JP2005282508A - ポンプ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】確実にかつ大量に流体の移送をすることができ、作動による消費エネルギーの軽減を図れる薄型かつ小型に形成することのできる小型ポンプ装置及びそのポンプ装置機構を提供すること。
【解決手段】磁界発生装置と、筐体内の空間である第１ポンプ室及び第２ポンプ室を仕切るとともに、前記磁界発生装置によって生じる磁界によって移動することで第１ポンプ室及び第２ポンプ室の容積を変位させる振動子と、を備えることを特徴とする。
【選択図】図２

Description

本発明は、ポンプ装置に係り、特に燃料電池に搭載する小型ポンプ装置に関する。

近年では、遠心式、容積回転式、容積往復式、渦流式、気泡式、チュービング式などによって流体を移送させるポンプ装置を薄型でかつ小型に形成して医療機器、分析機器、事務用機器、家庭用機器などに組み込んで使用する用途が増えてきており、将来、より幅広い分野で更なる薄型でかつ小型に形成されたポンプ装置の需要が見込めるため、開発が進められている。

例えば、特許文献１に示すように、この薄型でかつ小型に形成したポンプ装置においては、電圧アクチュエータを使用したものやバイモルフ構造を持った圧電素子からなる振動子（以下、振動子）を使用したものなどが挙げられる。このような振動子を用いたポンプ装置は、流体の移送の逆流を防ぐ逆止弁としてかさ形状の逆止弁を複数配設され、振動子が上下方向に動作する時に変位するポンプ室内の容積に応じた変位する圧力にしたがって外部からポンプ室内への流体の吸い込み、ポンプ室内から外部への流体の吐出を行っている。
特開２０００−２６５９６３号公報

しかしながら、この振動子を用いたポンプ装置は、逆止弁の構造のために、上下方向に動作していない状態の振動子との間のポンプ室の容積、つまり振動子が上下方向に動作してもその周辺部分に流体を移送させることができない無駄な容積であるデッドボリュームが生じてしまうという問題がある。この対応としては、デッドボリュームに応じて振動回数を増やすこと、または吐出容積を大きくして、デッドボリュームの比率を小さくすることが挙げられる。前者は、無駄なエネルギーを消費することになり、後者は、気体の場合は液体に比べて圧縮性が高いことから振動子が上方向に動作する時に変位するポンプ室内の容積に応じて圧力が高くなってもデッドボリューム内にある気体が圧縮されてポンプ室内から外部への流体の吐出量が不十分であり、振動子が下方向に動作する時に変位するポンプ室内の容積に応じて圧力が低くなってもデッドボリューム内にある気体が膨張されてポンプ室内から外部からポンプ室内への流体の吸い込み量が不十分であり、ポンプとして機能しなくなってしまうという問題がある。

特に、より省エネルギーを目指す小型燃料電池において、液中に気泡が発生しやすいメタノールなどの揮発性の高い液体燃料では、気液混合状態になりやすく、圧縮比が上がらなければ、予定した性能を発揮することができないという問題がある。また、一方の酸素においても、メタノールなどの燃料や反応後発生した一酸化炭素との反応のために、酸素含んだ空気をセパレータに導く必要もあるという問題がある。

そこで、本発明は、上記のような問題点を解決しようとしてなされたものであり、確実にかつ大量に流体の移送をすることができ、作動による消費エネルギーの軽減を図れる薄型かつ小型に形成することのできる小型ポンプ装置を提供することを目的とする。特に、気体などの圧縮性流体や揮発性のある液体などの圧縮性流体と非圧縮性流体との混合流体においても確実に移送することができる小型ポンプ装置を提供することを目的とする。

上記の問題を解決するためには、ポンプ装置において、磁界発生装置と、筐体内の空間である第１ポンプ室及び第２ポンプ室を仕切るとともに、前記磁界発生装置によって生じる磁界によって変位することで第１ポンプ室及び第２ポンプ室の容積を変位させる振動子と、を備えることを特徴とする。

この請求項１に記載の発明によれば、前記ポンプ装置に、前記磁界発生装置によって生じる磁界によって変位することで第１ポンプ室及び第２ポンプ室の容積を変位させる振動子を設けたので、従来のような電圧の印加に応じて湾曲状に変形する圧電素子と異なり、振動子自体が筐体内を移動するため、デッドボリュームを抑えることができる。

本発明によれば、ポンプ室のデッドボリュームを少なくし、効率よく大量の流体の移送することができる。従って、小型ポンプ装置において、確実にかつ大量に流体を移送することができ、作動による消費エネルギーの軽減を図ることができ、薄型かつ小型に形成することができる等という効果を奏する。

以下に、本発明を実施するための最良の形態について図１から図８を参照して説明する。ただし、以下の述べる実施形態には、本発明を実施するために技術的に好ましい種々の限定が付されているが、発明の範囲を以下の実施形態及び実施例に限定するものではない。

〔第一の実施形態〕
本発明を適用した第一の実施形態におけるポンプ装置１について図１から図８を参照して説明する。

図２から図４に示すように、ポンプ装置１には、上面に円形状の上筐体２、上筐体２の外周下面に輪型のヨーク材５、ヨーク材５の内周内側にヨーク材５と嵌合するように円形状の下筐体８が接合して配設されており、このポンプ装置１の内部には、ポンプ室が形成される。このポンプ室には、振動子４が備えられており、この振動子４は、ポンプ室内の流体を移送させるダイヤフラム１１とダイヤフラム１１の外周下面に接合され、ダイヤフラム１１の外周に沿った輪型の永久磁石または鉄心からなる磁性体１２とから構成されている。なお、図２に示すように振動子４が下筐体８に接触するときにポンプ室内部に形成される空間を第２ポンプ室３２とし、図３に示すように振動子４が上筐体２に接触するときにポンプ室内部に形成される空間を第１ポンプ室３１とする。

この下筐体８の中央の下面には、ポンプ装置１のポンプ室への流体を吸入するための円形状の吸入口１０が形成されており、この吸入口１０の上部には、この吸入口１０より大きな円形状の下凹部１４が形成されている。この下凹部１４には、流体を逆流させないためのダックビル構造の逆止弁７、さらにそれを固定する円筒状のスリーブ６が配設されている。また、下筐体８の内周上面には、振動子４のダイヤフラム１１が下筐体８と接触するときに振動子４の磁性体１２が収納することのできる円形状の磁性体収容部１５が形成されている。なお、この磁性体１２を収納するための磁性体収容部１５は、デッドボリュームを少なくするため、磁性体１２の高さと幅の寸法よりも僅かに大きい寸法が、好ましい。

下筐体８に接合しているヨーク材５の内部には、円形状のヨーク凹部１３が形成されており、このヨーク凹部１３には、銅線などを円形状に巻回してなるコイル３が配設されている。このコイル３は、正弦波または方形波の電流を印加させることによって磁性体となって、ポンプ装置１の内部にある振動子４を上下に振動させる駆動回路と接続されており、磁界発生装置を構成している。

ヨーク材５に接合している上筐体２の上面の中央部には、円筒状に突出して外部に流体を吐出するための吐出口９が形成されている。また、この上筐体２の下面には、ポンプ室の流体を吐出口９へ集約させる円錐形状の上くぼみ５２が形成されている。なお、この上くぼみ５２の高さ及び幅の寸法は、デットボリュームを少なくするため、小さい寸法が好ましい。

図６に示すように、この複数層構造のダイヤフラム１１は、上筐体２側の層である上ダイヤフラム層１６、中間層である中ダイヤフラム層１８、下筐体８側の層である下ダイヤフラム２１、ダイヤフラム間を接着固定する接着材１７及び接着材２０、中間層に内在するフロート弁１８から複数層構造で構成されている。

このフロート弁１８は、中央に逆流防止面２２が形成されており、この逆流防止面２２の外周には、この外周に沿って厚さ方向に貫通した４つの流入孔２３，…が形成されており、さらにフロート弁１８の外周面２４には、２つの外くぼみ３０が互いに対象位置に形成されている。

このフロート弁１８の逆流防止面２２の下方には、振動子４が上摺動したときに、上摺動により生じた力で第２ポンプ室３２の容積を縮小させて第２ポンプ室３２内を高圧にして、フロート弁１８が貼り付いて流入孔２３，…を塞いで第１ポンプ室３１内を閉塞し、第１ポンプ室３１に流入した流体を第２ポンプ室３２に逆流させずに密閉性を高めて、第２ポンプ室３２の流体を吐出口９から吐出させる機能、及びこれと同時に、第１ポンプ室３１の容積を増大させて第１ポンプ室３１内を吸入口１０よりも負圧にして第１ポンプ室３１に吸入口１０から外部の流体を吸入させる機能を発現するように、フロート弁１８が貼り付いた時にフロート弁１８の流入孔２３，…と部分的にも重ならない且つフロート弁１８の逆流防止面２２より小さい貫通孔である１つの下孔２９が下ダイヤフラム層２１の中央部に設けられている。

この上ダイヤフラム層１６の中央部分には、振動子４が下振動したときに、第２ポンプ室３２内を第１ポンプ室３１内より負圧にして、フロート弁１８を上ダイヤフラム層１６に貼り付かせた時に、フロート弁１８と下ダイヤフラム層２１との隙間を形成させ、下孔２９を介してこの隙間内に流入された流体が、流入孔２３，…を介して第２ポンプ室３２内に流れるように、フロート弁１８の流入孔２３，…に少なくとも部分的に重なるようなフロート弁１８の４つの流入孔２３，…より大きな面積の４つの上孔２５，…が形成されている。

中ダイヤフラム層１９の中央部には、フロート弁１８を受け入れる１つの中孔２７が形成されており、この中孔２７の内周には、振動子４が上下摺動の際、上ダイヤフラム層１６の孔２５，…と流入孔２０，…がずれて流体が移送できなくなることを防止するために、フロート弁１８の外くぼみ３０に対応する２つの突起５１が形成されている。また、接着材１７及び接着材１９の中央には、フロート弁１８を内在させる空間を中孔２７とともに形成するための接着孔２６及び接着孔２８が形成されている。

図７に示すように、このフロート弁１８を内在させる空間の寸法は、フロート弁１８が中間層に形成された接着孔２６、中孔２７、及び接着孔２８に接触しながら、上下に揺動できる寸法であり、この空間の高さの寸法は、デッドボリュームを抑えるため、フロート弁１８の高さの寸法の２倍以下で形成されている。デッドボリュームを少なくしつつ、フロート弁の機能を発揮するために、この中間層の内部の高さの寸法は、フロート弁１８の１．５倍以下が好ましい。

磁性体１２の材質は、モータやソレノイドなどのコンポネーションに使用されている材質であれば良い。特に、ダイヤフラム４を磁界発生装置からの作用で良好に上下摺動させることができる鉄、コバルト、ニッケル、アルミニウムのいずれか一つまたはこれらの合金、またはこれらを併用したものが好ましい。また、この形状については、磁界発生装置からの磁力が得られ、ヨーク材５の内周面に近接できる円筒状の形状であることが好ましい。

ダイヤフラム１１の材質は、ニトリルゴム、フッ素ゴム、クロロプレンゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコンゴムなどの硬軟質ゴム、ＰＴＦＥ、ポリイミド、塩化ビニルなどの硬軟質樹脂、鉄、銅、アルミニウム、ニッケルなどの金属薄板、またはセラミックのいずれか一つ、またはこれらを併用する複数層構造の膜である。ポンプ室内を上下に摺動する時に、ポンプ室内の流体の吸入・吐出を容易にすることができるので、剛体性のある硬質ゴム、硬質樹脂、金属薄膜、セラミックのいずれか一つまたはこれらの複合が好ましい。ダイヤフラム４の厚さは、特に限定されないが、流体を良好に移送させるために直径が４０ｍｍから５０ｍｍのときに、厚さは０．３ｍｍから０．６ｍｍが好ましい。

また、フロート弁１８の材質は、第１ポンプ室３１から第２ポンプ室３２への流体の移送を容易にし、流入した第２ポンプ室３２の流体を第１ポンプ室３１へ逆流させないために適度な弾性を有するニトリルゴム、フッ素ゴム、クロロプレンゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコンゴムなどの硬軟質ゴム、ＰＴＦＥ、ポリイミド、塩化ビニルなどの硬軟質樹脂である。さらに、ポンプ室でダイヤフラム１１の摺動の際に、フロート弁１８と上孔２５または下孔２９との密閉性を高めるために、シリコンゴム、ポリイミドが好ましい。フロート弁１５の寸法は、直径３ｍｍから９ｍｍであり、高さ０．０１ｍｍから１ｍｍである。さらに、柔軟かつ耐久力を持つことができるために、直径３ｍｍ、高さ０．１ｍｍが好ましい。また、ダイヤフラム１１の直径４５ｍｍの場合には、ダイヤフラム１１が上下摺動し、流体の流入と逆流防止をさせて流体の移送が良好にできるので、図５に示す形状であって、直径５ｍｍ、厚さ０．１ｍｍが好ましい。

逆止弁７は、アクチュエータの高周波駆動に追従しやすく、デッドボリュームを少なくすることができる最も良好なダックビル構造の逆止弁であるが、この他の逆止弁として、フィルム構造、かさ形状などの一方向弁が挙げられる。

ポンプ装置１の潤滑材として、振動子４の摺動面の摩擦係数の低減とともに摺動面からの流体のリークの防止を行えるものであればよく、粘度の高いオイルやグリスなどが挙げられる。

本発明のポンプ装置１を駆動させる磁界発生装置の条件としては、駆動周波数１,５００Ｈｚ、駆動電圧５０Ｖｒｍｓ、駆動波動ｓｉｎ波であり、これによって振動子１が上下摺動させられる。

以下に本発明のポンプ装置１の作用について図８及び図９を参照して説明する。

図２、図３、図８及び図９に示すように、磁界発生装置のコイル３に電流が印加されることによって、振動子４は、ポンプ装置１のヨーク材５、上筐体２及び下筐体８から形成されるポンプ室の内周面を上下方向に摺動する。

図２に示すように、磁界の発生装置のコイル３に電流が印加されていないために振動子４が自重によって下筐体８と接触している、または、印加されている振動子４が下揺動して下筐体８と接触しているときには、第１ポンプ室３１はほぼ消失し、第２ポンプ室３２のみとなる。このとき、磁性体１２が磁性体収容部１５に収納されて生じる隙間及び逆止弁７と下凹部１４とダイヤフラム１１とから生じる隙間のデッドボリュームは、ダイヤフラム１１が下筐体８に接触するときに、ほとんど生じないこととなる。磁界発生装置のコイル３に所定の方向に電流が印加されて生じるコイル３の磁界が磁性体１２に浮揚力を付与し、振動子４は第１ポンプ室３１側から第２ポンプ室３２側に向かってポンプ装置１のポンプ室３１、３２の内周を上摺動し、磁界発生装置のコイル３に前記所定の方と逆方向に電流が印加されて生じるコイル３の磁界が磁性体１２に押し下げる力を付与し、振動子４は第２ポンプ室３２側から第１ポンプ室３１側に向かってポンプ装置１のポンプ室の内周を下摺動するように制御される。

図８に示すように、白抜き矢印のように振動子４が上摺動する際に第２ポンプ室３２内が高圧になる。このとき、フロート弁１８の逆流防止面２２が上ダイヤフラム層の上孔２５よりも小さいため、第２ポンプ室３２内の流体は矢印のように移動して上孔２５と重なる外周面２４に当たってフロート弁１８を押し下げ、フロート弁１８と下ダイヤフラム層２１との間に隙間を消失させる。このため、振動子４の摺動によって発生する下方向の力によって下ダイヤフラム層２１の下孔２９をフロート弁１８の逆流防止面２２が押さえつけて密閉状態とする。密閉状態となったダイヤフラム１１の全面が上摺動することによって第２ポンプ室３２内はより高圧になり、第２ポンプ室３２にある流体を上くぼみ１５に集約しながら吐出口９から吐出させると同時に、容積の増大によって負圧になった第１ポンプ室３１のために下筐体８の逆止弁７の逆止弁が開放され、吸入口１０から新たな流体が第１ポンプ室３１に流入する。したがって、この動作の間に、第２ポンプ室３２内の流体が第１ポンプ室３１内に流入することを防止できる。

図３に示すように、振動子４が上揺動して上筐体２と接触しているときには、第２ポンプ室３２は消失し、第１ポンプ室３１のみとなる。

図９に示すように、白抜き矢印のように振動子４が下摺動する際に第１ポンプ室３１内が高圧になる。このとき、第１ポンプ室３１内は下凹部１４より正圧となり、逆止弁７は矢印の通り口を閉じるので第１ポンプ室３１内の流体が下凹部１４に移動することはない。そして第１ポンプ室３１内の流体は下ダイヤフラム層２１の大きな下孔２９を介してフロート弁１８を押し上げ、フロート弁１８と下ダイヤフラム層２１との間に隙間が生じ、この隙間から流体が中ダイヤフラム層１９の４つの流入孔２３，…及び上ダイヤフラム層の上孔２５，…を介して矢印のように第２ポンプ室３２内に移動する。

図２に示すように、磁界の発生装置のコイル３に電流が印加されて、振動子４が下筐体８に接触している状態を示す図である。
磁界の発生装置のコイル３に電流が印加されている状態が継続されるときには、振動子４は図２の状態と図３の状態の上下摺動を繰り返す。

以上のことより、上述の作用を繰り返すことによって、流体を目的の装置に供給することができる。特に、逆止弁は、第１ポンプ室からの外部への流体の流出を防ぐとともに第２ポンプ室へ押し出すことができる。またフロート弁は、振動子が上摺動するとき、逆止弁の役割をするため、第２ポンプ室から吐出口へ流体を吐出させるとともに逆止弁からの第１ポンプ室への流体の流入をさせることができる。また、フロート弁は、流入孔の役割をすることにより、振動子が下摺動するときには、第１ポンプ室の流体を第２ポンプ室に流入させることができる。

このことによって、燃料電池などの燃料又は燃料を改質された流体が液体と気体との混合状態であっても、振動子による上下摺動とフロート弁とダックビル構造の逆止弁によって、ポンプ装置を薄型でかつ小型に形成でき、ポンプ室のデッドボリュームを少なくするとともに、効率よく流体の吸入と吐出をすることができる。従って、燃料電池の反応作用に必要な気体と液体を効率よく反応器に移送させることができ、燃料電池を用いた携帯電話やノートパソコンなどの小型電子機器に内臓することが可能である。

なお、上筐体１の吐出口９に逆止弁を配置してもよい。以上のことより、振動子が下摺動をする時に、吐出口９からの第２ポンプ室３２への流体の逆流を防止することができる。

また、ポンプ装置１の外装を防磁処理を行ってもよい。以上のことより、他の電子機器への誤作動を抑えることができる。

〔第二の実施形態〕
本発明の第二の実施形態のポンプ装置３３について第一の実施の形態と異なる構成、作用、効果について、図１０から図１２を参照して説明する。なお、前述の第一の実施形態の内在するフロート弁の数及び配設するダックビル弁の数を変更したものである。

図１０は、本発明を適用した第二の実施形態におけるポンプ装置３３の中央線における断面図である。図１１は、このポンプ装置３３を示す分解斜視図であり、図１２は、ダイヤフラムを示す分解斜視図である。

図１０に示すように、ポンプ装置３３には、下筐体８、ヨーク材５、上筐体３６から構成されており、これらが接合して配設されている。この上筐体３６の上面の吐出口３９には、流体が吐出口３９から第２ポンプ室３２へ逆流しないための逆止弁であるダックビル弁３５、さらにダックビル弁３５を固定するスリーブ３４が配設される。

図１０から図１２に示すように、上下に摺動する振動子３８は、磁性体１２とダイヤフラム４０とから構成されており、このダイヤフラム４０には、４つのフロート弁１８がダイヤフラム４０の直交する直径上で半径の１／２の位置に内在するように配設されている。このフロート弁１８の位置には、フロート弁機能を発揮できるように上ダイヤフラム４１の１６この上孔４６，…、接着材４２の４つの接着孔４７，…、４つの中ダイヤフラム４３の中孔４８，…、接着材４４の４つの接着孔４９，…、及び下ダイヤフラム４５の下孔５０，…が形成されている。

以下に、第二の実施形態のポンプ装置３３の作用を説明する。

磁界発生装置によって、ポンプ装置３３のポンプ室の振動子３８が上下摺動する。図１０及び図１２に示すように、上下摺動する際に、内在する４個のフロート弁１８が機能して、それぞれ流体を第１ポンプ室３１から第２ポンプ室３２に移送させると同時に、第２ポンプ室３２からの吐出口３９へ流体を吐出及び吸入口１０からの第１ポンプ室３１に流体を流入させる。図１０に示すように、流体を吐出させる際に、ダイヤフラム３８が流体を押すことによって、ダックビル弁３５が機能して、振動子３８が下摺動する際に、ダックビル弁３５が閉じて吐出口３９からの流体の逆流を防ぐ。

以上のことより、４つのフロート弁によって良好に上下摺動しながら、流体を吸入し、第１ポンプ室から第２ポンプ室に移送し、吐出することができる。この際、上筐体に配設されたダックビル弁によってダイヤフラムが下摺動するときに吐出口からの気体の流入を防ぐことができる。

なお、上記各実施形態では、磁性体１２の縦方向に切断したときの断面形状が長方形であったが、これに限らず図１３に示すように、振動子４が下方に移動したときスムースに磁性体収容部１５に収納できるように、縦方向に切断したときの断面形状における下底が上底より短い台形となるような磁性体１２を設け、磁性体１２の形状に合わせてデッドスペースが最小限となるように、縦方向に切断したときの断面形状が下底が上底より短い台形となる磁性体収容部１５にしてもよい。このような構造とすることによって、振動子４が上下動する際に左右方向にずれたとしても磁性体１２の傾斜面が磁性体収容部１５の傾斜面で摺動して小さい摩擦で磁性体１２を磁性体収容部１５に収容することができる。

また、上記各実施形態では、磁性体１２がダイヤフラム１１の下面に位置し、第１ポンプ室３１側に磁性体１２を収容する磁性体収容部１５を設けたが、代わりに、磁性体１２をダイヤフラム１１の上面に配置し、第２ポンプ室３２側に磁性体１２を収容する磁性体収容部１５を設けてもよく、或いは、下磁性体１２がダイヤフラム１１の下面に位置し、第１ポンプ室３１側に下磁性体１２を収容する下磁性体収容部１５を設けるとともに、上磁性体１２をダイヤフラム１１の上面に配置し、第２ポンプ室３２側に上磁性体１２を収容する上磁性体収容部１５を設けてもよい。

本発明の第一の実施形態によるポンプ装置を示す斜視図である。 本発明の第一の実施形態によるポンプ装置の振動子が下摺動して第１ポンプ室を形成している状態を示す断面図である。 本発明の第一の実施形態によるポンプ装置の振動子が上摺動して第２ポンプ室を形成している状態を示す断面図である。 本発明の第一の実施形態によるポンプ装置を示す分解斜視図である。 本発明の第一の実施形態による振動子を示す分解斜視図である。 本発明の第一の実施形態によるダイヤフラムを示す分解斜視図である。 本発明の第一の実施形態によるフロート弁を示す図である。 本発明の第一の実施形態によるポンプ装置の振動子が上摺動する状態を示すポンプ室の断面図である。 本発明の第一の実施形態によるポンプ装置の振動子が下摺動する状態を示すポンプ室の断面図である。 本発明の第二の実施形態におけるポンプ装置を示す断面図である。 本発明の第二の実施形態におけるポンプ装置を示す分解斜視図である。 本発明の第二の実施形態におけるダイヤフラムを示す分解斜視図である。 本発明におけるポンプ装置の他の構造を示す断面図である。

符号の説明

１ ポンプ装置
４ 振動子
１１ ダイヤフラム
１２ 磁性体
１８ フロート弁
７，３５ 逆止弁

Claims (8)

1. 磁界発生装置と、
   筐体内の空間である第１ポンプ室及び第２ポンプ室を仕切るとともに、前記磁界発生装置によって生じる磁界によって移動することで第１ポンプ室及び第２ポンプ室の容積を変位させる振動子と、
   を備えることを特徴とするポンプ装置。
2. 請求項１に記載のポンプ装置において、
   前記振動子は、磁性体と、剛体性を有するダイヤフラムと、単独または複数のフロート弁と、を有することを特徴とするポンプ装置。
3. 請求項２に記載のポンプ装置において、
   前記フロート弁は、逆流防止面と、外周に沿った流入孔と、外くぼみを形成する外周面と、から構成され、
   前記ダイヤフラムは、
   前記フロート弁の前記流入孔の上方に、前記流入孔より大きく、前記流入孔に対応する、単独または複数の上孔を形成する前記第２ポンプ室側に位置する上ダイヤフラム層と、
   前記振動子の摺動に伴って揺動する前記フロート弁が内在し、前記フロート弁のくぼみに対応する突起を形成する、単独または複数の中孔を形成する中ダイヤフラム層と、
   前記フロート弁の前記逆流防止面の下方に、前記逆流防止面より小さい、単独または複数の下孔を形成する前記第１ポンプ室側に位置する下ダイヤフラム層と、
   前記上ダイヤフラム層と前記中ダイヤフラム層と前記下ダイヤフラム層とを接合する接着材と、から構成される、
   ことを特徴とするポンプ装置。
4. 請求項２または請求項３に記載のポンプ装置において、
   前記ダイヤフラムの膜の材質は、硬軟質ゴム、硬軟質樹脂、金属薄板、セラミックのいずれか一つまたはこれらを併用したものであることを特徴とするポンプ装置。
5. 請求項２から請求項４に記載のポンプ装置において、
   前記フロート弁の材質は、フィルム状の弾性材質であることを特徴とするポンプ装置。
6. 請求項５に記載のポンプ装置において
   前記フィルム状の弾性材質は、フッ素ゴム、ニトリルゴム、クロロポレンゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコンゴム、ポリイミドのいずれか一つであることを特徴とするポンプ装置。
7. 請求項１から請求５のいずれか一項に記載のポンプ装置において、
   前記第１ポンプ室の逆止弁が設けられ、前記第２ポンプ室の吐出口に前記逆止弁と同方向に流体を流出する逆止弁を配設することを特徴とするポンプ装置。
8. 請求項２から請求項７のいずれか一項に記載のポンプ装置において、
   前記磁性体の材質は、鉄、ニッケル、コバルトの金属のいずれか一つまたはこれらの合金、またはこれら金属またはこれらの合金を併用することを特徴とするポンプ装置。

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