JP2005264260A - 軟磁性ヨーク及びそれを用いた電磁アクチュエーター - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、軟磁性金属ガラス板材を用いた軟磁性ヨークおよびそれを用いた小型高精度の計測機器や位置決めステージに搭載可能な電磁アクチュエーターに関するものである。
ボイスコイルムービングリニアアクチュエーター(以下、VCMと略記する)は、電磁スピーカーの駆動部と同様の構造を有するリニア電磁アクチュエーターである。
磁場中を流れる電流が、磁場から受けるローレンツカを駆動力源とし、その力によりコイルないし永久磁石の稼動部が運動するものである。
現行のVCMは推進力を大きく確保するために大型のヨークと永久磁石そして軽量化されたコイルから構成されており、コイルヘの通電量を大きくすることで大推力を得ることができる。
しかしながら、家電製品や電子部品の小型化、また年々進む半導体の微細技術などナノレベルの測定、制御が必要となってきており、VCMもまた小型化、高速化、高精度化が必要となってきている。これらVCMの特性向上には大きな推力が必須であり、その推力はコイルに流れる通電電流(I)と永久磁石とヨークとの隙間にあるギャップ磁束密度(Bg)の積に比例する。ギャップ磁束密度は、VCMの磁気回路中の磁気抵抗に関与しており、ギャップ磁束密度を向上させるには磁気抵抗を下げる必要がある。また、透磁率(μ)は磁束の通りやすさを示しており、透磁率を上げることにより磁気抵抗を下げることが可能となる。
これら磁気回路には軟磁性ヨークが大半を占有しており、軟磁性ヨークの透磁率の向上がVCMの特性向上には必要となっている。また、飽和磁束密度(Bs)も推進力向上には必須の磁気特性であり、高いほうが望ましい。
従来の軟磁性ヨーク材料として、電磁軟鉄、珪素鋼、パーマロイなどが用いられてきた。
しかしながら、電磁軟鉄や珪素鋼は、飽和磁束密度が高い反面、透磁率が低く、損失が大きいという欠点を持っており、特に、珪素鋼は、渦電流損失を抑えるため一般に200μm程度の厚みである。
一方、パーマロイは高透磁率組成では、飽和磁束密度が非常に低くなってしまう欠点がある。また、その他に、軟磁性材料としてフェライトやセンダスト、アモルファス薄帯などが挙げられるが、フェライトは高周波特性に優れているものの飽和磁束密度や透磁率は低く、センダストはBsが低く、また成型するのが困難である。アモルファス薄帯は透磁率も高く、損失も低いことから有望な材料ではあるが、わずか数10μmの厚みの薄帯しか得ることはできず、軟磁性ヨーク材として実用性は低い。
従って、アモルファスと同様な特性を有し、積層可能な軟磁性材料が軟磁性ヨーク材として望まれていた。
Mat Trans 43(2002)p.p.766−769
そこで、本発明の技術的課題は、高い飽和磁束密度と透磁率を有する軟磁性金属ガラス材を使用した軟磁性ヨーク材とそれを用いた電磁アクチュエーターを提供することにある。
高い飽和磁束密度と透磁率を有するFe基アモルファス材料をバルク化する方法として、B,C,Si,Pなどのメタロイド元素やZr,Nb,Ta,Hfなどの重金属を多量に添加する金属ガラス組成が知られている。
しかし、バルク化出来る反面、Bsも劣化する事が知られている。しかし、最近、非特許文献1に高い飽和磁束密度を有しながら、1.5mm直径(φ)の金属ガラスの棒材が作製できることが開示された。
本発明者らは、各種の金属ガラス組成で板材を作製し、軟磁性ヨーク材を提供するために種々の合金組成を検討した結果、下記化学1式の組成式で表される金属ガラスであれば、飽和磁束密度が1.2T以上の軟磁性ヨーク材が提供できる事を見出した。
また、この時の板材の厚みは最低でも、0.5mm以上で有り、これを積層すれば軟磁性ヨーク材料として従来よりも安価に軟磁性ヨークを提供する事が出来ることを見出し本発明をなすに至ったものである。
本発明によれば、下記化1式の組成式で表される磁束密度が1.2T以上でかつ比抵抗が1μΩm以上の軟磁性金属ガラス板材を用いたことを特徴とする軟磁性ヨークが得られる。
また、本発明によれば、前記軟磁性ヨークにおいて、当該軟磁性ヨークの最も厚い部分の肉厚は少なくとも,0.5mm以上であることを特徴とする軟磁性ヨークが得られる。
さらに、本発明によれば、前記軟磁性ヨークを用いたことを特徴とする電磁アクチュエーターが得られる。
本発明の金属ガラス組成によって、大形状の金属ガラスの作製が可能となり、かつ磁気特性の優れた軟磁性金属ガラスヨーク材として提供可能となる。また、そのヨークを用いることにより高推進力の電磁アクチュエーターを作製することができる。
次に、本発明を更に具体的に説明する。
本発明の金属ガラスの合金組成は、下記化2式で示される。
本発明において、主成分であるFeは磁性を担う元素であり、高い飽和磁束密度を得るために必須である。このFeの一部は各々、又は合計で0〜0.5の範囲でNi,Coと置換することも可能であり、金属ガラス形成能を向上させる効果がある。特にCoは、同時に飽和磁束密度も改善する効果が期待される。これらFe及びその置換元素の総量は、合金全体の68原子%以上78%以下である。というのは、68原子%以上でないと磁心の飽和磁束密度が低過ぎて有用性が失われ、78原子%以上であると結晶化するため磁心の透磁率とコアロスが低下するためである。
次に、上記組成式中のM元素は、ガラス形成能を向上させるために必要な元素であり、Zr,Nb,Ta,Hf,Mo,Ti,V,Cr,Wから選択される1種以上の元素である。M元素の含有量は1原子%以上5原子%以下が好ましい。その理由は、M元素が、1原子%未満だとガラス形成能が落ちて透磁率とコアロスが著しく劣化し、5原子%を超えると飽和磁束密度が低下し、有用性が失われるためである。
また、SiおよびBは、金属ガラス粉末を作製するために必須の元素であり、Siは1原子%以上12原子%以下、Bは12原子%以上25原子%以下が好ましい。その理由は、Siが1原子%未満または12原子%を超える場合、もしくはBが12原子%未満または25原子%を超えると、ガラス形成能が落ちて安定した金属ガラス板材が作製不能になるからである。
また、従来材より軟磁気特性が格段に高い、本発明のFe基金属ガラス軟磁性ョークを用いることにより、小型でありながら十分な推力を得ることができ、高速、高精度である電磁アクチュエーターが提供できる。
ここで、本発明において、「金属ガラス」とは、製品断面を通常のX線回折法により測定を行うことにより、X線回折プロファイルを得たときにブロードなピークのみになる状態である。ブロードなピーク以外の鋭いピークが存在する場合を「金属ガラスと結晶相との混相」と判断し、ブロードなピークが存在しない場合を「結晶相」と判断した。
以下、本発明を更に具体的に説明する。
図1は本発明の金属ガラスを評価するためにVCMの形状に構成した断面図である。
図1に示すように、VCM100は、外周部11と中心部13とこれらの一端を封じる端部12を備えた断面E字形状の円筒状の軟磁性ヨーク1を備えている。軟磁性ヨーク1は、上述した化2式によって示される組成を備えた金属ガラスの板材からなる。外周部11の外周面11aに対向する内周面11bに円筒状の磁石2の外周面が貼り合わされている。中心部13は、円筒外周面13aと先端面13bとを備えている。端部12は、外端面13と、内端面12とを備えている。内周面11bと永久磁石の内周面と、中心部13の外周面13aと、端面12aとで、リング状の空胴部5が規定される。また、中心部13の先端面13bから外周面13aにかけて覆うように一端を封じられた円筒状、即ち、カップ状の可動部をなすボビン3が設けられている。永久磁石2の内側で、ボビン3の周囲には、コイル4が巻回されている。コイルに電流が流れると、永久磁石の磁界内のボビン3は、図1では、流れた電流の向きに応じて左右方向に、電流の大きさに応じた力を受けて移動する。
以下、本発明の具体例について説明する。
(例1〜22および比較例1〜8)
本発明材としてFe、Co、Ni、Si、B、Nbの純金属材料をそれぞれ下記表1の祖成になるように、高周波誘導加熱装置を用いて母合金を作製した。次にその母合金を用い、金型鋳造法にて20×20×t1.0mmの板材を作製した。
本発明材としてFe、Co、Ni、Si、B、Nbの純金属材料をそれぞれ下記表1の祖成になるように、高周波誘導加熱装置を用いて母合金を作製した。次にその母合金を用い、金型鋳造法にて20×20×t1.0mmの板材を作製した。
板材のガラス化の確認は、1mm角の試料片をX線回折法で測定し評価した。このときのX線回折法による測定においては、自動X線回折装置(理学電機製:RINT2000)を用いCuKa、50kV、30mA、2°/mm、4回積算測定の条件で詳細に測定を行った。測定して得られたXRDパターンにおいて、ガラス相特有のブロードなピークしか検出されないものをガラス相、また結晶に起因する鋭いピークがブロードなピークとともに観察されたものを(ガラス+結晶)相とし、ブロードなピークが見られず、鋭いピークのみの場合を結晶相と判断した。また、飽和磁束密度と透磁率は、得られた板材を内径8mmφ、外径13mmφのリンク形状に加工後、500℃で0.5時間熱処理し、直流B−Hアナライザにより測定した。その結果を下記表1に示す。但し、結晶化したものは測定出来なかった。なお、板材の比抵抗は4端子法で測定したが、全ての試料について.1μΩm以上の値を示す事を確認した。なお、ガラス相が得られた組成についてはDSCにて熱分析を行い、ガラス遷移温度および結晶化温度の測定を行い、全ての試料について△Txは30K以上である事を確認した。
まず、XRDでガラス相が得られない試料は板材が作製できなかった。次に、各合金組成と諸特性との関係について下記に示す。DSCの昇温速度は40K/minである。
例1〜3と比較例1〜2より、Nb量が2〜6%のときガラス相を有する軟磁性ヨーク材が得られる事が分かる。しかし、比較例2のNb量が6%の場合には磁束密度が12T以下と低い事が分かる。
また、例4〜7と比較例3〜4より、Si量が1〜12%のときガラス相を有する較磁性ヨーク材が得られる事が分かる。
例8〜11と比較例5〜6より、B量が12〜25%のときガラス相を有する較磁性ヨーク材が得られる事が分かる。
例12〜18と比較例7〜8より、Feの一部をNi,Coで置換する事により、Nbが1%でも金属ガラスが得られている事が分かる。しかし、置換量がNiで0.3,Coで0.5を超えると磁束密度が12T以下に低下する事が分る。また、例19〜22に示す通り、NiとCoは複合添加しても良いし、またNbの代わりにTa,Moを使用しても同様の効果が得られる事が分かる。
(例23、24および比較例9、10)
以下の本発明例及び比較例をヨークとして用い、VCM100を組立て、推進力をフォースゲージにて測定をした。VCM100の構造は、以下のとおりにした。形状は、前述した図1に示す形状で、永久磁石2として、Srフェライト磁石を用い、コイル4のターン数を147ターンとし、コイル4の通電量を1Aとした。
以下の本発明例及び比較例をヨークとして用い、VCM100を組立て、推進力をフォースゲージにて測定をした。VCM100の構造は、以下のとおりにした。形状は、前述した図1に示す形状で、永久磁石2として、Srフェライト磁石を用い、コイル4のターン数を147ターンとし、コイル4の通電量を1Aとした。
下記表2に比較例9、10である従来品の電磁軟鉄、パーマロイ(登録商標)および例23、24に本発明品である(Fe0.6Co0.4)75Si7B17Nb1、Fe73Si7B17Nb3で作製した金属ガラス単相のヨークを用いたときのVCM100のそれぞれの推進力を示す。
上記表2から、例23及び24で示した本発明品を用いることにより、格段に優れた推進力を得ることが出来ることが判明した。
以上述べたごとく、本発明の金属ガラス組成を備えた金属ガラスは、電磁アクチュエーターの軟磁性金属ガラスヨーク材に最適である。
1 軟磁性ヨーク
2 永久磁石
3 ボビン
4 コイル
5 空胴部
11 外周部
11a 外周面
11b 内周面
12 端部
12a 内端面
12b 外端面
13 中心部
13a 外周面
13b 先端面
100 VCM
2 永久磁石
3 ボビン
4 コイル
5 空胴部
11 外周部
11a 外周面
11b 内周面
12 端部
12a 内端面
12b 外端面
13 中心部
13a 外周面
13b 先端面
100 VCM
Claims (3)
- 請求項1記載の軟磁性ヨークにおいて、当該軟磁性ヨークの最も厚い部分の肉厚は少なくとも,0.5mm以上であることを特徴とする軟磁性ヨーク。
- 請求項1又は2記載の軟磁性ヨークを用いたことを特徴とする電磁アクチュエーター。
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JP2004080443A JP2005264260A (ja) | 2004-03-19 | 2004-03-19 | 軟磁性ヨーク及びそれを用いた電磁アクチュエーター |
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JP2004080443A JP2005264260A (ja) | 2004-03-19 | 2004-03-19 | 軟磁性ヨーク及びそれを用いた電磁アクチュエーター |
Publications (1)
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JP2004080443A Withdrawn JP2005264260A (ja) | 2004-03-19 | 2004-03-19 | 軟磁性ヨーク及びそれを用いた電磁アクチュエーター |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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US11371108B2 (en) | 2019-02-14 | 2022-06-28 | Glassimetal Technology, Inc. | Tough iron-based glasses with high glass forming ability and high thermal stability |
-
2004
- 2004-03-19 JP JP2004080443A patent/JP2005264260A/ja not_active Withdrawn
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