JP2005293633A - 磁気記録媒体および磁気記憶媒体製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】磁気記録媒体において、凸部が強磁性体で形成された凹凸状であって、各トラックが物理的に分離されたデータ書き込み可能な記録領域と、凸部が強磁性体で形成され、凹部に強磁性体を有する凹凸状で、磁気ヘッドを目標位置に位置決めするための位置情報が記録されたサーボ領域とを具備している。
【選択図】 図1−2
Description
実施の形態1にかかる磁気記録媒体は、ディスクリートトラック型の磁気記録媒体にかかるものである。図1−1、図1−2は、実施の形態1にかかる磁気記録媒体の構造を示す構造図である。図1−1は、実施の形態1にかかる磁気記録媒体の平面図であり、図1−2は、実施の形態1にかかる磁気記録媒体の断面図である。
実施の形態2にかかる磁気記録媒体は、パターンドメディアの磁気記録媒体にかかるものである。図6−1、図6−2は、実施の形態2にかかる磁気記録媒体の構造を示す構造図である。図6−1は、実施の形態2にかかる磁気記録媒体の平面図であり、図6−2は、実施の形態2にかかる磁気記録媒体の断面図である。
電子ビーム露光によって、図1に示す凹凸パターンが100セクターあるディスク状スタンパーを形成した。その後、図4および図5で説明した工程によって、ディスクリート型磁気記録媒体を製造した。
一般的な従来の製造方法でディスクリートトラック型の磁気記録媒体を製造した。その際、インプリントによる残渣の除去条件は、プリアンブル信号部分に合わせて、酸素RIE時間を45秒とした。浮上型記録再生ヘッドによる評価を行ったところ、図9の(c)に示すようなバーストパターンに応じた再生信号が得られた。記録再生ヘッドを種々動かして検出しても、バーストC部分の信号がゼロになることはなかった。この状態でトラッキングサーボをかけることはできない。これは、従来技術のディスクリートトラック型磁気記録媒体では、バーストマークが太ってしまい、バーストC部分の信号はゼロにすることができないことを示しており、高TPI記録を実現することができないことがわかった。
実施例1と同様の製造方法により、プリアンブル領域の凹部に強磁性体が存在し、記録領域およびバースト領域の凹部に強磁性体が存在しないディスクリートトラック型の磁気記録媒体を製造した。そして、浮上量12nm、4200rpmで浮上型記録再生ヘッドによる評価を行った。
一般的な従来の製造方法でディスクリートトラック型の磁気記録媒体を製造した。断面TEMによる形状評価で、全ての領域で凹部に磁性体が存在しないことを確認した。
実施例1と同様の製造方法により、プリアンブル領域の凹部に強磁性体が存在し、記録領域およびバースト領域の凹部に強磁性体が存在しないディスクリートトラック型の磁気記録媒体を製造した。記録層の上にカーボン保護膜を形成する前に、バイアススパッタ法でSiO2を200nm成膜し、ミリングによってエッチバックを行った。その後、カーボン保護膜を5nm成膜し、図3に示す断面構造を有するディスクリートトラック型の磁気記録媒体を製造した。
実施例1と同様の製造方法により、プリアンブル領域の凹部に強磁性体が存在し、記録領域およびバースト領域の凹部に強磁性体が存在しないディスクリートトラック型の磁気記録媒体を製造した。
AASA法により記録領域に、直径15nm、ピッチ30nmのドットが12列配列した構造をSi基板上に製造した。その後、EB露光によって、サーボパターンを形成し、Ni電鋳にてスタンパーを作成した。その後、図4および図5で説明した工程によって、パターンドメディアを製造した。断面TEMによる形状評価で、プリアンブル領域の凹部に強磁性体が存在し、記録領域(強磁性体ドット)およびバースト領域の凹部に強磁性体が存在しないことを確認した。すなわち、図6ー1および図6−2に示すパターンドメディアを製造した。
102,602 下地層
103,603 非磁性基板
104,604 強磁性体
301 保護層
302 非磁性体
501,801 スタンパー
502,802 レジスト
600a 強磁性体ドット
600b 非磁性体
801 スタンパー
803 自己組織化材料
805 SOG
Claims (8)
- 凸部が強磁性体で形成された凹凸状であって、各トラックが物理的に分離されたデータ書き込み可能な記録領域と、
凸部が強磁性体で形成され、凹部に強磁性体を有する凹凸状であって、磁気ヘッドを目標位置に位置決めするための位置情報が記録されたサーボ領域と、
を具備することを特徴とする磁気記録媒体。 - 前記サーボ領域は、磁気ヘッドの同期をとるためのプリアンブル信号が記録されたプリアンブル領域と、セクタの位置情報を示すバースト信号が記録されたバースト領域とを有し、
前記サーボ領域は、前記プリアンブル領域の凹部に強磁性体を有することを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体。 - 前記記録領域の凹部と前記サーボ領域の凹部に、非磁性体が埋め込まれており、前記記録領域の上に保護膜が形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の磁気記録媒体。
- 強磁性体からなる磁性部と前記磁性部を分離する非磁性体からなる分離部とを含み、データ書き込み可能な記録領域と、
磁気ヘッドを目標位置に位置決めするための位置情報が記録され、凹部に強磁性体を有するサーボ領域と、
を具備することを特徴とする磁気記録媒体。 - 前記サーボ領域は、磁気ヘッドの同期をとるためのプリアンブル信号が記録されたプリアンブル領域と、セクタの位置情報を示すバースト信号が記録されたバースト領域とを有し、
前記サーボ領域は、前記プリアンブル領域の凹部に強磁性体を有することを特徴とする請求項4に記載の磁気記録媒体。 - 非磁性基板上に、軟磁性材料からなる下地層と、強磁性材料からなる記録層とを順次形成する成膜工程と、
前記成膜工程によって形成された記録層の上にレジストを形成するレジスト形成工程と、
前記レジスト形成工程によって形成された前記レジスト上に、データ書き込み可能な凹凸状の記録領域と磁気ヘッドを目標位置に位置決めするための位置情報を記録した凹凸状のサーボ領域とにそれぞれ対応した凹凸が形成されたスタンパーを押圧し、前記レジスト上に凹凸を形成するインプリント工程と、
前記インプリント工程によって凹凸が形成された前記レジストをエッチングし、前記記録領域の凹部から前記レジストを完全に除去するとともに、前記サーボ領域の凹部に残渣が存在した状態になるように前記レジストを除去するレジスト除去工程と、
前記記録層の前記強磁性体をエッチングする磁性体加工工程と、
を含むことを特徴とする磁気記録媒体製造方法。 - 前記インプリント工程は、前記レジスト形成工程によって形成された前記レジスト上に、データ書き込み可能な凹凸状の記録領域と、磁気ヘッドの同期をとるためのプリアンブル信号が記録されたプリアンブル領域と、セクタの位置情報を示すバースト信号が記録されたバースト領域とにそれぞれ対応した凹凸が形成されたスタンパーを押圧し、前記レジスト上に凹凸を形成し、
前記レジスト除去工程は、前記インプリント工程によって凹凸が形成された前記レジストをエッチングし、前記記録領域の凹部と前記バースト領域の凹部とから前記レジストを完全に除去するとともに、前記プリアンブル領域の凹部に残渣が存在した状態になるように前記レジストを除去することを特徴とする請求項6に記載の磁気記録媒体製造方法。 - 前記レジスト除去工程は、前記インプリント工程によって凹凸が形成された前記レジストのエッチング処理を開始し、前記記録領域の凹部と前記バースト領域の凹部とから前記レジストが完全に除去された時点でエッチング処理を終了することを特徴とする請求項7に記載の磁気記録媒体製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004102847A JP4031456B2 (ja) | 2004-03-31 | 2004-03-31 | 磁気記録媒体および磁気記憶媒体製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004102847A JP4031456B2 (ja) | 2004-03-31 | 2004-03-31 | 磁気記録媒体および磁気記憶媒体製造方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2005293633A true JP2005293633A (ja) | 2005-10-20 |
JP4031456B2 JP4031456B2 (ja) | 2008-01-09 |
Family
ID=35326416
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2004102847A Expired - Fee Related JP4031456B2 (ja) | 2004-03-31 | 2004-03-31 | 磁気記録媒体および磁気記憶媒体製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4031456B2 (ja) |
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JP4031456B2 (ja) | 2008-01-09 |
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