JP2005302821A - 検査用データの作成方法、スクリーン印刷用検査装置、及び、検査機能付きスクリーン印刷機 - Google Patents

Abstract

【課題】 スクリーン印刷の印刷物又はスクリーンマスクにおいて、迅速かつ精度の高い検査を行う。
【解決手段】 スクリーン印刷ではんだが印刷されたプリント基板の印刷パターンを検査するための検査用データを作成する方法であって、印刷検査カメラを用いてプリント基板を撮像して上記はんだが印刷された部分の位置を高速度で認識し、その認識した位置に基づいてスクリーンマスクの開口部分の位置を認識し、その認識したスクリーンマスクの開口部分をマスク認識カメラで詳細に撮像することにより、その開口部分についての詳細な画像データを取得し、その詳細な画像データを基に上記検査用データを作成する。
【選択図】 図４

Description

本発明は、スクリーン印刷された印刷物及びスクリーンマスクのうち少なくとも一方を検査するための検査用データを作成するための方法、この検査用データを用いて上記スクリーン印刷された印刷物および上記スクリーンマスクのうち少なくとも一方を検査するためのスクリーン印刷用検査装置、及び、上記スクリーン印刷用検査装置を備えた検査機能付きスクリーン印刷機に関する。

電子部品の実装においては、基板（プリント基板）への電子部品の実装に先立って基板の表面にペースト状のはんだが塗布されるが、その塗布の方法としてスクリーン印刷によって行う方法が広く採用されている。さらに、このスクリーン印刷が適切な箇所にされたか否かを検査するため、上記基板への印刷の後に印刷検査が行われている。この印刷検査は、印刷後の基板をカメラ等の撮像手段を用いて撮像し、この撮像した画像と検査装置に予め入力されている検査用データとを照合し、正しい位置にはんだが印刷されているか否かを判定する。この検査用データを作成する方法としては、正しくパターン開口が形成され、これから印刷に用いられるスクリーン印刷用のスクリーンマスクの全領域を撮像手段で撮像し、この撮像した画像を基に上記スクリーンマスクの開口部分を認識し、画像処理を行って検査用データを作成する方法、あるいは、印刷状態が良好と思われる基板を選定してこの基板をマスター基板とし、このマスター基板を上記撮像手段で全領域を撮像し、この撮像した画像を基に印刷された部分を認識し、画像処理を行って検査用データを作成する方法がある（例えば特許文献１）。
特開２００２−０２９０３３号公報

しかしながら、上記のような従来の方法では、上記検査用データを作成する場合、上記撮像手段によりスクリーンマスク又は上記マスター基板の全領域を撮像する必要がある。かかる方法で精度の高い検査を行うための精密な検査用データを作成しようとすれば、上記撮像手段として比較的解像度の高いものを用いて行う必要があり、その分、上記開口部分又は印刷された部分の認識、及び、上記画像処理にかかる時間が長くなる。

反面、上記開口部分又は印刷された部分の認識及び上記画像処理にかかる時間を短縮すべくその速度を速めると、撮像できる画像の解像度が低くなり、検査の際の精度が低下する。

なお、他の方法として、マスク作成用データを利用し、このマスク作成用データからデータ変換により検査用データを作成することも一般に行われているが、マスク作成用データが入手不能な場合にはこの方法は利用できない。

本発明は、このような事情に鑑み、マスク作成用データを必要とせず、しかも、精度の高い検査を行うことのできる検査用データを迅速に作成する方法、及び、この検査用データを用いて検査を行うことのできるスクリーン印刷用検査装置を提供することを目的とする。

本発明は、スクリーン印刷された印刷物の印刷パターン及びスクリーンマスクのうち少なくとも一方を検査するための検査用データの作成方法であって、スクリーンマスク又は印刷物からなる撮像対象物を撮像する撮像手段として、比較的解像度が低いが高速で上記撮像対象物の画像を得ることができる第一の撮像手段と、この第一の撮像手段と比較して解像度は高いが低速で上記撮像対象物の画像を得る第二の撮像手段とを用い、上記第一の撮像手段によって上記スクリーンマスクの開口部分の配置位置又は上記印刷物の印刷部分の位置を認識し、その認識した開口部分又は上記印刷部分を上記第二の撮像手段で撮像することにより、その開口部分又は印刷部分についての詳細な画像データを取得し、その詳細な画像データを基に上記検査用データを作成することを特徴とする検査用データを作成する方法である。

この方法によると、上記第一の撮像手段を用いて迅速に上記スクリーンマスクの開口部分の配置位置又は上記印刷物の印刷部分の位置を認識し、その認識した開口部分又は上記印刷部分を第二の撮像手段で撮像することによりその開口部分又は印刷部分についての詳細な画像データを取得することができるため、上記開口部分及び上記印刷部分の詳細な画像データを迅速に得ることが可能となる。

したがって、精度の高い検査を行うことのできる検査用データを迅速に作成することが可能となる。

また本発明の検査用データの作成方法において、上記第一の撮像手段で上記印刷物を撮像することにより上記印刷物の印刷部分に対応する上記スクリーンマスクの開口部分の配置位置を認識し、上記第二の撮像手段で上記開口部分を撮像することにより上記開口部分についての詳細な画像データを取得することを特徴とすることも可能である。

さらに本発明の検査用データの作成方法において、上記印刷物は、上記スクリーン印刷によってはんだが印刷される電気回路基板であることを特徴とすることも可能である。

この方法によると、上記電気回路基板のはんだの印刷位置を精密に検査することができる検査用データを迅速に作成することが可能となる。

また本発明は、スクリーン印刷された印刷物の印刷パターン及びスクリーンマスクのうち少なくとも一方を検査するためのスクリーン印刷用検査装置であって、スクリーンマスク又は印刷物からなる撮像対象物を撮像する撮像手段として、比較的解像度が低いが高速で上記撮像対象物の画像を得ることができる第一の撮像手段、及び、この第一の撮像手段と比較して解像度は高いが低速で上記撮像対象物の画像を得る第二の撮像手段を有し、上記第一の撮像手段で撮像されたデータを基に上記スクリーンマスクの開口部分の配置位置又は上記印刷物の印刷部分の位置を認識するとともに、その認識した位置を上記第二の撮像手段で撮像することによって得られた詳細な画像データを基に上記検査用データを作成する画像処理手段を有するものである。

この構成によれば、上記画像処理手段において、上記第一の撮像手段を用いて迅速に上記スクリーンマスクの開口部分の配置位置又は上記印刷物の印刷部分の位置を認識するとともに、上記第二の撮像手段を用いてその開口部分又は印刷部分についての詳細な画像データを取得し、その詳細な画像データを基に上記検査用データを作成することができるため、精度の高い検査を行うことのできる検査用データを迅速に作成することが可能となる。

また本発明のスクリーン印刷用検査装置において、スクリーン印刷された印刷物を撮像して印刷物の印刷パターンを検査するための披検査データを得る第三の撮像手段を備えるとともに、上記画像処理手段がこの第三の撮像手段で得られた被検査データと上記画像処理手段で作成された上記検査用データとを照合することにより上記印刷物の印刷パターンを検査する機能を有するのがより好ましい。

この構成によれば、精度の高い検査を行うことのできる上記検査用データを用いて上記印刷物の印刷パターンを検査することができるため、より精度の高い検査を行うことが可能となる。

またさらに、本発明のスクリーン印刷用検査装置において、上記第三の撮像手段と上記第一の撮像手段とは同一の撮像手段であることを特徴とするのがより好ましい。

この構成によれば、上記第三の撮像手段と上記第一の撮像手段とを同一のものとしているため、部品点数を減らすことができ、装置全体の製造コストを下げることが可能となる。

また本発明は、上記スクリーン印刷用検査装置と、上記印刷物を支持する支持手段と、上記印刷物上にスクリーンマスクを配置した状態でスキージによりペーストをスクリーンマスクの開口部分から押し出して印刷する印刷ユニットとを備えたことを特徴とする検査機能付きスクリーン印刷機にしてもよい。

以上説明したように、本発明によれば、上記第一の撮像手段及び第二の撮像手段を用いて上記スクリーンマスクの開口部分又は上記印刷物の印刷された部分の詳細な画像データを迅速に得ることができる。つまり、精度の高い検査を行うことのできる検査用データを迅速に作成することが可能となる。

本発明の好ましい実施形態について図面を参照して説明する。

図１は、本発明の一実施形態にかかるスクリーン印刷機の正面図、図２は、そのスクリーン印刷機の平面図である。

この印刷機１は、フレーム１０と、印刷ユニット２０と、テーブルユニット３０（支持手段）と、検査ユニット４０と、制御部５０（図３参照）とを備えている。

フレーム１０は、印刷機１の外枠をなすものであって、下端部に配置された略直方体の形状に形成された基台１１、この基台１１の上面四隅から立直する四本の柱１２、この柱１２に連結された上フレーム１３、この上フレーム１３に連結されたクロスバー１４等で構成されている。

この印刷機１に対し、図外の基板搬送装置によりプリント基板（電気回路基板）ＷがＸ軸方向（図１では紙面と直交する方向）に搬入、搬出されるようになっている。この印刷機１のＹ軸方向（図１で左右方向）の中間部より片側は印刷エリア、反対側は検査エリアとされ、印刷エリアに印刷ユニット２０が配置されるとともに、検査エリアには検査ユニット４０が配置されている。

印刷ユニット２０は、スクリーン印刷を行うためのものであって、印刷機１の前方上方に位置する箇所に配置され、スキージ２１を備えている。そして、スキージ２１の下方に、印刷パターンにあわせて開口部分が形成されたスクリーンマスクＭが着脱可能に取り付けられている。

テーブルユニット３０は、下から順に、Ｙ軸テーブル３１と、Ｘ軸テーブル３２と、Ｒ軸テーブル３３と、昇降テーブル３４と、クランプ３５とを備えている。Ｙ軸テーブル３１は、その下端部が基台１１の上に配置されているレール１１ａに摺動可能に嵌合され、Ｙ軸サーボモータ６１（図３参照）によってＹ軸方向に移動可能となっている。レール１１ａは印刷エリアと検査エリアに亘って配置され、これによりテーブルユニット３０が両エリア間で移動可能となっている。なお、図１においては、印刷エリアに配置されている状態を実線で示し、検査エリアに配置されている状態を二点鎖線で示している。

Ｘ軸テーブル３２は、Ｙ軸テーブル３１の上に配置されており、Ｘ軸サーボモータ６２（図３参照）によってＸ軸方向に移動可能なようになっている。Ｒ軸テーブル３３は、Ｘ軸テーブル３２の上に配置されており、Ｒ軸サーボモータ６３により、水平面上で回転可能となっている。昇降テーブル３４は、Ｒ軸テーブル３３の上に配置されており、Ｚ軸サーボモータ６４（図３参照）によって昇降可能なようになっている。そして、昇降テーブル３４の上にはクランプ３５が配置されている。このクランプ３５は、プリント基板Ｗ（電気回路基板）の側面を挟み込むことによりテーブルユニット３０上のプリント基板Ｗを固定し、この挟みこみ状態を解除することによりプリント基板Ｗのみを上記搬送手段により搬送可能な状態にする。

つまり、テーブルユニット３０は、その上端部分がＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向に移動可能、かつ水平面上で回転可能となっており、その上端部分にプリント基板Ｗが着脱可能な状態で配置されるようになっている。

検査ユニット４０は、プリント基板Ｗを撮像するものであって、フレーム１０の印刷エリアに設けられたクロスバー１４に取り付けられており、基板認識カメラ４１及び印刷検査カメラ４２（第一の撮像手段、第三の撮像手段）とを備えている。

基板認識カメラ４１は、プリント基板Ｗに印刷されたフィデューシャルマークを認識するものであり、このマークを認識することによってプリント基板Ｗの配置位置を認識するものである。

印刷検査カメラ４２は、プリント基板Ｗを撮像するものであって、この撮像によりプリント基板Ｗの印刷パターンを認識する。この印刷検査カメラ４２には、比較的高速度で画像を得ることができるものが使用される。具体的には、比較的視野角の広いカメラが用いられる。この印刷検査カメラ４２を用いることにより、プリント基板Ｗを視野角に応じた区域づつ順次撮像して合成し、プリント基板Ｗ全体の画像を得るにあたり、視野角が狭いものと比べて撮像回数が少なくて済み、プリント基板Ｗ全体の画像が比較的高速度で得ることが可能となっている。

また、検査ユニット４０に設けられたカメラ４１、４２とは別に、マスク認識カメラ４３（第二の撮像手段）がテーブルユニット３０に装備されている。

このマスク認識カメラ４３は、スクリーンマスクＭを撮像してスクリーンマスクＭの開口部分を認識するものであり、上方を向く状態で昇降テーブル３４上に取り付けられている。このマスク認識カメラ４３には、印刷検査カメラ４２よりも視野角が狭く、高解像度のものが使用される。もっとも、高解像度のものを使用しているため、画像を得る速度は低速となる。

制御部５０は、この印刷機１の動作を制御するものであって、図３に示すとおり、主制御部５１と、モータ制御回路５２と、撮像回路５３と、印刷ユニット制御回路５４と、入出力装置制御回路５５とを有する。

主制御部５１は、印刷機１の制御を行う中枢となるものであって、演算部５１ａと記憶部５１ｂとを備えている。

演算部５１ａは、いわゆるＣＰＵであって、印刷機１の制御に関する演算を行う。記憶部５１ｂは、いわゆるメモリであって、印刷機１の制御に必要なプログラムや、制御の基準となる制御データ等を格納するものである。そして、演算部５１ａは、記憶部５１ｂに格納されたプログラムや制御データを適宜読み込み、各制御回路５２〜５６から入力される情報をこれらのプログラムや制御データを用いて演算し、この演算結果を各制御回路５２〜５６を通じて様々な機械要素に送信することにより、これらの機械要素を制御する。

モータ制御回路５２は、Ｙ軸サーボモータ６１、Ｘ軸サーボモータ６２、Ｒ軸サーボモータ６３及びＺ軸サーボモータ６４に接続されているものであり、これらのサーボモータ６１〜６４からの制御データを演算部５１ａに送信するとともに、演算部５１ａからの制御データを上記サーボモータ６１〜６４に対し送信する。すなわち、上記サーボモータ６１〜６４は演算部５１ａによってその動作が制御されている。

撮像回路５３は、基板認識カメラ４１、印刷検査カメラ４２、マスク認識カメラ４３に接続されているものであり、これらのカメラ４１〜４３で撮像された画像を演算部５１ａに送信するとともに、演算部５１ａからの制御データを上記カメラ４１〜４３に対し送信する。すなわち、上記カメラ４１〜４３は演算部５１ａによってその動作が制御されている。また、印刷検査カメラ４２及びマスク認識カメラ４３で撮像された画像は、記憶部５１ｂに格納されているプログラムを用いて演算部５１ａによって画像処理を行うことが可能となっている。つまり、主制御部５１と撮像回路５３とで画像処理手段が構成されている。

印刷ユニット制御回路５４は、印刷ユニット２０に備えられているスキージ駆動用のアクチュエータ等、印刷ユニット２０を構成する機械要素に接続されているものであり、これらの機械要素からの制御データを演算部５１ａに送信するとともに、演算部５１ａからの制御データを上記機械要素に対し送信する。すなわち、上記機械要素は演算部５１ａによってその動作が制御されている。

入出力装置制御回路５５は、モニタ７１、センサ、キーボード等、各種入出力装置に接続されているものであり、これらの入出力装置のうちの入力装置からの制御データを演算部５１ａに送信するとともに、演算部５１ａからの制御データを上記入出力装置のうちの出力装置に対し送信する。

次に、図４を用いて、この印刷機１に使用する検査用データを作成する手順について説明する。

まず、テーブルユニット３０上にプリント基板Ｗを搬入し（ステップＳ１）、次に、Ｙ軸サーボモータ６１を作動させてテーブルユニット３０を検査エリアに移動させる（ステップＳ２：図１の二点鎖線を参照）。

さらに、ステップＳ３で、印刷検査カメラ４２を用いてプリント基板Ｗを比較的高速度で撮像し、このプリント基板Ｗの画像を取得する。そして、この取得された画像は、撮像回路５３を経て演算部５１ａに送信され、この演算部５１ａにより、この画像のデータが記憶部５１ｂに格納されるとともに、入出力装置制御回路５５を経てこの画像がモニタ７１に表示される（ステップＳ４）。

モニタ７１に表示された画像に基づき、はんだが印刷された箇所を作業者が認識し、このはんだが印刷された部分につき詳細な画像を得るべく、その詳細な画像を取得する範囲をキーボード、マウスなどの入力装置を用いて指定する（ステップＳ５）。

そして、テーブルユニット３０を印刷エリア側に移動させつつ、上記指定した範囲に対応するスクリーンマスクＭの位置を演算部５１ａで演算して認識し、その認識した箇所をマスク認識カメラ４３を用いて撮像し、検査用パターンを作成するための詳細な画像を取得する。すなわち、はんだが印刷された部分に対応するスクリーンマスクＭの開口部分の配置位置を演算部５１ａで認識し、その認識したスクリーンマスクＭの開口部分及びその周辺を撮像して詳細な画像を取得する（ステップＳ６）。

その後、上記印刷検査カメラ４２及びマスク認識カメラ４３から得られた画像に基づき、記憶部５１ｂに格納されているプログラムを用いて演算部５１ａで画像処理を行い、検査用データを作成する（ステップＳ７）。

この検査用データに基づき、演算部５１ａでプリント基板Ｗの検査時における基板認識カメラ４１の撮像ポイントを決定し、このポイントを記憶部５１ｂに記憶させ（ステップＳ８）、その後、各撮像ポイントにおける画像処理条件（例えば、閾値、光量等）を設定し（ステップＳ９）、検査実行条件（例えば検査判定許容値、検査を行うタイミング等）の決定を行う（ステップＳ１０）。

そして、ステップＳ１１においてプリント基板Ｗの印刷検査の試行を行い、この結果が良好（ステップＳ１２でＹＥＳ）であれば、この検査用データの作成を終了し、この試行結果が不良（ステップＳ１２でＮＯ）であれば、良好な試行結果が得られるまで、画像処理条件及び検査変更条件を修正しつつステップＳ９〜ステップＳ１１を繰り返し実行する。

このような手順を用いて作成された検査用データは、プリント基板Ｗの検査の際には下記のように用いられる。

まず、検査対象となるプリント基板Ｗを印刷検査カメラ４２で撮像し、この撮像した画像のデータを、被検査データとして演算部５１ａに送信する。そして、演算部５１ａにおいて、記憶部５１ｂに格納された上記検査用データと上記被検査データとを照合させることにより、上記プリント基板Ｗに印刷されたはんだの位置が規格内であるか否かを判定する。

以上の構成によれば、上記印刷検査カメラ４２を用いて迅速にプリント基板Ｗの画像を取得し、この画像に基づいてはんだが印刷された箇所に対応するスクリーンマスクＭの開口部分の配置位置を認識し、その認識した開口部分をマスク認識カメラ４３で撮像することによりその開口部分についての詳細な画像データを取得することができるため、スクリーンマスクＭの全領域について一律に詳細な画像データを得る方法と比較して、上記開口部分及び上記印刷された部分の詳細な画像データを迅速に得ることが可能となる。

したがって、プリント基板Ｗのはんだの印刷位置を精密に検査することができる検査用データを迅速に作成することが可能となる。

よって、精度の高い検査データを用いてプリント基板Ｗのはんだの印刷位置を検査することができるため、より精度の高い検査を行うことが可能となる。

印刷検査カメラ４２は、検査用データを作成するための画像を入手するためだけでなく、プリント基板Ｗを検査するための披検査データを入手することも可能としているので、部品の共通化を図って部品点数を減らすことができ、印刷機１全体の製造コストを下げることが可能となる。

なお、上記実施形態は、スクリーン印刷用のスクリーンマスクＭの開口部分の撮像データに基づいて間接的にプリント基板Ｗの検査用データを作成する方法である。

また、本発明の具体的構造は上記実施形態に限定されず、種々変更可能である。

その他実施形態
（１） 上記実施形態においては、まず印刷検査カメラ４２を用いてプリント基板Ｗ上に印刷されたはんだの位置を比較的に高速度で認識し、その後マスク認識カメラ４３を用いてスクリーンマスクＭの開口部分に関する詳細な撮像データを得ることにより検査用データを作成しているが、例えば、上記印刷検査カメラ４２を用いてはんだが印刷された位置を比較的高速度で認識した後、再度印刷検査カメラ４２を用いてはんだが印刷された位置の詳細な撮像データを取得し、この撮像データを用いて検査用データを作成するようにしてもよい。この検査用データ作成のためには、はんだパターンが正しく印刷されたプリント基板Ｗを用いる。

また、上記マスク認識カメラ４３を用いてスクリーンマスクＭの開口部分の位置を比較的高速度で認識した後、再度マスク認識カメラ４３を用いてスクリーンマスクＭの開口部分に関する詳細な撮像データを取得し、この撮像データを用いて検査用データを作成するようにしてもよい。この検査用データ作成のためには、はんだパターンが正しく印刷されたプリント基板Ｗを用いる。

さらに、まずマスク認識カメラ４３を用いてスクリーンマスクＭの開口部分を比較的に高速度で認識し、その後印刷検査カメラ４２を用いてプリント基板Ｗ上に印刷されているはんだの位置の詳細な撮像データを得ることにより検査用データを作成してもよい。

（２） 上記実施形態においては、印刷検査カメラ４２を第１の撮像手段として用いてプリント基板Ｗの画像を取得しているが、必ずしも印刷検査カメラ４２でプリント基板Ｗの画像を取得する必要はなく、第１の撮像手段としてスキャナーを用いてもよい。例えば、図５に示すように、パソコン等のコンピュータ８１とスキャナー８２とを用い、このスキャナー８２でプリント基板Ｗをスキャンしてコンピュータ８１内にプリント基板Ｗの画像データを格納し、この格納された画像データを印刷機１に送信することにより、印刷機１内にプリント基板Ｗの画像を取り込むようにしてもよい。また、図６に示すように、スキャナー８２を印刷機１に直接接続し、このスキャナー８２でプリント基板Ｗをスキャンすることによりプリント基板Ｗの画像データを印刷機１内に取り込むようにしてもよい。

さらには、図５において、コンピュータ８１によりプリント基板Ｗの画像から検査用データを作成し、このコンピュータ８１内の検査用データを、印刷機１や印刷検査専用機に送信するようにしてもよい。

（３） 上記実施形態では、詳細な画像を取得する範囲の指定は、ステップＳ５に示すとおり、作業者による手入力によって行っているが、かかる指定を演算部５１ａで自動的に行ってもよい。かかる場合、作業負担を軽減することが可能となる。

（４） 上記実施形態は、プリント基板Ｗを検査する場合だけでなくスクリーンマスクＭの開口部分の開口状態について検査を行う場合にも適用可能である。

すなわち、他の実施の形態として、所定枚の基板への印刷毎にスクリーンマスクＭの撮像ポイントをマスク認識カメラ４３で撮像し、開口部分のはんだによる変化、開口部分周辺のはんだによる汚れを検査することにより、間接的にプリント基板Ｗの印刷検査を行い、さらに、この検査結果に基づきスクリーンマスクＭの洗浄化作業の要否判断を行うようにしても良い。この場合は、ステップＳ８〜ステップＳ１０に相当するステップにおいて、マスク認識カメラ４３によるスクリーンマスクＭの検査時での各撮像ポイントの決定や、この各撮像ポイントにおける画像処理の条件、検査実行条件が決定され、ステップＳ１１からステップＳ１２相当を実施することなくスクリーンマスクＭの検査用データが作成される。

また、各種スクリーン印刷による印刷物を検査する際にも適用可能である。

本発明の一実施形態にかかるスクリーン印刷機の全体を概略的に示した正面図である。 本発明の一実施形態にかかるスクリーン印刷機の全体を概略的に示した平面図である。 本発明の一実施形態にかかるスクリーン印刷機の制御部分を示すブロック図である。 本発明の一実施形態にかかる検査用データを作成するための手順を示すフローチャートである。 第１の撮像手段の別の例を示す概略図である。 第１の撮像手段のさらに別の例を示す概略図である。

符号の説明

１ 印刷機（スクリーン印刷機）
２０ 印刷ユニット
２１ スキージ
３０ テーブルユニット（支持手段）
４２ 印刷検査カメラ（第一の撮像手段、第三の撮像手段）
４３ マスク認識カメラ（第二の撮像手段）
５１ 主制御部（画像処理手段）
５３ 撮像手段制御回路（画像処理手段）
Ｍ スクリーンマスク
Ｗ プリント基板（印刷物、電気回路基板）

Claims (7)

1. スクリーン印刷された印刷物の印刷パターン及びスクリーンマスクのうち少なくとも一方を検査するための検査用データの作成方法であって、
   スクリーンマスク又は印刷物からなる撮像対象物を撮像する撮像手段として、比較的解像度が低いが高速で上記撮像対象物の画像を得ることができる第一の撮像手段と、この第一の撮像手段と比較して解像度は高いが低速で上記撮像対象物の画像を得る第二の撮像手段とを用い、
   上記第一の撮像手段によって上記スクリーンマスクの開口部分の配置位置又は上記印刷物の印刷部分の位置を認識し、
   その認識した開口部分又は上記印刷部分を上記第二の撮像手段で撮像することにより、その開口部分又は印刷部分についての詳細な画像データを取得し、
   その詳細な画像データを基に上記検査用データを作成する
   ことを特徴とする検査用データの作成方法。
2. 上記第一の撮像手段で上記印刷物を撮像することにより上記印刷物の印刷部分に対応する上記スクリーンマスクの開口部分の配置位置を認識し、
   上記第二の撮像手段で上記開口部分を撮像することにより上記開口部分についての詳細な画像データを取得する
   ことを特徴とする請求項１記載の検査用データの作成方法。
3. 上記印刷物は、上記スクリーン印刷によってはんだが印刷される電気回路基板である
   ことを特徴とする請求項１又は２記載の検査用データの作成方法。
4. スクリーン印刷された印刷物の印刷パターン及びスクリーンマスクのうち少なくとも一方を検査するためのスクリーン印刷用検査装置であって、
   スクリーンマスク又は印刷物からなる撮像対象物を撮像する撮像手段として、比較的解像度が低いが高速で上記撮像対象物の画像を得ることができる第一の撮像手段、及び、この第一の撮像手段と比較して解像度は高いが低速で上記撮像対象物の画像を得る第二の撮像手段を有し、
   上記第一の撮像手段で撮像されたデータを基に上記スクリーンマスクの開口部分の配置位置又は上記印刷物の印刷部分の位置を認識するとともに、その認識した位置を上記第二の撮像手段で撮像することによって得られた詳細な画像データを基に上記検査用データを作成する画像処理手段を有する
   ことを特徴とするスクリーン印刷用検査装置。
5. スクリーン印刷された印刷物を撮像して印刷物の印刷パターンを検査するための披検査データを得る第三の撮像手段を備えるとともに、
   上記画像処理手段がこの第三の撮像手段で得られた被検査データと上記画像処理手段で作成された上記検査用データとを照合することにより上記印刷物の印刷パターンを検査する機能を有する
   ことを特徴とする請求項４記載のスクリーン印刷用検査装置。
6. 上記第三の撮像手段と上記第一の撮像手段とは同一の撮像手段であることを特徴とする請求項５記載のスクリーン印刷用検査装置。
7. 請求項４〜６のいずれかに記載のスクリーン印刷用検査装置と、
   上記印刷物を支持する支持手段と、
   上記印刷物上にスクリーンマスクを配置した状態でスキージによりペーストをスクリーンマスクの開口部分から押し出して印刷する印刷ユニットとを備えた
   ことを特徴とする検査機能付きスクリーン印刷機。

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