JP2005311362A - リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】パターニング手段は、極性流体12及び非極性流体14並びに電極18を有するセル10のアレイを含む。電極18と極性流体12とにわたって加えられた電位差により、非極性流体14に変位が生じ、極性流体12と非極性流体14との間には屈折率の差があるために、セル10を通過する光のビームは、その位相を極性流体と非極性流体との相対的な厚さ及びそれらの屈折率に依存して変化させる。
【選択図】図2b
Description
放射線の投影ビームを供給する照明システムと、
前記投影ビームに断面のパターンを付与する働きをする個別制御可能素子を有するパターニング・アレイと、
基板を支持する基板テーブルと、
パターン形成済み前記ビームを前記基板の目標部分に投影する投影システムとを含むリソグラフィ装置であって、
前記個別制御可能素子は、各々、極性流体と、非極性流体と、非極性流体をセル内で電圧制御により変位させるためにセルにわたって電界を選択的に印加するように構成された電圧源とを有するセルを備え、極性流体及び非極性流体は、透過率はほぼ同じであるが、屈折率は異なることを特徴とするリソグラフィ装置が提供される。
基板を提供するステップと、
照明システムを使用して放射線の投影ビームを提供するステップと、
前記投影ビームに断面のパターンを付与する個別制御可能素子を含むパターニング・アレイを使用するステップと、
パターン形成済み放射線ビームを前記基板の目標部分に投影するステップとを含むデバイス製造方法であって、
各素子に関与する前記ビームの一部の位相を、極性流体及び非極性流体の層を有するセルを介して導くことによって制御し、流体は、透過率はほぼ等しいが屈折率は異なり、調節可能な相対的な層の厚さを有するステップを特徴とするデバイス製造方法が提供される。
放射線(例えば紫外線)の投影ビームPBを提供する照明システム(照明器)ILと、
パターンを投影ビームに施す個別制御可能素子アレイPPM(例えばプログラム可能ミラー・アレイ)であって、一般的には、個別制御可能素子アレイの位置は部材PLを基準として固定されるが、その代わりに、部材PLに対して正確に個別制御可能素子を設置する位置決め手段に接続してもよい、個別制御可能素子アレイPPMと、
基板(例えば、レジスト被覆ウェハ)Wを支持し、部材PLに対して基板を正確に位置決めする位置決め手段PWに接続する基板テーブル(例えば、ウェハ・テーブル)WTと、
個別制御可能素子アレイPPMによって投影ビームPBに付与されたパターンを、基板Wの目標部分C(例えば、1つ又は複数のダイを含む)上に描画する投影システム(「レンズ」)PLとを含む。この投影システムは、個別制御可能素子アレイを基板に描画してもよく、或いは、個別制御可能素子アレイの素子がシャッタとして機能する二次放射源を描画してもよく、例えば、二次放射源を形成したり、微小箇所を基板に描画したりするために、マイクロレンズ・アレイ(MLAとして既知である)又はフレネルレンズ・アレイ等の集束素子のアレイを有してもよい。
1.ステップ形態: 個別制御可能素子アレイは全体のパターンを投影ビームに付与し、投影ビームは一作動で目標部分Cに投影される(すなわち、単一静止露光)。次に、基板テーブルWTは、別の目標部分Cが露光できるようにX及び/又はY方向にシフトされる。ステップ形態では、照射視野の最大サイズが、単一静止露光で描写される目標部分Cのサイズを限定する。
2.走査形態: 個別制御可能素子アレイは、所与の方向(いわゆる「走査方向」、例えばY方向)に速度vで移動可能であり、投影ビームPBが個別制御可能素子アレイを走査させられ、競合して、基板テーブルWTは同方向又は反対方向へ速度V=Mvで同時移動し、ここで、MはレンズPLの倍率である。走査形態においては、露光視野の最大サイズは単一動的露光における目標部分の幅(非走査方向)を限定し、他方、走査動作の長さは目標部分の高さ(走査方向)を決定する。
3.パルス形態: 個別制御可能素子アレイは基本的に静止した状態に保たれ、パターン全体がパルス放射源を使用して基板の目標部分Cに投影される。基板テーブルWTは基本的に一定の速度で移動し、投影ビームPBは基板Wを横断する直線を走査させられる。個別制御可能素子アレイ上のパターンは必要に応じて放射システムのパルス間で更新され、連続的な目標部分Cが基板上の必要な位置で露光されるようにパルスのタイミングはとられる。その結果、投影ビームは基板Wにわたって走査し、基板の細長い部分に完全なパターンを露光させることができる。一列毎の露光により基板が完全に露光されてしまうまで、工程は繰り返される。
4.連続走査形態: ほぼ一定した放射源が使用され、且つ、投影ビームが基板にわたって走査し露光すると個別制御可能素子アレイ上のパターンが更新されることを除いては、パルス形態と基本的に同じである。
Δφ=2πd/λ(n1−n2)
ここで、Δφは位相における変化であり、dは油膜の厚さ、λは投影されたビームの波長、n1は油の屈折率、n2は水の屈折率である。
2b 投影されたビーム
4 投影された光ビーム
10 セル
12 極性流体(水)
14 無極性流体(油)
16 絶縁層
18 電極
AM 調整手段
BD ビーム伝達システム
C 目標部分
CO コンデンサ
IF 干渉計測手段
IL 照明システム(照明器)
IN インテグレータ
PB 投影ビーム
PL 投影システム(レンズ)
PPM 個別制御可能素子アレイ
PW 位置決め手段
SO 放射源
W 基板
WT 基板テーブル
Claims (6)
- 放射線の投影ビームを供給する照明システムと、
前記投影ビームに断面のパターンを付与する働きをする個別制御可能素子を有するパターニング・アレイと、
基板を支持する基板テーブルと、
パターン形成済み前記ビームを前記基板の目標部分に投影する投影システムとを含むリソグラフィ装置であって、
前記個別制御可能素子は、各々、極性流体と、非極性流体と、前記非極性流体をセル内で電圧制御により変位させるためにセルにわたって電界を選択的に印加するように構成された電圧源とを有するセルを備え、前記極性流体及び前記非極性流体は、透過率がほぼ同じであるが、屈折率は異なることを特徴とするリソグラフィ装置。 - 前記極性流体及び非極性流体の相対的性質は、前記セルに関与する放射線の投影されたビームの一部の位相を、印加された電圧のレベルに応じて、投影されたビームの他の部分に対して所定の量だけ変化させるよう選択される、請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記極性流体は水である、請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記非極性流体は油である、請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記セルは、投影されたビームが前記セルを2回通過するように、放射線入射面とは反対側の前記セルの内面に反射面を含む、請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 基板を提供するステップと、
照明システムを使用して放射線の投影ビームを提供するステップと、
前記投影ビームに断面のパターンを付与する個別制御可能素子を含むパターニング・アレイを使用するステップと、
パターン形成済み放射線ビームを前記基板の目標部分に投影するステップとを含むデバイス製造方法であって、
各素子に関与する前記ビームの一部の位相を、極性流体及び非極性流体の層を有するセルを介して導くことによって、投影されたビームのその他の部分に対して制御し、前記流体は、透過率がほぼ等しいが屈折率は異なり、調節可能な相対的な層の厚さを有するステップを特徴とするデバイス製造方法。
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