JP2005273888A

JP2005273888A - 防振装置

Info

Publication number: JP2005273888A
Application number: JP2004092683A
Authority: JP
Inventors: Masatsune Tachibana; 聖凡立花; Kunio Suematsu; 邦男末松; Akemasa Kameyama; 明正亀山
Original assignee: Fuji Heavy Industries Ltd
Current assignee: Subaru Corp
Priority date: 2004-03-26
Filing date: 2004-03-26
Publication date: 2005-10-06

Abstract

【課題】移動体の高周波数振動を効果的に吸収することにより、この移動体に取り付けられる機器（例えば画像センサ）の振動を抑制することができる低廉・軽量の防振装置を提供する。
【解決手段】移動体に固定される固定架台１０と、固定架台１０にＸ軸方向に直線的に相対移動するように取り付けられるＸ軸移動架台１１と、Ｘ軸移動架台１１にＹ軸方向に直線的に相対移動するように取り付けられるＹ軸移動架台１２と、Ｙ軸移動架台１２にＺ軸方向に直線的に相対移動するように取り付けられるとともに機器が固定されるＺ軸移動架台１３と、Ｘ軸移動架台１１、Ｙ軸移動架台１２及びＺ軸移動架台１３の振動を吸収するコイルスプリング１４と、を備える。
【選択図】図２

Description

本発明は、防振装置に関し、特に、航空機等の移動体に搭載される機器の振動を抑制する防振装置に関する。

現在、画像センサをジンバル装置に取り付けて移動体に搭載し、この画像センサを複数軸回りに回動させながら撮像を行う技術が実用化されている。例えば航空機産業においては、航空機の胴体の下部にジンバル装置を介して画像センサを取り付け、ジンバル装置によって２軸回りに回動自在とされた画像センサを用いて、飛行中に外部の画像情報を断続的ないし連続的に取得する技術が実用化されている。

ところで、このように移動体の一部に画像センサを取り付ける場合には、移動体の動揺に起因して画像センサが振動することにより、正確な情報の取得が妨げられる場合がある。例えば、航空機の胴体の下部に取り付けた画像センサが航空機の動揺に起因して振動することにより、画像情報が乱れてしまう場合がある。このため、近年においては、画像センサの振動を抑制するための技術が種々提案されている。

例えば、画像センサの視軸の角速度を検出するレートジャイロを設け、検出された角速度を打ち消すようにジンバルを制御する技術が提案されている。しかし、このようなレートジャイロを用いたジンバル制御技術を採用すると、レートジャイロのゼロ点が経時的にドリフトするため、制御されたはずの画像センサの視軸が所望の方向からずれてしまう場合がある。

このようなレートジャイロのドリフトに起因した問題を解決する技術として、画像センサの所望の視軸角度を維持するような目標ジンバル角度を算出し、この目標ジンバル角度と実際のジンバル角度との偏差をゼロにするようにジンバルを駆動するジンバル制御装置が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。かかるジンバル制御装置を採用すると、レートジャイロのドリフトの問題が解消され、移動体（航空機）の姿勢が変化した場合においても画像センサの視軸を所望の方向に指向させ続けることができる。
実開平７−３２６４６号公報（第１頁、第１図）

しかし、移動体（航空機）の振動には、姿勢変化（低周波数振動）と、エンジンやロータ等による高周波数振動と、が存在し、特許文献１に記載されたジンバル制御装置を採用すると低周波数振動を抑制することができるが、高周波数振動を抑制することができなかった。従って、高周波数振動を抑制するためには、低周波数振動抑制用のジンバル制御装置とは別に、高周波数振動抑制用の精巧なジンバル機構等を追加搭載する必要があるため、重量・寸法・価格の増大を招いていた。

本発明の課題は、移動体の高周波数振動を効果的に吸収することにより、この移動体に取り付けられる機器（例えば画像センサ）の振動を抑制することができる低廉・軽量の防振装置を提供することである。

以上の課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、防振装置であって、固定架台と、前記固定架台に取り付けられる第１移動架台と、前記第１移動架台を前記固定架台に対して第１の軸に沿って直線的に相対移動させる第１移動機構と、前記第１移動架台の前記固定架台に対する相対的な振動を吸収する第１吸振手段と、前記第１移動架台に取り付けられる第２移動架台と、前記第２移動架台を前記第１移動架台に対して前記第１の軸に直角な第２の軸に沿って直線的に相対移動させる第２移動機構と、前記第２移動架台の前記第１移動架台に対する相対的な振動を吸収する第２吸振手段と、を備えることを特徴とする。

請求項１に記載の発明によれば、移動体に固定架台を固定するとともに、第２移動架台に所定の搭載機器（例えば画像センサ）を取り付けることにより、移動体と搭載機器との間に固定架台、第１移動架台及び第２移動架台を介在させることができる。そして、第１移動機構により、第１移動架台が固定架台に対して第１の軸に沿って直線的に相対移動するとともに、第１吸振手段により、第１移動架台の固定架台に対する相対的な振動が吸収される。また、第２移動機構により、第２移動架台が第１移動架台に対して第２の軸に沿って直線的に相対移動するとともに、第２吸振手段により、第２移動架台の第１移動架台に対する相対的な振動が吸収される。

従って、移動体が第１の軸及び第２の軸を含む平面内で動揺した場合においても、移動体の第１の軸に沿った振動を第１移動機構及び第１吸振機構により吸収することができるとともに、移動体の第２の軸に沿った振動を第２移動機構及び第２吸振機構により吸収することができる。この結果、搭載機器の２軸方向（第１及び第２の軸に沿った方向）における振動を抑制することができる。

また、請求項１に記載の発明によれば、複数の架台と、これら架台間相互の相対移動を実現させる移動機構と、各架台の相対振動を吸収する吸振手段と、を有する簡易な構造で移動体の動揺を吸収することができる。従って、従来の高周波数振動抑制用の精巧なジンバル機構等を採用する必要がないので、装置の軽量化・小型化・低廉化を実現させることができる。また、装置の交換や修理に要する時間や費用を低減させることができる。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の防振装置において、前記第１移動機構は、前記固定架台に固定された案内部と、前記第１移動架台に固定されるとともに前記案内部に沿って直線的に滑動する滑動部と、から構成されることを特徴とする。

請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の防振装置において、前記第２移動機構は、前記第１移動架台に固定された案内部と、前記第２移動架台に固定されるとともに前記案内部に沿って直線的に滑動する滑動部と、から構成されることを特徴とする。

請求項２又は３に記載の発明によれば、第１移動機構又は第２移動機構は、案内部と、この案内部に沿って直線的に滑動する滑動部と、から構成されるので、きわめて簡易な構成で、第１移動架台又は第２移動架台の直線的相対移動を実現させることができる。

請求項４に記載の発明は、請求項１から３の何れか一項に記載の防振装置において、前記第１吸振手段及び前記第２吸振手段は、コイルスプリングであることを特徴とする。

請求項５に記載の発明は、請求項１から４の何れか一項に記載の防振装置において、前記第２移動架台に取り付けられる第３移動架台と、前記第３移動架台を前記第２移動架台に対して前記第１の軸及び前記第２の軸に直角な第３の軸に直線的に相対移動させる第３移動機構と、前記第３移動架台の前記第２移動架台に対する相対的な振動を吸収する第３吸振手段と、をさらに備えることを特徴とする。

請求項５に記載の発明によれば、第２移動架台に取り付けられる第３移動架台をさらに備えており、この第３移動架台に所定の搭載機器（画像センサ）を固定することにより、移動体と搭載機器との間に固定架台、第１移動架台、第２移動架台及び第３移動架台を介在させることができる。そして、第３移動機構により、第３移動架台が第２移動架台に対して第３の軸に直線的に相対移動するとともに、第３吸振手段により、第３移動架台の第２移動架台に対する相対的な振動が吸収される。

従って、移動体が第１の軸及び第２の軸を含む平面に垂直な方向（第３の軸に沿った方向）に動揺した場合においても、移動体の第３の軸に沿った振動を第３移動機構及び第３吸振機構により吸収することができる。この結果、搭載機器の３軸方向（第１、第２及び第３の軸に沿った方向）における振動を抑制することができる。

請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の防振装置において、前記第３移動機構は、前記第２移動架台に固定された案内部と、前記第３移動架台に固定されるとともに前記案内部に沿って直線的に滑動する滑動部と、から構成されることを特徴とする。

請求項６に記載の発明によれば、第３移動機構は、案内部と、この案内部に沿って直線的に滑動する滑動部と、から構成されるので、きわめて簡易な構成で、第３移動架台の直線的相対移動を実現させることができる。

請求項７に記載の発明は、請求項５又は６に記載の防振装置において、前記第３吸振手段は、コイルスプリングであることを特徴とする。

本発明によれば、複数の架台と、これら架台間相互の相対移動を実現させる移動機構と、各架台の相対振動を吸収する吸振手段と、を備え、精巧な機構を有しない低廉・軽量の防振装置により、移動体のエンジンやロータ等に起因する高周波数振動を効果的に吸収して、この移動体に取り付けられる機器（例えば画像センサ）の振動を抑制することができる。

以下、本発明の実施の形態を、図を用いて詳細に説明する。本実施の形態においては、図１に示した回転翼航空機１００（移動体）の胴体１１０の前方下部に取り付けられる画像センサ２００の振動を抑制する防振装置について説明する。なお、画像センサ２００は、図３に示したセンサコントローラ３００によって駆動制御される。

まず、図２及び図３を用いて、本発明の実施の形態に係る防振装置１の構成について説明する。

防振装置１は、図２に示すように、回転翼航空機１００に固定される固定架台１０、固定架台１０に取り付けられるＸ軸移動架台１１、Ｘ軸移動架台１１に取り付けられるＹ軸移動架台１２、Ｙ軸移動架台１２に取り付けられるとともに画像センサ２００及びセンサコントローラ３００（図３参照）が固定されるＺ軸移動架台１３、等を備えて構成されている。

固定架台１０は、図２に示すような矩形状の枠状部材であって、一定の方向に延在するように配置された平行な２つの直線状部分１０ｘと、これら２つの直線状部分１０ｘの延在方向に対して直角な方向に延在するように配置された平行な２つの直線状部分１０ｙと、から構成されている。固定架台１０は、図示されていない固定手段を用いて回転翼航空機１００の胴体１１０の前方下部（図１参照）に固定される。

なお、本実施の形態においては、図２に示すように、固定架台１０の直線状部分１０ｘの延在方向に沿ってＸ軸をとり、直線状部分１０ｙの延在方向に沿ってＹ軸をとり、これらＸ軸及びＹ軸に対して直角な方向に沿ってＺ軸をとっている。本実施の形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、各々、本発明における第１の軸、第２の軸、第３の軸である。

Ｘ軸移動架台１１は、図２に示すような矩形状の枠状部材であって、Ｘ軸方向に延在する平行な２つの直線状部分１１ｘと、Ｙ軸方向に延在する平行な２つの直線状部分１１ｙと、から構成されている。Ｘ軸移動架台１１は、Ｘ軸移動機構を介して固定架台１０に取り付けられており、固定架台１０に対してＸ軸に沿って直線的に相対移動するように構成されている。すなわち、Ｘ軸移動架台１１は、本発明における第１移動架台である。

Ｘ軸移動機構は、Ｘ移動架台１１を固定架台１０に対してＸ軸に沿って直線的に相対移動させるものであって、本発明における第１移動機構である。本実施の形態においては、図２に示すように、固定架台１０のＸ軸方向に延在する直線状部分１０ｘの両端近傍部分の上面に固定された４つのＸ軸案内部１１ａと、Ｘ軸移動架台１１のＸ軸方向に延在する直線状部分１１ｘの両端近傍部分の下面に固定された４つのＸ軸滑動部１１ｂ（１つのみ図示）と、によってＸ軸移動機構を構成している。Ｘ軸滑動部１１ｂがＸ軸案内部１１ａによって案内されながら滑動することにより、Ｘ軸移動架台１１は固定架台１０に対してＸ軸方向に相対移動する。

また、Ｘ軸移動架台１１のＹ軸方向に延在する直線状部分１１ｙと、固定架台１０のＹ軸方向に延在する直線状部分１０ｙと、の間には、圧縮されたコイルスプリング１４が設けられている。コイルスプリング１４は、Ｘ軸移動架台１１の固定架台１０に対するＸ軸方向の相対的な高周波数振動（エンジンやロータに起因する振動）を吸収するものであり、本発明における第１吸振手段である。コイルスプリング１４としては、比較的柔らかいものを採用するようにする。本実施の形態においては、Ｘ軸移動架台１１とともに振動するときのコイルスプリング１４の固有振動数が、エンジン及びロータの常用回転数よりも小さくなるようにばね定数を選択している。

Ｙ軸移動架台１２は、図２に示すような矩形状の枠状部材であって、Ｘ軸方向に延在する平行な２つの直線状部分１２ｘと、Ｙ軸方向に延在する平行な２つの直線状部分１２ｙと、から構成されている。Ｙ軸移動架台１２は、Ｙ軸移動機構を介してＸ軸移動架台１１に取り付けられており、Ｘ軸移動架台１１に対してＹ軸に沿って直線的に相対移動するように構成されている。すなわち、Ｙ軸移動架台１２は、本発明における第２移動架台である。

Ｙ軸移動機構は、Ｙ移動架台１２をＸ軸移動架台１１に対してＹ軸に沿って直線的に相対移動させるものであって、本発明における第２移動機構である。本実施の形態においては、図２に示すように、Ｘ軸移動架台１１のＹ軸方向に延在する直線状部分１１ｙの両端近傍部分の上面に固定された４つのＹ軸案内部１２ａ（２つのみ図示）と、Ｙ軸移動架台１２のＹ軸方向に延在する直線状部分１２ｙの両端近傍部分の下面に固定された４つのＹ軸滑動部１２ｂ（２つのみ図示）と、によってＹ軸移動機構を構成している。Ｙ軸滑動部１２ｂがＹ軸案内部１２ａによって案内されながら滑動することにより、Ｙ軸移動架台１２はＸ軸移動架台１１に対してＹ軸方向に相対移動する。

また、Ｙ軸移動架台１２のＸ軸方向に延在する直線状部分１２ｘと、Ｘ軸移動架台１１のＸ軸方向に延在する直線状部分１１ｘと、の間には、圧縮されたコイルスプリング１４が設けられている。コイルスプリング１４は、Ｙ軸移動架台１２のＸ軸移動架台１１に対するＹ軸方向の相対的な高周波数振動（エンジンやロータに起因する振動）を吸収するものであり、本発明における第２吸振手段である。なお、コイルスプリング１４としては、比較的柔らかいものを採用するようにする。本実施の形態においては、Ｙ軸移動架台１１とともに振動するときのコイルスプリング１４の固有振動数が、エンジン及びロータの常用回転数よりも小さくなるようにばね定数を選択している。

Ｚ軸移動架台１３は、図２に示すような円形状の環状部材であって、Ｚ軸移動架台１３は、Ｚ軸移動機構を介してＹ軸移動架台１２に取り付けられており、Ｙ軸移動架台１２に対してＺ軸に沿って直線的に相対移動するように構成されている。すなわち、Ｚ軸移動架台１３は、本発明における第３移動架台である。Ｚ軸移動架台１３の下側には画像センサ２００が固定され、Ｚ軸移動架台１３の上側にはセンサコントローラ３００が固定される（図３参照）。

Ｚ軸移動機構は、Ｚ移動架台１３をＹ軸移動架台１２に対してＺ軸に沿って直線的に相対移動させるものであって、本発明における第３移動機構である。本実施の形態においては、図２に示すように、Ｙ軸移動架台１２のＸ軸方向に延在する直線状部分１２ｘの長手方向中央部分の内面に固定された凹状のＺ軸案内部１３ａと、Ｚ軸移動架台１３の外面に形成された凸状のＺ軸滑動部１３ｂと、によってＺ軸移動機構を構成している。Ｚ軸滑動部１３ｂがＺ軸案内部１３ａによって案内されながら滑動することにより、Ｚ軸移動架台１３はＹ軸移動架台１２に対してＺ軸方向に相対移動する。

また、Ｚ軸移動架台１３とＹ軸移動架台１２とを繋ぐ（図示されていない）圧縮されたコイルスプリングが設けられている。コイルスプリングは、Ｚ軸移動架台１３のＹ軸移動架台１２に対するＺ軸方向の相対的な高周波数振動（エンジンやロータに起因する振動）を吸収するものであり、本発明における第３吸振手段である。なお、このコイルスプリングとしては、比較的柔らかいものを採用するようにする。本実施の形態においては、Ｚ軸移動架台１１とともに振動するときのコイルスプリングの固有振動数が、エンジン及びロータの常用回転数よりも小さくなるようにばね定数を選択している。

以上説明した実施の形態に係る防振装置１は、図２に示すように、固定架台１０、Ｘ軸移動架台１１、Ｙ軸移動架台１２及びＺ軸移動架台１３を備えており、画像センサ２００及びセンサコントローラ３００は、図３に示すように、これら固定架台１０、Ｘ軸移動架台１１、Ｙ軸移動架台１２及びＺ軸移動架台１３を介して回転翼航空機１００に取り付けられる。

そして、Ｘ軸移動機構（Ｘ軸案内部１１ａ及びＸ軸滑動部１１ｂ）により、Ｘ軸移動架台１１が固定架台１０に対してＸ軸方向に相対移動するとともに、コイルスプリング１４により、Ｘ軸移動架台１１の固定架台１０に対する相対的な高周波数振動が吸収される。また、Ｙ軸移動機構（Ｙ軸案内部１２ａ及びＹ軸滑動部１２ｂ）により、Ｙ軸移動架台１２がＸ軸移動架台１１に対してＹ軸方向に相対移動するとともに、コイルスプリング１４により、Ｙ軸移動架台１２のＸ軸移動架台１１に対する相対的な高周波数振動が吸収される。さらに、Ｚ軸移動機構（Ｚ軸案内部１３ａ及びＺ軸滑動部１３ｂ）により、Ｚ軸移動架台１３がＹ軸移動架台１２に対してＺ軸方向に相対移動するとともに、コイルスプリングにより、Ｚ軸移動架台１３のＹ軸移動架台１２に対する相対的な高周波数振動が吸収される。

従って、回転翼航空機１００に固定された固定架台１０がＸ軸及びＹ軸を含む平面内で振動した場合においても、回転翼航空機１００のＸ軸方向の振動をＸ軸移動機構及びコイルスプリング１４により吸収することができる。また、回転翼航空機１００のＹ軸方向の振動をＹ軸移動機構及びコイルスプリング１４により吸収することができる。さらに、回転翼航空機１００に固定された固定架台１０がＸ軸及びＹ軸を含む平面に垂直なＺ軸方向に振動した場合においても、回転翼航空機１００のＺ軸に沿った振動をＺ軸移動機構及びコイルスプリングにより吸収することができる。この結果、画像センサ２００及びセンサコントローラ３００の３軸方向（Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向）における高周波数振動を抑制することができ、画像センサ２００の視軸を一定の方向に指向させることができるので、画像のぶれを防止することができる。

また、以上説明した実施の形態に係る防振装置１によれば、複数の架台（固定架台１０、Ｘ軸移動架台１１、Ｙ軸移動架台１２及びＺ軸移動架台１３）と、これら架台相互間の相対移動を実現させる移動機構（Ｘ軸移動機構、Ｙ軸移動機構及びＺ軸移動機構）と、各架台の相対振動を吸収する吸振手段（コイルスプリング１４）と、を有する簡易な構造で、回転翼航空機１００の高周波数振動を吸収することができる。従って、従来の高周波数振動抑制用の精巧なジンバル機構等を採用する必要がないので、装置の軽量化・小型化・低廉化を実現させることができる。また、装置の交換や修理に要する時間や費用を低減させることができる。

なお、以上の実施の形態においては、固定架台１０、Ｘ軸移動架台１１及びＹ軸移動架台１２の平面形状を矩形状にし、Ｚ軸移動架台１３の平面形状を円形状にした例を示したが、これら架台の平面形状は特に限定されるものではない。

また、以上の実施の形態においては、Ｚ軸移動架台１３に画像センサ２００及びセンサコントローラ３００を固定した例を示したが、Ｚ軸移動架台１３を設けずに、Ｙ軸移動架台１２に画像センサ２００及びセンサコントローラ３００を固定してもよい。かかる場合には、画像センサ２００及びセンサコントローラ３００の２軸方向（Ｘ軸方向及びＹ軸方向）における高周波数振動を抑制することができる。

また、以上の実施の形態においては、固定架台１０にＸ軸移動架台１１を取り付け、このＸ軸移動架台１１にＹ軸移動架台１２を取り付け、このＹ軸移動架台１３にＺ軸移動架台１３を取り付けた例を示したが、これら移動架台の取付の順番を変更することもできる。

例えば、固定架台１０に、Ｚ軸移動機構を介してＺ軸移動架台１３を取り付け、このＺ軸移動架台１３にＸ軸移動機構を介してＸ軸移動架台１１を取り付け、このＸ軸移動架台１１にＹ軸移動機構を介してＹ軸移動架台１２を取り付けることもできる。かかる場合におけるＺ軸移動架台１３、Ｘ軸移動架台１１、Ｙ軸移動架台１２は、各々本発明における第１移動架台、第２移動架台、第３移動架台であり、Ｚ軸、Ｘ軸、Ｙ軸は、各々本発明における第１の軸、第２の軸、第３の軸である。また、Ｚ軸移動機構、Ｘ軸移動機構、Ｙ軸移動機構は、各々本発明における第１移動機構、第２移動機構、第３移動機構である。

また、固定架台１０に、Ｙ軸移動機構を介してＹ軸移動架台１２を取り付け、このＹ軸移動架台１２にＺ軸移動機構を介してＺ軸移動架台１３を取り付け、このＺ軸移動架台１３にＸ軸移動機構を介してＸ軸移動架台１１を取り付けることもできる。かかる場合におけるＹ軸移動架台１２、Ｚ軸移動架台１３、Ｘ軸移動架台１１は、各々本発明における第１移動架台、第２移動架台、第３移動架台であり、Ｙ軸、Ｚ軸、Ｘ軸は、各々本発明における第１の軸、第２の軸、第３の軸である。また、Ｙ軸移動機構、Ｚ軸移動機構、Ｘ軸移動機構は、各々本発明における第１移動機構、第２移動機構、第３移動機構である。

また、以上の実施の形態においては、Ｘ軸案内部１１ａとＸ軸滑動部１１ｂとからＸ軸移動機構を構成した例を示したが、Ｘ軸移動機構の構成はこれに限定されるものではなく、固定架台１０に対してＸ軸移動架台１１をＸ軸方向に直線的に相対移動させるような構成であれば、いかなる構成を採用することもできる。Ｙ軸移動機構及びＺ軸移動機構の構成に関しても同様である。

また、以上の実施の形態においては、本発明における第１〜第３吸振手段としてコイルスプリング１４を採用しているが、移動架台の相対振動を抑制するような他の弾性体を吸振手段として採用することもできる。

また、以上の実施の形態においては、回転翼航空機１００（移動体）に取り付けられる画像センサ２００の振動を抑制する防振装置１について説明したが、本発明に係る防振装置を他の移動体（例えば固定翼航空機や飛行船）に搭載した場合においても同様に画像センサの振動を抑制することができる。また、本発明に係る防振装置を、画像センサ以外の搭載機器の振動抑制に用いることもできる。

本発明の実施の形態に係る防振装置が搭載される回転翼航空機を示す説明図である。本発明の実施の形態に係る防振装置の斜視図である。図２に示した防振装置に画像センサ及びセンサコントローラを取り付けた状態を示す斜視図である。

符号の説明

１防振装置
１０固定架台
１１Ｘ軸移動架台（第１移動架台）
１１ａＸ軸案内部（第１移動機構）
１１ｂＸ軸滑動部（第１移動機構）
１２Ｙ軸移動架台（第２移動架台）
１２ａＹ軸案内部（第２移動機構）
１２ｂＹ軸滑動部（第２移動機構）
１３Ｚ軸移動架台（第３移動架台）
１３ａＺ軸案内部（第３移動機構）
１３ｂＺ軸滑動部（第３移動機構）
１４コイルスプリング（第１吸振手段、第２吸振手段）

Claims

固定架台と、
前記固定架台に取り付けられる第１移動架台と、
前記第１移動架台を前記固定架台に対して第１の軸に沿って直線的に相対移動させる第１移動機構と、
前記第１移動架台の前記固定架台に対する相対的な振動を吸収する第１吸振手段と、
前記第１移動架台に取り付けられる第２移動架台と、
前記第２移動架台を前記第１移動架台に対して前記第１の軸に直角な第２の軸に沿って直線的に相対移動させる第２移動機構と、
前記第２移動架台の前記第１移動架台に対する相対的な振動を吸収する第２吸振手段と、
を備えることを特徴とする防振装置。
前記第１移動機構は、
前記固定架台に固定された案内部と、
前記第１移動架台に固定されるとともに前記案内部に沿って直線的に滑動する滑動部と、
から構成されることを特徴とする請求項１に記載の防振装置。
前記第２移動機構は、
前記第１移動架台に固定された案内部と、
前記第２移動架台に固定されるとともに前記案内部に沿って直線的に滑動する滑動部と、
から構成されることを特徴とする請求項１又は２に記載の防振装置。
前記第１吸振手段及び前記第２吸振手段は、
コイルスプリングであることを特徴とする請求項１から３の何れか一項に記載の防振装置。
前記第２移動架台に取り付けられる第３移動架台と、
前記第３移動架台を前記第２移動架台に対して前記第１の軸及び前記第２の軸に直角な第３の軸に直線的に相対移動させる第３移動機構と、
前記第３移動架台の前記第２移動架台に対する相対的な振動を吸収する第３吸振手段と、
をさらに備えることを特徴とする請求項１から４の何れか一項に記載の防振装置。
前記第３移動機構は、
前記第２移動架台に固定された案内部と、
前記第３移動架台に固定されるとともに前記案内部に沿って直線的に滑動する滑動部と、
から構成されることを特徴とする請求項５に記載の防振装置。
前記第３吸振手段は、
コイルスプリングであることを特徴とする請求項５又は６に記載の防振装置。