーム毎に異なり、濃度ムラや横筋等の画像不良が発生するという問題がある。
この問題を解決する方法は、従来から考案されている(例えば、特許文献1参照)。この特許文献1では、複数のミラーへのビームの入射角度を同一角度とし、複数のミラーの法線方向を逆方向として、被走査面における光量差を複数のミラーで相殺する方法、又は、ミラーとウインドーへのビームの入射角度を同一角度にすることで、被走査面における光量差をミラーとウインドーで相殺する方法が開示されている。
しかし、図23に示すように、2枚のミラーへのビームの入射角度は45°で同一、1枚は35°とし、複数のミラーの法線方向を逆方向とした構成では、図6に示すように光量差が大きくなり、許容できるレベルをはるかに超えた濃度ムラや横筋が発生した。
特開2002−23083号公報
本発明は上記事実を考慮してなされたものであり、偏光方向が不揃いである複数のビームで走査された被走査面での光量差、及び、偏光方向が不揃いである複数のビームが入射するSOSセンサや光量モニタセンサ等での光量差を抑制することを目的とする。
請求項1に記載の光走査装置は、偏光方向が不揃いで発光量が同一である複数のビームを射出する光源と、前記光源から射出されたビームを被走査面に向けて偏向する偏向手段と、前記偏向手段で偏向されたビームを複数回折り返して前記被走査面又はSOSセンサに入射させる複数のミラーと、を備える光走査装置であって、前記ミラーによるS偏光とP偏光との反射率差の累積が20%以下となるように、各ミラーへのビームの入射角度を設定したことを特徴とする。
請求項1に記載の光走査装置では、光源から射出された複数のビームが、偏向手段で被走査面に向けて偏向され、そして、複数のミラーによって複数回折り返されて被走査面又はSOSセンサに入射される。
ここで、光源から射出された複数のビームの偏光方向が不揃いであるため、各ビーム毎にミラーの反射率が異なる。このため、光源から射出された複数のビームの発光量が同一であっても、被走査面又はSOSセンサ又はモニタセンサにおいて光量差が生じる。
ところで、被走査面における光量差が20%以下であれば、画像に出来る横筋を許容できるレベルまで抑制できることが確認されている(詳細は後述する)。また、SOSセンサにおける光量差を20%以下に抑制すれば、SOSセンサの同期タイミングの変化を防止できる。
このため、複数のミラーによるS偏光とP偏光との反射率差((S偏光の反射率−P偏光の反射率)/P偏光の反射率)の累積が20%以下となるように、各ミラーへのビームの入射角度を設定することで、光源から射出される発光量が同一である複数のビームが走査された被走査面又はSOSセンサでの光量差を20%以下に抑制している。
なお、被走査面において各走査線内の主走査方向の光量差が10%を越えると濃度ムラが許容レベルを越える。ミラーの中央部と両端部とでS偏光とP偏光との反射率差(以下、反射率差と言う)が発生するので、許容レベル以下にする必要がある。
しかし、光量モニタセンサからの検出信号に基づいて各発光点毎に光量を補正する光量補正機能を有する場合は、ミラーの中央部と両端部との反射率差の影響が被走査面内の光量差に及ばないので、ミラーへのビームの副走査方向の入射角度が中央部と両端部とで同一である時と同様、各ミラーへのビームの入射角度を、横筋を許容レベルまで抑制できる値である20°以下に設定すれば良い。
請求項2に記載の光走査装置は、請求項1に記載の光走査装置であって、前記ミラーが2枚設けられ、2枚の前記ミラーへのビームの副走査方向の入射角度を共に48°以下としたことを特徴とする。
ミラーへのビームの副走査方向の入射角度が48°以下である時、ミラーの反射率差が10%以下になることが後述する実験で確認されている(図12のグラフ参照)。
このため、請求項2に記載の光走査装置では、2枚のミラーへのビームの副走査方向の入射角度を共に48°以下とすることで、2枚のミラーの反射率差の累積を20%以下としている。
請求項3に記載の光走査装置は、請求項1に記載の光走査装置であって、前記ミラーが2枚設けられ、前記ミラーへのビームの副走査方向の入射角度を1枚は45°以上55°以下、他の1枚は38°以下としたことを特徴とする。
レイアウトの制約等により、請求項2のように2枚のミラーへのビームの副走査方向の入射角度のうち、1枚を例えば45°以上に大きくしたい場合がある。このような場合、ビームの副走査方向の入射角度が大きいミラーと小さいミラーとを組合せて2枚のミラーの反射率差の累積を20%以下とする。この組合せとして、例えば、1枚のミラーへのビームの副走査方向の入射角度を60°とした場合、ミラーの反射率差が18%(図12のグラフ参照)になるので、他の1枚のミラーの反射率差は2%以下にすれば良い。しかし、ミラーの製造バラツキ等が原因で、他の1枚のミラーの反射率差を2%以下にできずに、2枚のミラーの反射率差の累積が20%を超えてしまう可能性がある。
そこで、請求項3に記載の光走査装置では、1枚のミラーへのビームの副走査方向の入射角度を45°以上55°以下として、1枚のミラーの反射率差を14%以下とし、他の1枚の反射率差を6%まで許容している。従って、他の1枚のミラーへのビームの副走査方向の入射角度は、ミラーの反射率差が6%以下となる38°以下としている。
請求項4に記載の光走査装置は、請求項1に記載の光走査装置であって、前記ミラーが3枚設けられ、3枚の前記ミラーへのビームの副走査方向の入射角度を全て38°以下としたことを特徴とする。
ミラーへのビームの副走査方向の入射角度が38°以下である時、ミラーの反射率差が6%以下になることが後述する実験で確認されている(図12のグラフ参照)。
このため、請求項4に記載の光走査装置では、3枚のミラーへのビームの副走査方向の入射角度を全て38°以下とすることで、3枚のミラーの反射率差の累積を18%以下としている。
請求項5に記載の光走査装置は、請求項1に記載の光走査装置であって、前記ミラーが3枚設けられ、前記ミラーへのビームの副走査方向の入射角度を1枚は45°以上55°以下、他の2枚は25°以下としたことを特徴とする。
ミラーへのビームの副走査方向の入射角度が55°以下である時、ミラーの反射率差が14%以下となり、ミラーへのビームの副走査方向の入射角度が25°以下である時、ミラーの反射率差が2%以下となることが後述する実験で確認されている(図12のグラフ参照)。
このため、請求項5に記載の光走査装置では、3枚のミラーへのビームの副走査方向の入射角度を、1枚は45°以上55°以下とし、他の2枚は25°以下とすることで、3枚のミラーの反射率差の累積を18%以下としている。
請求項6に記載の光走査装置は、請求項1に記載の光走査装置であって、前記ミラーが4枚設けられ、4枚の前記ミラーへのビームの副走査方向の入射角度を全て35°以下としたことを特徴とする。
ミラーへのビームの副走査方向の入射角度が35°以下である時、ミラーの反射率差が4.5%以下となることが後述する実験で確認されている(図12のグラフ参照)。
このため、請求項6に記載の光走査装置では、4枚のミラーへのビームの副走査方向の入射角度を全て35°以下とし、4枚のミラーの反射率差の累積を18%以下としている。
請求項7に記載の光走査装置は、請求項1に記載の光走査装置であって、前記ミラーが4枚設けられ、前記ミラーへのビームの副走査方向の入射角度を1枚は45°以上55°以下、他の3枚は20°以下としたことを特徴とする。
ミラーへのビームの副走査方向の入射角度が55°以下である時、ミラーの反射率差が14%以下となり、ミラーへのビームの副走査方向の入射角度が20°以下である時、ミラーの反射率差が1.5%以下となることが後述する実験で確認されている(図12のグラフ参照)。
このため、請求項7に記載の光走査装置では、4枚のミラーへのビームの副走査方向の入射角度を、1枚は45°以上55°以下とし、他の3枚は20°以下とすることで、3枚のミラーの反射率差の累積を18.5%以下としている。
請求項8に記載の光走査装置は、偏光方向が不揃いで発光量が同一である複数のビームを射出する光源と、前記光源から射出されたビームを被走査面に向けて偏向する偏向手段と、前記偏向手段で偏向されたビームを複数回折り返して前記被走査面又はSOSセンサに入射させる複数のミラーと、を備える光走査装置であって、前記ミラーの中央部と両端部へのビームの副走査方向の入射角度差により発生する前記ミラーによるS偏光とP偏光との反射率差の累積が10%以下となるように、各ミラーへのビームの入射角度を設定したことを特徴とする。
ミラーへのビームの副走査方向の入射角度が中央部と両端部とで異なると、ミラーの中央部と両端部とで反射率差が異なる。即ち、各ミラー内で反射率差が不均一になるので、被走査面において各走査線内での光量分布が不均一になる。
ここで、被走査面において各走査線内の光量差が10%以下である時、濃度ムラが許容できるレベルまで抑制されることが確認されている。このため、請求項8に記載の光走査装置では、複数のミラーによる反射率差の累積が10%以下となるように、各ミラーへのビームの入射角度を設定することで、光源から射出される発光量が同一である複数のビームが走査された被走査面又はSOSセンサの光量差を10%以下に抑制している。これによって、上述した光量補正機能を備えなくても、濃度ムラを許容レベルまで抑制でき、また、横筋についても許容レベルまで抑制できる。
請求項9に記載の光走査装置は、請求項8に記載の光走査装置であって、前記ミラーが2枚設けられ、2枚の前記ミラーへのビームの入射角度を全て主走査方向を25°以下、中央部での副走査方向を48°以下としたことを特徴とする。
ミラーへのビームの入射角度を、主走査方向を25°、中央部での副走査方向を48°とした時、ミラー端部へのビームの副走査方向の入射角度は53°となる(図10のグラフ参照)。また、ミラーへのビームの副走査方向の入射角度が53°の時と48°の時のミラーの反射率差は、それぞれ13%と10%となり、各ミラー内での反射率差は3%となる(図12のグラフ参照)。
このため、請求項9に記載の光走査装置では、2枚のミラーへのビームの入射角度を全て主走査方向を25°以下、ミラー中央部での副走査方向を48°以下とすることで、2枚のミラーによる反射率差の累積を6%以下とし、横筋や濃度ムラを許容レベルまで抑制している。
請求項10に記載の光走査装置は、請求項8に記載の光走査装置であって、前記ミラーが2枚設けられ、前記ミラーへのビームの入射角度を1枚は主走査方向を25°以下、中央部での副走査方向を45°以上55°以下、他の1枚は主走査方向を25°以下、中央部での副走査方向を38°以下としたことを特徴とする。
ミラーへのビームの入射角度を、主走査方向を25°、中央部での副走査方向を55°とした時、ミラー端部へのビームの副走査方向の入射角度は60°となる(図10のグラフ参照)。また、ミラーへのビームの副走査方向の入射角度が60°の時と55°の時のミラーの反射率差は、それぞれ18%と14%となり、各ミラー内での反射率差は4%となる(図12のグラフ参照)。また、ミラー中央部へのビームの入射角度を、主走査方向を25°、中央部での副走査方向を38°とした時、ミラー端部へのビームの副走査方向の入射角度は45°となり、ミラーへのビームの副走査方向の入射角度が45°の時と38°の時のミラーの反射率差は、それぞれ9%と6%となり、各ミラー内での反射率差は3%となる。
このため、請求項10に記載の光走査装置では、2枚のミラーへのビームの入射角度を、1枚は主走査方向で25°以下、ミラー中央部での副走査方向を55°以下、他の1枚は主走査方向を25°以下、ミラー中央部での副走査方向を38°以下とすることで、2枚のミラーの反射率差の累積を7%以下とし、横筋や濃度ムラを許容レベルまで抑制している。
請求項11に記載の光走査装置は、請求項8に記載の光走査装置であって、前記ミラーが3枚設けられ、3枚の前記ミラーへのビームの入射角度を全て主走査方向を25°以下、中央部での副走査方向を32°以下としたことを特徴とする。
ミラーへのビームの入射角度を、主走査方向を25°、中央部での副走査方向を32°とした時、ミラー端部へのビームの副走査方向の入射角度は40°となる(図10のグラフ参照)。また、ミラーへのビームの副走査方向の入射角度が40°の時と25°の時のミラーの反射率差は、それぞれ7%と4%となり、各ミラー内での反射率差は3%となる(図12のグラフ参照)。
このため、請求項11に記載の光走査装置では、3枚のミラーの中央部へのビームの入射角度を全て主走査方向を25°以下、ミラー中央部での副走査方向を32°以下とすることで、3枚のミラーによる反射率差の累積を9%以下とし、横筋や濃度ムラを許容レベルまで抑制している。
請求項12に記載の光走査装置は、請求項8に記載の光走査装置であって、前記ミラーが3枚設けられ、前記ミラーへのビームの入射角度を1枚は主走査方向を25°以下、中央部での副走査方向を45°以上55°以下、他の2枚は主走査方向を25°以下、中央部での副走査方向を25°以下としたことを特徴とする。
ミラーへのビームの入射角度を、主走査方向を25°、中央部での副走査方向を55°とした時、ミラー端部へのビームの副走査方向の入射角度は60°となる(図10のグラフ参照)。また、ミラーへのビームの副走査方向の入射角度が60°の時と55°の時のミラーの反射率差は、それぞれ18%と14%となり、各ミラー内での反射率差は4%となる(図12のグラフ参照)。また、ミラーへのビームの入射角度を、主走査方向を25°、中央部での副走査方向を25°とした時、ミラー端部へのビームの副走査方向の入射角度は35°となり、ミラーへのビームの副走査方向の入射角度が35°の時と25°の時のミラーの反射率差は、それぞれ4.5%と2%となり、各ミラー内での反射率差は2.5%となる。
このため、請求項12に記載の光走査装置では、2枚のミラーへのビームの入射角度を1枚は主走査方向を25°以下、ミラー中央部での副走査方向を55°以下とし、他の2枚は主走査方向を25°以下、ミラー中央部での副走査方向を25°以下とすることで、3枚のミラーによる反射率差の累積を9%以下とし、横筋や濃度ムラを許容レベルまで抑制している。
請求項13に記載の光走査装置は、請求項8に記載の光走査装置であって、前記ミラーが4枚設けられ、4枚の前記ミラーへのビームの入射角度を全て主走査方向を25°以下、中央部での副走査方向を25°以下としたことを特徴とする。
ミラーへのビームの入射角度を、主走査方向を25°、中央部での副走査方向を25°とした時、ミラー端部へのビームの副走査方向の入射角度は35°となる(図10のグラフ参照)。また、ミラーへのビームの副走査方向の入射角度が35°の時と25°の時のミラーの反射率差は、それぞれ4.5%と2%となり、各ミラー内での反射率差は2.5%となる(図12のグラフ参照)。
このため、請求項13に記載の光走査装置では、4枚のミラーへのビームの入射角度を全て主走査方向を25°以下、ミラー中央部での副走査方向を25°以下とすることで、4枚のミラーによる反射率差の累積を10%以下とし、横筋や濃度ムラを許容レベルまで抑制している。
請求項14に記載の光走査装置は、請求項8に記載の光走査装置であって、前記ミラーが4枚設けられ、前記ミラーへのビームの入射角度を1枚は主走査方向を25°以下、中央部での副走査方向を45°以上55°以下、他の3枚は主走査方向を25°以下、中央部での副走査方向を20°以下としたことを特徴とする。
ミラーへのビームの入射角度を、主走査方向を25°、中央部での副走査方向を55°とした時、ミラー端部へのビームの副走査方向の入射角度は60°となる(図10のグラフ参照)。また、ミラーへのビームの副走査方向の入射角度が60°の時と55°の時のミラーの反射率差は、それぞれ18%と14%となり、各ミラー内での反射率差は4%となる(図12のグラフ参照)。また、ミラー中央部へのビームの入射角度を主走査方向を25°、中央部での副走査方向を20°とした時、ミラー端部へのビームの副走査方向の入射角度は32°となり、ミラーへのビームの副走査方向の入射角度が32°の時と20°の時のミラーの反射率差は、それぞれ3.5%と1.5%となり、各ミラー内での反射率差は2%となる。
このため、請求項14に記載の光走査装置では、4枚のミラーへのビームの入射角度を1枚は主走査方向を25°以下、中央部での副走査方向を55°以下とし、他の3枚は主走査方向を25°以下、ミラー中央部での副走査方向を20°以下とすることで、4枚のミラーによる反射率差の累積を10%以下とし、横筋や濃度ムラを許容レベルまで抑制している。
請求項15に記載の光走査装置は、請求項1乃至14の何れか1項に記載の光走査装置であって、前記SOSセンサに向けてビームを反射する1枚の前記ミラーを、主走査方向と副走査方向の3次元に角度を持たせて配置したことを特徴とする。
請求項15に記載の光走査装置では、複数のミラーの内、SOSセンサに向けてビームを反射する1枚のミラーを、主走査方向と副走査方向の3次元に角度を持たせて配置することで、ビームの偏光方向を水平方向及び垂直方向に対して傾けている。これによって、ミラーの反射率がS偏光の反射率とP変更の反射率との間になるので、偏光の影響を低減できる。
請求項16に記載の光走査装置は、請求項1乃至15の何れか1項に記載の光走査装置であって、前記SOSセンサには複数本のビームを入射させることを特徴とする。
請求項16に記載の光走査装置では、SOSセンサに複数本のビームを入射させることで、SOSセンサに入射する光量を平均化し、偏光の影響を低減している。
請求項17に記載の光走査装置は、請求項1乃至16の何れか1項に記載の光走査装置であって、ビームの光量を検出する光量モニタセンサと、ビームの一部を反射して前記光量モニタセンサに入射させるハーフミラーと、を有することを特徴とする。
請求項17に記載の光走査装置では、ハーフミラーによって光源が射出されたビームの一部が反射されて光量モニタセンサに入射する。
請求項18に記載の光走査装置は、請求項17に記載の光走査装置であって、前記ハーフミラーを、主走査方向と副走査方向の3次元に角度を持たせて配置したことを特徴とする。
請求項18に記載の光走査装置では、ハーフミラーを、主走査方向と副走査方向の3次元に角度を持たせて配置することで、請求項15と同様、偏光の影響を低減している。
本発明は上記構成にしたので、偏光方向が異なる複数のビームで走査された被走査面での光量差、及び、偏光方向が不揃いである複数のビームが入射するSOSセンサや光量モニタセンサ等での光量差を抑制できる。
以下に図面を参照しながら本発明の実施形態について説明する。
図1に示すように、本発明の光走査装置10を備えるレーザービームプリンタ12では、感光体14の周囲に、感光体14の回転方向(図中時計回り方向)に順に帯電ユニット16、現像ユニット18、転写ユニット20、クリーナユニット22が配置されている。感光体16と転写ユニット20との間には中間転写ベルト24が搬送される。また、帯電ユニット16は感光体14の上方に配置されている。光走査装置10は、この帯電ユニット16の上方に配置されており、帯電ユニット16と現像ユニット18との間から感光体14へビームを射出する。
このレーザープリンタ12では、まず、感光体14が帯電ユニット16によって一様に帯電され、感光体14の帯電面が光走査装置10によって複数のビームで走査されて潜像が形成される。そして、感光体14の潜像が現像ユニット18によってトナーで現像され、感光体14上のトナー像が転写ユニット20によって中間転写ベルト24に転写される。そして、中間転写ベルト24に転写されずに感光体14に残留した未転写残留トナーがクリーナユニット22によって感光体14から除去される。
また、図2乃至図4に示すように、光走査装置10は、複数のレーザーダイオードが縦横に配列されたマルチスポットレーザダイオード(以下、MSLDと言う)26と、MSLD26から射出された複数のビームを平行光に変換するコリメータレンズ28と、コリメータレンズ28を通過したビームを副走査方向に集光するシリンドリカルレンズ30と、シリンドリカルレンズ30によって集光されたビームを偏向する回転多面鏡32と、回転多面鏡32によって偏向されたビームを集光するFθレンズ34と、Fθレンズ34によって集光されたビームを複数回折り返して感光体14に入射させる複数のミラー36で構成されるミラー群38と、複数のミラー群38の最終のミラー36と感光体14との間に配置され、この最終のミラー36で反射されたビームが通過するカバーガラス39と、を備える。
また、光走査装置10は、画像形成領域外の所定位置を通過するビームを受光してビームの書き出しタイミングを検出するSOSセンサ41と、SOSセンサ41に向けてビームを折り返すSOSピックアップミラー43と、を備える。また、SOSセンサ41には複数本のビームが入射されるようになっており、複数本のビームの光量が平均化されることで光量変動が抑制されている。これによって、SOSセンサ41の同期タイミングの変化を抑制でき、走査線の書き出し位置のずれを抑制できる。
また、図5に示すように、光走査装置10は、コリメータレンズ28を通過したビームの一部をビームの進行方向と反対側に反射するハーフミラー40と、ハーフミラー40によって反射されたビームを受光し、ビームの光量を検出する光量モニタセンサ42を備える。
ここで、MSLD26から射出される複数のビームは、光量のバラツキは特定の範囲内に収まっているものの、偏光方向が不揃いとなっている。このため、各ビーム毎にミラー36の反射率が異なる。このため、MSLD26から射出された複数のビームの発光量が特定の範囲内に収まっていても、感光体14又はSOSセンサ41において光量差が生じる。
ところで、感光体14における光量差が20%以下であれば、画像に出来る横筋を許容できるレベルまで抑制できることが実験で確認されている。この実験では、レーザーダイオード(LD)の発光点が32個、2400DPI、副走査方向のピッチが10.6μm、32個中1個のLDのみ偏光方向を逆にした光走査装置10を搭載したプリンタ12を用いて各ビームの光量測定を行い(図6、図7参照)、そして、感光体14上の光量差を算出して、画像に出来た横筋の程度を各光量差毎に判定した。なお、このプリンタ12では1度で走査できる間隔が328μmとなっている。
この実験によると、図7に示すように、32本のビームの光量分布が安定している時、詳細には光量差が10%以下の時には横筋は見えなかった。また、光量差が15%になると横筋が見え始め、光量差が20%になると約0.3mmのピッチの横筋が見えた。また、図6に示すように、32本のビームの光量分布が不安定な時、詳細には光量差が25%になると横筋がはっきりと見えた。本発明者は、光量差が20%の時に出来る横筋は許容できるレベルであると判断した。なお、図8に示すように、偏光方向が逆であるビームの間隔が密になる程、横筋のピッチが大きくなり、また、横筋が太くなるので、横筋が見え易くなる。
また、この実験において、感光体14における主走査方向の光量差が10%以下であれば、画像に出来る濃度ムラを許容できるレベルまで抑制できることが確認されている。
このため、MSLD26の各発光点の光量を補正する光量補正機能を備えない光走査装置10では、感光体14上の光量差を10%以下に抑えるべく、ミラー群38の各ミラー36へのビームの入射角度を設定する。また、光量補正機能を備える光走査装置10では、MSLD26の各発光点毎に光量を補正することで、濃度ムラを抑制できるので、感光体14上の光量差を20%以下に抑えるべく、ミラー群38の各ミラー36へのビームの入射角度を設定する。ここで、MSLD26の各発光点の光量は特定の範囲に収まっているので、ミラー36によるS偏光とP偏光との反射率差の変化率(以下、反射率差と言う)の累積を10%以下、又は20%以下にすれば、感光体14上の光量差を10%以下、又は20%以下にできる。
ここで、ビームがミラー36へ、主走査方向と副走査方向の3次元に角度を持って入射する場合、ミラー36の中央部と両端部とではビームの副走査方向の入射角度が異なる。図9に示すように、Y軸をミラー36の法線方向とすると、ミラー36の中央部へのビームの副走査方向の入射角度はαとなる。また、ミラー36へのビームの主走査方向の入射角度はβとなる。そして、ミラー36の端部へのビームの副走査方向の入射角度はγとなる。
図10には、ミラー36の中央部へのビームの副走査方向の入射角度αと、ミラー36へのビームの主走査方向の入射角度βと、ミラー36の両端部へのビームの副走査方向の入射角度γとの関係を示している。なお、主走査方向の入射角度βが15°、20°、25°の時の値を示したが、主走査方向の入射角度β=15〜25°は、感光体14とFθレンズとの焦点距離が好適になる値である。
例えば、ミラー36へのビームの入射角度を、主走査方向βを25°、ミラー36の中央部での副走査方向αを30°とした場合、ミラー36の両端部での副走査方向γは38°となり、ミラー36の中央部と両端部とで8°の差が発生する。ミラー36の中央部での反射率差は2.5%、ミラー36の両端部での反射率差は6%となるので、1枚のミラー36内で3.5%の反射率差が生じる(図12のグラフ参照)。このため、ミラー群38が2枚のミラー36で構成されていれば、ミラー36の反射率差の累積が7%となり、感光体14上の光量差が7%となる。ここで、ミラー36の中央部と両端部とで反射率差が異なることにより、感光体14上の7%の光量差は主走査方向にも及ぶので主走査方向に濃度ムラが発生する。しかし、感光体14上の光量差は10%未満であるので、画像に発生する濃度ムラは許容できるレベルとなる。なお、ミラー群38が3枚、又は4枚のミラー36で構成されていれば、感光体上の光量差は、10.5%、14%となり、画像に発生する濃度ムラが許容できるレベルを超えてしまう。
なお、光量補正機能を備える場合は、ミラー36の中央部と両端部との反射率差の影響が感光体14上の光量差に及ばないので、ビームが副走査方向へのみ角度を持ってミラー36へ入射する場合、即ち、ミラー36へのビームの副走査方向の入射角度がミラー36の中央部と両端部とで同一である場合と同様、濃度ムラを考慮する必要はない。
以下、ミラー36へのビームの入射角度の設定について説明する。
[ミラー群38が2枚のミラー36で構成され、2枚のミラー36へのビームの入射角度がほぼ同一である場合]
2枚のミラー36のビーム入射角度は同一である必要はないが、説明は同一のケースで行う。45°を超えるような大きな入射角度を持っていないケースでの説明である。
まず、光量補正機能を備える場合について説明する。
主走査方向の光量補正機能を備える場合は、2枚のミラー36の反射率差の累積を20%以下とすれば良いので、1枚のミラー36の反射率差は10%以下にすれば良い。ここで、ミラー36は、アルミニウムでコーティングされた反射面の上にさらにTi35、Si2等の増反射用の誘電体膜をコーティングしたもので、図11のグラフには、このミラー36へのビームの入射角度と、S偏光、P偏光それぞれの反射率との関係を示している。また、図12のグラフには、このミラーへのビームの入射角度と、S偏光とP偏光との反射率差の変化率を示している。ここで、反射率差の変化率は、反射率差の変化率=(S偏光の反射率−P偏光の反射率)/P偏光の反射率となる。
この図12のグラフからミラー36へのビームの入射角度を48°以下に設定した場合に、ミラー36の反射率差を10%以下に抑制できることがわかる。このため、図13に示すように、2枚のミラー36へのビームの副走査方向の入射角度を全て48°以下に設定すれば、2枚のミラーの反射率の累積を20%以下に抑制でき、感光体14上の光量差を20%以下に抑制できる。これによって、横筋の発生を許容レベルまで抑制できる。
次に、光量補正機能を備えない場合について説明する。
光量補正機能を備えない場合は、2枚のミラー36の反射率差の累積を10%以下とすれば良いので、1枚のミラー36の反射率差は5%以下にすれば良い。ミラー36へのビームの主走査方向の入射角度を25°以下、ミラー36の中央部へのビームの副走査方向の入射角度を48°以下に設定した場合、ミラー36の両端部へのビームの副走査方向の入射角度が53°となる。この時、ミラー36へのビームの副走査方向の入射角度が53°の時と48°の時のミラーの反射率差は、それぞれ13%と10%となり、各ミラー36内での反射率差は3%となる。
従って、図13に示すように、2枚のミラー36へのビームの主走査方向の入射角度を共に25°以下、2枚のミラー36の中央部への副走査方向の入射角度を共に48°以下とすることで、2枚のミラー36による反射率差の累積を6%以下にすることができ、横筋や濃度ムラを許容レベルまで抑制できる。
[ミラー群38が2枚のミラー36で構成され、2枚のミラー36へのビームの入射角度のうち1枚が45°以上のように大きい場合]
まず、主走査方向の光量補正機能を備える場合について説明する。
レイアウトの制約等により、2枚のミラー36へのビームの副走査方向の入射角度を同一にできない場合がある。このような場合、ビームの副走査方向の入射角度が大きいミラー36と小さいミラー36とを組合せて2枚のミラー36の反射率差の累積を20%以下とする。この組合せとして、例えば、1枚のミラー36へのビームの副走査方向の入射角度を60°とした場合、ミラー36の反射率差が18%(図12のグラフ参照)になるので、他の1枚のミラー36の反射率差を2%以下にすれば良い。しかし、ミラー36の製造バラツキ等が原因で、他の1枚のミラー36の反射率差を2%以下にできずに、2枚のミラー36の反射率差の累積が20%を超えてしまう可能性がある。
このため、図14に示すように、2枚のミラー36へのビームの副走査方向の入射角度が異なり、且つ光量補正機能を備える光走査装置10では、1枚のミラー36へのビームの副走査方向の入射角度を45°以上55°以下として、1枚のミラー36の反射率差を14%以下とし、他の1枚の反射率差を6%まで許容することが望ましい。従って、他の1枚のミラー36へのビームの副走査方向の入射角度は、ミラーの反射率差が6%以下となる38°以下となる。
次に、光量補正機能を備えない場合について説明する。
ミラー36へのビームの主走査方向の入射角度を25°、ミラー36の中央部への副走査方向の入射角度を55°とした時、ミラー36の両端部へのビームの副走査方向の入射角度は60°となる(図10のグラフ参照)。また、ミラー36へのビームの副走査方向の入射角度が60°の時と55°の時のミラーの反射率差は、それぞれ18%と14%となり、各ミラー36内での反射率差は4%となる(図12のグラフ参照)。また、ミラー36へのビームの主走査方向の入射角度を25°、ミラー36の中央部へのビームの副走査方向の入射角度を38°とした時、ミラー36の両端部へのビームの副走査方向の入射角度は45°となり、ミラー36へのビームの副走査方向の入射角度が45°の時と38°の時のミラーの反射率差は、それぞれ9%と6%となり、各ミラー内での反射率差は3%となる。
このため、図14に示すように、2枚のミラー36へのビームの副走査方向の入射角度が異なり、且つ光量補正機能を備えない光走査装置10では、2枚のミラー36へのビームの入射角度を1枚を主走査方向で25°以下、ミラー36の中央部での副走査方向を45°以上55°以下とし、他の1枚は主走査方向を25°以下、ミラー中央部での副走査方向を38°以下とすることで、2枚のミラーによる反射率差の累積を7%以下とし、横筋や濃度ムラを許容レベルまで抑制している。
[ミラー群38が3枚のミラー36で構成され、3枚のミラー36へのビームの入射角度がほぼ同一である場合]
3枚のミラー36へのビームの入射角度は同一である必要はないが、説明は同一のケースで行う。45°を超えるような大きな入射角度を持っていないケースでの説明である。
まず、主走査方向の光量補正機能を備える場合について説明する。
光量補正機能を備える場合は、3枚のミラー36の反射率差の累積を20%以下とすれば良いので、1枚のミラー36の反射率差は6.6%以下にすれば良い。図12のグラフからミラー36へのビームの入射角度を38°以下に設定した場合に、ミラー36の反射率差を6%以下に抑制できることがわかる。このため、図15に示すように、3枚のミラー36へのビームの副走査方向の入射角度を全て38°以下に設定すれば、3枚のミラーの反射率の累積を18%以下に抑制でき、感光体14上の光量差を18%以下に抑制できる。これによって、横筋の発生を許容レベルまで抑制できる。
次に、光量補正機能を備えない場合について説明する。
光量補正機能を備えない場合は、3枚のミラー36の反射率差の累積を10%以下とすれば良いので、1枚のミラー36の反射率差は3.3%以下にすれば良い。ミラー36へのビームの主走査方向の入射角度を25°、ミラー36の中央部へのビームの副走査方向の入射角度を32°に設定した場合、ミラー36の両端部へのビームの副走査方向の入射角度は40°となる。ミラー36へのビームの副走査方向の入射角度が40°の時と32°の時のミラー36の反射率差は、それぞれ7%と4%となり、各ミラー36内での反射率差は3%となる。
従って、図16に示すように、3枚のミラー36へのビームの主走査方向の入射角度を全て25°以下、3枚のミラー36の中央部への副走査方向の入射角度を全て32°以下とすることで、3枚のミラー36による反射率差の累積を9%以下にすることができ、横筋や濃度ムラを許容レベルまで抑制できる。
[ミラー群38が3枚のミラー36で構成され、3枚のミラー36へのビームの入射角度のうち1枚が45°以上のように大きい場合]
まず、主走査方向の光量補正機能を備える場合について説明する。
図17に示すように、3枚のミラー36へのビームの副走査方向の入射角度が異なり、且つ光量補正機能を備える光走査装置10では、1枚のミラー36へのビームの副走査方向の入射角度を45°以上55°以下として、1枚のミラーの反射率差を14%とし、他の2枚のミラー36へのビームの副走査方向の入射角度を、反射率差が2%以下となる25°以下としている。これによって、3枚のミラー36の反射率差の累積が18%以下となり、横筋の発生を許容レベルまで抑制できる。
次に、光量補正機能を備えない場合について説明する。
上述したように、ミラー36へのビームの主走査方向の入射角度を25°、ミラー36の中央部への副走査方向の入射角度を55°とした時、ミラー36内での反射率差は4%となる。また、ミラー36へのビームの主走査方向の入射角度を25°、ミラー36の中央部へのビームの副走査方向の入射角度を25°とした時、ミラー36の両端部へのビームの副走査方向の入射角度は35°となり、ミラー36へのビームの副走査方向の入射角度が35°の時と25°の時のミラーの反射率差は、それぞれ4.5%と2%となり、各ミラー内での反射率差は2.5%となる。
このため、図17に示すように、3枚のミラー36へのビームの副走査方向の入射角度が異なり、且つ光量補正機能を備えない光走査装置10では、3枚のミラー36へのビームの入射角度を1枚を主走査方向で25°以下、ミラー36の中央部での副走査方向を45°以上55°以下とし、他の2枚は主走査方向を25°以下、ミラー36の中央部での副走査方向を25°以下とすることで、3枚のミラー36による反射率差の累積を9%以下とし、横筋や濃度ムラを許容レベルまで抑制している。
[ミラー群38が4枚のミラー36で構成され、4枚のミラー36へのビームの入射角度がほぼ同一である場合]
3枚のミラーミラーの入射角度は同一である必要はないが、説明は同一のケースで行う。45°を超えるような大きな入射角度を持っていないケースでの説明である。
まず、主走査方向の光量補正機能を備える場合について説明する。
光量補正機能を備える場合は、4枚のミラー36の反射率差の累積を20%以下とすれば良いので、1枚のミラー36の反射率差は5%以下にすれば良い。図12のグラフからミラー36へのビームの入射角度を35°以下に設定した場合に、ミラー36の反射率差を4.5%以下に抑制できることがわかる。このため、図18に示すように、4枚のミラー36へのビームの副走査方向の入射角度を全て35°以下に設定すれば、4枚のミラーの反射率の累積を18%以下に抑制でき、感光体14上の光量差を18%以下に抑制できる。これによって、横筋の発生を許容レベルまで抑制できる。
次に、光量補正機能を備えない場合について説明する。
光量補正機能を備えない場合は、4枚のミラー36の反射率差の累積を10%以下とすれば良いので、1枚のミラー36の反射率差は2.5%以下にすれば良い。ミラー36へのビームの主走査方向の入射角度を25°、ミラー36の中央部へのビームの副走査方向の入射角度を25°に設定した場合、ミラー36の両端部へのビームの副走査方向の入射角度が35°となる。ミラー36へのビームの副走査方向の入射角度が35°の時と25°の時のミラーの反射率差は、それぞれ4.5%と2%となり、各ミラー36内での反射率差は2.5%となる。
従って、図19に示すように、3枚のミラー36へのビームの主走査方向の入射角度を全て25°以下、3枚のミラー36の中央部への副走査方向の入射角度を全て25°以下とすることで、4枚のミラー36による反射率差の累積を10%以下にすることができ、横筋や濃度ムラを許容レベルまで抑制できる。
[ミラー群38が4枚のミラー36で構成され、4枚のミラー36へのビームの入射角度のうち1枚が45°以上のように大きい場合]
まず、光量補正機能を備える場合について説明する。
図20に示すように、4枚のミラー36へのビームの副走査方向の入射角度が異なり、且つ光量補正機能を備える光走査装置10では、1枚のミラー36へのビームの副走査方向の入射角度を45°以上55°以下として、1枚のミラー36の反射率差を14%とし、他の3枚のミラー36へのビームの副走査方向の入射角度を、反射率差が1.5%以下となる20°以下としている。これによって、4枚のミラー36の反射率差の累積が18.5%以下となり、横筋の発生を許容レベルまで抑制できる。
次に、光量補正機能を備えない場合について説明する。
上述したように、ミラー36へのビームの主走査方向の入射角度を25°、ミラー36の中央部への副走査方向の入射角度を55°とした時、ミラー36内での反射率差は4%となる。また、ミラー36へのビームの主走査方向の入射角度を25°、ミラー36の中央部へのビームの副走査方向の入射角度を20°とした時、ミラー36の両端部へのビームの副走査方向の入射角度は32°となり、ミラー36へのビームの副走査方向の入射角度が32°の時と20°の時のミラーの反射率差は、それぞれ3.5%と1.5%となり、各ミラー内での反射率差は2%となる。
このため、図20に示すように、4枚のミラー36へのビームの副走査方向の入射角度が異なり、且つ光量補正機能を備えない光走査装置10では、4枚のミラー36へのビームの入射角度を1枚を主走査方向で25°以下、ミラー36の中央部での副走査方向を45°以上55°以下とし、他の3枚は主走査方向を25°以下、ミラー中央部での副走査方向を20°以下とすることで、2枚のミラーによる反射率差の累積を10%以下とし、横筋や濃度ムラを許容レベルまで抑制している。
なお、ここまで光量補正機能を備える場合と備えない場合とで分けてミラー36へのビームの入射角度の設定について説明した。しかし、ミラー36へのビームの入射角度が小さければ反射率差が小さくなり、ミラー36へのビームの入射角度が大きければミラー36の中央部と両端部でのビームの副走査方向の入射角度差が小さくなってやはり反射率差が小さくなる。即ち、ビームの入射角度が大きいものと小さいものとを組合せた場合、光量分布は良くなり、光量補正機能を備えるか否かは無関係となる。その証拠に、ビームの入射角度が大きいミラー36と小さいミラー36を組合せた場合には、光量補正機能を備える場合と備えない場合とで、ミラー36へのビームの入射角度に差異はない。
以上、MSLD26と回転多面鏡32との間にミラー36が配置されていないケースを例に取って説明してきたが、MSLD26と回転多面鏡32との間にミラー36が配置されている場合は、そのミラー36の枚数を加えて、ミラー36へのビームの入射角度を設定する必要がある。
次に、SOSピックアップミラー43へのビームの入射角度の設定について説明する。
図4に示すように、4枚のミラー36でミラー群38が構成されている光走査装置10では、SOSピックアップミラー43は、2番目と3番目に配置された2枚のミラー36の間に配置されている。上述したように、各ミラー36は偏光の影響が少なくなるように配置されているが、SOSピックアップミラー43へのビームの入射角度によってはSOSセンサ41に入射するビームの光量が変動する。SOSセンサ41へ入射するビームの光量が変動するとSOSの同期タイミングが変化し、走査線の書き出し位置がずれてしまう。
このため、偏光の影響がSOSセンサ41に及ばないように、SOSピックアップミラー43へのビームの入射角度を設定する必要がある。ここで、上述した3枚のミラー36で構成されるミラー群38の3番目のミラー36と同様、SOSピックアップミラー43へのビームの入射角度を25°以下とすれば、偏光の影響は小さくなるが、スペースの制約上、もっと大きくしなければならないことがある。
例えば、SOSピックアップミラー43へのビームの入射角度を45°にすれば、反射率差は9%となる。しかし、SOSピックアップミラー43を、主走査方向と副走査方向の3次元に角度を持たせて配置することで、偏光の向きに傾きを持たせることができる。
図21(A)、(B)に示すように、SOSピックアップミラー43を、主走査方向、及び副走査方向へ共に45°傾けることで、偏光の向きが水平面に対して45°の角度を持つ。これによって、ビームの偏光方向がSとPとで反転したとしても、SOSセンサ41に入射するビームの偏光方向が90°変わるので、結果的にビームの偏光方向が変わらなかったことと同じことになる。
ここで、ビームの偏光方向がSとPとで反転するという最悪の状態を考えるとSOSピックアップミラー43の主走査方向及び副走査方向に対する角度は45°が望ましい。このSOSピックアップミラー43の配置で最も偏光の影響を低減できるのは、偏光の向きが45°変わる時であるが、ビームの偏光方向が正常な状態でミラーの反射率はS偏光の反射率とP偏光の反射率との平均となるので、ビームの偏光方向が正常な状態でも偏光の影響は半減する。また、ビームの偏光方向が正常な状態でミラーの反射率はS偏光の反射率とP偏光の反射率との間になるので、ビームの偏光方向が水平面に対して角度を持ってさえいれば、ビームの偏光方向が水平又は垂直である時と比して偏光の影響は小さくなる。
次に、ハーフミラー40へのビームの入射角度の設定について説明する。
ハーフミラー40で反射されたビームが入射する光量モニタセンサ42では、偏光の影響でビームの光量が変動すると、正確な光量を検出できない。この光量モニタセンサ42の光量差として許容できるのは2.5%とされている。図22のグラフには、誘電体膜でハーフミラーコーティングを行ったハーフミラー40へのビームの入射角度と反射率差との関係を示しているが、ハーフミラー40の反射率差が2.5%以下となるのは、入射角度が11°以下の時である。なお、このハーフミラー40もSOSピックアップミラー43と同様、主走査方向及び副走査方向の3次元に角度を持って配置されており、偏光の影響が低減されている。
本実施形態の光走査装置を備えるカラーレーザープリンタの概略構成を示す図である。 本実施形態の光走査装置を示す斜視図である。 本実施形態の光走査装置の概略を示す側面図である。 本実施形態の光走査装置を示す斜視図である。 本実施形態の光走査装置の概略を示す平面図である。 感光体上の光量分布の測定結果を示すグラフである。 感光体上の光量分布の測定結果を示すグラフである。 横筋が最も鮮明になる時の感光体上の光量分布のモードを示す図である。 主走査方向と副走査方向に角度を持ってミラーに入射するビームのミラーの入射角度を模式的に表した図である。 ミラーへのビームの主走査方向の入射角度とミラー中央部へのビームの副走査方向の入射角度とミラー両端部へのビームの副走査方向の入射角度との関係を示すグラフである。 ミラーへのビームの入射角度とS偏光の反射率とP偏光との反射率との関係を示すグラフである。 ミラーへのビームの入射角度とS偏光とのP偏光との反射率差の変化率との関係を示すグラフである。 2枚のミラーでミラー群が構成され、2枚のミラーへのビームの副走査方向の入射角度が同一とされた光走査装置の概略を示す側面図である。 2枚のミラーでミラー群が構成され、2枚のミラーへのビームの副走査方向の入射角度が異なる光走査装置の概略を示す側面図である。 3枚のミラーでミラー群が構成され、3枚のミラーへのビームの副走査方向の入射角度が同一とされた光走査装置の概略を示す側面図である。 3枚のミラーでミラー群が構成され、3枚のミラーへのビームの副走査方向の入射角度が同一とされた光走査装置の概略を示す側面図である。 3枚のミラーでミラー群が構成され、3枚のミラーへのビームの副走査方向の入射角度が異なる光走査装置の概略を示す側面図である。 4枚のミラーでミラー群が構成され、4枚のミラーへのビームの副走査方向の入射角度が同一とされた光走査装置の概略を示す側面図である。 4枚のミラーでミラー群が構成され、4枚のミラーへのビームの副走査方向の入射角度が同一とされた光走査装置の概略を示す側面図である。 4枚のミラーでミラー群が構成され、4枚のミラーへのビームの副走査方向の入射角度が異なる光走査装置の概略を示す側面図である。 (A)、(B)は、主走査方向及び副走査方向に45°の角度を持って配置されたSOSピックアップミラーを示す図である。 ハーフミラーへのビームの入射角度とS偏光とP偏光との反射率差の変化率との関係を示すグラフである。 従来の光走査装置のミラーの配置を示す側面図である。
符号の説明
10 光走査装置
14 感光体(被走査面)
26 MSLD(光源)
32 回転多面鏡(偏向手段)
36 ミラー
40 ハーフミラー
41 SOSセンサ
42 光量モニタセンサ
43 SOSピックアップミラー(ミラー)

Claims (18)

  1. 偏光方向が不揃いで発光量が同一である複数のビームを射出する光源と、
    前記光源から射出されたビームを被走査面に向けて偏向する偏向手段と、
    前記偏向手段で偏向されたビームを複数回折り返して前記被走査面又はSOSセンサに入射させる複数のミラーと、
    を備える光走査装置であって、
    前記ミラーによるS偏光とP偏光との反射率差の累積が20%以下となるように、各ミラーへのビームの入射角度を設定したことを特徴とする光走査装置。
  2. 前記ミラーが2枚設けられ、
    2枚の前記ミラーへのビームの副走査方向の入射角度を共に48°以下としたことを特徴とする請求項1に記載の光走査装置。
  3. 前記ミラーが2枚設けられ、
    前記ミラーへのビームの副走査方向の入射角度を1枚は45°以上55°以下、他の1枚は38°以下としたことを特徴とする請求項1に記載の光走査装置。
  4. 前記ミラーが3枚設けられ、
    3枚の前記ミラーへのビームの副走査方向の入射角度を全て38°以下としたことを特徴とする請求項1に記載の光走査装置。
  5. 前記ミラーが3枚設けられ、
    前記ミラーへのビームの副走査方向の入射角度を1枚は45°以上55°以下、他の2枚は25°以下としたことを特徴とする請求項1に記載の光走査装置。
  6. 前記ミラーが4枚設けられ、
    4枚の前記ミラーへのビームの副走査方向の入射角度を全て35°以下としたことを特徴とする請求項1に記載の光走査装置。
  7. 前記ミラーが4枚設けられ、
    前記ミラーへのビームの副走査方向の入射角度を1枚は45°以上55°以下、他の3枚は20°以下としたことを特徴とする請求項1に記載の光走査装置。
  8. 偏光方向が不揃いで発光量が同一である複数のビームを射出する光源と、
    前記光源から射出されたビームを被走査面に向けて偏向する偏向手段と、
    前記偏向手段で偏向されたビームを複数回折り返して前記被走査面又はSOSセンサに入射させる複数のミラーと、
    を備える光走査装置であって、
    前記ミラーの中央部と両端部へのビームの副走査方向の入射角度差により発生する前記ミラーによるS偏光とP偏光との反射率差の累積が10%以下となるように、各ミラーへのビームの入射角度を設定したことを特徴とする光走査装置。
  9. 前記ミラーが2枚設けられ、
    2枚の前記ミラーへのビームの入射角度を全て主走査方向を25°以下、中央部での副走査方向を48°以下としたことを特徴とする請求項8に記載の光走査装置。
  10. 前記ミラーが2枚設けられ、
    前記ミラーへのビームの入射角度を1枚は主走査方向を25°以下、中央部での副走査方向を45°以上55°以下、他の1枚は主走査方向を25°以下、中央部ので副走査方向を38°以下としたことを特徴とする請求項8に記載の光走査装置。
  11. 前記ミラーが3枚設けられ、
    3枚の前記ミラーへのビームの入射角度を全て主走査方向を25°以下、中央部での副走査方向を32°以下としたことを特徴とする請求項8に記載の光走査装置。
  12. 前記ミラーが3枚設けられ、
    前記ミラーへのビームの入射角度を1枚は主走査方向を25°以下、中央部での副走査方向を45°以上55°以下、他の2枚は主走査方向を25°以下、中央部での副走査方向を25°以下としたことを特徴とする請求項8に記載の光走査装置。
  13. 前記ミラーが4枚設けられ、
    4枚の前記ミラーへのビームの入射角度を全て主走査方向を25°以下、中央部での副走査方向を25°以下としたことを特徴とする請求項8に記載の光走査装置。
  14. 前記ミラーが4枚設けられ、
    前記ミラーへのビームの入射角度を1枚は主走査方向を25°以下、中央部での副走査方向を45°以上55°以下、他の3枚は主走査方向を25°以下、中央部での副走査方向を20°以下としたことを特徴とする請求項8に記載の光走査装置。
  15. 前記SOSセンサに向けてビームを反射する1枚の前記ミラーを、主走査方向と副走査方向の3次元に角度を持たせて配置したことを特徴とする請求項1乃至14の何れか1項に記載の光走査装置。
  16. 前記SOSセンサには複数本のビームを入射させることを特徴とする請求項1乃至15の何れか1項に記載の光走査装置。
  17. ビームの光量を検出する光量モニタセンサと、
    ビームの一部を反射して前記光量モニタセンサに入射させるハーフミラーと、
    を有することを特徴とする請求項1乃至16の何れか1項に記載の光走査装置。
  18. 前記ハーフミラーを、主走査方向と副走査方向の3次元に角度を持たせて配置したことを特徴とする請求項17に記載の光走査装置。
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