JP2005268571A - 磁性膜およびその製造方法、薄膜磁気ヘッド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】主となる磁性膜は最小Hk0.32Oe(25.6A/m)となる膜厚200nmの88FeNiを使用し、層間材料として、同じFeNi系めっき膜で低Hkかつ低Hcを有する20wt%FeNi膜を選定した。主磁性膜が合計2μmとなる様(88FeNi/20FeNi)×10層からなる積層膜を作製した。88FeNiめっき浴においてDC電流で88FeNi膜を作製し、同一浴で続けてパルスめっきを行い20FeNi膜を作製した。
【選択図】 図5
Description
Hk2.0Oe(160A/m),Bs2.0T)を有する88Fe11Ni1Crめっき膜を採用することが出来た。しかしながら、従来の記録周波数f〜800MHzに対して高周波数化f〜2000MHzが要求される面内記録型、更には垂直記録型ヘッドにおいては記録特性を十分満足することは出来ない。
16…下部磁気シ−ルド、17…磁気ギャップ膜、18…絶縁体、19…導体コイル、20…垂直記録型薄膜磁気ヘッド、21…上部ヨーク、22…主磁極、23…副磁極、105…磁気ディスク、106…スピンドルモ−タ、108…アクチュエ−タ、
109…ボイスコイルモ−タ、110…サスペンション、111…ガイドア−ム。
Claims (20)
- 少なくとも4層以上の厚さが50〜500nmの第1の磁性めっき薄膜と、該第1の磁性めっき薄膜の間に設けられた当該第1の磁性めっき薄膜と異なる組成で厚さが2〜10nmの第2の磁性めっき薄膜を有することを特徴とする磁性膜。
- 前記第1の磁性めっき薄膜はFe80〜96wt%を有するFe−Ni系合金めっき膜であり、前記第2の磁性めっき薄膜はFe≦60wt%を有するFe−Ni系合金めっき膜であることを特徴とする請求項1記載の磁性膜。
- 前記第1の磁性めっき薄膜は66Fe−33Co−1Ni膜であり、前記第2の磁性めっき薄膜は56Co−19Ni−25Fe膜であることを特徴とする請求項1記載の磁性膜。
- 少なくとも4層以上の厚さが50〜500nmの第1の磁性めっき薄膜と、該第1の磁性めっき薄膜の間に設けられた厚さが2〜10nmの非磁性めっき薄膜を有することを特徴とする磁性膜。
- 前記第1の磁性めっき薄膜はFe−Ni系合金めっき膜であり、前記非磁性めっき薄膜はNiP,Cr,Pd,Rh,Ru,Re,Mo,Irの中から選択された少なくとも1種のめっき膜であることを特徴とする請求項4記載の磁性膜。
- 前記第1の磁性めっき薄膜はFe−Co系合金めっき膜であり、前記非磁性めっき薄膜はNiP,Cr,Pd,Rh,Ru,Re,Mo,Irの中から選択された少なくとも1種のめっき膜であることを特徴とする請求項4記載の磁性膜。
- めっき浴において直流電流印加後のオフタイム時に微小直流電流を印可して厚さが50〜500nmの第1の磁性めっき薄膜を形成し、該第1の磁性めっき薄膜の上に同一めっき浴においてパルス電流印加後のオフタイム時に微小パルス電流を印加して前記第1の磁性めっき薄膜と異なる組成で厚さが2〜10nmの第2の磁性めっき薄膜を形成し、前記第1の磁性めっき薄膜は少なくとも4層以上積層し、前記第2の磁性めっき薄膜は前記第1の磁性めっき薄膜の間に成膜することを特徴とする磁性膜の製造方法。
- 前記直流電流の印加とパルス電流の印加を自動的に切替えることにより、同一めっき浴において前記第1の磁性めっき薄膜と第2の磁性めっき薄膜を積層することを特徴とする請求項7記載の磁性膜の製造方法。
- 前記第1の磁性めっき薄膜と第2の磁性めっき薄膜を積層した後、磁場中熱処理を行うことを特徴とする請求項7又は8記載の磁性膜の製造方法。
- 下部磁気コアと、該下部磁気コアの先端部に位置する下部磁極と、上部磁気コアと、該上部磁気コアの先端部に位置する上部磁極と、前記下部磁極と上部磁極の間に位置する磁気ギャップと、前記下部磁気コアと上部磁気コアの間に位置する絶縁体に覆われた導体コイルと、を有する薄膜磁気ヘッドにおいて、前記上部磁気コア及び上部磁極のいずれかの磁性膜は、少なくとも4層以上の厚さが50〜500nmの第1の磁性めっき薄膜と、該第1の磁性めっき薄膜の間に設けられた当該第1の磁性めっき薄膜と異なる組成で厚さが2〜10nmの第2の磁性めっき薄膜を有することを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
- 前記磁性膜が上部磁気コアの場合、前記第1の磁性めっき薄膜はFe80〜96wt%を有するFe−Ni系合金めっき膜であり、前記第2の磁性めっき薄膜はFe≦60wt%を有するFe−Ni系合金めっき膜であることを特徴とする請求項10記載の薄膜磁気ヘッド。
- 前記磁性膜が上部磁極の場合、前記第1の磁性めっき薄膜は66Fe−33Co−1Ni膜であり、前記第2の磁性めっき薄膜は56Co−19Ni−25Fe膜であることを特徴とする請求項10記載の薄膜磁気ヘッド。
- 下部磁気コアと、該下部磁気コアの先端部に位置する下部磁極と、上部磁気コアと、該上部磁気コアの先端部に位置する上部磁極と、前記下部磁極と上部磁極の間に位置する磁気ギャップと、前記下部磁気コアと上部磁気コアの間に位置する絶縁体に覆われた導体コイルと、を有する薄膜磁気ヘッドにおいて、前記下部磁気コア及び下部磁極のいずれかの磁性膜は、少なくとも4層以上の厚さが50〜500nmの第1の磁性めっき薄膜と、該第1の磁性めっき薄膜の間に設けられた厚さが2〜10nmの非磁性めっき薄膜を有することを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
- 前記磁性膜が下部磁気コアの場合、前記第1の磁性めっき薄膜はFe−Ni系合金めっき膜であり、前記非磁性めっき薄膜はNiP,Cr,Pd,Rh,Ru,Re,Mo,Irの中から選択された少なくとも1種のめっき膜であることを特徴とする請求項13記載の薄膜磁気ヘッド。
- 前記磁性膜が下部磁極の場合、前記第1の磁性めっき薄膜はFe−Co系合金めっき膜であり、前記非磁性めっき薄膜はNiP,Cr,Pd,Rh,Ru,Re,Mo,Irの中から選択された少なくとも1種のめっき膜であることを特徴とする請求項13記載の薄膜磁気ヘッド。
- 下部磁気コアと、該下部磁気コアの先端部に位置する下部磁極と、上部磁気コアと、該上部磁気コアの先端部に位置する上部磁極と、前記下部磁極と上部磁極の間に位置する磁気ギャップと、前記下部磁気コアと上部磁気コアの間に位置する絶縁体に覆われた導体コイルと、を有する薄膜磁気ヘッドにおいて、前記上部磁極は前記磁気ギャップの上部から膜厚方向に向けて、67〜73Fe-27〜33Co-0〜2Niめっき膜と、50〜54Fe-32〜36Co-12〜16Niめっき膜と、50〜54Fe-27〜31Co-17〜21Niめっき膜と、54〜58Co-17〜21Ni-23〜27Feめっき膜と、54〜58Co-26〜30Ni-14〜18Feめっき膜とが各層約200nmの厚さで積層された磁性膜であることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
- 下部磁気コアと、該下部磁気コアの先端部に位置する下部磁極と、上部磁気コアと、該上部磁気コアの先端部に位置する上部磁極と、前記下部磁極と上部磁極の間に位置する磁気ギャップと、前記下部磁気コアと上部磁気コアの間に位置する絶縁体に覆われた導体コイルと、を有する薄膜磁気ヘッドにおいて、前記下部磁極は前記下部磁気コアから前記磁気ギャップに向けて、54〜58Co-17〜21Ni-23〜27Feめっき膜と、50〜54Fe-27〜31Co-17〜21Niめっき膜と、50〜54Fe-32〜36Co-12〜16Niめっき膜と、67〜73Fe-27〜33Co-0〜2Niめっき膜とが各層約200nmの厚さで層積された磁性膜であることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
- 下部磁気コアと、該下部磁気コアの先端部に位置する下部磁極と、上部磁気コアと、該上部磁気コアの先端部に位置する上部磁極と、前記下部磁極と上部磁極の間に位置する磁気ギャップと、前記下部磁気コアと上部磁気コアの間に位置する絶縁体に覆われた導体コイルとを有する記録ヘッドと、該記録ヘッドに隣接して設けられた再生ヘッドとを具備する薄膜磁気ヘッドにおいて、前記記録ヘッドの上部磁気コアと上部磁極のうちのいずれかは、少なくとも4層以上の厚さが50〜500nmの第1の磁性めっき薄膜と、該第1の磁性めっき薄膜の間に設けられた当該第1の磁性めっき薄膜と異なる組成で厚さが2〜10nmの第2の磁性めっき薄膜を有することを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
- 下部磁気コアと、該下部磁気コアの先端部に位置する下部磁極と、上部磁気コアと、該上部磁気コアの先端部に位置する上部磁極と、前記下部磁極と上部磁極の間に位置する磁気ギャップと、前記下部磁気コアと上部磁気コアの間に位置する絶縁体に覆われた導体コイルとを有する記録ヘッドと、該記録ヘッドに隣接して設けられた再生ヘッドとを具備する薄膜磁気ヘッドにおいて、前記記録ヘッドの下部磁気コアと下部磁極のうちのいずれかは、少なくとも4層以上の厚さが50〜500nmの第1の磁性めっき薄膜と、該第1の磁性めっき薄膜の間に設けられた厚さが2〜10nmの非磁性めっき薄膜を有することを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
- 少なくとも4層以上の厚さが50〜500nmの第1の磁性めっき薄膜と、該第1の磁性めっき薄膜の間に設けられた厚さが2〜10nmの第1の非磁性めっき薄膜を有する副磁極と、
少なくとも4層以上の厚さが50〜500nmの第2の磁性めっき薄膜と、該第2の磁性めっき薄膜の間に設けられた当該第2の磁性めっき薄膜と異なる組成で厚さが2〜10nmの第3の磁性めっき薄膜を有する上部ヨークと、
該上部ヨークの先端部に位置し少なくとも4層以上の厚さが50〜500nmの第4の磁性めっき薄膜と、該第4の磁性めっき薄膜の間に設けられた厚さが2〜10nmの第2の非磁性めっき薄膜を有する主磁極と、
前記上部ヨークと前記副磁極の間に位置する絶縁体で覆われた導体コイルと、
を有することを特徴とする垂直記録型薄膜磁気ヘッド。
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