JP2005268635A - 窒化ガリウム系垂直発光ダイオード素子におけるサファイア基材と結晶体薄膜とを分離するための方法及び窒化ガリウム系垂直発光素子構造 - Google Patents
窒化ガリウム系垂直発光ダイオード素子におけるサファイア基材と結晶体薄膜とを分離するための方法及び窒化ガリウム系垂直発光素子構造 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】熔解エネルギー・ソースとしてレーザ・ビーム・アレイを使用し、且つそのレーザ・ビーム・アレイの照射範囲と、熔解分離を待機する薄膜と過渡基材との間の接触面の面積とをほぼ同様になるように設定する。この場合では、レーザ・ビーム・アレイの電源が投入されると、アレイにおけるそれぞれのレーザ・ビームのエネルギーが同時に薄膜面に吸収され、その薄膜面のそれぞれの部分の熔解程度が相当に均一的になりつつ、過渡基材と分離されるようになり、且つその薄膜面においては、ヒート・ストレスの課題が存在しないことから、さらに好適に過渡基材との間の付着することを均一的に分離させることができる。
【選択図】図3
Description
32、42、52 薄膜
33 レーザ・ビーム・アレイ・ソース
35、55 基材と薄膜層との接合面
45 基材と薄膜との間の接合面
70 窒化ガリウム系垂直発光ダイオード構造
71 金属基材
72 金属反射層
73 pタイプ窒化ガリウム系層
74 アクティブ層
75 nタイプ窒化ガリウム系層
77 pタイプ電極
78 nタイプ電極
Claims (9)
- 結晶体薄膜層がサファイア基材に貼り付けてなる窒化ガリウム系垂直発光ダイオード素子におけるサファイア基材と結晶体薄膜層とを分離するための方法において、
前記サファイア基材の上方にレーザ・ビーム・アレイを配置し、そのレーザ・ビーム・アレイの発光するレーザ・ビーム・ライトが少なくとも一部が前記サファイア基材を通し抜けるとともに、前記結晶体薄膜層に吸収されることができるように処理するステップ一と、
レーザ・ビーム・アレイによって前記サファイア基材を通しぬけさせて前記結晶体薄膜層に照射するステップ二と、
前記サファイア基材と前記結晶体薄膜層を分離するステップ三とを少なくとも有することを特徴とする窒化ガリウム系垂直発光ダイオード素子におけるサファイア基材と結晶体薄膜層とを分離するための方法。 - 前記レーザ・ビームの波長として327nmに設定されることを特徴とする請求項1に記載の窒化ガリウム系垂直発光ダイオード素子におけるサファイア基材と結晶体薄膜層とを分離するための方法。
- 前記結晶体薄膜層に照射することが、前記サファイア基材と前記結晶体薄膜層との接合面に照射するように設定されることを特徴とする請求項1に記載の窒化ガリウム系垂直発光ダイオード素子におけるサファイア基材と結晶体薄膜層とを分離するための方法。
- 前記レーザ・ビーム・アレイとして任意のアレイ形式のレーザ・ビームを採用することを特徴とする請求項1に記載の窒化ガリウム系垂直発光ダイオード素子におけるサファイア基材と結晶体薄膜層とを分離するための方法。
- 基材と薄膜層を分離する方法であって、前記薄膜が前記基材の上方に位置し、その方法には、
前記基材の上方にレーザ・ビーム・アレイを配置し、そのレーザ・ビーム・アレイの発光するレーザ・ビーム・ライトが少なくとも一部が前記基材を通し抜けるとともに、前記薄膜層に吸収されることができるように処理するステップ一と、
レーザ・ビーム・アレイによって前記基材を通しぬけさせて前記薄膜層に照射するステップ二と、
前記基材と前記薄膜層を分離するステップ三とを少なくとも有することを特徴とする基材と薄膜層を分離する方法。 - 前記薄膜層における吸収は、前記基材と前記薄膜層との接合面において吸収させることを特徴とする請求項5に記載の基材と薄膜層を分離する方法。
- 前記レーザ・ビーム・アレイとして任意のアレイ形式のレーザ・ビームを採用することを特徴とする請求項5に記載の基材と薄膜層を分離する方法。
- 金属基材と、
前記金属基材の上方に位置する金属反射層と、
前記金属反射層の上方に位置するpタイプ窒化ガリウム層と、
前記pタイプ窒化ガリウム層の上方に位置するアクティブ層と、
前記アクティブ層の上方に位置するnタイプ窒化ガリウム層と、
を少なくとも有するとともに、
前記pタイプ窒化ガリウム層と前記nタイプ窒化ガリウム層との位置が相互に交換できることを特徴とする窒化ガリウム系垂直発光素子構造。 - 前記金属基材としてCuW合金を採用する場合、前記金属反射層としてAg,Al,Rhなどを採用することを特徴とする請求項8に記載の窒化ガリウム系垂直発光素子構造。
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JP2004081062A JP2005268635A (ja) | 2004-03-19 | 2004-03-19 | 窒化ガリウム系垂直発光ダイオード素子におけるサファイア基材と結晶体薄膜とを分離するための方法及び窒化ガリウム系垂直発光素子構造 |
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