JP2005298893A - Oリング取り外し用窪み構造を有する容器部材 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 Oリング(図示せず)が嵌合されるところの溝部13は、第2の容器部材(図示せず)に接着される第1の容器部材11上面の所定の領域を円弧状に掘り込んで形成され、このOリング(図示せず)を上記溝部13から簡便に取り外すことができるOリング取り外し用窪み1が、上記溝部13の外周側壁部にのみに接して形成される。
【選択図】 図1
Description
10 チャンバ
11 第1の容器部材
12 第2の容器部材
13 溝部
14 Oリング
15 基板支持ステージ
16 被処理基板
17 処理空間
18a 第1の窪み
18b 第2の窪み
19 処理ガス
Claims (6)
- 一の空間を他の空間から隔絶するための絶縁シール材であるOリングが嵌合される溝部を有する部材において、
前記溝部から前記Oリングを取り出すための窪みが、前記Oリングの外周縁側の前記溝側壁に接して設けられているOリング取り外し用窪み構造を有する容器部材。 - 前記一の空間に前記Oリングを腐食する処理ガスが導入される請求項1記載のOリング取り外し用窪み構造を有する容器部材。
- 前記処理ガスはプラズマ励起により生成されることを特徴とする請求項2記載のOリング取り外し用窪み構造を有する容器部材。
- 前記処理ガスは前記Oリングを熱変形させる高温ガスであることを特徴とする請求項1、請求項2または請求項3に記載のOリング取り外し用窪み構造を有する容器部材。
- 前記一の空間において被処理基板上のエッチング処理がなされることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のOリング取り外し用窪み構造を有する容器部材。
- 前記一の空間において被処理基板上の成膜処理がなされることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のOリング取り外し用窪み構造を有する容器部材。
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