JP2005308684A - プローブおよび検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 CDM(Charged Device Model)による電子部品や電子機器回路の破壊を回避できるプローブおよび検査装置を提供する。
【解決手段】 収容筒20と、収容筒20に収容されたプランジャ10と、プランジャ10を収容筒20の軸方向に押圧するスプリング25を具備したプローブ2で、収容筒20の先端部21とプランジャ10の中軸12を他の部分に比べて高抵抗の材料で形成する。
【選択図】 図1
【解決手段】 収容筒20と、収容筒20に収容されたプランジャ10と、プランジャ10を収容筒20の軸方向に押圧するスプリング25を具備したプローブ2で、収容筒20の先端部21とプランジャ10の中軸12を他の部分に比べて高抵抗の材料で形成する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、電子部品や回路基板における電気的特性の測定に用いられるプローブおよび検査装置に関する。
半導体などの電子部品や、半導体、抵抗、コンデンサ等を実装した回路基板の電気的特性を測定するためのコンタクト部品として、プローブが使用されている。
従来、電気的特性を測定するためのプローブとしては、種々の構造のものが提供され、例えば特許文献1に記載されている構造が知られている。
この従来のプローブは、外装としての円筒形のバレルを有し、先端部に接触子を形成したプランジャと、このプランジャをバレルの軸線方向に押圧するスプリングを内蔵している。バレルの中ほどには細径カシメが施され、プランジャの抜け止めとなり、プランジャは、バレル内をスプリングの付勢を受けながら一定範囲の移動が可能となっている。
そして、プランジャの先端部分に形成された接触子を、半導体などの電子部品や半導体や抵抗、コンデンサを実装した回路基板の測定対象部、例えば回路端子に押し付けることによって、プランジャがバレル内を移動し、適度な押圧力を保持してプローブと端子との接触がなされる。
そして、上記測定対象部とプローブ間が導通状態となり、これによって電子部品や回路基板の電気的特性が測定される。
この従来のプローブは、外装としての円筒形のバレルを有し、先端部に接触子を形成したプランジャと、このプランジャをバレルの軸線方向に押圧するスプリングを内蔵している。バレルの中ほどには細径カシメが施され、プランジャの抜け止めとなり、プランジャは、バレル内をスプリングの付勢を受けながら一定範囲の移動が可能となっている。
そして、プランジャの先端部分に形成された接触子を、半導体などの電子部品や半導体や抵抗、コンデンサを実装した回路基板の測定対象部、例えば回路端子に押し付けることによって、プランジャがバレル内を移動し、適度な押圧力を保持してプローブと端子との接触がなされる。
そして、上記測定対象部とプローブ間が導通状態となり、これによって電子部品や回路基板の電気的特性が測定される。
通常はこのようなプローブにおいて、プローブ自体は測定の安定性や測定誤差を考慮して、低抵抗となる材料で構成されている。例えば、バレルは洋白あるいはリン青銅等の導電性材料で製作され、プランジャは炭素鋼やBeCu合金等の材料で製作されている。そして、必要に応じて、Auメッキ、NiメッキやTiNコーティング等の表面処理がされる。また、スプリングはバネ鋼などで製作されている。そして、必要に応じてAuメッキ、NiメッキやTiNコーティング等の表面処理がされている。
このように、一般のプローブにおいては、低抵抗となる材料で構成されている。このため、帯電した電子部品や回路基板の電気的特性を測定する際、プローブが被測定物の端子に当たると、高い電流で電荷が急激に抜け、電子部品や回路が破壊される問題があった。これは、一般にCDM(Charged Device Model)と呼ばれ、この対策として、静電気を発生させない、あるいは除電するなどの環境整備対策がとられている。しかしながら、静電気を完全に除去することは困難であり、多くの課題を有していた。
上記課題を解決するために本発明は、CDMによる電子部品や回路基板の破壊を回避できるプローブおよび検査装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために本発明のプローブは、一方が開放され他方が外部と電気的に接続されるターミナル部を有する導電性の収容筒と、前記収容筒内に配置され前記収容筒の開放された先端部から突出し先端部分が被測定物と接触する導電性の接触子と当該接触子と接続される中軸とを備えたプランジャと、前記収容筒内に内蔵され前記プランジャを前記収容筒の軸方向に押圧するスプリングと、を具備したプローブであって、前記接触子が被測定物と接触し前記プランジャが一定範囲を移動する間は接触子とターミナル部の間の抵抗が高抵抗であり第1の通電経路が選択され、一定の範囲移動後には接触子とターミナル部の間の抵抗が低抵抗となり第2の通電経路が選択されることを特徴とする。
この構成によれば、例えば帯電した回路基板の電気的特性の測定において、プローブの接触子が回路基板などの被測定物の端子と接触した時にはプローブの抵抗が高抵抗であるため、被測定物から電流量が抑制されながら放電される。このことから、回路基板などの被測定物から急激に電荷が抜けることがなくなり、回路の破壊が回避される。
また、さらにプローブのプランジャを押し込んでいくと、プローブの抵抗が低抵抗となり、回路基板などの被測定物における通常の電気的特性の測定が可能となる。
また、さらにプローブのプランジャを押し込んでいくと、プローブの抵抗が低抵抗となり、回路基板などの被測定物における通常の電気的特性の測定が可能となる。
また、本発明のプローブは、収容筒の開放された先端部分が他の部分に比べて高抵抗の材料で形成され、プランジャの中軸が接触子に比べて高抵抗の材料または絶縁体の材料で形成されていることを特徴とする。
この構成によれば、プローブの接触子が被測定物の端子と接触した時にはプローブの抵抗が高抵抗であり、さらにプローブのプランジャを押し込んだときには、プローブの抵抗を低抵抗とすることができる。
また、本発明のプローブは、収容筒の開放された先端部分が絶縁体の材料で形成され、プランジャの中軸が高抵抗の材料で形成しても良い。
この構成によれば、プローブの接触子が被測定物の端子と接触した時にはプローブの抵抗が高抵抗であり、さらにプローブのプランジャを押し込んだときには、プローブの抵抗を低抵抗とすることができる。
また、本発明のプローブは、前記プランジャの接触子に第1接触子および第2接触子を備えており、第1接触子はその一部が第2接触子より突出するように配置され、第1接触子をプランジャの軸方向に押圧する第2のスプリングを具備したことを特徴とする。
この構成によれば、例えば帯電した回路基板など被測定物の電気的特性の測定において、プローブの第1接触子が回路基板などの被測定物の端子と接触した時にはプローブの抵抗が高抵抗であるため、被測定物から電流量が抑制されながら放電される。このことから、回路基板から急激に電荷が抜けることがなくなり、回路の破壊が回避される。
また、さらにプローブのプランジャを押し込み、第2接触子が被測定物の端子と接触するとプローブの抵抗が低抵抗となり、回路基板などの被測定物における通常の電気的特性の測定が可能となる
また、さらにプローブのプランジャを押し込み、第2接触子が被測定物の端子と接触するとプローブの抵抗が低抵抗となり、回路基板などの被測定物における通常の電気的特性の測定が可能となる
また、上記、本発明のプローブにおいて、前記第1接触子は高抵抗の材料で、第2接触子は低抵抗の材料で形成されていることを特徴とする。
この構成によれば、プローブの第1接触子が被測定物の端子と接触した時にはプローブの抵抗が高抵抗であり、さらにプランジャを押し込み第2接触子が被測定物の端子と接触すると、プローブの抵抗を低抵抗とすることができる。
また、本発明の検査装置は、測定条件を入力する入力部と、測定条件に基づき測定信号を発生させ測定結果を処理するテスターと、テスターと接続され被測定物とコンタクトする測定治具と、測定結果を出力する出力部と、を備えた検査装置であって、前記測定治具には上記に記載のプローブを用いたことを特徴とする。
この構成によれば、プローブの接触子が被測定物の端子と接触した時にはプローブの抵抗が高抵抗であり、さらにプランジャを押し込んだときには、プローブの抵抗が低抵抗となるプローブを検査装置に備えているため、回路基板などの被測定物の検査における電気的特性の測定で、CDMによる回路の破壊を回避でき、良好な測定のできる検査装置を提供できる。
以下、本発明の実施形態について図面に従って説明する。
(第1の実施形態)
図1は、第1の実施形態のプローブを示す部分断面図である。図1(a)はプローブが被測定物の端子に接触する前の状態を示す。図1(b)はプローブが被測定物の端子に最初に接触した状態を示している。図1(c)はプローブが被測定物の端子に接触しプランジャが収容筒に押し込まれた状態を示している。
図1は、第1の実施形態のプローブを示す部分断面図である。図1(a)はプローブが被測定物の端子に接触する前の状態を示す。図1(b)はプローブが被測定物の端子に最初に接触した状態を示している。図1(c)はプローブが被測定物の端子に接触しプランジャが収容筒に押し込まれた状態を示している。
プローブ2は底を有する円筒形の収容筒20と、収容筒20に収容される円柱状のプランジャ10と、プランジャ10を収容筒20の軸線方向に押圧するスプリング25を備えている。
収容筒20は先端部21、収容部22、ターミナル部23から構成されている。収容筒20の一方の端部は開放され、その先端部21は他の部分に比べて高抵抗の材料で形成されている。また、収容筒20の他方の端部は閉じられ外部との電気的接続をなすターミナル部23となっている。なお、収容部22とターミナル部23は低抵抗の材料で形成されている。
収容筒20は先端部21、収容部22、ターミナル部23から構成されている。収容筒20の一方の端部は開放され、その先端部21は他の部分に比べて高抵抗の材料で形成されている。また、収容筒20の他方の端部は閉じられ外部との電気的接続をなすターミナル部23となっている。なお、収容部22とターミナル部23は低抵抗の材料で形成されている。
プランジャ10は、被測定物1の端子1Aと接触する接触子11と、プランジャ止め部13を有する中軸12から構成されている。接触子11は低抵抗の材料で形成され、中軸12は接触子11に比べて高抵抗の材料で形成されている。なお、以上の説明で高抵抗の材料とは1kΩから1MΩの材料である。
収容筒20の収容部22の中ほどには細径カシメが施され、プランジャ10のプランジャ止め部13が抜け止めとなり、プランジャ10は収容筒20内に配置されたスプリング23の付勢を受けながら一定範囲の移動が可能となっている。
また、プランジャ10の接触子11とプランジャ止め部13は、収容筒20の内周面と接触しながら摺動可能となっている。
また、プランジャ10の接触子11とプランジャ止め部13は、収容筒20の内周面と接触しながら摺動可能となっている。
以上の構成のプローブ2を用いて、ICなどの電子部品や回路基板の電気的特性などを測定する際、被測定物1の端子1Aとプローブ2との接触動作について説明をする。
図1(a)に示すように、被測定物1の端子1Aとプローブ2の接触子11が接触する前の状態では、プランジャ10は収容筒20に内蔵されたスプリング23により付勢され、プランジャ10の接触子11が収容筒20の開放された先端から突出している。なお、ターミナル部23は、図示しないが、リード線やソケットを介して外部と電気的に接続されている。
図1(a)に示すように、被測定物1の端子1Aとプローブ2の接触子11が接触する前の状態では、プランジャ10は収容筒20に内蔵されたスプリング23により付勢され、プランジャ10の接触子11が収容筒20の開放された先端から突出している。なお、ターミナル部23は、図示しないが、リード線やソケットを介して外部と電気的に接続されている。
そして、図1(b)に示すように、被測定物1の端子1Aがプローブ2に近づき、被測定物1の端子1Aが接触子11と接触する。ここで、ICや回路基板が帯電していた場合には、接触子11が接触している収容筒20の先端部21が高抵抗の材料で形成されているため、電荷の流れは主に、低抵抗の材料で形成された接触子11から高抵抗の材料で形成された中軸12を経由し、中軸12のプランジャ止め部13から低抵抗の材料で形成された収容筒20の収容部22を通り、ターミナル部23から外部接続部に電荷が抜けていく。この状態では、プローブ2の接触子11とターミナル部23間の通電経路の抵抗は高抵抗となっている。
このように、プローブ2の接触子11が電子部品や回路基板などの被測定物1の端子1Aと接触した時にはプローブ2の抵抗が高抵抗であるため、被測定物1から電流量が抑制されながら放電される。このことから、電子部品や回路基板から急激に電荷が抜けることがなくなり、被測定物1の回路の破壊が回避される。
次に、図1(c)に示すように、被測定物1の端子1Aがさらにプローブ2に近づきプランジャ10が収容筒20に押し込まれ、この状態で電子部品や回路基板などの被測定物1の電気的特性が測定される。この状態では、プランジャ10が収容筒20に押し込まれ、接触子11が収容筒20の収容部22と接触することになり、プローブ2の接触子11とターミナル部23間の通電経路の抵抗は低抵抗となっている。
このように、プランジャ10が収容筒20に押し込まれることにより、プローブ2における通電経路が低抵抗になり、通常の良好な測定が可能となる。
なお、上記実施形態では収容筒20の先端部21およびプランジャ10の中軸12を高抵抗の材料としたが、収容筒20の先端部21を高抵抗の材料とし、プランジャ10の中軸12を絶縁体で形成してもよい。また、収容筒20の先端部21を絶縁体とし、プランジャ10の中軸12を高抵抗の材料としてもよい。これらの構成においては、上記実施形態と同様に、プランジャ10が一定範囲を移動する間は、プローブ2の接触子11とターミナル部23の間の抵抗を高抵抗にすることができ、また、一定の範囲移動後にはプローブ2の接触子11とターミナル部23の間の抵抗を低抵抗にすることができ、同様の効果を実現できる。
(第2の実施形態)
図2は、第2の実施形態のプローブを示す部分断面図である。図2(a)はプローブが被測定物端子に接触する前の状態を示す。図2(b)はプローブが被測定物の端子に最初に接触した状態を示している。図2(c)はプローブが被測定物の端子に接触しプランジャが収容筒に押し込まれた状態を示している。
図2は、第2の実施形態のプローブを示す部分断面図である。図2(a)はプローブが被測定物端子に接触する前の状態を示す。図2(b)はプローブが被測定物の端子に最初に接触した状態を示している。図2(c)はプローブが被測定物の端子に接触しプランジャが収容筒に押し込まれた状態を示している。
プローブ2は底を有する円筒形の収容筒50と、収容筒50に収容される第2プランジャ40と、第2プランジャ40に収容される第1プランジャ30を備えている。また、第2プランジャ40を収容筒50の軸線方向に押圧するスプリング55および、第1プランジャ30を第2プランジャ40の軸線方向に押圧するスプリング34を備えている。
収容筒50は、第2プランジャ40を収容する収容部51とターミナル部52から構成されている。収容筒50の一方の端部は開放され、第2プランジャ40を収容可能とし、
また他方の端部は閉じられ、この閉じられた端部に外部との電気的接続をなすターミナル部52を形成している。なお、収容筒50は低抵抗の材料で形成されている。
また他方の端部は閉じられ、この閉じられた端部に外部との電気的接続をなすターミナル部52を形成している。なお、収容筒50は低抵抗の材料で形成されている。
第2プランジャ40は、被測定物1の端子1Aと接触する第2接触子42と、先端部41、プランジャ止め部44を有する中軸43から構成されている。
第2プランジャ40はその一端が開放されるとともに、第1プランジャ30およびスプリング34を収容可能に構成されている。そして、第2接触子42は、その先端部分が径方向内側に折り曲げられ、さらに鋭角に設計され、被測定物1の端子1Aの狭小な部分に接触できるように形成されている。
また、第2プランジャ40の先端部41は、第2接触子42に比べて高抵抗の材料で形成され、図2(a)のA−A断面図である図3に示すように、半円状の形状に形成されている。なお、第2プランジャ40は先端部41を除き低抵抗の材料で形成されている。
第2プランジャ40はその一端が開放されるとともに、第1プランジャ30およびスプリング34を収容可能に構成されている。そして、第2接触子42は、その先端部分が径方向内側に折り曲げられ、さらに鋭角に設計され、被測定物1の端子1Aの狭小な部分に接触できるように形成されている。
また、第2プランジャ40の先端部41は、第2接触子42に比べて高抵抗の材料で形成され、図2(a)のA−A断面図である図3に示すように、半円状の形状に形成されている。なお、第2プランジャ40は先端部41を除き低抵抗の材料で形成されている。
収容筒50の収容部51の中ほどには細径カシメが施され、第2プランジャ40のプランジャ止め部44が抜け止めとなり、第2プランジャ40は収容筒50内に配置されたスプリング55の付勢を受けながら一定範囲の移動が可能となっている。そして、通常の状態では、収容筒50の先端部より第2接触子42が突出するように配置されている。
また、第2プランジャ40の第2接触子42とプランジャ止め部44は、収容筒50と接触しながら摺動可能となっている。
また、第2プランジャ40の第2接触子42とプランジャ止め部44は、収容筒50と接触しながら摺動可能となっている。
第1プランジャ30は、第2プランジャ40に収容され、第1接触子31、中軸32、プランジャ止め部33から構成されている。
第1接触子42は、その先端が鋭角に設計され、被測定物端子1の狭小な部分に接触できるように形成されている。なお、第1プランジャ30は高抵抗の材料で形成されている。
第1接触子42は、その先端が鋭角に設計され、被測定物端子1の狭小な部分に接触できるように形成されている。なお、第1プランジャ30は高抵抗の材料で形成されている。
第2プランジャ40の第2接触子42の中ほどには細径カシメが施され、第1プランジャ30のプランジャ止め部33が抜け止めになり、第1プランジャ30は第2プランジャ40内に配置されたスプリング34の付勢を受けながら一定範囲の移動が可能となっている。そして、通常の状態では、第2接触子42の先端部より第1接触子31が突出するように配置されている。なお、第2プランジャ40内に配置されたスプリング34は、収容筒50内に配置されたスプリング55よりバネ力が弱く設定されている。
また、第1プランジャ30の第1接触子31とプランジャ止め部33は第2プランジャ40の内周面と接触しながら摺動可能となっている。
なお、以上の説明で高抵抗の材料とは1kΩから1MΩの材料である。
また、第1プランジャ30の第1接触子31とプランジャ止め部33は第2プランジャ40の内周面と接触しながら摺動可能となっている。
なお、以上の説明で高抵抗の材料とは1kΩから1MΩの材料である。
以上の構成のプローブを用いて、電子部品や回路基板の電気的特性などを測定する際、被測定物の端子とプローブとの接触動作について説明をする。
図2(a)に示すように、被測定物1の端子1Aとプローブ2の第1接触子31および第2接触子42が接触する前の状態では、第1接触子31は第2プランジャ40に内蔵されたスプリング34により付勢され、第2プランジャ40の開放された先端から突出している。また、第2接触子42は収容筒50に内蔵されたスプリング55により付勢され、収容筒50の開放された先端から突出している。そして、ターミナル部52は、図示していないが、リード線やソケットを介して外部と電気的に接続されている。
図2(a)に示すように、被測定物1の端子1Aとプローブ2の第1接触子31および第2接触子42が接触する前の状態では、第1接触子31は第2プランジャ40に内蔵されたスプリング34により付勢され、第2プランジャ40の開放された先端から突出している。また、第2接触子42は収容筒50に内蔵されたスプリング55により付勢され、収容筒50の開放された先端から突出している。そして、ターミナル部52は、図示していないが、リード線やソケットを介して外部と電気的に接続されている。
そして、図2(b)に示すように、被測定物1の端子1Aがプローブ2に近づき、最初にプローブ2の第1接触子31と接触する。ここで、電子部品や回路基板が帯電していた場合には、第1接触子31と接触している第2プランジャ40の先端部41が高抵抗の材料で形成されているため、電荷の流れは主に、高抵抗の材料で形成された第1接触子31から中軸32を経由し、中軸32のプランジャ止め部33から第2プランジャ40の第2接触子44を通り、収容筒50を伝わりターミナル部52から外部接続部に電荷が抜けていく。この状態では、プローブ2の第1接触子31とターミナル部52間の通電経路の抵抗は高抵抗となっている。
このように、プローブ2の第1接触子31が電子部品や回路基板などの被測定物1の端子1Aと接触した時にはプローブ2の抵抗が高抵抗であるため、被測定物1から電流量が抑制されながら放電される。このことから、電子部品や回路基板などの被測定物1の端子1Aから急激に電荷が抜けることがなくなり、被測定物1の回路の破壊が回避される。
次に、図2(c)に示すように、被測定物1の端子1Aがプローブ2に近づくと、第1プランジャ30は第2プランジャ40内に移動し、第2プランジャ40の第2接触子32も被測定物1の端子1Aに接触するようになる。そして、さらに被測定物1の端子1Aがプローブ2に近づき、第2プランジャ40が収容筒50内に押し込まれて、この状態で電子部品や回路基板など被測定物の電気的特性が測定される。
この状態では、低抵抗の材料で形成された第2接触子42から、同じく低抵抗の材料で形成された収容筒50の収容部51を通りターミナル部52へ抜けていく通電経路ができるので、プローブ2の先端とターミナル部52の間の抵抗は低抵抗となっている。
この状態では、低抵抗の材料で形成された第2接触子42から、同じく低抵抗の材料で形成された収容筒50の収容部51を通りターミナル部52へ抜けていく通電経路ができるので、プローブ2の先端とターミナル部52の間の抵抗は低抵抗となっている。
このように、被測定物1の端子1Aがプローブ2に近づき、第2接触子42が被測定物1の端子1Aに接触することにより、プローブ2が低抵抗になり、通常の良好な測定が可能となる。
次に上記実施形態で説明したプローブを備えた検査装置について説明する。
図4は本実施形態の検査装置の構成を示す構成図である。検査装置60は、入力装置70、表示装置71、テスター80および検査治具90を備えている。入力装置70は、検査内容の指示を入力可能であり、コンピュータのキーボードなどの入力手段から構成されている。
テスター80には、入力装置70から入力された入力情報の処理および、測定結果を処理する処理回路81を備えている。また、測定条件に基づき測定信号を発生させる検査回路82および、表示装置71などの機器を制御する機器制御回路83を具備している。測定治具90には、前述のプローブが複数備えられ、被測定物1の端子1Aと接触可能に設けられている。測定治具90はテスター80に電気的に接続され、テスター80および被測定物100からの信号の授受を行う。表示装置71は出力部として、測定された結果を表示する機能を有している。
図4は本実施形態の検査装置の構成を示す構成図である。検査装置60は、入力装置70、表示装置71、テスター80および検査治具90を備えている。入力装置70は、検査内容の指示を入力可能であり、コンピュータのキーボードなどの入力手段から構成されている。
テスター80には、入力装置70から入力された入力情報の処理および、測定結果を処理する処理回路81を備えている。また、測定条件に基づき測定信号を発生させる検査回路82および、表示装置71などの機器を制御する機器制御回路83を具備している。測定治具90には、前述のプローブが複数備えられ、被測定物1の端子1Aと接触可能に設けられている。測定治具90はテスター80に電気的に接続され、テスター80および被測定物100からの信号の授受を行う。表示装置71は出力部として、測定された結果を表示する機能を有している。
このような、検査装置60を用いて、電子部品や回路基板などの被測定物1の電気的特性を測定する。入力装置70から測定条件の指示がなされ、テスター80で測定の準備がなされる。その後、例えば、ICなどの被測定物1の端子1Aと測定治具90のプローブ2が接触する。ここで、ICなどの被測定物1が帯電していた場合、プローブ2が最初に接触した状態ではプローブ2が高抵抗となっているため、被測定物1から電流量が抑制されながら放電される。そして、さらにプローブ2の接触子が押し込まれ、プローブ2が低抵抗となり通常の測定が開始される。検査回路82から測定条件に基づいた検査信号が発生され、測定治具90のプローブ2を介して被測定物1に印加される。そして、被測定物1から出力された信号が測定治具90のプローブ2を介してテスター80に入り、処理回路81でデータ処理され、表示装置71に測定結果が表示される。
このように、プローブ2の接触子が電子部品や回路基板などの被測定物1の端子1Aと接触した時にはプローブ2の抵抗が高抵抗であるため、被測定物1から電流量が抑制されながら放電される。このことから、電子部品や回路基板から急激に電荷が抜けることがなくなり、CDMによる被測定物1の回路の破壊が回避される。そして、さらに被測定物1の端子1Aがプローブ2に近づき、被測定物1の端子1Aに接触することにより、プローブ2が低抵抗になり、通常の良好な測定が可能である。
1…被測定物、1A…端子、2…プローブ、10…プランジャ、11…接触子、12…中軸、20…収容筒、21…先端部、23…ターミナル部、25…スプリング、30…第1プランジャ、31…第1接触子、32…中軸、34…スプリング、40…第2プランジャ、41…先端部、42…第2接触子、43…中軸、50…収容筒、52…ターミナル部、55…スプリング、60…検査装置、70…入力部、71…出力部としての表示装置、80…テスター、90…測定治具。
Claims (6)
- 一方が開放され他方が外部と電気的に接続されるターミナル部を有する導電性の収容筒と、前記収容筒内に配置され前記収容筒の開放された先端部から突出し先端部分が被測定物と接触する導電性の接触子と当該接触子と接続される中軸とを備えたプランジャと、前記収容筒内に内蔵され前記プランジャを前記収容筒の軸方向に押圧するスプリングと、を具備したプローブであって、
前記接触子が被測定物と接触し前記プランジャが一定範囲を移動する間は前記接触子と前記ターミナル部の間の抵抗が高抵抗であり第1の通電経路が選択され、一定の範囲移動後には前記接触子と前記ターミナル部の間の抵抗が低抵抗となり第2の通電経路が選択されることを特徴とするプローブ。 - 請求項1に記載のプローブにおいて、前記収容筒の開放された先端部分が他の部分に比べ高抵抗の材料で形成され、前記プランジャの中軸が前記接触子に比べ高抵抗の材料または絶縁体の材料で形成されていることを特徴とするプローブ。
- 請求項1に記載のプローブにおいて、前記収容筒の開放された先端部分が絶縁体の材料で形成され、前記プランジャの中軸が前記接触子に比べ高抵抗の材料で形成されていることを特徴とするプローブ。
- 請求項1に記載のプローブにおいて、前記プランジャの接触子として第1接触子および第2接触子を備えており、第1接触子はその一部が第2接触子より突出するように配置され、第1接触子をプランジャの軸方向に押圧する第2のスプリングを具備したことを特徴とするプローブ。
- 請求項4に記載のプローブにおいて、前記第1接触子は高抵抗の材料で、前記第2接触子は低抵抗の材料で形成されていることを特徴とするプローブ。
- 測定条件を入力する入力部と、測定条件に基づき測定信号を発生させ測定結果を処理するテスターと、前記テスターと接続され被測定物とコンタクトする測定治具と、測定結果を出力する出力部と、を備えた検査装置であって、
前記測定治具は、請求項1ないし5のいずれか一項に記載のプローブを有することを特徴とする検査装置。
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JP2004129658A JP2005308684A (ja) | 2004-04-26 | 2004-04-26 | プローブおよび検査装置 |
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2004
- 2004-04-26 JP JP2004129658A patent/JP2005308684A/ja not_active Withdrawn
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