JP2005285521A - セラミックヒータ - Google Patents
セラミックヒータ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005285521A JP2005285521A JP2004097184A JP2004097184A JP2005285521A JP 2005285521 A JP2005285521 A JP 2005285521A JP 2004097184 A JP2004097184 A JP 2004097184A JP 2004097184 A JP2004097184 A JP 2004097184A JP 2005285521 A JP2005285521 A JP 2005285521A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramic heater
- ceramic
- heating resistor
- patterns
- potential difference
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 70
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims abstract description 13
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 49
- 230000005611 electricity Effects 0.000 abstract 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 12
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 10
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 10
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 7
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 7
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 6
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 6
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 6
- 229910016006 MoSi Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 4
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 4
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N Alumina Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052691 Erbium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052769 Ytterbium Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- UYAHIZSMUZPPFV-UHFFFAOYSA-N erbium Chemical compound [Er] UYAHIZSMUZPPFV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 3
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 3
- NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N ytterbium Chemical compound [Yb] NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 3
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 2
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 2
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 2
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012752 auxiliary agent Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000003350 kerosene Substances 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 239000003870 refractory metal Substances 0.000 description 1
- 229910052702 rhenium Inorganic materials 0.000 description 1
- WUAPFZMCVAUBPE-UHFFFAOYSA-N rhenium atom Chemical compound [Re] WUAPFZMCVAUBPE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Surface Heating Bodies (AREA)
- Resistance Heating (AREA)
Abstract
【解決手段】セラミックス中に発熱抵抗体及び該発熱抵抗体に通電すべく引出部を埋設したセラミックヒータにおいて、該セラミック体中に蛇行状に埋設された発熱抵抗体のパターンのパターン間の電界強度を120V/mm以下とする。
【選択図】図2
Description
電界強度=V1/W1
そして本発明のセラミックヒータ1は、蛇行状に埋設された発熱抵抗体3の電位差の高い側のパターン間距離W1を広く、電位差の低い側のパターン間距離W2を狭くすることにより電位差の高い側の電界強度を80V/mm以下に確保することができ、セラミックヒータ1を取り付ける設備等の小型化に適し、コスト的にも有効となる。
〈実施例1〉
ここでは、発熱抵抗体3のパターン間距離W1の電界強度を160から100V/mmの間で変更した。
まず、窒化珪素(Si3N4)粉末にイッテリビウム(Yb)、イットリウム(Y)、エルビウム(Er)等の希土類元素の酸化物からなる焼結助剤と発熱抵抗体3に熱膨張率を近づけるようなMoSi2やWC等のセラミックス導電材料を添加したセラミック原料粉末を周知のプレス成型法等でセラミック成形体2aを得た。
図1に示すように、セラミック成形体2aの上にWCとBNを主成分とするペーストを用いて発熱抵抗体3とリード部4及び電極引出部5をプリント法によりセラミック成形体2aの表面に形成した。
その後、これらの蓋となるセラミック成形体2bを重ねて密着させ、セラミック成形体2a、2bのグループ数十本と炭素板を交互に段重ねし、円筒の炭素型に入れた後、還元雰囲気下、1650〜1780℃の温度、30〜50MPaの圧力でホットプレスにより焼成した。
テスト品の寸法とし、セラミック部分の厚みを2mm、幅を5mm、全長を50mmとしたセラミックヒータ1を作製し、120Vを通電したときにおける発熱抵抗体3のパターン間距離W1、W2別の電界強度と抵抗変化率を評価した。
2:セラミック体
2a、2b:セラミック成型体
3:発熱抵抗体
4:リード部
5:電極引出部
6:電極金具
7:パターン間
8:絶縁破壊
W1:電位差の高いパターン間距離
W2:電位差の低いパターン間距離
V0:1400℃に保持する印加電圧
V1:電位差の高い側のパターン間にかかる電位差
L0:発熱抵抗体3の全長
L1:発熱抵抗体の電位差の高い側のパターンの長さ
Claims (3)
- セラミック体中に発熱抵抗体を蛇行状に埋設したセラミックヒータにおいて、上記発熱抵抗体に120Vの電圧を印加したときの該発熱抵抗体パターン間に発生する電界強度を120V/mm以下となるようにしたことを特徴とするセラミックヒータ。
- 前記発熱抵抗体のパターン間における電位差の大きい側のパターン間距離を電位差の低い側のパターン間距離よりも相対的に広くなるようにしたことを特徴とする請求項1記載のセラミックヒータ。
- 前記発熱抵抗体のパターン間距離を連続的に変化させたことを特徴とする請求項1又は2のいずれかに記載のセラミックヒータ。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004097184A JP4183186B2 (ja) | 2004-03-29 | 2004-03-29 | セラミックヒータ |
US10/584,515 US7982166B2 (en) | 2003-12-24 | 2004-12-22 | Ceramic heater and method for manufacturing the same |
KR1020087029408A KR20080108372A (ko) | 2003-12-24 | 2004-12-22 | 세라믹 히터 및 그 제조 방법 |
PCT/JP2004/019228 WO2005069690A1 (ja) | 2003-12-24 | 2004-12-22 | セラミックヒータ及びその製造方法 |
EP04807585A EP1711034B1 (en) | 2003-12-24 | 2004-12-22 | Ceramic heater and method for manufacturing same |
KR1020067012659A KR100908429B1 (ko) | 2003-12-24 | 2004-12-22 | 세라믹 히터 및 그 제조 방법 |
US13/155,286 US20110233190A1 (en) | 2003-12-24 | 2011-06-07 | Ceramic Heater and Method for Manufacturing the Same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004097184A JP4183186B2 (ja) | 2004-03-29 | 2004-03-29 | セラミックヒータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005285521A true JP2005285521A (ja) | 2005-10-13 |
JP4183186B2 JP4183186B2 (ja) | 2008-11-19 |
Family
ID=35183675
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004097184A Expired - Fee Related JP4183186B2 (ja) | 2003-12-24 | 2004-03-29 | セラミックヒータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4183186B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007227063A (ja) * | 2006-02-22 | 2007-09-06 | Kyocera Corp | セラミックヒータ |
JP2016006499A (ja) * | 2014-05-26 | 2016-01-14 | キヤノン株式会社 | ヒータ、及びこれを備えた画像加熱装置 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105357510B (zh) | 2009-01-29 | 2017-08-11 | 杜比实验室特许公司 | 视频编码方法、视频信号解码方法及视频装置 |
WO2015163483A1 (ja) * | 2014-04-25 | 2015-10-29 | 京セラ株式会社 | ヒータおよび点火装置 |
CN113712363A (zh) * | 2021-08-13 | 2021-11-30 | 珠海市佳一陶瓷有限公司 | 电吹风 |
-
2004
- 2004-03-29 JP JP2004097184A patent/JP4183186B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007227063A (ja) * | 2006-02-22 | 2007-09-06 | Kyocera Corp | セラミックヒータ |
JP2016006499A (ja) * | 2014-05-26 | 2016-01-14 | キヤノン株式会社 | ヒータ、及びこれを備えた画像加熱装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4183186B2 (ja) | 2008-11-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2804393B2 (ja) | セラミックヒータ | |
JP4969641B2 (ja) | セラミックヒータ、このセラミックヒータを用いたグロープラグ | |
JP5989896B2 (ja) | セラミックヒータ | |
KR100915576B1 (ko) | 세라믹 히터 및 그것을 사용한 글로우 플러그 | |
EP2219414B1 (en) | Ceramic heater, and glow plug having the heater | |
EP2247156A1 (en) | Ceramic heater and glow plug | |
KR20110065472A (ko) | 세라믹 히터 | |
JP3933345B2 (ja) | 発熱抵抗体及びセラミックヒータ用発熱抵抗体並びにその製造方法、及びセラミックヒータ | |
JP4340143B2 (ja) | セラミックヒータ | |
JP4183186B2 (ja) | セラミックヒータ | |
JP2001244059A (ja) | セラミックヒーター及びこれを用いたウエハ加熱装置 | |
JP3845017B2 (ja) | セラミック点火器及びその使用方法及びその製造方法 | |
JP4018998B2 (ja) | セラミックヒータおよびグロープラグ | |
JP3152898B2 (ja) | 窒化アルミニウム質セラミックヒータ | |
JPH1025162A (ja) | セラミック焼結体 | |
JP4153840B2 (ja) | セラミックヒータ | |
JP3551635B2 (ja) | セラミックス抵抗発熱体及びその製造方法 | |
JP3466399B2 (ja) | セラミック発熱体 | |
JP4025641B2 (ja) | セラミックヒータ | |
JPH1154246A (ja) | セラミック発熱体 | |
JP3425097B2 (ja) | 抵抗素子 | |
JPH07151332A (ja) | セラミックグロープラグ | |
JP4809171B2 (ja) | ウエハ加熱装置 | |
JPH11288778A (ja) | 抵抗素子 | |
JP2003257595A (ja) | セラミックヒータおよびそれを用いた車載暖房機点火用セラミックヒータ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070213 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20080331 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20080425 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080507 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080704 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080805 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080829 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110912 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4183186 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120912 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130912 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |