JP2005274577A - 位置測定装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 ターゲット部材に対する平行移動および傾き姿勢をX、Y、Z、ヨー、ピッチ、およびロール(「6D」)で同時に高精度に測定できる位置センサを提供する。
【解決手段】 ターゲット部材210には、コントラストを成した表面に囲まれたターゲット点215、216のアレイが含まれる。位置センサ200では、位置センサ200の画像処理アレイ230が調整可能な円錐角αに応じてOPA要素220に入る光線258だけを受光するようにOPA要素220が角度選択空間フィルタ250と組合せてターゲット点画像の配置において使用される。ターゲット点215、216のZ位置によって大きさが変化する輪状画像が画像処理アレイ230上に生成される。同一画像内の3つ以上のターゲット点215、216の画像を解析すると、ターゲット部材210に対する6D測定値を確定することができる。
【選択図】 図2
Description
例えば、第1の従来技術として、2D格子スケールを使用し、X−Y平面における平行移動を高分解能と高精度で検出する2Dインクリメンタル位置センサが第1特許文献において開示されており、その全体が参照として本明細書に組み込まれる。
このシステムは本質的には、一次元の光学式エンコーダを直交配置で組み合わせた構成である。ここで、一次元の光学式エンコーダは、高分解能の周期的スケール目盛の特定周期でリードヘッドの位置を検出し、一連の移動中に横切られる周期的スケールの周期のカウントを連続的に増分・減分してリードヘッドとスケールとの間の正味相対移動量を連続的に提供する。
この第2特許文献では、個別のファイバまたはファイバ組を個別の強度検出チャンネルとして機能させたファイバ光束を使用するプローブが開示されている。
個別の強度シグナルは、照明されるターゲット表面のX−Y軸方向の動きと、ターゲット表面に垂直な方向におけるターゲット表面と各ファイバとの近接度とによって変化する。
また、第2の従来技術において、第2特許文献において開示されているプローブでは、測定分解能が比較的低く、プローブとターゲット表面との間の「Z軸」距離間隔の検出範囲が限られているとともに離間方向の検出範囲が限られている。
さらに、このような三角測量配置では一般に、Z軸測定分解能とZ軸測定範囲との間の関係が不必要に制約される。
光学経路アレイ要素は、ターゲット部材上のターゲット形状から生成される物体光を入力するように位置決め可能である。
様々の具体的な実施態様においては、ターゲット形状は、そのターゲット形状によって生じる画像形状に対して良好な画像コントラストを提供する背景上に配置される。
様々の具体的な実施態様においては、ターゲット形状は、ターゲット部材上に周期的な2次元アレイで配置される。様々の具体的な実施態様においては、ターゲット形状は点状である。
角度フィルタ部の光線方向選択特性により、それぞれのターゲット形状に対応するそれぞれの画像形状は、入力物体光の光線の組によって決定され、この入力物体光は、光学経路アレイ要素の光学経路要素の各個に操作可能な組に入射するものである。
すなわち、ターゲット形状に対して光学経路要素の操作可能な組は、ターゲット形状から生じるとともに角度フィルタ部により選択される光線を受光する光学経路要素の組である。
一実施態様においては、角度フィルタ部は、両側テレセントリックの配置を提供するために配置された第2レンズをさらに備える。
一実施態様においては、コリメートアレイは精密加工がされたシリコンで形成された平行光線アレイである。
個々の極角は、角度フィルタ部が有する光線方向選択特性によって決まる。この極角はさらに、ターゲット点を頂点とする仮想円錐の円錐角である。
このため、ターゲット点の輪状画像の大きさを用いて、光学経路アレイ要素に対するターゲット点のZ軸絶対座標を確定することができる。
したがって、撮像された任意のターゲット点の(x,y,z)座標が求められ、このような3つのターゲット点の(x,y,z)座標が与えられれば、本発明による位置測定装置とターゲット部材との相対位置の6自由度が決定される。
ここで、輪状形状の中心とは、実在物ではなく、例えば、輪状形状を円の式でフィッティングしたときにこの円の式から求められる中心を設計上の輪状形状の中心と称するものである。
本発明による様々の具体的な実施態様において、それぞれの半径方向の強度プロフィールの組によって決められる各ピークの組に対して円または楕円の関数がフィッティングされる。
いずれの場合でも得られるフィッティング関数により、ターゲット形状の大きさ(半径方向寸法)と中心位置をサブピクセル補間レベルの高精度で推定できるため、この関数を利用して、任意の撮像されたターゲット点の対応する(x,y,z)座標を確定し、同様の高精度で相対位置を確定することができる。
本発明のさらに別の態様によれば、光源は、光学経路アレイ要素を介してターゲット部材を照明するように位置決めされる。
様々な実施態様においては、屈折面は、プリズム要素の表面により提供されるか、光学経路アレイ要素の形成に用いられる光ファイバセットの傾斜した出力末端により提供される。
光源は、光源からの照明光がビームスプリッタによって進行方向を変えられて、第1レンズおよび光学経路アレイ要素通過し、ターゲット部材を照明するようにビームスプリッタに対して配置される。
ただし、これは一例に過ぎず、限定的なものではない。精度の低い様々な別の実施態様においては、これよりも長い直径(最大200μm以上)であってもよい。
このような共面レンズの2次元アレイは、ターゲット部材からの入力物体光が複数のレンズに入力され、レンズにより効果的に偏向されて、各フィルタ部により受光される出力物体光を提供するように配置される。
図1は、本発明による光学経路アレイ要素(OPA要素)として使用可能な光ファイバ束に含まれるそれぞれ別の場所に位置決めされた単一の光ファイバ121’および121’’の働きを示す光ファイバ光学経路アレイ(OPA)構成100の等角図である。
このため、以下の説明において参照する実施可能な極角αは、図2を参照して以下に詳細に述べるように、本発明による様々の具体的な実施態様における特定の位置センサの特定の配置により規定される。
したがって、わかりやすいように、図1では、点115および/または光ファイバ121’および121’’の入力末端を、規定された実施可能な角度αに適合する「選択された」位置に示している。
むしろ、一般的な場合に、規定された実施可能な極角αに適合しないように位置決めされた点と光ファイバの入力末端の組み合わせは実施不可である。
すなわち、α以外の入射角に対応する光学経路は、本発明による様々の具体的な実施態様における実施可能な極角αを規定する角度フィルタリング配置により遮断される。
様々な典型的な実施態様においては、OPA要素220を形成するファイバ束には、高密度実装または最密構造配置で配置されたファイバが含まれる。様々の具体的な実施態様においては、ファイバ軸は、互いに少なくともほぼ平行である。様々の具体的な実施態様においては、個々のファイバが少なくともほぼ円筒形である場合に、画像解析結果の精度および/または繰返し精度が最も高くなる。
図3A〜図3Fは、本発明によるターゲット部材上に含まれるターゲット点の具体的な一パターンと、検出器アレイ230などの検出器アレイ(カメラとも称する)において形成される、ターゲット点の理想的な輪状画像の様々なパターンを、本発明による様々の具体的な実施態様におけるターゲット部材の様々な方向について示している。図1および図2を参照して説明したように、ターゲット部材上のターゲット点が、カメラにおいて輪状である画像を生成する。
図3Cは、ターゲット部材の平面がOPA要素の参照面に対してY軸を中心として回転されている場合に形成されるリングのアレイ30Cを示しており、OPA要素から右端に向かうターゲット点のZ軸距離間隔の方が、左端に向かうターゲット点よりも大きくなっている。
図3Dは、ターゲット部材が図3Cとは反対の方向に傾斜している場合に形成されるリングのアレイ30Dを示している。
図3Fは、ターゲット部材の平面が、OPA要素の参照面に対して、X軸から反時計回りに約45度の角度を成す、X−Y平面と平行である軸を中心として回転されている場合に形成されるリングのアレイ30Fを示している。OPA要素から左上隅に向かうターゲット点の距離間隔の方が、右下隅下に向かうターゲット点よりも大きくなっている。
図4Aおよび図4Bは、一般的な位置センサ配置200と類似または同一の、本発明による位置センサ配置300を、ターゲット点から生成される様々な輪状画像の位置を示す具体的な一連の座標関係とともに示す略図である。図4Aおよび図4Bの様々な寸法間の関係は正確ではなく、図示するために誇張してある。
様々の具体的な実施態様においては、ターゲット部材に対するリードヘッドの平行移動位置を次のように確定してもよい。まず、図6に示した点Otmを、ターゲット部材の局所軸の現在の原点として定義する。次に、原点Oとターゲット面上の点との間でターゲットの法線ntmまたはztmと平行であるベクトルにより、点Otmを定義する。図6に示したように、これは、ターゲット面のztm軸に沿っており、2つの点(OとOtm)を結ぶベクトルr0である。次に、リードヘッドのZ座標または「ギャップ」をベクトルr0の長さと定義する。ターゲット部材に対するリードヘッドの現在の局所座標xtmおよびytmは、現在のターゲット部材原点Otmを基準とする。
ターゲット点パターンの現在のxtm周期およびytm周期内の位置を確定するために、点Otmがベクトルr0により定義される。ベクトルr0は、周知のベクトル代数方法により次のように確定される。
ギャップまたはZ座標は、r0の長さに等しい。
前述のように、最初の位置(または基準位置)と現在の(または最後の)位置との間のターゲット点パターンのxtmピッチおよびytmピッチの累積増加量を追跡することが可能であり必要である。このため、式18〜式20により確定される最初の位置として使用される基準ターゲット点と、式18〜式20により確定される最後の位置として使用される基準ターゲット点との間の累積増加量は既知であるか、あるいは確定可能である。したがって、スケール部材に対するリードヘッドの現在のx−y位置(すなわち、x−y累積移動量)を確定することができる。
前述の画像処理と座標確定操作は比較的短時間で実行でき、多数の用途で十分な精度を発揮するが、画像処理の操作では、各輪状形状の元の画像から入手できる情報量の多くが活用されていない。このような情報を活用すれば、各ターゲット点の推定座標をより高い精度で確定(精緻化)することができる。
図14は、本発明による位置センサ配置600の第2の一般的な実施態様を示す略図である。この位置センサ配置には、前述の様々なリードヘッドと構成および働きが類似している様々な部品が含まれるため、以下では追加の説明が必要な要素のみ取り上げる。位置センサ配置600には、物体光入力面622と物体光出力面623を有するファイバ束OPA620Fを備えるOPA要素620、照明構成680、角度フィルタ650、検出器630、およびターゲット点615を含むターゲット部材610とが含まれる。
位置センサ配置600の前述の実施態様においては、ターゲット点615の画像は楕円形ではなく円形である。また、この配置において光軸658の方向または角度θが変更された場合でも、一般に、実施可能な配置が得られる。ただし、実施可能な検出角度αはこれらの両要因によって異なり、角度フィルタ650の光軸658がファイバ軸と平行でない場合はターゲット点画像は楕円となる。
しかし、前述のようにターゲット特徴の画像は通常ぼけている。さらに、本発明による様々な典型的な実施態様においては、角度β’と関係があるビーム幅は各アキシコンレンズ421’’’の大きさに対して十分広いため、光線のビーム403が物体光入力面422全体を照明することができる。これらの特性により、潜在的誤差εarが事実上相殺されるか無効になる。したがって、角度β’と関係のあるビーム幅に対してより大きいアキシコンレンズを使用するため精度が低くなる可能性がある実施態様を除き、潜在的誤差εarは実際的な意義を持たない。
図19に示したように、位置センサ配置700には、複数のターゲット点を代表するターゲット点715を含むターゲット部材710が含まれる。OPA要素720は、物体光出力面723と、位置センサ配置700の座標系参照面724と一致する物体光入力面722とを有する。また、位置センサ配置700には、角度フィルタ部750の具体的な一実施態様と検出器アレイ730も含まれる。
行R−1は、一般的な3種類の光学経路要素を示している。列21−Aは、図16〜図20を参照して前述したアキシコンレンズに似た一般的な屈折円錐アキシコン型レンズを示している。列21−Bは、一般的な屈折切子面錐体型レンズを示している。列21−Cは、プリズム断面を有する細長いリッジ型屈折要素の一部分を示している。
行R−3の各セルは、具体的なターゲット部材上に現れる2つのターゲット形状TおよびBの具体的配置を示している。また、各セルを、各ターゲット形状がZ軸座標「0」を有する場合に本発明による位置センサ配置のカメラ上に現れる画像とみなすこともできる。
切子面の数が比較的少ない光学経路要素の利点の1つを具体的に表しているのが、下位列21−C2に示した十字形のターゲット形状と生成される画像である。下位列21−C2に示した十字形のターゲット形状など拡張されたターゲット形状を、多数の切子面を有する光学経路要素、アキシコン、またはファイバなどとともに用いた場合、拡張されたターゲット上の各点が複数の画像点に結像されて、画像が乱れたりリングの幅が広がり過ぎてしまう。
141…円錐軸、142…仮想円錐、143…円、145…仮想面、200…位置センサ配置、210…ターゲット部材、215、216…ターゲット点、220…OPA要素、222…物体光入力面、223…物体光出力面、230…アレイ検出器、245、245´…仮想面、250…角度フィルタ部、255…アパーチャ、256…レンズ、257…レンズ、258…光軸、300…位置センサ配置、310、310´…ターゲット部材、315、315´316´、317´…ターゲット点、320…OPA要素、322…物体光入力面、323…物体光出力面、324、324´…参照面、330…カメラ、350…角度フィルタ部、358…光軸、390…リードヘッド、400A…光線構成、403…ビーム(光線)、410…ターゲット部材、415…点、420…アキシコンレンズアレイOPA要素(アキシコンOPA要素)、421、421´、421´´…アキシコンレンズアレイ、422…物体光入力面、423…物体光出力面、424…座標系参照面
424…参照面、426、426´…光学経路、427…アレイ基板、429…中心軸、441…円錐軸、442…仮想円錐、443…円、445…仮想面、481…図18中の矢印、482…三角形483の底辺、483…三角形、499a、499b…図17中の矢印、500…位置センサ配置、520…OPA要素、522…物体光入力面、523…物体光出力面、530…検出器、550…角度フィルタ、558…光軸、580…照明構成、581…変形実施態様、585…光源、586、586´…光源光(照明光)、587…スケール照明光、587…照明光、600…位置センサ配置、610…ターゲット部材、615…ターゲット点、620F…ファイバ束OPA、620F´、630F´´、630F´´´…物体光偏向構成、620…OPA要素、622…物体光入力面、623…物体光出力面、630…検出器、650…角度フィルタ、658…光軸、670A…光線、680…照明構成、685…光源、686…光源光(照明光)、687…スケール照明光、687…ビームスプリッタ、687…照明光、700…位置センサ配置、710…ターゲット部材、715…ターゲット点、720…OPA要素、722…物体光入力面、723…物体光出力面、724…座標系参照面、730…検出器アレイ、750…角度フィルタ部、755…アパーチャ、756…レンズ、757…レンズ、800…擬似画像、810…円、930A-930D…ピークピクセル、920A-920D…半径方向の強度の形状。
Claims (16)
- ターゲット部材との相対位置を測定するのに使用可能な位置測定装置であって、
アレイ検出器と、
複数の光学経路要素を備える光学経路アレイ要素と、
前記光学経路アレイ要素を通過するとともに調整可能な方向に沿っている光線を選択的に伝送する角度フィルタ部と、を具備しており、
前記ターゲット部材の少なくとも一部分に対応する画像を前記アレイ検出器上に提供するように前記位置測定装置を位置決め可能であり、
前記画像は前記伝送される光線により生成され、
前記位置測定装置と前記ターゲット部材との間の相対位置の少なくとも1つの自由度に対応する少なくとも1つの測定値を決定するのに前記アレイ検出器上の前記画像を使用できることを特徴とする位置測定装置。 - 請求項1に記載の位置測定装置において、
前記ターゲット部材が少なくとも1つの区別可能なターゲット形状を含み、
前記少なくとも1つの区別可能なターゲット形状からこれに対応する区別可能な画像形状が前記アレイ検出器にて検出される画像内で生成され、
前記アレイ検出器にて検出された区別可能な画像形状の大きさは、前記対応する区別可能なターゲット形状について絶対測定値を確定するのに使用可能であり、
前記絶対測定値は、前記位置測定装置と前記ターゲット部材との離間方向に沿って延びる軸に沿った平行移動の自由度に対応することを特徴とする位置測定装置。 - 請求項2に記載の位置測定装置において、
前記少なくとも1つの区別可能なターゲット形状は、対応する区別可能な画像形状を生成する少なくとも3つの区別可能なターゲット特徴を有し、
前記少なくとも1つの測定値が、前記測定装置と前記少なくとも3つの区別可能なターゲット特徴との相対位置の平行移動の3自由度に対応する3つの値からなり、
前記位置測定装置が、この位置測定装置と前記ターゲット部材との相対位置の6自由度を測定するのに使用可能である
ことを特徴とする位置測定装置。 - 請求項2に記載の位置測定装置において、
前記区別可能なターゲット形状がターゲット点であり、
前記アレイ検出器上の前記区別可能な画像形状が輪状画像形状を含み、
前記アレイ検出器上の前記輪状画像形状の中心位置は、前記位置測定装置と前記ターゲット部材との離間方向に対してほぼ垂直である平面に沿って延びる2本の互いに直交する軸に沿った平行移動の2自由度に対応する相対移動量を決定する使用可能である
ことを特徴とする位置測定装置。 - 請求項4に記載の位置測定装置において、
前記輪状画像形状が楕円および円のいずれかを含み、
楕円および円を表す関数が前記輪状画像形状にフィッティングされ、
前記関数の前記中心位置は、前記2本の互いに直交する軸に沿った前記平行移動の2自由度に対応する前記相対移動量を決定するのに使用可能であり、
前記関数の半径方向寸法は、前記位置測定装置と前記ターゲット部材との離間方向に沿って延びる前記軸に沿った平行移動の自由度に対応する前記絶対測定値を決定するのに使用可能である
ことを特徴とする位置測定装置。 - 請求項4に記載の位置測定装置において、
前記輪状画像形状は、楕円および円のいずれかを含み、
前記輪状画像形状は、前記輪状画像形状において中心から広がる各半径方向に沿ってならぶ各ピクセル組の強度によって構成される各半径方向の強度プロフィールを有し、
楕円および円のいずれかを表す関数が、各半径方向の強度プロフィールの組について確定された各ピークの組にフィッティングされ、
前記関数の前記中心位置は、前記2本の互いに直交する軸に沿った前記平行移動の2自由度に対応する前記相対移動量を決定するのに使用可能であり、
前記関数の半径方向寸法は、前記位置測定装置と前記ターゲット部材との離間方向に沿って延びる前記軸に沿った平行移動の自由度に対応する前記絶対測定値を決定するのに使用可能である
ことを特徴とする位置測定装置。 - 請求項1に記載の位置測定装置において、
光源をさらに具備する
ことを特徴とする位置測定装置。 - 請求項7に記載の位置測定装置において、
前記光源は、前記光軸アレイ要素を介して前記ターゲット部材を照明するように位置決めされる
ことを特徴とする位置測定装置。 - 請求項1に記載の位置測定装置において、
前記角度フィルタ部は、この角度フィルタ部の光軸とほぼ平行である光線だけを選択的に伝送するように構成され、
前記光軸は、
a)前記光学経路アレイ要素の面と平行である参照面に対してほぼ垂直な方向と、
b)前記光学経路アレイ要素の面と平行である参照面に対して垂直な方向に対して角度を成している方向と、のいずれか1つの方向に沿っている
ことを特徴とする位置測定装置。 - 請求項9に記載の位置測定装置において、
前記角度フィルタ部の前記光軸が、前記参照面に対してほぼ垂直な方向に沿って配置され、
前記光学経路アレイ要素からの光線が前記参照面に対して角度を成して傾斜している屈折面で屈折されて前記光軸とほぼ平行である前記光線となり、
前記屈折面は、
a)出力物体光を受光するプリズム要素の表面と、
b)光ファイバの組にて構成される光学経路要素によって提供されるとともにその光ファイバの組の傾斜した端部によって形成される表面と、のいずれかである
ことを特徴とする位置測定装置。 - 請求項10に記載の位置測定装置において、
前記位置測定装置は、光源とビームスプリッタとをさらに具備し、
前記角度フィルタ部は、前記屈折面で屈折する前記光線を受光するように配置された第1レンズと、前記第1レンズからの前記光線が焦点を結ぶ焦点面に配置されたアパーチャと、を備え、
前記ビームスプリッタは、前記第1レンズからの前記光線が前記焦点面において焦点を結ぶ前に前記ビームスプリッタを通過するように前記第1レンズと前記アパーチャとの間で前記光軸に沿って配置され、
前記光源は、この光源からの照明が前記ビームスプリッタにより偏向されて前記第1レンズと前記光学経路アレイ要素を通過して前記ターゲット部材を照明するように前記ビームスプリッタに対して配置されることと、を特徴とする位置測定装置。 - 請求項9に記載の位置測定装置において、
前記角度フィルタ部は、
a)前記光学経路アレイ要素からの前記光線を受光するために前記光軸に沿って配置された第1レンズと、前記第1レンズに入射する際に平行である前記第1レンズからの光線が焦点を結ぶ焦点面において前記光軸に沿って配置されたアパーチャと、を備えるか、または、
b)互いに平行な軸を有するとともに入力光線に対する小さい受光角が小さい細長い管状構造物のコリメートアレイを備えるか、のいずれかである
ことを特徴とする位置測定装置。 - 請求項12に記載の位置測定装置において、
前記角度フィルタ部は、焦点距離Fの第2レンズを備え、
前記第2レンズは前記アパーチャと前記アレイ検出器との間において前記光軸に沿って前記アパーチャから距離Fを隔てて位置決めされる
ことを特徴とする位置測定装置。 - 請求項1に記載の位置測定装置において、
前記ターゲット部材は、少なくとも2つの区別可能なターゲット形状を含み、
前記少なくとも2つの区別可能なターゲット形状によって前記アレイ検出器上の前記画像内において対応する区別可能な画像形状が生成され、
前記位置測定装置と前記ターゲット部材との離間距離が長くなる場合に、前記各画像形状の大きさは、前記アレイ検出器上で増すが、前記各画像形状の各中心間の距離は、前記アレイ検出器上で増加しない
ことを特徴とする位置測定装置。 - 請求項1に記載の位置測定装置において、
前記ターゲット部材が、点形状から成るターゲット特徴が二次元的かつ周期的に配列されたアレイを備える
ことを特徴とする位置測定装置。 - 請求項1に記載の位置測定装置において、
前記光学経路アレイ要素は、互いに平行な光ファイバから成る光ファイバ束を備え、
前記複数の光学経路要素は、複数の前記互いに平行な光ファイバを備え、
前記光ファイバ束は前記ターゲット部材からの入力光線が前記光ファイバ束の平面を通って入力されるように構成されているとともに、前記平面は前記複数の前記互いに平行な光ファイバの末端が同一平面に位置することで形成される
ことを特徴とする位置測定装置。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010038654A (ja) * | 2008-08-01 | 2010-02-18 | Sony Corp | 光学式変位測定装置 |
JP2012078342A (ja) * | 2010-10-05 | 2012-04-19 | Mitsutoyo Corp | 画像相関変位センサ |
KR101490460B1 (ko) | 2013-04-29 | 2015-02-10 | 선문대학교 산학협력단 | 광학 장치 |
WO2020031980A1 (ja) * | 2018-08-10 | 2020-02-13 | 株式会社エンプラス | レンズマーカ画像の補正方法、補正装置、プログラム、および記録媒体 |
Families Citing this family (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7307736B2 (en) * | 2004-03-31 | 2007-12-11 | Mitutoyo Corporation | Scale for use with a translation and orientation sensing system |
US7215855B2 (en) * | 2005-01-23 | 2007-05-08 | John Martin Taboada | Cones and cylinders of laser light |
JP2006235415A (ja) * | 2005-02-28 | 2006-09-07 | Hitachi Displays Ltd | レンズアレイおよびそれを利用した表示装置 |
US20090020612A1 (en) * | 2007-06-28 | 2009-01-22 | Symbol Technologies, Inc. | Imaging dual window scanner with presentation scanning |
WO2009082523A2 (en) * | 2007-09-26 | 2009-07-02 | Massachusetts Institute Of Technology | High-resolution 3d imaging of single semiconductor nanocrystals |
EP2277012B1 (en) | 2008-05-16 | 2014-07-30 | Parker-Hannifin Corporation | Probe for determining an absolute position of a rod of a cylinder |
GB2467951A (en) * | 2009-02-20 | 2010-08-25 | Sony Comp Entertainment Europe | Detecting orientation of a controller from an image of the controller captured with a camera |
US8658964B2 (en) * | 2009-10-23 | 2014-02-25 | Mitutoyo Corporation | Photoelectric encoder with optical grating |
US7894079B1 (en) * | 2009-11-09 | 2011-02-22 | Mitutoyo Corporation | Linear displacement sensor using a position sensitive photodetector |
US9821522B2 (en) * | 2012-04-16 | 2017-11-21 | Poincare Systems, Inc. | Axicons and methods of making the same |
US11885738B1 (en) | 2013-01-22 | 2024-01-30 | J.A. Woollam Co., Inc. | Reflectometer, spectrophotometer, ellipsometer or polarimeter system including sample imaging system that simultaneously meet the scheimpflug condition and overcomes keystone error |
JP5943240B2 (ja) * | 2013-11-05 | 2016-07-05 | 株式会社安川電機 | エンコーダ |
WO2015095169A1 (en) * | 2013-12-19 | 2015-06-25 | Corning Optical Communications LLC | Ferrule-core concentricity measurement systems and methods |
US9599697B2 (en) * | 2014-04-15 | 2017-03-21 | The Johns Hopkins University | Non-contact fiber optic localization and tracking system |
US10812695B2 (en) * | 2015-09-14 | 2020-10-20 | Nikon Corporation | Three-dimensional positioning system using surface pattern recognition and interpolation |
US9726987B2 (en) | 2014-04-17 | 2017-08-08 | Nikon Corporation | Positioning system using surface pattern recognition and interpolation |
US11061338B2 (en) | 2014-04-17 | 2021-07-13 | Nikon Corporation | High-resolution position encoder with image sensor and encoded target pattern |
DE102016107595B4 (de) * | 2016-04-25 | 2018-12-13 | Precitec Gmbh & Co. Kg | Strahlformungsoptik für Materialbearbeitung mittels eines Laserstrahls sowie Vorrichtung mit derselben |
US10559085B2 (en) * | 2016-12-12 | 2020-02-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Devices, systems, and methods for reconstructing the three-dimensional shapes of objects |
KR102075686B1 (ko) * | 2018-06-11 | 2020-02-11 | 세메스 주식회사 | 카메라 자세 추정 방법 및 기판 처리 장치 |
DK201970115A1 (en) * | 2018-11-08 | 2020-06-09 | Aptiv Technologies Limited | DEEP LEARNING FOR OBJECT DETECTION USING PILLARS |
KR20210113638A (ko) * | 2019-01-09 | 2021-09-16 | 트리나미엑스 게엠베하 | 적어도 하나의 대상체의 위치를 결정하기 위한 검출기 |
DE102020212863A1 (de) | 2020-10-12 | 2022-04-14 | Siemens Healthcare Gmbh | System und Verfahren zur Bestimmung der Positionierung eines Patienten |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6441883A (en) * | 1987-08-10 | 1989-02-14 | Komatsu Mfg Co Ltd | Position detector for moving body |
JPH04270920A (ja) * | 1991-01-25 | 1992-09-28 | Mitsutoyo Corp | 位置検出器及び位置測定方法 |
JPH06281593A (ja) * | 1993-03-25 | 1994-10-07 | Kawasaki Steel Corp | 表面検査方法及びその装置 |
JPH08210812A (ja) * | 1995-02-03 | 1996-08-20 | Moritetsukusu:Kk | 測長装置 |
JPH09508464A (ja) * | 1994-01-25 | 1997-08-26 | エムティエス・システムス・コーポレーション | 光学運動センサ |
JP2001280960A (ja) * | 2000-03-29 | 2001-10-10 | Nkk Corp | 遠隔計測方法及び装置 |
JP2002207564A (ja) * | 2001-01-11 | 2002-07-26 | Michihisa Suga | 座標入力装置 |
JP2002365561A (ja) * | 2001-06-11 | 2002-12-18 | Pentax Corp | 内視鏡の測距装置 |
US6642506B1 (en) * | 2000-06-01 | 2003-11-04 | Mitutoyo Corporation | Speckle-image-based optical position transducer having improved mounting and directional sensitivities |
US20040032596A1 (en) * | 2002-08-13 | 2004-02-19 | Harris Corporation | Apparatus for determining relative positioning of objects and related methods |
Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6089712A (ja) * | 1983-10-21 | 1985-05-20 | Alps Electric Co Ltd | 光学式エンコ−ダ |
US5321251A (en) * | 1993-03-31 | 1994-06-14 | Eastman Kodak Company | Angled optical fiber filter for reducing artifacts in imaging apparatus |
US5453838A (en) * | 1994-06-17 | 1995-09-26 | Ceram Optec Industries, Inc. | Sensing system with a multi-channel fiber optic bundle sensitive probe |
US6034378A (en) * | 1995-02-01 | 2000-03-07 | Nikon Corporation | Method of detecting position of mark on substrate, position detection apparatus using this method, and exposure apparatus using this position detection apparatus |
US5726443A (en) | 1996-01-18 | 1998-03-10 | Chapman Glenn H | Vision system and proximity detector |
US5825481A (en) * | 1996-05-22 | 1998-10-20 | Jervis B. Webb Company | Optic position sensor |
US6137893A (en) * | 1996-10-07 | 2000-10-24 | Cognex Corporation | Machine vision calibration targets and methods of determining their location and orientation in an image |
US5889593A (en) * | 1997-02-26 | 1999-03-30 | Kla Instruments Corporation | Optical system and method for angle-dependent reflection or transmission measurement |
US5978089A (en) | 1997-04-15 | 1999-11-02 | Nextel Ltd. | Non-contact method for measuring the shape of an object |
US5909283A (en) * | 1997-10-07 | 1999-06-01 | Eselun; Steven Albert | Linear encoder using diverging light beam diffraction |
TW490596B (en) * | 1999-03-08 | 2002-06-11 | Asm Lithography Bv | Lithographic projection apparatus, method of manufacturing a device using the lithographic projection apparatus, device manufactured according to the method and method of calibrating the lithographic projection apparatus |
US7023521B2 (en) * | 1999-04-13 | 2006-04-04 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, exposure method and process for producing device |
US6873422B2 (en) * | 2000-12-08 | 2005-03-29 | Mitutoyo Corporation | Systems and methods for high-accuracy displacement determination in a correlation based position transducer |
US6759669B2 (en) * | 2001-01-10 | 2004-07-06 | Hutchinson Technology Incorporated | Multi-point distance measurement device |
WO2002086420A1 (en) * | 2001-04-19 | 2002-10-31 | Dimensional Photonics, Inc. | Calibration apparatus, system and method |
US7065258B2 (en) * | 2001-05-21 | 2006-06-20 | Mitutoyo Corporation | Systems and methods for reducing accumulated systematic errors in image correlation displacement sensing systems |
US6996291B2 (en) * | 2001-08-06 | 2006-02-07 | Mitutoyo Corporation | Systems and methods for correlating images in an image correlation system with reduced computational loads |
US6990254B2 (en) * | 2001-08-06 | 2006-01-24 | Mitutoyo Corporation | Systems and methods for correlating images in an image correlation system with reduced computational loads |
JP4343685B2 (ja) * | 2001-08-31 | 2009-10-14 | キヤノン株式会社 | レチクル及び光学特性計測方法 |
JP4923370B2 (ja) * | 2001-09-18 | 2012-04-25 | 株式会社ニコン | 照明光学系、露光装置、及びマイクロデバイスの製造方法 |
US7085431B2 (en) * | 2001-11-13 | 2006-08-01 | Mitutoyo Corporation | Systems and methods for reducing position errors in image correlation systems during intra-reference-image displacements |
US7003161B2 (en) * | 2001-11-16 | 2006-02-21 | Mitutoyo Corporation | Systems and methods for boundary detection in images |
-
2004
- 2004-03-25 US US10/808,849 patent/US7075097B2/en active Active
-
2005
- 2005-03-21 EP EP05006093A patent/EP1580522B1/en active Active
- 2005-03-23 JP JP2005084786A patent/JP4686229B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2005-03-25 CN CNB2005100837572A patent/CN100429483C/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6441883A (en) * | 1987-08-10 | 1989-02-14 | Komatsu Mfg Co Ltd | Position detector for moving body |
JPH04270920A (ja) * | 1991-01-25 | 1992-09-28 | Mitsutoyo Corp | 位置検出器及び位置測定方法 |
JPH06281593A (ja) * | 1993-03-25 | 1994-10-07 | Kawasaki Steel Corp | 表面検査方法及びその装置 |
JPH09508464A (ja) * | 1994-01-25 | 1997-08-26 | エムティエス・システムス・コーポレーション | 光学運動センサ |
JPH08210812A (ja) * | 1995-02-03 | 1996-08-20 | Moritetsukusu:Kk | 測長装置 |
JP2001280960A (ja) * | 2000-03-29 | 2001-10-10 | Nkk Corp | 遠隔計測方法及び装置 |
US6642506B1 (en) * | 2000-06-01 | 2003-11-04 | Mitutoyo Corporation | Speckle-image-based optical position transducer having improved mounting and directional sensitivities |
JP2002207564A (ja) * | 2001-01-11 | 2002-07-26 | Michihisa Suga | 座標入力装置 |
JP2002365561A (ja) * | 2001-06-11 | 2002-12-18 | Pentax Corp | 内視鏡の測距装置 |
US20040032596A1 (en) * | 2002-08-13 | 2004-02-19 | Harris Corporation | Apparatus for determining relative positioning of objects and related methods |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010038654A (ja) * | 2008-08-01 | 2010-02-18 | Sony Corp | 光学式変位測定装置 |
JP2012078342A (ja) * | 2010-10-05 | 2012-04-19 | Mitsutoyo Corp | 画像相関変位センサ |
KR101490460B1 (ko) | 2013-04-29 | 2015-02-10 | 선문대학교 산학협력단 | 광학 장치 |
WO2020031980A1 (ja) * | 2018-08-10 | 2020-02-13 | 株式会社エンプラス | レンズマーカ画像の補正方法、補正装置、プログラム、および記録媒体 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1580522B1 (en) | 2012-07-18 |
US7075097B2 (en) | 2006-07-11 |
CN100429483C (zh) | 2008-10-29 |
EP1580522A1 (en) | 2005-09-28 |
US20050211885A1 (en) | 2005-09-29 |
JP4686229B2 (ja) | 2011-05-25 |
CN1724978A (zh) | 2006-01-25 |
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