JP2005285161A - 半導体集積回路装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】低電圧動作が可能な半導体集積回路装置を提供すること。
【解決手段】 相補の出力ノード(OUT,/OUT)と、相補の出力ノード(OUT,/OUT)間に初期電位差を、相補の出力ノード(OUT,/OUT)それぞれへの入力電流(IREF,IDATA)の入力電流量の差に応じて生じさせる電流−電圧変換部(M1,M2,M4,M5)と、相補の出力ノード(OUT,/OUT)それぞれのバイアス点をシフトし、相補の出力ノード(OUT,/OUT)間に生じた初期電位差を増幅する増幅部(M3,M6)と、相補の出力ノード(OUT,/OUT)間の増幅された電位差に基づいて、相補の出力ノードそれぞれの出力レベルを確定する出力レベル確定部(M1,M2,M4,M5,M7,M8)とを具備する。
【選択図】 図1

Description

本発明は、半導体集積回路装置に関し、特に、センスアンプに関する。
近時、半導体集積回路装置、例えば、半導体メモリ、システムLSI等の、更なる低電力化が模索されている。半導体集積回路装置の低電力化は、例えば、消費電力の削減、半導体素子の縮小、及び集積度の向上に有効な技術であるからである。
低電力化された半導体集積回路装置における主要な課題は、低電圧で動作する集積回路を開発することにある。例えば、半導体メモリに広く利用されるセンスアンプを考えてみる。
一般的なセンスアンプは、入出力ノードと参照ノードとの間に生じた微小な電位差を検知し、検知した微小な電位差に基づいて出力レベルを判定し、入出力ノードの電位を、高電位電源Vdd、又は低電位電源Vss(例えば、接地電位)のいずれかに増幅し、出力レベルを確定する。一般的なセンスアンプは、いわば、電位差検知型センスアンプである。しかし、電位差検知型センスアンプは、電源電圧が低くなると、入出力ノードと参照ノードとの間に生ずる微小な電位差がさらに減少するために、その電位差を正確に判定することが難しくなる。
そこで、低電圧で動作するセンスアンプの候補として、電位差検知型センスアンプに代わり、電流差検知型センスアンプが注目されつつある。電流差検知型センスアンプは、入力電流値、及び参照電流値をそれぞれ電圧値に変換し、変換された電圧値の差に基づいて出力レベルを判定し、出力ノードの電位を、高電位Vdd、又は低電位Vssのいずれかに増幅する。電流差検知型センスアンプの先行技術のいくつかを紹介しよう。
図13は第1の先行技術を示す回路図であり、例えば、特許文献1に記載される。
第1の先行技術は、入力電流ICELL、及び参照電流IREFそれぞれの電流値を電圧値に変換し、変換された電圧値の差に基づいて出力レベルを判定するセンスアンプである。第1の先行技術は、電流差検知型センスアンプの典型例といえるが、この方式では、入力電流ICELL、及び参照電流IREFそれぞれの電流量の絶対値が低くなると、変換後の電圧値が相対的に小さくなり、判定が難しくなる。加えて、入力ノード、及び参照ノードそれぞれに、バイアストランジスタ101が設けられているので、低電圧動作となった場合には、バイアストランジスタ101のしきい値分だけセンスマージンが小さくなる、といった事情を持つ。
図14は第2の先行技術を示す回路図であり、例えば、特許文献2に記載される。
第2の先行技術は、入力電流ICELL、及び参照電流IREFそれぞれの電流量を、バイアストランジスタ103を通すことで電圧値に変換し、これらの電位差を、ラッチ回路によって直ちに増幅するセンスアンプである。第2の先行技術においても、バイアストランジスタ103が設けられているので、センスマージンは小さくなる。また、ラッチ回路がソースフォロワ型であり、ゲインがあまり大きくない。このため、センス速度が緩慢になる。第2の先行技術に限らず、電流差検知型のセンスアンプは、電流量に基づいて電圧値を生じさせるので、電流量が小さい場合には電圧値は小さくなり、動作速度は一般的に遅くなりがちである。また、第2の先行技術のラッチ回路は、ラッチ状態において、高電位Vddから低電位Vssに向かう電流経路ができるために、電流が常に流れた状態にあり、消費電力が大きい。
図15は第3の先行技術を示す回路図であり、例えば、非特許文献1に記載される。
第3の先行技術は、入力電流ICELL、及び参照電流IREFそれぞれのレプリカ電流をカレントミラー回路によって生成し、レプリカ電流の電流量を、バイアストランジスタ105を通して電圧値に変換し、これらの電位差をラッチ回路によって増幅する。さらに、増幅した電位差を、もう一段設けた電圧アンプを通し、出力を確定するセンスアンプである。第3の先行技術の動作概念は、第1の先行技術の動作概念、例えば、電流量に基づいて電位差を生じさせること、及び第2の先行技術の動作概念、例えば、ラッチ回路によってそれらの電位差を増幅することを併せた形に近い。また、電圧アンプは、カレントミラー回路が用いられ、電流が常に流れた状態にあり、消費電力が大きい。
図16は第4の先行技術を示す回路図である。
第4の先行技術は、第1、第2、第3の先行技術に比較して、さらに、低電圧動作が考慮されたセンスアンプである。第4の先行技術は2段のカレントコンベヤ(Current Conveyer)回路が用いられている。第4の先行技術はカレントコンベヤ回路を用いており、低電圧動作に適している、といえる。しかし、入力電流ICELL、及び参照電流IREFの電流量を、バイアストランジスタ107を通して電圧値に変換するので、センスマージンは小さい。また、ラッチ回路は電流が常に流れた状態にあり、消費電力も大きい。
特開2002−230989号公報 特開平6−176580号公報 Y.Nishida and W.Liu, "An Interpolating Sense Circuit for Molecular Memory", CICC, 2002. pp103-106. Y.K.Seng and S.S.Rofail, "1.5V High Speed Low Power CMOS Current Sense Amplifier", Electronics Letters, 1995. pp1991-1993.
この発明は上記事情に鑑み為されたもので、その目的は、低電圧動作が可能なセンスアンプを有した半導体集積回路装置を提供することにある。
上記目的を達成するために、この発明の第1態様に係る半導体集積回路装置は、相補の出力ノードと、前記相補の出力ノード間に初期電位差を、前記相補の出力ノードそれぞれへの入力電流の入力電流量の差に応じて生じさせる電流−電圧変換部と、前記初期電位差を生じた相補の出力ノードそれぞれのバイアス点をシフトし、前記相補の出力ノード間に生じた初期電位差を増幅する増幅部と、前記相補の出力ノード間の増幅された電位差に基づいて、前記相補の出力ノードそれぞれの出力レベルを確定する出力レベル確定部とを具備する。
また、この発明の第2態様に係る半導体集積回路装置は、電流通路の一端に、第1の電源電位を受け、ゲートを第1の出力ノードに接続した第1導電型の第1のトランジスタと、電流通路の一端に、前記第1のトランジスタからの電流と第1の入力電流とを受け、電流通路の他端を第2の出力ノードに接続し、ゲートを前記第1の出力ノードに接続した第1導電型の第2のトランジスタと、電流通路の一端に、前記第1の電源電位を受け、ゲートを前記第2の出力ノードに接続した第1導電型の第3のトランジスタと、電流通路の一端に、前記第3のトランジスタからの電流と第2の入力電流とを受け、電流通路の他端を前記第1の出力ノードに接続し、ゲートを前記第2の出力ノードに接続した第1導電型の第4のトランジスタと、電流通路の一端に、前記第1の電源電位とは異なる第2の電源電位を受け、前記電流通路の他端を前記第2の出力ノードに接続し、ゲートに制御信号を受ける第2導電型の第5のトランジスタと、電流通路の一端に、前記第2の電源電位を受け、前記電流通路の他端を前記第1の出力ノードに接続し、ゲートに前記制御信号を受ける第2導電型の第6のトランジスタと、電流通路の一端に、前記第2の電源電位を受け、前記電流通路の他端を前記第2の出力ノードに接続し、ゲートを前記第1の出力ノードに接続した第2導電型の第7のトランジスタと、電流通路の一端に、前記第2の電源電位を受け、前記電流通路の他端を前記第1の出力ノードに接続し、ゲートを前記第2の出力ノードに接続した第2導電型の第8のトランジスタとを具備する。
この発明によれば、低電圧動作が可能なセンスアンプを有した半導体集積回路装置を提供できる。
以下、この発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。この説明に際し、全図にわたり、共通する部分には共通する参照符号を付す。
図1は、この発明の一実施形態に係る半導体集積回路装置を示す回路図である。一実施形態は、半導体集積回路装置の例として、半導体メモリセルから読み出した情報を増幅するセンスアンプを示す。一実施形態に係るセンスアンプの概要は、制御信号、例えば、センスアンプの外部から入力される制御信号/SEにより、微小な電流量の差を、大きな電位差に確実に変換するものである。以下、その構成を、その動作原理に従って説明する。
まず、直列に接続され、それぞれのゲート電位が同じである2つのPチャネル型トランジスタM1、M2を含む回路を考える(図2A)。
このとき、ゲート電位Vの電位は充分低く、トランジスタM2は飽和領域で動作する、と仮定する。横軸に、トランジスタM1、M2のドレイン〜ソース間電圧VDSを取り、縦軸に、トランジスタM1、M2に流れる電流I、Iを取ると、トランジスタM1、M2のVDS−I特性は、図2Bに示すものとなる。トランジスタM1に流れる電流Iの量は、トランジスタM2に流れる電流Iの量と同じである(I=I)。従って、トランジスタM1のドレインとトランジスタM2のソースとの接続ノードの電位は、図2Bに示すVとなる。
ここで、トランジスタM2のドレイン電位V及びゲート電位Vが一定で変わらず、接続ノードに、電流Iが入ってくる場合を考える(図3A)。このときのVDS−I特性を、図3Bに示す。
図3Bに示すように、電位V、Vは一定であるので、バイアス点Vは高いバイアス点V´となり、電流Iと電流Iとの間には電流量の差が生じる。この電流量の差が電流Iとなる。
次に、図2の状態においてドレイン電位Vを固定し、ゲート電位Vが僅かに高く電位V´になった場合を考える(図4A)。このときのVDS−I特性を、図4Bに示す。
図4Bに示すように、ドレイン電位Vは一定であるため、トランジスタM2のしきい値がゲート電位Vの変化に比例して見かけ上高くなる。従って、電流Iの特性は右へ少し移動し、トランジスタM1のゲート電位Vは高くなるため、VDS−IDSは大きく変わり、電流量(I´=I´)は少なくなる。この場合、電流I´の電流量は、電流I´の電流量と等しいので、バイアス点Vはバイアス点V´となる。
続いて、図2の状態においてゲート電位Vを固定し、ドレイン電位Vが高くなり電位V´となった場合を考える(図5A)。このときのVDS−I特性を、図5Bに示す。
図5Bに示すように、ゲート電位Vが一定であるため、トランジスタM2の特性が変わり、バイアス点Vが高くなる(V´)。
ここで、図2の状態においてバイアス点V〜Vが可動である状態を考え、さらに、外部から接続ノードに対して電流Iが入ってくる場合を考える(図6A)。このときのVDS−I特性を、図6Bに示す。
図6Bに示すように、それぞれのバイアス点が移動し、外部から流入してくる電流Iは吸収される。即ち、V:高、V:高、V:高のようにバイアス点が移動する。
次に、図7に示すように、図2Aに示した2段積みのPチャネル型トランジスタ回路を2つ並列に並べ、片方の中間ノードにのみ、電流Iが入り、下側に2つのNチャネル型トランジスタM3、M6を含むバイアス回路を持った回路を考える。
=0の場合、制御信号/SEが“High”であると、図7に示す回路は、I=I=I、I=I=Iとなる安定点に落ち着く。この状態のときに、電流Iが入ってくると、先に述べた通り、I=Iは増加する一方で、I=I=Iは減少する。この状態では、図8に示すように、V>Vとなる。
トランジスタM3、M6の動作バイアス点を線形領域で動作させ、制御信号/SEを“High”から“Low”の方向に下げていくと、特性曲線は、図8に示すように、特性曲線(I)から特性曲線(II)に変化していく。バイアス点Vは特性曲線と電流Iとの交点にあり、同様にバイアス点Vは特性曲線と電流Iとの交点にある。特性曲線が特性曲線(I)から特性曲線(II)に変化していくと、特性極性(I)と電流I、Iとの交点にあったバイアス点V、Vは、それぞれ特性曲線(II)と電流I、Iとの交点にあるバイアス点V´、V´へと電源電位の方向、本例では電源電位Vddの方向にシフトされていく。本例では、V>Vであるので、バイアス点Vの方が先にVdd方向へと急速に上昇する。バイアス点V、Vがそれぞれシフトされる結果、電流Iを入れることでバイアス点V、V間に生じていた電位差(III)は、バイアス点V´、V´間に生ずるより大きな電位差(IV)に増幅される。
このように電流Iを入れることで、バイアス点V、V間に電位差(III)を生じさせる。
この後、トランジスタM3、M6をオンからオフ、例えば、動作状態から遮断状態とする。このトランジスタM3、M6の状態変化の過程において、トランジスタM3、M6の特性曲線が変化する。バイアス点V、Vは、特性曲線の変化に従って、本例では電源電位Vddの方向のバイアス点V´、V´にシフトされ、バイアス点V、V間の電位差(III)が、バイアス点V´、V´間のより大きな電位差(IV)に、確実に安定して広がる。
なお、本例のように、バイアス点V、Vは線形領域に設定し、シフト後のバイアス点V´は飽和領域に、同じくバイアス点V´は線形領域にそれぞれ設定されるように回路を設計すれば、電位差(IV)はより大きくなる、という利点が得られる。
図7に示す回路に、さらに、Nチャネル型トランジスタM7、M8のトランジスタをラッチ接続で加える(図9)。トランジスタM7、M8は、出力ノードOUT(バイアス点V´)と相補出力ノード/OUT(バイアス点V´)との電位差を検知し、フィードバックにより、図9に示す出力ノードOUTは、例えば、接地電位Vssに増幅され、相補出力ノード/OUTは、例えば、電源電位Vddに増幅される。この結果、出力ノードOUTの電位は接地電位Vssに、同じく相補出力ノード/OUTの電位は電源電位Vddに確定する。図9に示す回路では、最終的に安定した状態、即ち確定状態において、電源電位Vddから接地電位Vssへの電流経路は存在せず、貫通電流は生じない。つまり、トランジスタM3、M4、M5、M6、及びM7がオフするためである。このように一実施形態に係るセンスアンプは、貫通電流が生じないので、消費電力も小さい、という利点も得ることができる。
こうした増幅回路を、半導体メモリのセンスアンプに適用すると、例えば、図10に示す回路のようになる。
参照となる電流IREFがあり、電流IDATAと比較する。IREF=Iとして、IDATA=0、例えば、IREF>IDATAの場合は、上述の説明と同様である。また、IDATA≠0、例えば、IREF<IDATAであっても、それぞれのバイアス点に作用する強弱がセンスアンプの左右で反転するだけであり、基本的な動作原理に差違は無い。
以上が一実施形態に係るセンスアンプの動作原理の説明である。図10に示すトランジスタM1〜M8を機能別に分けると、図11に示すようになる。
図11に示すように、トランジスタM1、M2、M4、M5は、流入する電流量に応じて相補の出力ノードOUT、/OUTの初期電位差を生成し、出力ノードOUT、/OUTの電位Vddを確定する。トランジスタM3、M6は、出力ノードOUT、/OUTの初期電位差を増幅する。例えば、トランジスタM3、M6は、初期電位差を生じた出力ノードOUT、/OUTそれぞれのバイアス点をシフトし、初期電位差を増幅する。トランジスタM7、M8は、出力ノードOUT、/OUTの電位Vssを確定する。
このようなセンスアンプを、実際の半導体メモリシステムに組み込んだ場合、さらに、一工夫を行うことも良い。そのようなセンスアンプの一例を図12に示す。
図12に示すように、データが蓄積されたノードからの電流量をセンスするには、読み出すセルの選択信号SEL_RjもしくはSEL_Ljを活性化し、他方(右側“R”を選択した場合は左側“L”、左側“L”を選択した場合は右側“R”)のリファレンスを活性化する。こうすることで、読み出したいデータと、リファレンスとを比較でき、データを取り出すことができる。図12中、電流IR1〜IRj、IL1〜ILjは、ビット線RBL_R、及びRBL_Lに接続された半導体メモリセルが、記憶データに応じて流すセル電流であり、上述の電流IDATAに相当する。電流IREFは、参照電流である。
ところで、読み出す際に共有しているビット線RBL_R、及びRBL_Lは非常に大きな容量負荷である。大きな負荷容量を信号振幅でフルスイングすると、消費電力が大きくなる。そこで、図12に示すように、カレントミラー回路1R、1Lを用い、センスアンプへの入力電流を、カレントミラー回路のレプリカ電流とする。カレントミラー回路1R、1Lは、ビット線をフルスイングさせずに、出力ノードOUT、/OUTに電流量差を生じさせ、センスアンプの出力を早期に確定させる。さらに、カレントミラー回路1R、1Lの電流レプリカ比を大きくすると、センスアンプに入力される電流量の絶対値を大きくすることができ、さらに安定した動作をもたらすことができる。カレントミラー回路1Rのレプリカ電流段に接続されたNチャネル型トランジスタM9、及びカレントミラー回路1Lのレプリカ電流段に接続されたNチャネル型トランジスタM10はそれぞれ、センスアンプの入力ノードの電位を、例えば、電位Vss(例えば接地電位)に初期化(イコライズ)するトランジスタである。トランジスタM9、M10は、制御信号/EQによって制御される。制御信号/EQは、センスを開始する前に“High”レベルとなり、センスアンプの入力ノードは、トランジスタM9、M10を通じて電位Vssに初期化される。制御信号/EQは、センス時には“Low”レベルとなる。
さらに、センスアンプは、電源接続回路3に接続される。電源接続回路3は、Pチャネル型トランジスタM11を含み、トランジスタM11は制御信号INIにより制御される。制御信号INIは、センス時に“Low”レベルとなり、センスアンプを電源電位Vddに接続する。制御信号INIは、非センス時に“High”レベルとなり、センスアンプを電源電位Vddから切り離し、消費電力の増加を抑える。本例の電源接続回路3は、さらに、カレントミラー回路1R、1Lにも接続されており、センスアンプと同様に、カレントミラー回路1R、1Lを、センス時に電源電位Vddに接続し、非センス時に電源電位Vddから切り離し、カレントミラー回路1R、1Lにおける消費電力の増加を抑えるようにしている。
以上、この発明を一実施形態により説明したが、この発明は一実施形態に限定されるものではなく、その実施にあたっては発明の要旨を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。例えば、トランジスタM1〜M8の導電型は、一実施形態に開示した導電型に限られるものでは無い。また、センスアンプとしては、如何なる半導体メモリにも適用することができる。例をあげるならば、DRAM、SRAM、EEPROM、強誘電体を用いた半導体メモリ(FeRAM)、磁気抵抗効果を用いた半導体メモリ(MRAM)、相変化膜を用いた半導体メモリ(相変化メモリ)等を挙げることができる。
また、一実施形態は種々の段階の発明を含んでおり、一実施形態において開示した複数の構成要件の適宜な組み合わせにより、種々の段階の発明を抽出することが可能である。
また、一実施形態は、この発明を半導体メモリに使用されるセンスアンプに適用した例に基づき説明したが、この発明はセンスアンプに限って適用されるものでは無く、例えば、アナログ−デジタルコンバータにも適用することができる。
図1はこの発明の一実施形態に係る半導体集積回路装置を示す回路図 図2Aは動作原理を説明する回路例を示す回路図、図2Bは図2Aに示す回路例の電圧−電流特性を示す特性図 図3Aは動作原理を説明する回路例を示す回路図、図3Bは図3Aに示す回路例の電圧−電流特性を示す特性図 図4Aは動作原理を説明する回路例を示す回路図、図4Bは図4Aに示す回路例の電圧−電流特性を示す特性図 図5Aは動作原理を説明する回路例を示す回路図、図5Bは図5Aに示す回路例の電圧−電流特性を示す特性図 図6Aは動作原理を説明する回路例を示す回路図、図6Bは図6Aに示す回路例の電圧−電流特性を示す特性図 図7は動作原理を説明する回路例を示す回路図 図8は図7に示す回路中の出力ノードOUT、/OUTのバイアス点が変動する様子を示す図 図9は動作原理を説明する回路例を示す回路図 図10はこの発明の一実施形態に係る半導体集積回路装置の基本構成を示す回路図 図11はトランジスタの機能を示す図 図12はこの発明の一実施形態に係る半導体集積回路装置の半導体メモリへの一適用例を示す回路図 図13は第1の先行技術を示す回路図 図14は第2の先行技術を示す回路図 図15は第3の先行技術を示す回路図 図16は第4の先行技術を示す回路図
符号の説明
M1、M2、M4、M5…Pチャネル型トランジスタ、M3、M6、M7、M8…Nチャネル型トランジスタ、1R、1L…カレントミラー回路、3…電源接続回路。

Claims (4)

  1. 相補の出力ノードと、
    前記相補の出力ノード間に初期電位差を、前記相補の出力ノードそれぞれへの入力電流の入力電流量の差に応じて生じさせる電流−電圧変換部と、
    前記初期電位差を生じた相補の出力ノードそれぞれのバイアス点をシフトし、前記相補の出力ノード間に生じた初期電位差を増幅する増幅部と、
    前記相補の出力ノード間の増幅された電位差に基づいて、前記相補の出力ノードそれぞれの出力レベルを確定する出力レベル確定部と
    を具備することを特徴とする半導体集積回路装置。
  2. 前記増幅部は、
    前記相補の出力ノードの一方に電流通路の一端を接続した第1のトランジスタと、
    前記相補の出力ノードの他方に電流通路の一端を接続した第2のトランジスタとを含み、
    前記相補の出力ノード間の初期電位差は、前記第1のトランジスタ、及び前記第2のトランジスタそれぞれを線形領域で動作させて生じさせ、
    前記初期電位差を生じた相補の出力ノードそれぞれのバイアス点は、前記第1のトランジスタ、及び前記第2のトランジスタそれぞれを動作状態から遮断状態の方向に変化させてシフトさせることを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路装置。
  3. 前記入力電流は、前記相補の出力ノードそれぞれに、カレントミラー回路のレプリカ電流を用いて入力されることを特徴とする請求項1及び請求項2いずれかに記載の半導体集積回路装置。
  4. 電流通路の一端に、第1の電源電位を受け、ゲートを第1の出力ノードに接続した第1導電型の第1のトランジスタと、
    電流通路の一端に、前記第1のトランジスタからの電流と第1の入力電流とを受け、電流通路の他端を第2の出力ノードに接続し、ゲートを前記第1の出力ノードに接続した第1導電型の第2のトランジスタと、
    電流通路の一端に、前記第1の電源電位を受け、ゲートを前記第2の出力ノードに接続した第1導電型の第3のトランジスタと、
    電流通路の一端に、前記第3のトランジスタからの電流と第2の入力電流とを受け、電流通路の他端を前記第1の出力ノードに接続し、ゲートを前記第2の出力ノードに接続した第1導電型の第4のトランジスタと、
    電流通路の一端に、前記第1の電源電位とは異なる第2の電源電位を受け、前記電流通路の他端を前記第2の出力ノードに接続し、ゲートに制御信号を受ける第2導電型の第5のトランジスタと、
    電流通路の一端に、前記第2の電源電位を受け、前記電流通路の他端を前記第1の出力ノードに接続し、ゲートに前記制御信号を受ける第2導電型の第6のトランジスタと、
    電流通路の一端に、前記第2の電源電位を受け、前記電流通路の他端を前記第2の出力ノードに接続し、ゲートを前記第1の出力ノードに接続した第2導電型の第7のトランジスタと、
    電流通路の一端に、前記第2の電源電位を受け、前記電流通路の他端を前記第1の出力ノードに接続し、ゲートを前記第2の出力ノードに接続した第2導電型の第8のトランジスタと
    を具備することを特徴とする半導体集積回路装置。
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