JP2005283179A - テープ体検査装置およびテープ体検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】テープ体の表面および裏面に対する高精度の検査を短時間で実行し得るテープ体検査装置を提供する。
【解決手段】磁気テープ１０を長手方向に沿って移動させる移動機構と、長手方向に移動している磁気テープ１０の磁性面１０ａに検査光Ｌａを照射する検査光照射部７ａおよび磁性面１０ａで反射した反射光Ｌｂを受光するＣＣＤカメラ７ｂを有してＣＣＤカメラ７ｂによって受光された反射光Ｌｂの光強度に基づいて磁気テープ１０の磁性面１０ａ側を検査する磁性面検査部６ｂと、長手方向に移動している磁気テープ１０の裏面１０ｂに検査光Ｌａを照射する検査光照射部７ａおよび裏面１０ｂで反射した反射光Ｌｂを受光するＣＣＤカメラ７ｂを有してＣＣＤカメラ７ｂによって受光された反射光Ｌｂの光強度に基づいて磁気テープ１０の裏面１０ｂ側を検査する裏面検査部６ａとを備えている。
【選択図】図２

Description

本発明は、テープ体を検査するテープ体検査装置およびテープ体検査方法に関するものである。

この種のテープ体検査装置として、特開平９−１２７０１１号公報に開示された表面検査装置が知られている。この表面検査装置は、磁気テープ（検査対象の長尺状磁気記録媒体）を送り出す巻出手段と、検査が完了した磁気テープを巻き取る巻取手段との間に、磁気テープの表面を磁気的に検査する磁気的欠陥検出手段と、磁気テープの表面を光学的に検査する光学的欠陥検出手段とが配設されて構成されている。この表面検査装置では、磁気的欠陥検出手段が磁気テープの磁性面（磁性層が形成されている表面）を磁気的に検査し、光学的欠陥検出手段が磁気テープの磁性面を光学的に検査することにより、磁性面における微細な欠陥（磁性層の塗工ムラや、塗工ヌケ）の有無が検査される。
特開平９−１２７０１１号公報（第３−５頁、図１）

ところが、従来の表面検査装置には、以下の問題点がある。すなわち、この表面検査装置では、磁気的欠陥検出手段および光学的欠陥検出手段の双方によって磁気テープの磁性面における微細な欠陥の有無が検査されている。一方、記録データの正確かつ迅速な書き込みおよび読み取りを可能とするために、近年では、その裏面（磁性層が形成されている面の裏面）に位置決め用のマークを予め記録（形成）しておくタイプの磁気テープが登場している。この場合、磁気テープの裏面に形成されているバックコート層には、コーティング材料の塗布むら、傷付き、および異物の付着などの微細な欠陥が発生することがある。このような微細な欠陥が存在する状態では、記録データの書き込み読み取り時において、その微細な欠陥が位置決め用のマークであると誤認識されて記録データの正常な書き込みおよび読み取りが困難となるおそれがある。したがって、この種の磁気テープでは、裏面についても表面と同様にして微細な欠陥の有無を検出可能な高精度の検査を行う必要がある。しかしながら、従来の表面検査装置には、磁気テープの磁性面を検査する機能しか有していないため、この種の磁気テープにおける裏面を検査することができないという問題点がある。この場合、この表面検査装置の光学的欠陥検出手段を用いて磁気テープの裏面を検査する方法も考えられるが、この方法では、磁性面および裏面に対する個別の検査を合計２回実行することとなるため、検査に長時間を要するという問題が生じる。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、テープ体の表面および裏面に対する高精度の検査を短時間で実行し得るテープ体検査装置およびテープ体検査方法を提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく本発明に係るテープ体検査装置は、テープ体を長手方向に沿って移動させる移動機構と、前記長手方向に移動している前記テープ体の一面に検査光を照射する第１光照射部および当該一面で反射した反射光を受光する第１受光部を有して当該第１受光部によって受光された当該反射光の光強度に基づいて当該テープ体の当該一面側を検査する第１検査部と、前記長手方向に移動している前記テープ体の他面に検査光を照射する第２光照射部および当該他面で反射した反射光を受光する第２受光部を有して当該第２受光部によって受光された当該反射光の光強度に基づいて当該テープ体の当該他面側を検査する第２検査部とを備えている。

この場合、前記一面側に磁性層が形成された前記テープ体の前記長手方向に沿った移動方向における下流側に前記第１検査部を配設し、前記移動方向における前記第１検査部よりも上流側に前記第２検査部を配設することができる。

また、前記第１検査部および前記第２検査部の間に配設されて前記テープ体を前記長手方向に沿った移動方向に案内すると共に当該テープ体の幅方向への移動を規制する案内部材を備えることができる。

また、その表面にエア吹出し用孔が形成されて前記テープ体の幅よりもやや長尺の筒状に形成された本体部と、当該本体部の両端部に配設された一対のフランジとを備えることができる。

さらに、前記第１検査部および前記第２検査部のいずれか一方側から他方側への前記検査光および前記反射光の入光を規制する遮光板を当該両検査部の間に配設することができる。

また、前記長手方向に移動してる前記テープ体を張架可能に当該長手方向に沿って配置された一対の支持部と、前記テープ体に当接可能に形成されて前記支持部の近傍における前記長手方向に沿った移動方向における上流側に配置された上流側当接部と、前記テープ体に当接可能に構成されて前記支持部の近傍における前記長手方向に沿った移動方向の下流側に配置された下流側当接部とを備えて構成されているテープ体支持具を、前記第１検査部と前記テープ体を挟んで対向する位置、および前記第２検査部と前記テープ体を挟んで対向する位置の少なくとも一方の位置に配設することができる。

また、本発明に係るテープ体検査方法は、テープ体を長手方向に沿って移動させつつ当該テープ体の一面に検査光を照射して当該一面で反射した反射光を受光して当該受光した反射光の光強度に基づいて当該テープ体の当該一面側を検査し、前記テープ体の他面に検査光を照射して当該他面で反射した反射光を受光して当該受光した反射光の光強度に基づいて当該テープ体の当該他面側を検査する。

本発明に係るテープ体検査装置およびテープ体検査方法によれば、テープ体の一面に照射した検査光の反射光の光強度に基づいてテープ体の一面側を検査する第１検査部と、テープ体の他面に照射した検査光の反射光の光強度に基づいてテープ体の他面側を検査する第２検査部とを備えたことにより、微細な欠陥の有無を検出可能な高精度の検査をテープ体の一面および他面の双方に対して並行して実行することができる。このため、例えば、位置合わせ用のマークが裏面に形成されるタイプのテープ体のように磁性面および裏面の双方に対して高精度の検査を行う必要のあるテープ体を短時間で検査することができる。

また、本発明に係るテープ体検査装置によれば、テープ体の移動方向における下流側に磁性面側の検査を行う第１検査部を配設したことにより、テープ体に伝達された振動が減衰し易い下流側で磁性面側の検査を行うことができるため、磁性面側に対する検査において要求される精度を十分に満たす精度でテープ体の磁性面側を検査することができる。

また、本発明に係るテープ体検査装置によれば、テープ体の幅方向への移動を規制する案内部材を第１検査部および第２検査部の中間に配設したことにより、テープ体に照射される検査光の照射位置をほぼ一定に維持することができるため、第１受光部および第２受光部の視野に対するテープ体の位置情報の測定誤差を十分に低減することができる。

また、本発明に係るテープ体検査装置によれば、表面にエア吹出し用孔が形成された筒状の本体部と、本体部の両端部に配設された一対のフランジとを備えて案内部材を構成したことにより、テープ体の表面や縁部に直接接触することなくエアによってテープ体の幅方向への移動を規制することができるため、テープ体との接触に起因する振動の発生を防止することができる結果、測定精度を十分に向上させることができる。また、テープ体と案内部材との接触を回避できるため、テープ体の損傷を確実に防止することができる。

また、本発明に係るテープ体検査装置によれば、第１検査部と第２検査部との間に遮光板を配設したことにより、両検査部のいずれか一方側から他方側への検査光および反射光の入光を確実に規制することができるため、隣接する検査部（第１検査部または第２検査部）からの検査光や反射光の入光に起因する検査精度の低下を確実に防止することができる。

また、本発明に係るテープ体検査装置によれば、テープ体を張架可能な一対の支持部と、テープ体に当接可能な上流側当接部および下流側当接部とを有するテープ体支持具を備えたことにより、検査時におけるテープ体の振動を十分に低減することができるため、検査精度をさらに向上させることができる。

以下、添付図面を参照して、本発明に係るテープ体検査装置およびテープ体検査方法の最良の形態について説明する。

最初に、テープ検査装置１の構成について、図面を参照して説明する。

テープ検査装置１は、本発明に係るテープ体検査装置の一例であって、図１に示すように、移動機構２、支持機構４、エア供給部５、裏面検査部６ａ、磁性面検査部６ｂ、計測部８および制御部９を備え、本発明に係るテープ体検査方法に従って磁気テープ１０を検査可能に構成されている。この場合、磁気テープ１０は、本発明におけるテープ体の一例であって、支持体としてのベースフィルムと、ベースフィルムに形成された磁性層およびバックコート層とを備えて、一例として厚みが１０μｍ程度で長さが６００ｍ程度に形成されている。また、図２に示すように、磁気テープ１０の裏面１０ｂ（バックコート層が形成されている面。本発明における他面に相当する）には、テープ検査装置１による検査が完了した後に、図外の加工機によって、記録データの書き込み読み取り時においてドライブ装置が磁気テープ１０の位置を特定するための（位置決めするための）マーク（穴）が所定のピッチで数多く形成される。この磁気テープ１０は、テープ検査装置１による検査が完了し、加工機によるマークの形成が完了した後にリールに巻回されてカートリッジケースに収容される。

移動機構２は、図１に示すように、テープ検査装置１の検査対象である磁気テープ１０が巻回された送り側リール３ａと、テープ検査装置１による検査が完了した磁気テープ１０を巻回する巻取り側リール３ｂとを回転させることによって磁気テープ１０をその長手方向（同図に示す矢印の向き）に沿って移動させるモータ（図示せず）を備えて構成されている。支持機構４は、図２，３に示すように、ガイド部材１１ａ〜１１ｄと、ガイド部材１１ａ，１１ｂの間およびガイド部材１１ｃ，１１ｄの間にそれぞれ配設された支持具（テープ体支持具）１２ａ，１２ｂと、ガイド部材１１ｂ，１１ｃの間に配設されたガイド部材１３とを備えて、磁気テープ１０を長手方向に移動可能に支持する。ガイド部材１１ａ〜１１ｄ（以下、区別しないときには「ガイド部材１１」ともいう）は、筒状に形成されると共にその表面に多数のエア吹出し用孔が形成されて構成され、エア供給部５によって供給されるエア（圧縮空気）を吐出して磁気テープ１０との間に空気の層を形成することで磁気テープ１０を非接触の状態で支持する。

支持具１２ａは、図２に示すように、ガイド部材１１ａ，１１ｂの間における裏面検査部６ａと磁気テープ１０を挟んで対向する位置に配設されている。また、支持具１２ｂ（以下、支持具１２ａ，１２ｂを区別しないときには「支持具１２」ともいう）は、ガイド部材１１ｃ，１１ｄの間における磁性面検査部６ｂと磁気テープ１０を挟んで対向する位置に配設されている。また、支持具１２は、図４に示すように、ベース部２１と、ベース部２１上に立設された支持部２２ａ，２２ｂ，２３ａ，２３ｂとを備えて構成されている。この場合、ベース部２１および支持部２２ａ，２２ｂ，２３ａ，２３ｂは、例えばセラミックによって一体形成されている。支持部２２ａ，２２ｂ（以下、区別しないときには「支持部２２」ともいう）は、一例として、その厚みＴが１．５ｍｍの壁状に形成されて、距離Ｌ１（一例として、２．５ｍｍ程度）だけ離間して互いに対向し、かつ、その長手方向に移動している磁気テープ１０を張架可能にその長手方向に沿うようにして配置されている。この場合、両支持部２２ａ，２２ｂ間の距離Ｌ１を２．０ｍｍ未満としたときには、磁気テープ１０における両支持部２２ａ，２２ｂで張架された部位に後述する検査光Ｌａを照射するのが困難となる。また、３．０ｍｍを超えて両支持部２２ａ，２２ｂを離間させたときには、磁気テープ１０を高速移動させた際に両支持部２２ａ，２２ｂの間において磁気テープ１０に小さな振動が発生するおそれがある。したがって、距離Ｌ１が２．０ｍｍ以上３．０ｍｍ以下の範囲内となるように両支持部２２ａ，２２ｂを離間して配置するのが好ましい。

支持部２３ａ，２３ｂ（以下、区別しないときには「支持部２３」ともいう）は、一例として、その厚みＴが１．５ｍｍの壁状に形成されている。また、支持部２３は、支持部２２と比較して、高さＨ１（一例として０．２ｍｍ）だけ低背に形成されている。この場合、各支持部２３は、支持部２２に対してそれぞれ距離Ｌ２（一例として、１．６ｍｍ程度）だけ離間するように、その各壁面が支持部２２ａ，２２ｂの各壁面と対向するようにして配置されている。この支持部２３は、磁気テープ１０の表面に当接することにより、ガイド部材１１と支持具１２の支持部２２との間において磁気テープ１０に発生する振動の両支持部２２ａ，２２ｂ間への伝搬を回避（軽減）する。なお、支持部２３ａが本発明における上流側当接部に相当し、支持部２３ｂが本発明における下流側当接部に相当する。

ガイド部材１３は、本発明における案内部材に相当し、図５に示すように、本体部１３ａと、本体部１３ａの両端部に配設されたフランジ１３ｂ，１３ｂとを備えて構成されている。本体部１３ａは、その長さＬ３が磁気テープ１０の幅よりも例えば３０μｍ程度長尺の円筒状に構成されている。また、本体部１３ａは、その表面に多数のエア吹出し用孔３１，３１・・が形成されて構成されている。このガイド部材１３は、磁気テープ１０が移動する際に、エア供給部５によって供給されるエア（圧縮空気）を本体部１３ａのエア吹出し用孔３１から吐出することにより、磁気テープ１０を非接触の状態で支持すると共に、磁気テープ１０の幅方向に対する位置ずれ（移動）を規制する。この場合、同図に示すように、本体部１３ａのエア吹出し用孔３１から吐出されたエアによって磁気テープ１０と本体部１３ａとの間に空気の層が形成されることにより、磁気テープ１０が非接触の状態で支持される。また、磁気テープ１０と本体部１３ａとの間のエアの一部が、フランジ１３ｂ，１３ｂと磁気テープ１０の両縁部との間を通って流動する。したがって、本体部１３ａにおける幅方向（同図における左右方向）の中央部に向けて（同図に示す矢印Ａの向きで）磁気テープ１０の両縁部が押圧されて、磁気テープ１０が本体部１３ａにおける幅方向の中央部に常に位置するように維持される結果、磁気テープ１０の幅方向に対する位置ずれが規制される。

エア供給部５は、制御部９の制御下で支持機構４の各ガイド部材１１，１３にエア（圧縮空気）を供給する。裏面検査部６ａおよび磁性面検査部６ｂ（以下、区別しないときには「検査部６」ともいう）は、図２に示すように、検査光照射部７ａ、ＣＣＤカメラ７ｂおよび遮光板７ｃを備えてそれぞれ構成されている。この場合、磁性面検査部６ｂは、制御部９と相俟って本発明における第１検査部を構成し、磁気テープ１０の移動方向における下流側（同図における右側）に配設されている。また、裏面検査部６ａは、制御部９と相俟って本発明における第２検査部に構成し、磁気テープ１０の移動方向における磁性面検査部６ｂの配設位置よりも上流側（同図における左側）に配設されている。検査光照射部７ａは、高輝度ＬＥＤで構成されて、制御部９の制御下で磁気テープ１０に検査用の検査光Ｌａを照射する。この場合、磁性面検査部６ｂの検査光照射部７ａが本発明における第１光照射部に相当し、裏面検査部６ａの検査光照射部７ａが本発明における第２光照射部に相当する。なお、高輝度ＬＥＤに代えて、メタルハライドランプ、ハロゲンランプ、ナトリウムランプおよびレーザダイオード等で検査光照射部７ａを構成することもできる。

ＣＣＤカメラ７ｂは、検査光照射部７ａによって照射されて磁気テープ１０によって反射された反射光Ｌｂのうちの散乱光を受光する。この場合、磁性面検査部６ｂのＣＣＤカメラ７ｂが本発明における第１受光部に相当し、裏面検査部６ａのＣＣＤカメラ７ｂが本発明における第２受光部に相当する。また、ＣＣＤカメラ７ｂは、反射光Ｌｂのうちの正反射光が直接入光しないようにその取り付け位置が調整されている。遮光板７ｃは、例えば金属によって板状に形成されている。この場合、裏面検査部６ａの遮光板７ｃは、図２に示すように、ガイド部材１１ｂとガイド部材１３との間に配設されて、裏面検査部６ａ側から磁性面検査部６ｂ（ＣＣＤカメラ７ｂ）への検査光Ｌａおよび反射光Ｌｂの入光を規制する。また、磁性面検査部６ｂの遮光板７ｃは、ガイド部材１３とガイド部材１１ｃとの間に配設されて、磁性面検査部６ｂ側から裏面検査部６ａ（ＣＣＤカメラ７ｂ）への検査光Ｌａおよび反射光Ｌｂの入光を規制する。

計測部８は、移動機構２によって移動させられた磁気テープ１０の移動距離（すなわち、巻取り側リール３ｂに巻回された磁気テープ１０の長さ）を計測する。制御部９は、裏面検査部６ａのＣＣＤカメラ７ｂから出力された輝度信号（ＣＣＤカメラ７ｂによって受光された反射光Ｌｂの光強度）に基づいて磁気テープ１０の裏面１０ｂ側における欠陥を検出すると共に、磁性面検査部６ｂのＣＣＤカメラ７ｂから出力された輝度信号（ＣＣＤカメラ７ｂによって受光された反射光Ｌｂの光強度）に基づいて磁気テープ１０の磁性面１０ａ（磁性層が形成されている面。本発明における一面に相当する）側における欠陥を検出する。また、制御部９は、移動機構２を制御して磁気テープ１０を一例として毎秒５ｍの速度で高速移動させると共に、検査光照射部７ａ，７ａを制御して磁気テープ１０に検査光Ｌａを照射させる。さらに、制御部９は、磁気テープ１０の欠陥を検出したときには、欠陥が存在する旨と、計測部８によって計測された磁気テープ１０の移動距離とを対応させて図外の記憶部に記憶させる。なお、テープ検査装置１は、実際には、送り側リール３ａに巻回されている磁気テープ１０をガイド部材１１ａに案内する各種のローラー等、検査が完了した磁気テープ１０をガイド部材１１ｂから巻取り側リール３ｂに案内する各種のローラー等、磁気テープ１０に対して所定の張力を付与するためのテンション機構、および磁気テープ１０をクリーニングするクリーナーなどを備えているが、本発明についての理解を容易とするために、これらについての説明および図示を省略する。

次に、テープ検査装置１を用いて本発明に係るテープ体検査方法に従って磁気テープ１０を検査する方法について、図面を参照して説明する。

まず、検査対象の磁気テープ１０が巻回された送り側リール３ａと、検査が完了した磁気テープ１０を巻回する巻取り側リール３ｂとを移動機構２に取り付ける。次に、送り側リール３ａから磁気テープ１０の先端部を引き出して、ガイド部材１１ａ、支持具１２ａ、ガイド部材１１ｂ、ガイド部材１３、ガイド部材１１ｃ、支持具１２ｂおよびガイド部材１１ｄに対してこの順で接触するように磁気テープ１０をセットした後に、巻取り側リール３ｂに磁気テープ１０の先端部を固定する。この際に、図２に示すように、磁気テープ１０の磁性面１０ａには、支持具１２ａにおける各支持部２２，２３の先端部、およびガイド部材１１ｃ，１１ｄが当接し、磁気テープ１０の裏面１０ｂには、ガイド部材１１ａ，１１ｂ、ガイド部材１３の本体部１３ａ、および支持具１２ｂにおける各支持部２２，２３の先端部が当接する。次いで、制御部９がエア供給部５を制御してガイド部材１１，１３からエアを吐出させる。この際に、吐出されたエアによってガイド部材１１，１３と磁気テープ１０との間に空気の層が形成されて、磁気テープ１０がガイド部材１１，１３に対して非接触の状態で支持される。また、ガイド部材１３では、図５に示すように、本体部１３ａのエア吹出し用孔３１から吐出されたエアの一部が磁気テープ１０と本体部１３ａとの間、およびフランジ１３ｂ，１３ｂと磁気テープ１０の両縁部との間を通って流動する。このため、本体部１３ａにおける幅方向の中心部に向けて（同図に示す矢印Ａの向きに）磁気テープ１０の両縁部が押圧されて、磁気テープ１０が本体部１３ａにおける幅方向の中央部に常に位置するように維持される結果、磁気テープ１０の幅方向に対する位置ずれが規制される。

次に、制御部９は、移動機構２を制御して送り側リール３ａおよび巻取り側リール３ｂを回転させることにより、送り側リール３ａに巻回されている磁気テープ１０を巻取り側リール３ｂに巻回させる。この際に、図外のテンション機構によって磁気テープ１０に所定の張力が付与されているため、磁気テープ１０は、空気の層を介してガイド部材１１，１３に押し付けられると共に、支持具１２における各支持部２２，２３の先端面に押し付けられた状態で送り側リール３ａから巻取り側リール３ｂに向けて例えば毎秒５ｍの速度で高速移動させられる。この場合、このテープ検査装置１では、磁気テープ１０が空気の層を介してガイド部材１１，１３に押し付けられる構成のため、ガイド部材１１，１３によって磁気テープ１０が傷付けられる事態が回避されると共に、ガイド部材１１，１３と磁気テープ１０との間の摺動抵抗（移動抵抗）が極く小さく抑えられている。また、上記したように、磁気テープ１０がエアによって本体部１３ａにおける幅方向の中央部に常に位置するように維持されるため、磁気テープ１０の縁部とガイド部材１３のフランジ１３ｂの接触が防止される結果、磁気テープ１０の損傷が確実に防止される。

また、制御部９は、移動機構２に対する磁気テープ１０の移動についての制御に連動して、検査処理を開始する。この検査処理では、制御部９は、両検査部６の検査光照射部７ａに対して検査光Ｌａを射出させると共に、ＣＣＤカメラ７ｂに対して所定の時間毎に輝度信号を出力させる。また、制御部９は、輝度信号の輝度レベル（光強度）に基づいて磁気テープ１０の磁性面１０ａ側および裏面１０ｂ側に欠陥が存在するか否かを判定する。この際に、図２に示すように、裏面検査部６ａの検査光照射部７ａから射出された検査光Ｌａは、磁気テープ１０における支持具１２ａの支持部２２ａ，２２ｂによって張架されている部位の裏面１０ｂに照射されて、その裏面１０ｂで反射する。この場合、ガイド部材１３によって磁気テープ１０の幅方向への移動が規制されているため、検査光Ｌａがほぼ一定の位置に照射される。また、ガイド部材１３とガイド部材１１ｃとの間に遮光板７ｃが配設されているため、検査光Ｌａおよび反射光Ｌｂの磁性面検査部６ｂから裏面検査部６ａへの入光が規制される。

ここで、裏面１０ｂ側が欠陥のない滑らかな状態のときには、検査光Ｌａがほぼ正反射（全反射）するため、ＣＣＤカメラ７ｂには反射光Ｌｂが殆ど入光しない結果、ＣＣＤカメラ７ｂは、所定の定常レベル（低レベル）の輝度信号を出力する。したがって、この際には、制御部９は、磁気テープ１０の裏面１０ｂ側に欠陥が存在しないと判定する。一方、磁気テープ１０の裏面１０ｂ側に異物の付着やバックコート層の塗布むら等の欠陥が存在するときには、この欠陥によって検査光Ｌａが散乱する。このため、反射光Ｌｂのうちの一部の散乱光がＣＣＤカメラ７ｂに入光する結果、ＣＣＤカメラ７ｂは、所定の輝度レベルを上回る輝度信号を出力する。したがって、この際には、制御部９は、磁気テープ１０の裏面１０ｂ側に何らかの欠陥が存在すると判定する。

また、図２に示すように、磁性面検査部６ｂの検査光照射部７ａから射出された検査光Ｌａは、磁気テープ１０における支持具１２ｂの支持部２２ａ，２２ｂによって張架された部位の磁性面１０ａに照射されて、その磁性面１０ａで反射する。この場合、上記したように、ガイド部材１３によって磁気テープ１０の幅方向への移動が規制されているため、検査光Ｌａがほぼ一定の位置に照射される。また、ガイド部材１１ｂとガイド部材１３との間に遮光板７ｃが配設されているため、検査光Ｌａおよび反射光Ｌｂの裏面検査部６ａから磁性面検査部６ｂへの入光が規制される。ここで、磁性面１０ａ側が欠陥のない滑らかな状態のときには、検査光照射部７ａがほぼ正反射するため、ＣＣＤカメラ７ｂには反射光Ｌｂが殆ど入光しない結果、ＣＣＤカメラ７ｂは、所定の定常レベル（低レベル）の輝度信号を出力する。したがって、この際には、制御部９は、磁気テープ１０の磁性面１０ａ側に欠陥が存在しないと判定する。

一方、磁気テープ１０の磁性面１０ａ側に異物の付着や磁性層の塗布むら等の欠陥が存在するときには、この欠陥によって検査光Ｌａが散乱する。このため、反射光Ｌｂのうちの一部の散乱光がＣＣＤカメラ７ｂに入光する結果、ＣＣＤカメラ７ｂは、所定の輝度レベルを上回る輝度信号を出力する。したがって、この際には、制御部９は、磁気テープ１０の磁性面１０ａ側に何らかの欠陥が存在すると判定する。この場合、このテープ検査装置１では、磁性面検査部６ｂが磁気テープ１０の移動方向における下流側に配設されている。このため、例えば、図外のテンション機構等による微小振動が磁気テープ１０に伝達されたとしても、その微小振動が磁気テープ１０の移動方向における下流側において十分に減衰するため、微小振動に起因する検査精度の低下が確実に防止される。また、ガイド部材１３が、磁気テープ１０に直接接触することなくエアによって本体部１３ａにおける幅方向の中央部に磁気テープ１０を常に位置させるため、磁気テープ１０とガイド部材１３との接触に起因する振動の発生が確実に防止される。続いて、制御部９は、この検査処理を磁気テープ１０の長手方向の全域に亘って実行する。これにより、磁気テープ１０の裏面１０ｂ側および磁性面１０ａ側に対する検査が並行して実行されて、磁気テープ１０の良否が判定（検査）される。

このように、このテープ検査装置１およびテープ体検査方法によれば、反射光Ｌｂの光強度に基づいて磁気テープ１０の裏面１０ｂ側を検査する裏面検査部６ａと、反射光Ｌｂの光強度に基づいて磁気テープ１０の磁性面１０ａ側を検査する磁性面検査部６ｂとを備えたことにより、微細な欠陥の有無を検出可能な高精度の検査を磁気テープ１０の裏面１０ｂ側および磁性面１０ａ側の双方に対して並行して実行することができるため、磁気テープ１０を十分に短時間で検査することができる。

また、このテープ検査装置１によれば、磁気テープ１０の移動方向における下流側に磁性面１０ａ側の検査を行う磁性面検査部６ｂを配設したことにより、微小振動が磁気テープ１０に伝達されたとしても、その微小振動が磁気テープ１０の移動方向における下流側において十分に減衰するため、微小振動に起因する検査精度の低下を防止することができる。したがって、磁気テープの磁性面に対する検査において要求される精度を十分に満たす精度で磁気テープ１０の磁性面１０ａ側を検査することができる。

さらに、このテープ検査装置１によれば、エア吹出し用孔３１が形成された本体部１３ａと、本体部１３ａの両端部に配設された一対のフランジ１３ｂとを備えたガイド部材１３を備えたことにより、磁気テープ１０におけるほぼ一定の位置に検査光Ｌａを照射させることができるため、検査光Ｌａの照射位置の変動に起因する反射光Ｌｂの光強度の測定誤差を低減することができる。また、磁気テープ１０に直接接触することなくエアによって磁気テープ１０の幅方向への位置ずれを規制することができるため、磁気テープ１０とガイド部材１３との接触に起因する振動の発生を防止することができる結果、測定精度を十分に向上させることができる。また、磁気テープ１０とガイド部材１３との接触を回避することができるため、磁気テープ１０の損傷を防止することができる。

また、このテープ検査装置１によれば、裏面検査部６ａと磁性面検査部６ｂとの間に遮光板７ｃを配設したことにより、両検査部のいずれか一方から他方への検査光Ｌａおよび反射光Ｌｂの入光を確実に規制することができるため、隣接する検査部（裏面検査部６ａまたは磁性面検査部６ｂ）からの検査光Ｌａや反射光Ｌｂの入光に起因する検査精度の低下を確実に防止することができる。

また、このテープ検査装置１によれば、支持部２２ａ，２２ｂ，２３ａ，２３ｂを有する支持具１２を備えたことにより、検査時における磁気テープ１０の振動を十分に低減することができるため、検査精度をさらに向上させることができる。

なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、磁気テープ１０の移動方向における上流側に裏面検査部６ａを配設し、下流側に磁性面検査部６ｂを配設した構成例について上記したが、図６に示すテープ検査装置１Ａのように、磁気テープ１０の移動方向における上流側に磁性面検査部６ｂを配設し、下流側に裏面検査部６ａを配設した構成を採用することもできる。また、エアの吹き出しによって磁気テープ１０を非接触で保持するガイド部材１３を採用した例について上記したが、本発明における案内部材の構成はこれに限定されない。例えば、両端部にフランジが取り付けられた円筒状または円柱状の本体部を備えて、磁気テープ１０の移動に伴って回転する回転式のガイド部材を採用することもできる。この構成においても、磁気テープ１０の移動に連動してガイド部材が回転するため、ガイド部材と磁気テープ１０との間の摺動抵抗を小さく抑えることができる。また、磁性層およびバックコート層が形成された磁気テープ１０を検査する例について上記したが、本発明におけるテープ体には、例えば、磁性層等を形成する以前の状態のベースフィルムや、ドライブ装置の磁気ヘッド等をクリーニングするためのクリーニングテープなどの各種のテープ体が含まれる。

テープ検査装置１の構成を示すブロック図である。 支持機構４、裏面検査部６ａおよび磁性面検査部６ｂの構成を示す正面図である。 支持機構４の構成を示す平面図である。 支持具１２の断面図である。 ガイド部材１３の断面図である。 テープ検査装置１Ａにおける支持機構４、裏面検査部６ａおよび磁性面検査部６ｂの構成を示す正面図である。

符号の説明

１，１Ａ テープ検査装置
２ 移動機構
６ａ 裏面検査部
６ｂ 磁性面検査部
７ａ 検査光照射部
７ｂ ＣＣＤカメラ
７ｃ 遮光板
１０ 磁気テープ
１０ａ 磁性面
１０ｂ 裏面
１２，１２ａ，１２ｂ 支持具
１３ ガイド部材
１３ａ 本体部
１３ｂ フランジ
３１ エア吹出し用孔
２２ａ，２２ｂ 支持部
２３ａ，２３ｂ 支持部
Ｌａ 検査光
Ｌｂ 反射光

Claims (7)

1. テープ体を長手方向に沿って移動させる移動機構と、
   前記長手方向に移動している前記テープ体の一面に検査光を照射する第１光照射部および当該一面で反射した反射光を受光する第１受光部を有して当該第１受光部によって受光された当該反射光の光強度に基づいて当該テープ体の当該一面側を検査する第１検査部と、
   前記長手方向に移動している前記テープ体の他面に検査光を照射する第２光照射部および当該他面で反射した反射光を受光する第２受光部を有して当該第２受光部によって受光された当該反射光の光強度に基づいて当該テープ体の当該他面側を検査する第２検査部とを備えているテープ体検査装置。
2. 前記第１検査部は、前記一面側に磁性層が形成された前記テープ体の前記長手方向に沿った移動方向における下流側に配設され、
   前記第２検査部は、前記移動方向における前記第１検査部よりも上流側に配設されている請求項１記載のテープ体検査装置。
3. 前記第１検査部および前記第２検査部の間に配設されて前記テープ体を前記長手方向に沿った移動方向に案内すると共に当該テープ体の幅方向への移動を規制する案内部材を備えている請求項１または２記載のテープ体検査装置。
4. 前記案内部材は、その表面にエア吹出し用孔が形成されて前記テープ体の幅よりもやや長尺の筒状に形成された本体部と、当該本体部の両端部に配設された一対のフランジとを備えて構成されている請求項３記載のテープ体検査装置。
5. 前記第１検査部および前記第２検査部のいずれか一方側から他方側への前記検査光および前記反射光の入光を規制する遮光板が当該両検査部の間に配設されている請求項１から４のいずれかに記載のテープ体検査装置。
6. 前記第１検査部と前記テープ体を挟んで対向する位置、および前記第２検査部と前記テープ体を挟んで対向する位置の少なくとも一方の位置にテープ体支持具が配設され、
   前記テープ体支持具は、前記長手方向に移動してる前記テープ体を張架可能に当該長手方向に沿って配置された一対の支持部と、前記テープ体に当接可能に形成されて前記支持部の近傍における前記長手方向に沿った移動方向における上流側に配置された上流側当接部と、前記テープ体に当接可能に構成されて前記支持部の近傍における前記長手方向に沿った移動方向の下流側に配置された下流側当接部とを備えて構成されている請求項１から５のいずれかに記載のテープ体検査装置。
7. テープ体を長手方向に沿って移動させつつ当該テープ体の一面に検査光を照射して当該一面で反射した反射光を受光して当該受光した反射光の光強度に基づいて当該テープ体の当該一面側を検査し、
   前記テープ体の他面に検査光を照射して当該他面で反射した反射光を受光して当該受光した反射光の光強度に基づいて当該テープ体の当該他面側を検査するテープ体検査方法。

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