JP2005311035A - 積層コイル部品及び該積層コイル部品の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】外形寸法の変化を生じることもなく所望インピーダンスＺｃを容易に得ることができる積層コイル部品、及びインピーダンスＺｃの微調整を容易に行うことができる積層コイル部品の製造方法を実現する。
【解決手段】内部導体のうち、一部の内部導体の導体コイル面積が、他の内部導体の導体コイル面積と異なっている。例えば、第１及び第２のコイル導体４、５の始端側内部導体６ａ、９ａ及び終端側内部導体６ｇ、９ｇとこれらに隣接する内部導体６ｂ、９ｂ、６ｆ、９ｆの導体コイル面積Ａが、他の内部導体６ｃ〜６ｅ、９ｃ〜９ｅの導体コイル面積（基準コイル内面積Ａ′）よりも小さくなるように形成する。これにより全ての内部導体が基準コイル内面積Ａ′を有する場合に比べ、第１及び第２のコイル導体４、５におけるコイルターン数が少なくなり、したがって磁束密度も変化し、インピーダンスの微調整が可能となる。
【選択図】図２

Description

本発明は積層コイル部品及び該積層コイル部品の製造方法に関し、より詳しくは積層コモンモードチョークコイル等の積層コイル部品とその製造方法に関する。

積層コモンモードチョークコイルは、信号ラインや電源ラインと接地間に発生するコモンモードノイズを除去することができるため、各種電子機器におけるコモンモードノイズ対策に使用されている。

そして、この種の積層コモンモードチョークコイルでは、その特性を示すコモンモードインピーダンス（以下、単に、「インピーダンス」という）Ｚｃが磁性体シートやコイル導体の導体幅等により変化するため、インピーダンス特性の調整が必要となる
そこで、従来より、２枚の磁性体グリーンシートの間にスルーホールを形成したインダクタンス調整用グリーンシートを所定枚数介在させ、２枚の磁性体グリーンシートのコイル構成用の導体パターンを、該磁性体グリーンシート及びインダクタンス調整用グリーンシートに形成したスルーホールを介して接続したインダクタンス素子が提案されている（特許文献１）
特許文献１では、グリーンシートの積層枚数を変えることによってコイル導体の導体幅を変化させ、これによって積層コモンモードチョークコイルのインピーダンスＺｃを調整している。

実開平５−２８００６号公報

しかしながら、特許文献１では、積層コモンモードチョークコイルのインピーダンスＺｃをグリーンシートの積層枚数を変えることにより調整しているため、インピーダンス特性の微調整が困難であるという問題点があった。

また、特許文献１では、グリーンシートの厚みを異ならせることにより、コイル間の結合量を変化させ、これによりインピーダンス特性の調整が可能となるが、グリーンシートの厚みはフェライト材料やグリーンシートの製造装置によって制限を受けるため、所望インピーダンスに微調整するのが困難になる場合があるという問題点があった。

さらに、特許文献１では、グリーンシートの積層枚数を増減させているため、積層コモンモードチョークコイルの厚みもインピーダンス特性に応じて異なり、特にグリーンシートの積層枚数を増加させなければならない場合は工程数の増加や材料費の高騰を招き、外形寸法も大きくなってしまって小型化の要請にも反するという問題点があった。

本発明はこのような問題点に鑑みなされたものであって、外形寸法の変化を生じることもなく所望インピーダンスＺｃを容易に得ることができる積層コイル部品、及びインピーダンスＺｃの微調整を容易に行うことができる積層コイル部品の製造方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために本発明に係る積層コイル部品は、コイル導体を形成する多数の内部導体がセラミック素体内に並設されてなる螺旋状コイルを少なくとも２つ以上備えると共に、該セラミック素体の両端部に外部導体が形成され、前記２つ以上の螺旋状コイルの始端側内部導体及び終端側内部導体が前記外部導体に電気的に接続された積層コイル部品において、前記内部導体のうち、一部の内部導体のコイル内面積が、他の内部導体のコイル内面積と異なることを特徴としている。

本発明の積層コイル部品は、具体的態様としては、前記一部の内部導体が、前記始端側内部導体及び前記終端側内部導体とこれらに隣接する内部導体であることを特徴としている。

尚、内部導体のコイル内面積とは、内部導体と、内部導体の始端と終端とを結んだ線により囲まれた面積をいう。コイルの始端側と終端側の内部導体では、外部電極への引出部を除いた導体部分の始端と終端とを結んだ線で囲まれた面積をコイル内面積としている。

また、他の態様としては、前記一部の内部導体が、前記始端側内部導体と該始端側内部導体に隣接する内部導体、及び前記終端側内部導体と該終端側内部導体に隣接する内部導体のうち、いずれかであることを特徴とするのも好ましく、前記一部の内部導体が、前記始端側内部導体及び前記終端側内部導体にそれぞれ隣接する内部導体以外の内部導体であることを特徴とするのも好ましい。

さらに、本発明の積層コイル部品は、前記一部の内部導体は、前記始端側内部導体及び前記終端側内部導体のうちのいずれか一方の内部導体と、前記始端側内部導体及び前記終端側内部導体に隣接しない内部導体のうちの少なくとも１つの内部導体であることを特徴とするのも好ましく、前記一部の内部導体が、前記始端側内部導体及び前記終端側内部導体のうちのいずれか一方に隣接する内部導体であることを特徴とするのも好ましい。

また、本発明に係る積層コイル部品の製造方法は、セラミックグリーンシートの表面に導体パターンを形成し、該導体パターンの形成された多数のセラミックグリーンシートをコイル導体が形成されるように積層して積層体を形成し、その後、前記積層体に焼成処理を施してセラミック素体を形成し、該セラミック素体の両端部に外部導体を形成する積層コイル部品の製造方法において、前記導体パターンのうち、一部の導体パターンのコイル内面積が、他の導体パターンのコイル内面積と異なるように前記複数のセラミックグリーンシートの表面に前記導体パターンを形成することを特徴としている。

上記積層コイル部品によれば、多数の内部導体のうち、一部の内部導体のコイル内面積が、他の内部導体のコイル内面積と異なるので、内部導体のコイル内面積が全て同一である場合に比べ、コイル内面積を異ならせた分だけコイルターン数が変化し、これにより磁束密度もコイルターン数の変化量に比例して変化することとなり、インピーダンスを微調整することが可能となる。すなわち、一部の内部導体のコイル内面積を通常のコイル内面積と異ならせるだけで、インピーダンスを微調整することが可能となり、したがって外形寸法に変化が生じることなく所望のインピーダンスを有する積層コイル部品を容易に得ることができる。

尚、コイル同士が隣り合う内部導体のコイル内面積は、コイル間の結合に与える影響が大きい。このため、コイル同士が隣り合う内部導体或いは該内部導体に隣接するコイル導体のコイル内面積を変化させることにより、インピーダンスの微調整範囲を広くすることができる。

また、上記積層コイル部品の製造方法によれば、一部の導体パターンのコイル内面積が、他の導体パターンのコイル内面積と異なるように前記多数のセラミックグリーンシートの表面に前記導体パターンを形成するので、通常のコイル内面積と異なるコイル内面積の導体パターンを形成したセラミックグリーンシートを多数作製して準備しておくことにより、工程数の増加や材料費の高騰化を招くことなくインピーダンスが微調整された積層コイル部品を容易に製造することができ、したがって用途に応じた所望のインピーダンス特性を有する積層コイル部品を容易に得ることが可能となる。

次に、本発明の実施の形態を図面に基づき詳説する。

図１は本発明に係る積層コイル部品としての積層コモンモードチョークコイルの一実施の形態（第１の実施の形態）を示す斜視図であって、該積層コモンモードチョークコイルは、Ｎｉ−Ｚｎ−Ｃｕ系フェライト材料を主成分とするフェライト素体（セラミック素体）１の両端部に外部導体２ａ、２ｂ、３ａ、３ｂが形成されると共に、前記フェライト素体１には第１及び第２のコイル導体４、５が埋設されている。

図２はフェライト素体１の分解斜視図であって、該フェライト素体１は、内部導体６ａ〜６ｇ、９ａ〜９ｇが表面に形成された磁性体シート７ａ〜７ｇ、１０ａ〜１０ｇの積層体が焼成されてなり、内部導体６ａ〜６ｇで第１のコイル導体４を形成し、内部導体９ａ〜９ｇで第２のコイル導体５を形成している。

始端側内部導体６ａは、コ字形状のコイル部を有すると共に該コイル部の末端にはビアホール８ａが形成され、かつ、前記コイル部の先端側は延伸されてコ字状に屈曲され、磁性体シート７ａの端縁に露出されて引出部６ａ′を形成し、該引出部６ａ′は外部導体２ａに接続されている。また、終端側内部導体６ｇは、コ字形状のコイル部を有すると共に、該コイル部の先端側はコ字状に延伸されてコ字状に屈曲され、磁性体シート７ｇの端縁に露出して引出部６ｇ′を形成し、該引出部６ｇ′は外部導体２ｂに接続されている。

また、始端側内部導体６ａに隣接する内部導体６ｂは、始端側内部導体６ａの導体パターンに対し計回り方向に９０°回転したコ字形状に形成され、ビアホール８ａを介して内部導体６ａと電気的に接続されている。内部導体６ｃ〜６ｆも、内部導体６ｂと略同様、それぞれ上層の内部導体に対し時計回り方向に９０°回転したコ字形状に形成され、ビアホール８ｂ〜８ｅを介して互いに電気的に接続されている。すなわち、各内部導体７ａ〜７ｇは、ビアホール８ａ〜８ｆを介して螺旋状に接続され、これにより第１のコイル導体４を形成し、前記引出部６ａ′、６ｇ′を介して外部導体２ａ、２ｂに電気的に接続されている。

そして、本第１の実施の形態では、始端側内部導体６ａとこれに隣接する内部導体６ｂ、及び終端側内部導体６ｇとこれに隣接する内部導体６ｆは、コイルを形成するコイル内面積が、その他の内部導体、すなわち中間に位置する内部導体６ｃ〜６ｅのコイル内面積（以下、「基準コイル内面積」という）よりも小さくなるように形成されている。

すなわち、始端側内部導体６ａは、図３に示すように、コイル部の底部６ａ″が仮想線で示す位置から図中上方に平行移動し、基準コイル内面積Ａ′よりも小さいコイル内面積Ａ（図中、斜線部で示す）を有するように形成されている。

また、始端側内部導体６ａに隣接する内部導体６ｂは、図４に示すように、コイル部の側部６ｂ″が仮想線で示す位置から図中上方に平行移動し、基準コイル内面積Ａ′よりも小さいコイル内面積Ａを有するように形成されている。

さらに、終端側内部導体６ｇ及びこれに隣接する内部導体６ｆも、始端側内部導体６ａ及びこれに隣接する内部導体６ｂと同様、基準コイル内面積Ａ′よりも小さいコイル内面積Ａを有するように形成されている。

一方、内部導体６ｃは、図５に示すように、基準コイル内面積Ａ′を有するように導体パターンが形成され、また、内部導体６ｄ、６ｅも、内部導体６ｃと同様、基準コイル内面積Ａ′を有するように導体パターンが形成されている。

すなわち、従来は内部導体のコイル内面積は、一律に基準コイル内面積Ａ′を有するように導体パターンが形成されていたが、本第１の実施の形態では、始端側内部導体６ａとこれに隣接する内部導体６ｂ、及び終端側内部導体６ｇとこれに隣接する内部導体６ｆは、基準コイル内面積Ａ′よりも小さいコイル内面積Ａを有するように導体パターンが形成されている。

また、第２のコイル導体５は、内部導体９ａ〜９ｇを有し、これら内部導体９ａ〜９ｇは磁性体シート１０ａ〜１０ｇの表面に形成されている。

始端側内部導体９ａは、コ字形状のコイル部を有すると共に該コイル部の末端にはビアホール１１ａが形成され、かつ前記コイル部の先端側は延伸され、Ｌ字状に屈曲されて磁性体シート１０ａの端縁に露出して引出部９ａ′を形成し、該引出部９ａ′は外部導体３ａに接続されている。また、終端側内部導体９ｇは、コ字形状のコイル部を有すると共に、該コイル部の先端はＬ字状に屈曲されて磁性体シート１０ｇの端縁に露出して引出部９ｇ′を形成し、該引出部９ｇ′は外部導体３ｂに接続されている。さらに、内部導体９ｂ〜９ｆは、上層のコイルパターンに対し時計回り方向に９０°回転したコ字形状に形成され、ビアホール１１ａ〜１１ｆを介して螺旋状に電気的に接続されている。

そして、第２のコイル導体５においても、始端側内部導体９ａとこれに隣接する内部導体９ｂ、及び終端側内部導体９ｇとこれに隣接する内部導体９ｆは、基準コイル内面積Ａ′よりも小さいコイル内面積Ａを有するように導体パターンが形成されている。

このように本第１の実施の形態では、始端側内部導体６ａとこれに隣接する内部導体６ｂ、及び終端側内部導体６ｇとこれに隣接する内部導体６ｆのコイル内面積Ａが基準コイル内面積Ａ′よりも小さくなるように形成されており、しかもこれら内部導体６ａ、６ｇ、６ｂ、６ｆのコイル内面積Ａは同一であるので、第１のコイル導体４のコイルターン数（巻数）の変化は、内部導体６ａの面積変化量の４倍相当となり、磁束密度もコイルターン数の変化に略比例して変化する。そして、第１及び第２のコイル導体４、５によって生じるインピーダンスＺｃは、磁束密度の変化量に応じて変化することから、インピーダンスＺｃが微調整することが可能となり、インピーダンスＺｃが微調整された所望のインピーダンス特性を有する積層コモンモードチョークコイルを容易に得ることができる。

しかも、本第１の実施の形態では、第１及び第２のコイル導体４、５のインダクタンスＬ及びコイル間の結合量の変化量も同一であるので、平衡な状態を維持することが可能な積層コモンモードチョークコイルを得ることができる。

次に、上記積層コモンモードチョークコイルの製造方法を詳述する。

まず、例えば、Ｎｉ−Ｚｎ−Ｃｕ系等のフェライト原料を共沈法で作製した後、該フェライト原料を仮焼し湿式で粉砕処理を行い、次いでバインダ樹脂や可塑剤を混合して再度湿式粉砕してフェライトスラリーを作製し、その後、ドクターブレード法により成形加工を施して所定厚みの磁性体シート（セラミックグリーンシート）を作製する。

次に、この磁性体シートを所定寸法に切断した後、所定位置にビアホールを形成し、次いで、内部導体用導電性ペーストを使用して磁性体シートにスクリーン印刷を施し、コイル内面積Ａ及び基準コイル内面積Ａ′を有するコイルパターンを磁性体シート上に形成する。

次に、第１のコイル導体４及び第２のコイル導体５が形成可能となるように磁性体シートを適宜積層し、圧着して積層体を形成する。

次いで、この積層体に脱バインダ処理を施した後、焼成処理を施し、フェライト素体１を作製する。

次に、フェライト素体１の両端部に外部導体用導電性ペーストを塗布・焼き付けて第１及び第２の外部導体２ａ、２ｂ、３ａ、３ｂを形成し、これにより積層コモンモードチョークコイルが作製される。

このように上記製造方法によれば、基準コイル内面積Ａ′より小さい各種コイル内面積Ａを有する磁性体シートを予め多数作製して用意しておき、所望のインピーダンスＺｃが得られるようなコイル内面積Ａの磁性体シートを適宜選択して積層コモンモードチョークコイルを製造することにより、インピーダンスＺｃが微調整された積層コモンモードチョークコイルを容易に製造することができる。

次に、本発明の他の実施の形態について詳述する。

図７は本発明の第２の実施の形態を示すフェライト素体１の分解斜視図であって、該第２の実施の形態は、第１のコイル導体１２を構成する内部導体１３ａ〜１３ｇ及び第２のコイル導体１５を構成する内部導体１６ａ〜１６ｇのうち、内部導体１３ａ、１３ｂ、１６ｆ、１６ｇは、他の内部導体１３ｃ〜１３ｇ、１６ａ〜１６ｅに比べてコイル内面積が小さくなるように形成され、内部導体１３ａ〜１３ｇはビアホール１４ａ〜１４ｆを介して電気的に接続され、内部導体１６ａ〜１６ｇはビアホール１７ａ〜１７ｆを介して電気的に接続されている。

すなわち、本第２の実施の形態では、第１のコイル導体１２の終端側内部導体１３ｇが、図８に示すような基準コイル内面積Ａ′を有するように形成され、第２のコイル導体１５の始端側内部導体１６ａも、図９に示すような基準コイル内面積Ａ′を有するように形成され、さらに、内部導体１３ｆ、１６ｂも基準コイル内面積Ａ′（図５参照）を有するように形成されている。そして一方、内部導体１３ａ、１３ｂ、１６ｆ、１６ｇは、図３、４、６に示すように、基準コイル内面積Ａ′よりも小さいコイル内面積Ａを有するように形成されている。

このように本第２の実施の形態では、第１のコイル導体１２の内部導体１３ｃ〜１３ｇ及び第１のコイル導体１５の内部導体１６ａ〜１６ｅが基準コイル内面積Ａ′を有するように導体パターンが形成され、第１のコイル導体１２の始端側内部導体１３ａとこれに隣接する内部導体１３ｂ、及び第２のコイル導体１５の終端側内部導体１６ｇとこれに隣接する内部導体１６ｆが基準コイル内面積Ａ′よりも小さいコイル内面積Ａを有するように形成されているので、第１の実施の形態と同様、コイル面積比Ａ／Ａ′の変化量に応じてコイルターン数も変化し、これによりインピーダンスＺｃを微調整することが可能となり、外形寸法の変化を伴うことなく所望のインピーダンス特性を有する積層コモンモードチョークコイルを容易に得ることができる。

尚、上記第２の実施の形態では、第１のコイル導体１２の始端側内部導体１３ａとこれに隣接する内部導体１３ｂ、及び第２のコイル導体１５の終端側内部導体１６ｇとこれに隣接する内部導体１６ｆのコイル内面積を基準コイル内面積Ａ′よりも小さくしているが、第１のコイル導体１２の終端側内部導体１３ｇとこれに隣接する内部導体１３ｆ、及び第２のコイル導体１５の始端側内部導体１６ａとこれに隣接する内部導体１６ｂのコイル内面積を基準コイル内面積Ａ′よりも小さくすることによっても、同様の作用効果を得ることができるのはいうまでもない。

図１０は本発明の第３の実施の形態を示すフェライト素体１の分解斜視図であって、該第３の実施の形態は、第１のコイル導体１８を構成する内部導体１９ａ〜１９ｇ及び第２のコイル導体２１を構成する内部導体２２ａ〜２２ｇのうち、 始端側内部導体１９ａ、２２ａ及び終端側内部導体１９ｇ、２２ｇに隣接する内部導体１９ｂ、１９ｆ、２２ｂ、２２ｆは基準コイル内面積Ａ′となるようにパターン形成され、それ以外の内部導体、すなわち内部導体１９ａ、１９ｃ〜１９ｅ、１９ｆ、２２ａ、２２ｃ〜２２ｅ、２２ｆは基準コイル内面積Ａ′よりも小さいコイル内面積Ａとなるように導体パターンが形成されている。

このように本第３の実施の形態では、第１のコイル導体１８の始端側内部導体１９ａ及び終端側内部導体１９ｇにそれぞれ隣接する内部導体１９ｂ、１９ｆ、及び第２のコイル導体２１の始端側内部導体２２ａ及び終端側内部導体２２ｇにそれぞれ隣接する内部導体２２ｂ、２２ｆ以外の内部導体１９ａ、１９ｃ〜１９ｅ、１９ｇ、２２ａ、２２ｃ〜２２ｅ、２２ｇが、基準コイル内面積Ａ′より小さいコイル内面積Ａを有するように導体パターンが形成されているので、第１の実施の形態と同様、コイル面積比Ａ／Ａ′の変化に応じてコイルターン数も変化し、これによりインピーダンスＺｃが微調整することが可能となり、外形寸法の変化を伴うことなく所望のインピーダンス特性を有する積層コモンモードチョークコイルを容易に得ることができる。

図１１は本発明の第４の実施の形態を示すフェライト素体１の分解斜視図であって、該第４の実施の形態では、第１のコイル導体２４を構成する内部導体２５ａ〜２５ｇ及び第２のコイル導体２７を構成する内部導体２８ａ〜２８ｇのうち、内部導体２５ｂ、２５ｄ〜２５ｇ、２８ａ〜２８ｄ、２８ｆが基準コイル内面積Ａ′を有するように形成され、内部導体２５ａ、２５ｃ、２８ｅ、２８ｇが、基準コイル内面積Ａ′よりも小さいコイル内面積Ａを有するように形成されている。

このように本第４の実施の形態では、第１のコイル導体２４の始端側内部導体２５ａと内部導体２５ｃ、及び第２のコイル導体２７の終端側内部導体２８ｅと内部導体２８ｇのコイル内面積Ａが、基準コイル内面積Ａ′より小さく形成されているので、第１の実施の形態と同様、コイル面積比Ａ／Ａ′の変化に応じてコイルターン数も変化し、これによりインピーダンスＺｃを微調整することが可能となり、所望のインピーダンス特性を有する積層コモンモードチョークコイルを容易に得ることができる。

尚、本第４の実施の形態では、第１のコイル導体２４の始端側内部導体２５ａと内部導体２５ｃ、及び第２のコイル導体２７の終端側内部導体２８ｅと内部導体２８ｇのコイル内面積Ａを、基準コイル内面積Ａ′より小さくしているが、第１及び第２のコイル導体２４、２７の始端側内部導体２５ａ、２８ａ及び終端側内部導体２５ｇ、２８ｇのいずれかと、これに隣接しない内部導体２５ｃ〜２５ｅ、２８ｃ〜２８ｅのうちの少なくとも１つが、基準コイル内面積Ａ′よりも小さいコイル内面積Ａを有するように形成しても、同様の作用効果をえることができる。

図１２は本発明の第５の実施の形態を示すフェライト素体１の分解斜視図であって、該第５の実施の形態では、第１のコイル導体３０を構成する内部導体３１ａ〜３１ｇ及び第２のコイル導体３３を構成する内部導体３４ａ〜３４ｇのうち、内部導体３１ｂ、３４ｂは基準コイル内面積Ａ′よりも小さいコイル内面積Ａとなるように形成され、その他の内部導体、すなわち３１ａ、３１ｃ〜３１ｇ、３４ａ、３４ｃ〜３４ｇは基準コイル内面積Ａ′を有するように形成されている。

このように本第５の実施の形態では、第１のコイル導体３０の始端側内部導体３１ａに隣接する内部導体３１ｂ、及び第２のコイル導体３３の始端側内部導体３４ａに隣接する内部導体３４ｂのみが、基準コイル内面積Ａ′より小さいコイル内面積Ａを有するように導体パターンが形成されているので、第１の実施の形態と同様、コイル面積比Ａ／Ａ′の変化に応じてコイルターン数も変化し、これによりインピーダンスＺｃが微調整することが可能となり、所望のインピーダンス特性を有する積層コモンモードチョークコイルを容易に得ることができる。

尚、本第５の実施の形態では、内部導体３１ｂ、３４ｂが基準コイル内面積Ａ′よりも小さいコイル内面積Ａを有するように形成されているが、第１及び第２のコイル導体３０、３３の終端側内部導体３１ｇ、３４ｇに隣接する内部導体３１ｆ、３４ｆが、基準コイル内面積Ａ′よりも小さいコイル内面積Ａを有するように形成しても、同様の作用効果を得ることができる。

また、上記第１〜第５の実施の形態では、積層コモンモードチョークコイルが２個のコイル導体（第１及び第２のコイル導体）を積層してなるが、３個以上のコイル導体を積層した場合も、上述と同様の効果を奏することができる。

図１３は本発明の第６の実施の形態を示す積層コモンモードチョークコイルの斜視図であって、本第６の実施の形態は、フェライト素体３６が、第１の実施の形態と同様の第１のコイル導体４に加え、第２のコイル導体３７及び第３のコイル導体４２を有し、３線式積層コモンモードチョークコイルを形成している。

図１４はフェライト素子３６の分解斜視図であって、該フェライト素体３６は、第１の実施の形態と略同様、表面に内部導体６ａ〜６ｇ、３９ａ〜３９ｇ、４３ａ〜４３ｇが形成された磁性体シート７ａ〜７ｇ、４１ａ〜４１ｇ、４５ａ〜４５ｇの積層体が焼成されてなり、内部導体６ａ〜６ｇで第１のコイル導体４を形成し、内部導体３９ａ〜３９ｇで第２のコイル導体３７を形成し、内部導体４３ａ〜４３ｇで第３のコイル導体４２を形成している。

第２のコイル導体３７は、第１のコイル導体４と略同様、始端側内部導体３９ａが、コ字状のコイル部を有すると共に該コイル部の末端にはビアホール４０ａが形成され、さらに、該コイル部の先端側は延伸され、適宜コ字状に屈曲されて磁性体シート４１ａの端縁に露出して引出部３９ａ′を形成し、該引出部３９ａ′は第３の外部導体３８ａに接続されている。また、終端側内部導体３９ｇは、コ字状のコイル部を有すると共に該コイル部の先端側はコ字状に屈曲されて磁性体シート４１ｇの端縁に露出して引出部３９ｇ′を形成し、該引出部３９ｇ′は第３の外部導体３８ｂに接続されている。また、内部導体３９ｂ〜３９ｆは、上層の導体パターンに対しそれぞれ反時計回り方向に９０°回転したコ字形状に形成され、ビアホール４０ａ〜４０ｆを介して螺旋状に電気的に接続されている。

そして、第２のコイル導体３７は、始端側内部導体３９ａとこれに隣接する内部導体３９ｂ、及び終端側内部導体３９ｇとこれに隣接する内部導体３９ｆは、基準コイル内面積Ａ′よりも小さいコイル内面積Ａを有するように導体パターンが形成されている。例えば、始端側内部導体３９ａは、図１５に示すように、コイルの底部３９ａ″が、基準コイル内面積Ａ′よりも小さくなるように仮想線で示す位置から図中下方に平行移動し、コイル内面積Ａを有するように形成されている。

また、第３のコイル導体４２も、第１のコイル導体４と略同様、始端側内部導体４３ａが、コ字状のコイル部を有すると共に該コイル部の末端にはビアホール４４ａが形成され、さらに、該コイル部の先端側は延伸され、適宜コ字状に屈曲されて磁性体シート４５ａの端縁に露出して引出部４３ａ′を形成し、該引出部４３ａ′は第３の外部導体４６ａに接続されている。また、終端側内部導体４３ｇは、コ字状のコイル部を有すると共に該コイル部の先端側はコ字状に屈曲されて磁性体シート４５ｇの端縁に露出して引出部４３ｇ′を形成し、該引出部４３ｇ′は第３の外部導体４６ｂに接続されている。また、内部導体４３ｂ〜４３ｆは、上層の導体パターンに対しそれぞれ時計回り方向に９０°回転したコ字形状に形成され、ビアホール４４ａ〜４４ｆを介して螺旋状に電気的に接続されている。

そして、第３のコイル導体４２は、第１及び第２のコイル導体４、３７と同様、始端側内部導体４３ａとこれに隣接する内部導体４３ｂ、及び終端側内部導体４３ｇとこれに隣接する内部導体４３ｆが、基準コイル内面積Ａ′よりも小さいコイル内面積Ａを有するように導体パターンが形成されている。

このように本第６の実施の形態も、第１の実施の形態と略同様、始端側内部導体６ａ、３９ａ、４３ａとこれに隣接する内部導体６ｂ、３９ｂ、４３ｂ及び終端側内部導体６ｇ、３９ｇ、４３ｇとこれに隣接する内部導体６ｆ、３９ｆ、４３ｆのコイル内面積Ａが基準コイル内面積Ａ′よりも小さくなるように形成されているので、３素子間（第１乃至第３のコイル導体４、３７、４２）で結合する磁束密度もその変化量に比例して変化し、これによりインピーダンスＺｃが微調整された所望のインピーダンス特性を有する積層コモンモードチョークコイルを得ることができる。

尚、本発明は上記実施の形態に限定されるものではない。上記第６の実施の形態では、３線式積層コモンモードチョークコイルの例として、第１の実施の形態と同様、始端側内部導体とこれに隣接する内部導体、及び終端側内部導体とこれに隣接する内部導体のコイル内面積を基準コイル内面積Ａ′よりも小さくしているが、第２〜第５の実施の形態と同様の形態を３線式積層コモンモードチョークコイルに適用した場合であっても、本発明の所期の目的を達成できるのはいうまでもない。

また、上記実施の形態では、一部の内部導体のコイル内面積を、基準コイル内面積Ａ′よりも小さくしているが、一部の内部導体のコイル内面積を、基準コイル内面積Ａ′よりも大きくなるように形成しても、本発明の所期の目的を達成することができる。

また、上記第１の実施の形態では、フェライト原料を共沈法で作製しているが、他の方法、例えば湿式混合法で作製してもよく、また必要に応じてＣｏ_３Ｏ_４やＭｎ_３Ｏ_４を添加してもよい。

また、第１〜第３の外部導体２ａ、２ｂ、３８ａ、３８ｂ、４６ａ、４６ｂの表面には湿式めっき法等を使用してめっき皮膜を形成してもよく、また、外部導体用導電性ペーストを塗布・焼付ける代わりに、第１〜第３の外部導体２ａ、２ｂ、３８ａ、３８ｂ、４６ａ、４６ｂをスパッタリング法で形成してもよい。

次に、本発明の実施例を具体的に説明する。

まず、Ｓ：３３〜８３ｐｐｍ、Ｃｌ：５０〜１５０ｐｐｍ、Ｎａ：７０〜１００ｐｐｍ、Ｃａ：５０〜１００ｐｐｍを含有したＮｉ−Ｚｎ−Ｃｕ系フェライト原料を共沈法で作製し、次いでこのフェライト原料を温度６５０℃で仮焼して仮焼物を得た。次いで、この仮焼物にＣｏ_３Ｏ_４：２重量％及びＭｎ_３Ｏ_４を０．３５重量％となるようにＣｏ_３Ｏ_４及びＭｎ_３Ｏ_４を添加し、再び湿式粉砕した。

次いで、この粉砕物を脱水・乾燥した後、酢酸ビニル系バインダ樹脂及び可塑剤を混合してフェライトスラリーを得た。そしてこの後、ドクターブレード法を使用してフェライトスラリーに成形加工を施し、厚みが約５０μｍの磁性体シートを作製した。

次に、この磁性体シートを所定寸法に切断した後、レーザ加工機を使用して該磁性体シートの所定位置にビアホールを形成し、さらにＡｇを主成分とした内部導体用導電性ペーストを用意し、該内部導体用導電性ペーストを使用して磁性体シートにスクリーン印刷を施しコイルパターンを形成した。

この際、始端側内部導体及び終端側内部導体となるべき導体パターン、及びこれらに隣接する内部導体となるべき導体パターンのコイル内面積については、基準となるコイル内面積（基準コイル内面積）Ａ′、及びこの基準コイル内面積Ａ′に対して７／１６、６／１６、５／１６、４／１６、３／１６、２／１６、１／１６のコイル内面積Ａを有するように磁性体シート上に導体パターンを形成した。

次いで、このようにして導体パターンの形成された磁性体シートを適宜積層し、第１のコイル導体が内蔵された第１の積層体、及び第２のコイル導体が内蔵された第２の積層体を形成し、これら第１の積層体及び第２の積層体を重ね合わせて圧着し、次いで、温度約５００℃で脱バインダ処理を施した後、温度８６０〜９４０℃で焼成処理を行ない、フェライト素体を作製した。

次いで、Ａｇを主成分とした外部導体用導電性ペーストをフェライト素体の両端部に塗布した後、温度７５０〜９００℃で焼付け処理を行ない、試料番号１〜８の積層コモンモードチョークコイルを作製した（図１参照）。

次に、試料番号１〜８について、インピーダンスアナライザ（ヒューレット・パッカード社製４２９１Ａ）を使用して１００ＭＨｚにおけるインピーダンスＺｃを測定した。

表１は試料番号１〜８における始端側及び終端側内部導体、及びこれらに隣接する内部導体の基準コイル内面積Ａ′に対するコイル面積比Ａ／Ａ′、第１又は第２のコイル導体のコイルターン数、コイルターン数の変化率、インピーダンスＺｃ、及びインピーダンス変化率を示している。

この表１から明らかなようにコイル面積比Ａ／Ａ′を小さくしてゆくに従い、コイルターン数も小さくなり、これによりインピーダンスＺｃも小さくなっており、したがって内部導体のコイル内面積を変化させることにより、インピーダンスＺｃを調整できることが分かった。因みに、本実施例１ではコイル面積比Ａ／Ａ′を７／１６とすることによりインピーダンスＺｃを５％低下させることができ、以後コイル面積比Ａ／Ａ′を１／１６ずつ均一に小さくすることにより、インピーダンスＺｃを４％ずつ低下させることができた。尚、本実施例において、コイルターン数を変更することによりコイル内面積を変化させているが、コイル導体幅やコイル導体形状を変化させることによってもコイル内面積を変化させることができる。

〔実施例１〕の同様の方法・手順で磁性体シートを作製した後、コイルパターンを作製し、３個のコイル導体を内蔵した試料番号１１〜１８の積層コモンモードチョークコイルを作製した（図１３参照）。

そして、（実施例１〕と同様の方法で１００ＭＨｚにおけるインピーダンスＺｃを測定した。

表２は試料番号１１〜１８における始端側及び終端側内部導体、及びこれらに隣接する内部導体の基準コイル内面積Ａに対するコイル面積比、第１又は第２のコイル導体のコイルターン数、コイルターン数変化率、インピーダンスＺｃ、及びインピーダンス変化率を示している。

この表２から明らかなように、〔実施例１〕と同様、コイル面積比Ａ／Ａ′を小さくしてゆくに従いコイルターン数も小さくなり、これによりインピーダンスＺｃも小さくなっており、したがって内部導体のコイル内面積を変化させることにより、インピーダンスＺｃを調整できることが分かった。因みに、本実施例２ではコイル面積比を７／１６とすることによりインピーダンスＺｃを５．５％低下させることができ、以後コイル面積比Ａ／Ａ′を１／１６ずつ均一に小さくすることにより、インピーダンスＺｃを４．５〜４．６％ずつ低下させることができた。

本発明に係る積層コイル部品としての積層コモンモードチョークコイルの一実施の形態（第1の実施の形態）を示す斜視図である。 フェライト素体の分解斜視図である。 第１のコイル導体の始端側内部導体のコイルパターン（コイル内面積Ａ）を示す平面図である。 第１のコイル導体の始端側内部導体に隣接する内部導体のコイルパターン（コイル内面積Ａ）を示す平面図である。 第１のコイル導体の始端側内部導体に隣接する内部導体の下層の内部導体（基準コイル内面積Ａ′）のコイルパターンを示す平面図である。 第２のコイル導体の始端側内部導体のコイルパターン（コイル内面積Ａ）を示す平面図である。 第２の実施の形態を示すフェライト素体の分解斜視図である。 第２の実施の形態における第１のコイル導体の終端側内部導体のコイルパターン（基準コイル内面積Ａ′）を示す平面図である。 第２の実施の形態における第２のコイル導体の終端側内部導体のコイルパターン（コイル内面積Ａ）を示す平面図である。 第３の実施の形態を示すフェライト素体の分解斜視図である。 第４の実施の形態を示すフェライト素体の分解斜視図である。 第５の実施の形態を示すフェライト素体の分解斜視図である。 第６の実施の形態を示す積層コモンモードチョークコイルの斜視図である。 第６の実施の形態のフェライト素体の分解斜視図である。 第６の実施の形態における第３のコイル導体の始端側内部導体のコイルパターン（コイル内面積Ａ）を示す平面図である。

符号の説明

１ フェライト素体（セラミック素体）
２ａ、２ｂ 第１の外部導体
３ａ、３ｂ 第２の外部導体
４、１２、１８、２４ 第１のコイル導体
５、１５、２１、２７ 第２のコイル導体
６ａ〜６ｇ、９ａ〜９ｇ 内部導体
１３ａ〜１３ｇ、１６ａ〜１６ｇ 内部導体
１９ａ〜１９ｇ、２１ａ〜２１ｇ 内部導体
２５ａ〜２５ｆ、２８ａ〜２８ｆ 内部導体
２０、２２、２４、２６、２８ 第３のコイル導体
３６ フェライト素体（セラミック素体）
３７ 第３のコイル導体
３８ａ、３８ｂ 第３の外部導体

Claims (7)

1. コイル導体を形成する多数の内部導体がセラミック素体内に並設されてなる螺旋状コイルを少なくとも２つ以上備えると共に、該セラミック素体の両端部に外部導体が形成され、前記２つ以上の螺旋状コイルの始端側内部導体及び終端側内部導体が前記外部導体に電気的に接続された積層コイル部品において、
   前記内部導体のうち、一部の内部導体のコイル内面積が、他の内部導体のコイル内面積と異なることを特徴とする積層コイル部品。
2. 前記一部の内部導体は、前記始端側内部導体及び前記終端側内部導体とこれらに隣接する内部導体であることを特徴とする請求項１記載の積層コイル部品。
3. 前記一部の内部導体は、前記始端側内部導体と該始端側内部導体に隣接する内部導体、及び前記終端側内部導体と該終端側内部導体に隣接する内部導体のうち、いずれかであることを特徴とする請求項１記載の積層コイル部品。
4. 前記一部の内部導体は、前記始端側内部導体及び前記終端側内部導体にそれぞれ隣接する内部導体以外の内部導体であることを特徴とする請求項１記載の積層コイル部品。
5. 前記一部の内部導体は、前記始端側内部導体及び前記終端側内部導体のうちのいずれか一方の内部導体と、前記始端側内部導体及び前記終端側内部導体に隣接しない内部導体のうちの少なくとも１つの内部導体であることを特徴とする請求項１記載の積層コイル部品。
6. 前記一部の内部導体は、前記始端側内部導体及び前記終端側内部導体のうちのいずれか一方に隣接する内部導体であることを特徴とする請求項１記載の積層コイル部品。
7. セラミックグリーンシートの表面に導体パターンを形成し、該導体パターンの形成された多数のセラミックグリーンシートをコイル導体が形成されるように積層して積層体を形成し、その後、前記積層体に焼成処理を施してセラミック素体を形成し、該セラミック素体の両端部に外部導体を形成する積層コイル部品の製造方法において、
   前記導体パターンのうち、一部の導体パターンのコイル内面積が、他の導体パターンのコイル内面積と異なるように前記多数のセラミックグリーンシートの表面に前記導体パターンを形成することを特徴とする積層コイル部品の製造方法。

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