JP2005307225A - Moターゲット材 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 純度99.9%以上のMoからなる全長が1m以上の焼結ターゲットであって、スパッタ面に引くことができる最長の直線を全長として、該全長を50mm間隔で、アルキメデス法によって測定した相対密度が全域で98%以上となるMoターゲット材である。また、スパッタ面の面積が1m2以上である上記のMoターゲット材である。
【選択図】 図1
Description
本発明の目的は、上記課題に鑑み、異常放電の発生を抑制できる大型焼結品のMoターゲット材を提供することである。
また、好ましくは、スパッタ面の面積が1m2以上であるMoターゲット材である。
以下に、本発明を詳細に説明する。
本発明のMoターゲット材の特徴は、焼結ターゲット材全域に亘って相対密度を98%以上として相対密度のバラツキを低減した点にある。本発明者等は、検討の結果、焼結ターゲット材にあっては、相対密度のバラツキはMo原料粉末の粒度分布に起因することを確認した。
平均粒径d50=8μmなる純度99.9%以上のMo原料粉末を準備した。Mo原料粉末の粒度分布の測定はシスメックス製Mastersizer2000を用い乾式測定法にて行った。測定の結果、粒度5μm以下のサイズのMo原料粉末が全体の12%、粒度10μm以上のサイズのMo原料粉末が全体の13%であった。このMo原料粉末をV型混合機で10分間混合した。次いで、得られたMo原料粉末を冷間静水圧プレス(CIP)で圧縮成形した圧密体を作製した。この圧密体をジョークラッシャーおよびディスクミルを使用して粉砕し造粒粉末を作製した。造粒粉末の粒径はディスクミルの歯間隔および分級機で制御して1mm以下とした。その造粒粉末を再度V型混合機で10分間混合した後、内径寸法で厚さ100mm×幅1250mm×高さ1450mmなる軟鋼製加圧容器に充填した。充填方法はこの加圧容器を厚さ100mm×幅1250mmが供給口になるよう振動装置上に設置し造粒粉末を直接充填した。充填密度はMo比重10.22に対する相対密度で58%であった。
Claims (2)
- 純度99.9%以上のMoからなる全長が1m以上の焼結ターゲット材であって、スパッタ面に引くことができる最長の直線を全長として、該全長を50mm間隔で、アルキメデス法によって測定した相対密度が全域で98%以上となることを特徴とするMoターゲット材。
- スパッタ面の面積が1m2以上であることを特徴とする請求項1に記載のMoターゲット材。
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