JP2005292004A

JP2005292004A - 試験装置及び設定方法

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Publication number: JP2005292004A
Application number: JP2004109297A
Authority: JP
Inventors: Toshiaki Awaji; 利明淡路; Takashi Sekino; 隆関野
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2004-04-01
Filing date: 2004-04-01
Publication date: 2005-10-20
Anticipated expiration: 2024-04-01
Also published as: US20050243906A1; US7453932B2; JP4197657B2

Abstract

【課題】より高い周波数の論理信号を用いた試験を行う。
【解決手段】被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスから出力される信号を受信して、第１基準電圧と比較して論理信号に変換するコンパレータと、被試験デバイスに対して出力する論理信号を第２基準電圧に基づいて増幅し、被試験デバイスへ出力するドライバと、被試験デバイスから受信した受信信号の遅延量を補償するべく、第１基準電圧を決定し、コンパレータに設定するコンパレータ設定部と、コンパレータに設定した基準電圧に基づいて、ドライバに設定する第２基準電圧を決定し、ドライバに設定するドライバ設定部とを備える試験装置を提供する。
【選択図】図１

Description

本発明は、試験装置及び設定方法に関する。特に、本発明は、被試験デバイスの良否を判定する試験装置及び設定方法に関する。

従来、被試験デバイスが出力する信号をその被試験デバイスにループバックして入力することにより、被試験デバイスにおける信号の入出力を試験する自己試験（ＢＩＳＴ：ＢｕｉｌｔＩｎＳｅｌｆＴｅｓｔ）が行なわれている。自己試験により、被試験デバイスの製造時のみならず使用時においてもその被試験デバイスが正常か否か判定することができる。
現時点で先行公知文献の存在を確認していないので、先行公知文献に関する記載を省略する。

被試験デバイスは、信号を増幅して出力する出力バッファと、入力する信号を入力して増幅する入力バッファとを有する。しかしながら、自己試験によっては、信号をループバックする回路より端子側に設けられた出力バッファ及び入力バッファを含めた被試験デバイス全体を試験することができない。

被試験デバイスを試験する試験装置が、被試験デバイスから出力された信号をその被試験デバイスにループバックすれば、出力バッファ及び入力バッファを含めた被試験デバイス全体を試験することは可能である。しかしながら、この場合、被試験デバイス及び試験装置間で信号が遅延するため、比較的高い周波数の論理信号を用いた試験ができない場合があった。

そこで本発明は、上記の課題を解決することのできる試験装置及び設定方法を提供することを目的とする。この目的は特許請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。

上記課題を解決するために、本発明の第１の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置は、被試験デバイスから出力される信号を受信して、第１基準電圧と比較して論理信号に変換するコンパレータと、被試験デバイスに対して出力する論理信号を第２基準電圧に基づいて増幅し、被試験デバイスへ出力するドライバと、被試験デバイスから受信した受信信号の遅延量を補償するべく、第１基準電圧を決定し、コンパレータに設定するコンパレータ設定部と、コンパレータに設定した基準電圧に基づいて、ドライバに設定する第２基準電圧を決定し、ドライバに設定するドライバ設定部とを備える。
また、ドライバは、コンパレータにより変換された論理信号を、第２基準電圧に基づいて増幅し、被試験デバイスへ出力してもよい。
また、ドライバ設定部は、コンパレータ設定部が第１基準電圧を変更前の電圧と比較してより低い電圧に低下させた場合に、第２基準電圧を変更前の電圧と比較してより高い電圧に上昇させてもよい。

本発明の第２の形態においては、周波数成分毎に増幅量を設定可能なイコライザを有し、被試験デバイスを試験する試験装置は、被試験デバイスから出力される信号を受信して増幅する受信側イコライザと、被試験デバイスに出力するべき信号を増幅して送信する送信側イコライザと、被試験デバイスから受信した受信信号の遅延量を補償するべく、受信信号の予め定められた周波数成分を受信側イコライザにより増幅させる増幅量を決定し、受信側イコライザに設定する受信側イコライザ設定部と、被試験デバイスに送信する送信信号の予め定められた周波数成分を送信側イコライザにより増幅させる増幅量を、受信側イコライザ設定部が設定した増幅量に基づいて決定し、送信側イコライザに設定する送信側イコライザ設定部とを備える。
また、送信側イコライザは、受信側イコライザにより増幅された信号を更に増幅し、被試験デバイスへ送信してもよい。
また、送信側イコライザ設定部は、受信側イコライザ設定部が予め定められた周波数成分を増幅させる増幅量を増加させた場合に、被試験デバイスに送信する送信信号の増幅量を増加させてもよい。

本発明の第３の形態においては、被試験デバイスを試験する試験装置の設定方法であって、試験装置は、被試験デバイスから出力される信号を受信して、第１基準電圧と比較して論理信号に変換するコンパレータと、被試験デバイスに対して出力する論理信号を第２基準電圧に基づいて増幅し、被試験デバイスへ出力するドライバとを有し、被試験デバイスから受信した受信信号の遅延量を補償するべく、第１基準電圧を決定し、コンパレータに設定するコンパレータ設定段階と、コンパレータに設定した基準電圧に基づいて、ドライバに設定する第２基準電圧を決定し、ドライバに設定するドライバ設定段階とを備えた設定方法を提供する。

本発明の第４の形態においては、周波数成分毎に増幅量を設定可能なイコライザを有し、被試験デバイスを試験する試験装置の設定方法であって、試験装置は、被試験デバイスから出力される信号を受信して増幅する受信側イコライザと、被試験デバイスに出力するべき信号を増幅して送信する送信側イコライザとを有し、被試験デバイスから受信した受信信号の遅延量を補償するべく、受信信号の予め定められた周波数成分を受信側イコライザにより増幅させる増幅量を決定し、受信側イコライザに設定する受信側イコライザ設定段階と、被試験デバイスに送信する送信信号の予め定められた周波数成分を送信側イコライザにより増幅させる増幅量を、受信側イコライザ設定段階において設定された増幅量に基づいて決定し、送信側イコライザに設定する送信側イコライザ設定段階とを備えた設定方法を提供する。
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。

本発明によれば、より高い周波数の論理信号を用いた試験を行うことができる。

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

図１は、被試験デバイス１０及び試験装置２０のブロック図の一例である。被試験デバイス１０は、試験装置２０により試験される対象のデバイス（ＤＵＴ：ＤｅｖｉｃｅＵｎｄｅｒＴｅｓｔ）であり、自己試験部１００と、出力バッファ１１０と、入力バッファ１２０とを有する。自己試験部１００は、当該被試験デバイス１０の良否を判定する。出力バッファ１１０は、被試験デバイス１０から外部に出力する信号を送信する。入力バッファ１２０は、被試験デバイス１０が外部から入力する信号を受信する。

試験装置２０は、コンパレータ２００と、ドライバ２１０と、コンパレータ設定部２２０と、ドライバ設定部２３０とを有する。コンパレータ２００は、被試験デバイス１０からパフォーマンスボード１５を介して出力される信号を受信して、第１基準電圧と比較して論理信号に変換する。ドライバ２１０は、コンパレータ２００により変換された論理信号を第２基準電圧に基づいて増幅し、被試験デバイス１０へ出力する。

コンパレータ設定部２２０は、被試験デバイス１０から受信した受信信号の遅延量を補償するべく、第１基準電圧を決定し、コンパレータ２００に設定する。例えば、コンパレータ設定部２２０は、被試験デバイス１０から試験装置２０に至る信号の伝送路において受信信号が遅延する遅延量を予め測定し、測定したその遅延量に基づいて第１基準電圧を決定してもよい。ドライバ設定部２３０は、コンパレータ設定部２２０がコンパレータ２００に設定した第１基準電圧に基づいて、ドライバ２１０に設定する第２基準電圧を決定し、ドライバ２１０に設定する。

図２は、試験装置２０を設定する設定方法の動作フローを示す。コンパレータ設定部２２０は、被試験デバイス１０から試験装置２０に至る信号の伝送路において受信信号が遅延する遅延量を測定する（Ｓ２００）。コンパレータ設定部２２０は、測定したその遅延量を補償させる第１基準電圧を決定する（Ｓ２１０）。そして、コンパレータ設定部２２０は、決定した第１基準電圧をコンパレータ２００に設定する（Ｓ２２０）。

ドライバ設定部２３０は、コンパレータ設定部２２０がコンパレータ２００に設定した第１基準電圧に基づいて、ドライバ２１０に設定する第２基準電圧を決定する（Ｓ２３０）。そして、ドライバ設定部２３０は、決定した第２基準電圧をドライバ２１０に設定する（Ｓ２４０）。例えば、ドライバ設定部２３０は、コンパレータ設定部２２０が第１基準電圧を変更前の電圧と比較してより低い電圧に低下させた場合に、第２基準電圧を変更前の電圧と比較してより高い電圧に上昇させてもよい。これにより、特性や配線長が略同一の入力側伝送路の遅延に基づいて出力側伝送路の遅延を補償できる。

図３は、変形例における被試験デバイス１０及び試験装置２０のブロック図である。本例における被試験デバイス１０は、図１における被試験デバイス１０と略同一の構成を取るので説明を省略する。本例における試験装置２０は、受信側イコライザ２４０と、送信側イコライザ２５０と、受信側イコライザ設定部２６０と、送信側イコライザ設定部２７０とを備える。受信側イコライザ２４０は、被試験デバイス１０から出力される信号をパフォーマンスボード１５を介して受信して増幅する。そして、送信側イコライザ２５０は、受信側イコライザ２４０により増幅された信号を更に増幅し、被試験デバイス１０に送信する。

受信側イコライザ設定部２６０は、被試験デバイス１０から受信した受信信号の遅延量を補償するべく、受信信号の予め定められた周波数成分を受信側イコライザ２４０により増幅させる増幅量を決定し、受信側イコライザ２４０に設定する。例えば、受信側イコライザ設定部２６０は、被試験デバイス１０から受信する受信信号の遅延量を予め測定し、測定したその遅延量に基づいて増幅量を決定してもよい。送信側イコライザ設定部２７０は、パフォーマンスボード１５に送信する送信信号の予め定められた周波数成分を送信側イコライザ２５０により増幅させる増幅量を、受信側イコライザ設定部２６０が設定した増幅量に基づいて決定し、送信側イコライザ２５０に設定する。

図４（ａ）は、被試験デバイス１０から出力される信号の一例を示す。図４（ｂ）は、受信側イコライザ２４０が受信する受信信号の一例を示す。これらの図に示すように、被試験デバイス１０から出力される信号は、パフォーマンスボード１５等における伝送路において所定の高周波数成分が減衰することにより遅延する。図４（ｃ）は、受信側イコライザ２４０が増幅した受信信号の一例を示す。本図のように、受信側イコライザ２４０は、減衰した高周波数成分を増幅することにより受信信号の遅延を補償することができる。

図４（ｄ）は、送信側イコライザ２５０が増幅した受信信号の一例を示す。このように、送信側イコライザ２５０は、送信信号の遅延を予め補償するべく、伝送路で減衰する所定の高周波数成分を増幅する。図４（ｅ）は、被試験デバイス１０が入力する信号の一例を示す。このように、被試験デバイス１０は、出力した信号（ａ）と略同一波形の信号を入力する。これにより、被試験デバイス１０から出力される信号を適切にループバックして被試験デバイス１０に入力することができる。

図５は、変形例における試験装置２０を設定する設定方法の動作フローを示す。受信側イコライザ設定部２６０は、被試験デバイス１０から受信する受信信号の遅延量を測定する（Ｓ５００）。受信側イコライザ設定部２６０は、測定したこの遅延量に基づいて、受信信号の予め定められた周波数成分を受信側イコライザ２４０により増幅させる増幅量を決定する（Ｓ５１０）。より具体的には、受信側イコライザ設定部２６０は、この遅延量を補償させる増幅量を決定する。そして、受信側イコライザ設定部２６０は、決定した増幅量を受信側イコライザ設定部２６０に設定する（Ｓ５２０）。

送信側イコライザ設定部２７０は、パフォーマンスボード１５に送信する送信信号の予め定められた周波数成分を送信側イコライザ２５０により増幅させる増幅量を、受信側イコライザ設定部２６０が設定した増幅量に基づいて決定する（Ｓ５３０）。例えば、送信側イコライザ設定部２７０は、受信側イコライザ設定部２６０が予め定められた周波数成分を増幅させる増幅量を増加させた場合に、被試験デバイス１０に送信する送信信号の増幅量を増加させる。そして、送信側イコライザ設定部２７０は、決定したこの増幅量を送信側イコライザ２５０に設定する（Ｓ５４０）。これにより、特性や配線長が略同一の入力側伝送路の遅延に基づいて出力側伝送路の遅延を補償できる。

以上、図１から５に示す実施例及び変形例によると、試験装置２０は、被試験デバイス１０から受信した受信信号が遅延する場合であっても、遅延量を補償して適切な論理信号を得ることができる。これにより、比較的高周波な論理信号についても適切な試験を行うことができる。また、試験装置２０は、被試験デバイス１０に送信する送信信号の遅延を予め補償することにより、被試験デバイス１０から出力された信号を被試験デバイス１０の外部において適切にループバックさせることができる。これにより、出力バッファ１１０及び入力バッファ１２０を含めた被試験デバイス１０全体を適切に試験することができる。

図６は、被試験デバイス１０を試験する他の例における被試験デバイス１０及び試験装置２０のブロック図を示す。本例における被試験デバイス１０は、自己試験部１００と、出力バッファ１１０と、入力バッファ１２０と、出力すべき信号を伝送する出力信号線と、入力した信号を伝送する入力信号線と、入力信号線に入力バッファ１２０又は出力信号線を接続するスイッチとを備える。自己試験部１００は、被試験デバイス１０の良否を判定するデバイスである。出力バッファ１１０は、被試験デバイス１０から外部に出力する信号を送信する。入力バッファ１２０は、被試験デバイス１０が外部から入力する信号を受信する。

本図の例によると、被試験デバイス１０は、当該被試験デバイス１０が正常動作するか否かを試験装置２０によらず自己試験（ＢＩＳＴ）することができる。しかしながら、自己試験によっては、信号をループバックする回路より端子側に設けられた出力バッファ及び入力バッファを含めた被試験デバイス全体を試験することができない。これに対して、図１から図５に示す例によれば、出力バッファ１１０及び入力バッファ１２０を含めた被試験デバイス１０全体を適切に試験することができる。

図７は、被試験デバイス１０を試験する更に他の例における被試験デバイス１０及び試験装置２０のブロック図を示す。本例における被試験デバイス１０は、図１における被試験デバイス１０と略同一の構成を取るので説明を省略する。本例におけるパフォーマンスボード１５は、試験装置２０から送信された送信信号、又は、被試験デバイス１０から出力された信号を被試験デバイス１０に入力するスイッチを有する。これにより、パフォーマンスボード１５は、被試験デバイス１０から出力された信号を被試験デバイス１０にループバックさせることができる。

本例によっても、被試験デバイス１０から出力される信号をループバックする伝送路を被試験デバイス１０の外部に設けることができるので、出力バッファ１１０及び入力バッファ１２０を含めた被試験デバイス１０全体を試験することができる。しかしながら、この例によると、被試験デバイス１０から試験装置２０への信号の伝送路にスイッチが設けられているので、伝送路の特性が悪くなる。更に、パフォーマンスボード１５の構成が複雑になるので、出力端子及び入力端子のピン数を増加させにくい。これに対して、図１から図５に示す例によれば、被試験デバイス１０及び試験装置２０間の伝送路の特性を悪化させることなく、出力バッファ１１０及び入力バッファ１２０を含めた被試験デバイス１０全体を適切に試験することができる。

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。

図１は、被試験デバイス１０及び試験装置２０のブロック図の一例である。図２は、試験装置２０を設定する設定方法の動作フローを示す。図３は、変形例における被試験デバイス１０及び試験装置２０のブロック図である。（ａ）は、被試験デバイス１０から出力される信号の一例を示す。（ｂ）は、受信側イコライザ２４０が受信する受信信号の一例を示す。（ｃ）は、受信側イコライザ２４０が増幅した受信信号の一例を示す。（ｄ）は、送信側イコライザ２５０が増幅した受信信号の一例を示す。（ｅ）は、被試験デバイス１０が入力する信号の一例を示す。図５は、変形例における試験装置２０を設定する設定方法の動作フローを示す。図６は、被試験デバイス１０を試験する他の例における被試験デバイス１０及び試験装置２０のブロック図を示す。図７は、被試験デバイス１０を試験する更に他の例における被試験デバイス１０及び試験装置２０のブロック図を示す。

符号の説明

１０被試験デバイス
１５パフォーマンスボード
２０試験装置
１００自己試験部
１１０出力バッファ
１２０入力バッファ
２００コンパレータ
２１０ドライバ
２２０コンパレータ設定部
２３０ドライバ設定部
２４０受信側イコライザ
２５０送信側イコライザ
２６０受信側イコライザ設定部
２７０送信側イコライザ設定部

Claims

被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスから出力される信号を受信して、第１基準電圧と比較して論理信号に変換するコンパレータと、
前記被試験デバイスに対して出力する論理信号を第２基準電圧に基づいて増幅し、前記被試験デバイスへ出力するドライバと、
前記被試験デバイスから受信した受信信号の遅延量を補償するべく、前記第１基準電圧を決定し、前記コンパレータに設定するコンパレータ設定部と、
前記コンパレータに設定した基準電圧に基づいて、前記ドライバに設定する前記第２基準電圧を決定し、前記ドライバに設定するドライバ設定部と
を備える試験装置。
前記ドライバは、前記コンパレータにより変換された前記論理信号を、前記第２基準電圧に基づいて増幅し、前記被試験デバイスへ出力する
請求項１記載の試験装置。
前記ドライバ設定部は、前記コンパレータ設定部が前記第１基準電圧を変更前の電圧と比較してより低い電圧に低下させた場合に、前記第２基準電圧を変更前の電圧と比較してより高い電圧に上昇させる
請求項１記載の試験装置。
周波数成分毎に増幅量を設定可能なイコライザを有し、被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスから出力される信号を受信して増幅する受信側イコライザと、
前記被試験デバイスに出力するべき信号を増幅して送信する送信側イコライザと、
前記被試験デバイスから受信した受信信号の遅延量を補償するべく、前記受信信号の予め定められた周波数成分を前記受信側イコライザにより増幅させる増幅量を決定し、前記受信側イコライザに設定する受信側イコライザ設定部と、
前記被試験デバイスに送信する送信信号の前記予め定められた周波数成分を前記送信側イコライザにより増幅させる増幅量を、前記受信側イコライザ設定部が設定した前記増幅量に基づいて決定し、前記送信側イコライザに設定する送信側イコライザ設定部と
を備える試験装置。
前記送信側イコライザは、前記受信側イコライザにより増幅された信号を更に増幅し、前記被試験デバイスへ送信する
請求項４記載の試験装置。
前記送信側イコライザ設定部は、前記受信側イコライザ設定部が前記予め定められた周波数成分を増幅させる増幅量を増加させた場合に、前記被試験デバイスに送信する送信信号の増幅量を増加させる
請求項４記載の試験装置。
被試験デバイスを試験する試験装置の設定方法であって、
前記試験装置は、
前記被試験デバイスから出力される信号を受信して、第１基準電圧と比較して論理信号に変換するコンパレータと、
前記被試験デバイスに対して出力する論理信号を第２基準電圧に基づいて増幅し、前記被試験デバイスへ出力するドライバと
を有し、
前記被試験デバイスから受信した受信信号の遅延量を補償するべく、前記第１基準電圧を決定し、前記コンパレータに設定するコンパレータ設定段階と、
前記コンパレータに設定した基準電圧に基づいて、前記ドライバに設定する前記第２基準電圧を決定し、前記ドライバに設定するドライバ設定段階と
を備えた設定方法。
周波数成分毎に増幅量を設定可能なイコライザを有し、被試験デバイスを試験する試験装置の設定方法であって、
前記試験装置は、
前記被試験デバイスから出力される信号を受信して増幅する受信側イコライザと、
前記被試験デバイスに出力するべき信号を増幅して送信する送信側イコライザと、
を有し、
前記被試験デバイスから受信した受信信号の遅延量を補償するべく、前記受信信号の予め定められた周波数成分を前記受信側イコライザにより増幅させる増幅量を決定し、前記受信側イコライザに設定する受信側イコライザ設定段階と、
前記被試験デバイスに送信する送信信号の前記予め定められた周波数成分を前記送信側イコライザにより増幅させる増幅量を、前記受信側イコライザ設定段階において設定された前記増幅量に基づいて決定し、前記送信側イコライザに設定する送信側イコライザ設定段階と
を備えた設定方法。