JP2005260807A - 音響整合部材の製造方法およびその音響整合部材を音響整合層として用いた超音波センサ並びに超音波センサを用いた流体の流れ測定装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】中空球体と結合材料の混合物からなる音響整合部材において、側壁表面の凹凸段差を解消し、側壁表面全体にわたり平滑な音響整合部材を製造することにより、生産効率の向上を図ったものである。
【解決手段】中空球体9と結合材料11の混合物16を収納する収納室8を備えた収納体7において、第一の硬化工程として、誘導加熱等により収納体7自身の発熱から収納室8界面の結合材料11を急速に加熱硬化させる。第一の硬化工程を実施した後、第二の硬化工程として雰囲気漕内で加熱硬化させることにより、音響整合部材17の側壁表面全体は平滑面を形成し、且つ、音響整合部材17全体を均一に硬化することができる。
【選択図】図1
【解決手段】中空球体9と結合材料11の混合物16を収納する収納室8を備えた収納体7において、第一の硬化工程として、誘導加熱等により収納体7自身の発熱から収納室8界面の結合材料11を急速に加熱硬化させる。第一の硬化工程を実施した後、第二の硬化工程として雰囲気漕内で加熱硬化させることにより、音響整合部材17の側壁表面全体は平滑面を形成し、且つ、音響整合部材17全体を均一に硬化することができる。
【選択図】図1
Description
本発明は、音響整合部材の製造方法、および、それを音響整合層として用いた超音波センサ、並びに、この超音波センサを利用した気体や液体の流体の流れ測定装置に関するものである。
従来、超音波センサなどに用いられる音響整合部材の製造方法は、例えば、図6(a)に示すように、容器1にマイクロバルーン2と樹脂3とを混入した後、図6(b)に示すようにその容器1ごと遠心分離器4内に設置して駆動させる。
そして、図6(c)に示すようにマイクロバルーン1と樹脂2の混合物の中で、比重差を用いて比重の軽いマイクロバルーンが主成分の第1の樹脂層5と、比重の重い樹脂層のみからなる第2の樹脂層6に分離させて、容器1内下部に樹脂3のみからなる第2の樹脂層6を、容器1内上部にマイクロバルーン2が主成分の第1の樹脂層5をそれぞれ形成し、その後、マイクロバルーン2が主成分の第1の樹脂層5だけを取り出して音響整合部材とし、これを加工後、音響整合層とする方法がある(例えば、特許文献1参照)。
また、別に遠心分離器を用いずに、容器内にガラスバルーンと樹脂を混合して混合物をつくり、そのまま音響整合部材として製造する方法が開示されている(例えば、特許文献2参照)。
特開平9−2634161号公報
特開2001−365842号公報
しかし、図6に示す従来の製造方法では、マイクロバルーンの周囲に樹脂の付着した第1の樹脂層と比重の重い樹脂のみが主成分の第2の樹脂層が形成される中で、音響整合部材として使用されるのは、第1の樹脂層のみであり、残りの第2の樹脂層は廃棄されるので、製造した整合部材から採取できる部分は限られたものとなり、そのため、音響整合部材の生産効率が低くなる課題があった。
また、容器内にガラスバルーンと樹脂の混合物してそのまま音響整合部材とするものでは、混合物中の樹脂を熱硬化させる工程において、容器をそのまま雰囲気加熱漕などで加熱すると、樹脂の硬化が始まる前に樹脂粘度が低下するために、混合物中の樹脂が重力により容器下部に流動してしまう。
そのため、音響整合部材上部の壁面は樹脂部分が欠乏状態となり、この状態で熱硬化した音響整合部材上部の壁面には巣が入った状態になって作成される。これにより、音響整合部材の上部は壁面の凹凸段差が大きいために音響整合層として使用できなくなるおそれがあり、結果的に生産効率の低下を招いていた。
本発明は、前記従来の課題を解決するもので、音響整合部材の全周囲側壁面が平滑であり、作成した音響整合部材から音響整合層として全て採取できる製造方法と超音波センサ並びに同超音波センサを搭載した流れ測定装置を提供することを目的とする。
前記従来の課題を解決するために、本発明の整合部材の製造方法は、収納体の収納室に中空球体と結合材料の混合物を収納し、次いで、前記混合物に第一の硬化工程と第二の硬化工程を実施することを特徴とするもので、先に収納室内壁と混合物壁面界面の結合材料層が硬化し、混合物壁面に結合材料樹脂層が均一に成型されるので、混合物が加熱硬化された後の音響整合部材の周囲壁面全体は凹凸のない平滑面を得ることができる。このため、作成した音響整合部材の一部を取り出すことなく、音響整合部材全長を音響整合層として用いることができる。
本発明によれば、全て壁面が平滑な音響整合部材を取り出すことができるので、壁面状態の凹凸が大きい音響整合部材を選別して廃棄することがなくなり、生産効率を上げることができる。この音響整合層を搭載する超音波センサおよびこの超音波センサを搭載した流体の流れ測定装置としても著しくその生産安定性を高めることができる。
第1の発明は、収納体の収納室に中空球体と結合材料の混合物を収納し、次いで、前記混合物に第一の硬化工程と第二の硬化工程を実施することを特徴とする製造方法で、混合物を収納した収納体を一度に加熱硬化することの弊害、すなわち、収納室壁面の境界に低粘度になった結合材料が下部へ移動することにより上部の結合材料が欠乏して表面に凹凸を発生することを防止することができる。そのため、側壁表面が平滑な音響整合部材を得ることができる。
第2の発明は、第一の硬化工程は、所定の手段を用いて収納体を直接加熱して混合物の一部を硬化させるようにしたもので、結合材料の上部から下部への移動を防ぐことができる。
第3の発明は、所定の手段として誘導加熱手段を用いたものであり、雰囲気加熱と比較して収納体への加熱速度が速いため、特に収納室壁面に接する混合物の表層部の結合材料を急速に加熱硬化が可能となる。
第4の発明は、第二の硬化工程は、第一の硬化工程を経た混合物を雰囲気加熱で加熱硬化させるもので、第一硬化工程を経た混合物は表層部が平滑のままで、そして形状を保持したままであるので、収納体ごと雰囲気漕等の加熱炉により混合物を最適加熱条件設定で硬化でき、音響整合部材全体を均一に硬化させることができる。
第5の発明は、中空球体と結合材料の混合物を硬化させた後、所定長さに切断するものであり、側壁表面が結合材料で被覆形成されているために側壁表面の平滑性が保持され、所定長さに切断した後も接着剤を使用して他の部材に接着する場合も側壁表面を伝って接着剤が乗り上げることはない。
第6の発明は、結合材料を熱硬化性樹脂化合物とすることにより、中空球体と混合しやすく、且つ、混合後加熱により樹脂が硬化するので、中空球体表面に密着して硬化されて音響整合部材を作成することができる。
第7の発明は、中空球体はガラス組成を含むことにより、中空状態を保持したまま結合材料との混合による整合部材を作成することができるので、周囲温度が変化しても音響整合部材内の中空球体の中空状態は保持され、その密度の安定化に寄与することが出来る。
第8の発明は、前記製造方法で成型した音響整合部材を超音波センサの音響整合層とし使用したものである。音響整合層は結合材料が被覆形成されているため平滑性が保持され、さらに、所定の長さの音響整合部材から切断された音響整合層は、どの部分から採取されても側壁表面に結合材料が未充填な部分が存在しないため、その生産効率を高めることができる。
第9の発明は、超音波センサを、筒状ケースと、前記筒状ケースの内壁面に固定された圧電体と、前記筒状ケース外壁面に接着層を介して設置された音響整合層とで構成した。これにより、圧電体からの振動を音響整合層を介して効率よく気体中に音波として伝搬させることができる。
第10の発明は、前記超音波センサを流体の流れ方向に少なくとも一対配置し、前記超音波センサ間の超音波伝搬時間にもとづき流体の速度およびまたは流量を検知するようにしたものである。
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、この実施の形態によって本発明が限定されるものではない。
(実施の形態1)
図1(a)に示すように、収納体7内に所定容積を有する貫通孔状の収納室8があり、この収納室8内にはガラス組成を含む中空球体9が収納してある。前記中空球体9はそれぞれ10〜100umの粒径を有し、平均粒径は約60umである。真密度は約0.14から0.18g/cm3である。
図1(a)に示すように、収納体7内に所定容積を有する貫通孔状の収納室8があり、この収納室8内にはガラス組成を含む中空球体9が収納してある。前記中空球体9はそれぞれ10〜100umの粒径を有し、平均粒径は約60umである。真密度は約0.14から0.18g/cm3である。
中空球体9は他の充填剤と比較して比重が軽く、耐熱性、耐衝撃性を有し、充填材として使用したときの寸法安定性、成型性などの物性を改良できる。
使用したガラスの組成はホウケイ酸系ガラスである。この中空体9は、酸化珪素、硼酸、炭酸カルシウム、炭酸ナトリウム、硫酸ナトリウム等の原料を1000℃以上の高温で溶融して硫黄分を多含するガラスを形成させた後、ガラスを粉砕後、このガラス微粉末を火炎中に分散、滞留させることにより、硫黄分を発泡剤成分として発泡させて作成している。
中空球体9を収納室8に充填する方法としては、下部面にろ紙などのフィルター10等を設けた収納体7を所定周波数で振動するような振動装置上に設置し、加振させながら中空球体9を収納体7の収納室8に少量ずつまたは所定量を投入していく。
また、別方法として、収納室8に中空球体9を少量ずつ、または一定量充填して、所定高さから自然落下させて、この収納室8内に中空球体9を充填していくものも考えられるものである。
なお、中空球体9を所定容積を有する収納室8に充填される方法は、前記振動装置や衝撃加振だけに限られたものではない。
図1(a)に示すように、中空球体9を充填した収納体7の収納室8上面にもフィルター10を設置した後、結合材料11を供給して収納室8内に含浸させる。
図1(b)に中空球体9が充填された収納室8内に結合材料11を充填させる方法を示す。すなわち、吸引口12を有し、前記収納体7を内包する整合部材作成治具13を結合材料11で満たした容器14に設置する。
図1(b)に示す整合部材作成治具13の吸引口12は1つしか設けられていないが、複数口を設けても差し支えない。そして、図1(b)に示すように整合部材作成治具13の吸引口12から容器14内の結合材料11を真空ポンプ15により吸引する。
このように低圧雰囲気下にすることにより、収納室8内の中空球体9間に存在した空隙の気泡が抜け去り、変わって結合材料11が中空球体9間を埋めていく。収納室8の下側に設置するフィルター10はその中の中空球体9が漏れないようにするためであり、上側に設けるフィルター10は結合材料11を吸引したとき、中空球体9も一緒に吸引しないためである。ここではフィルター10にろ紙を用いた。なお、先に述べたフィルター10の目的を達成していれば材質にはこだわらない。
ここで、結合材料11としては熱硬化性樹脂化合物であるエポキシ樹脂を用いた。エポキシ樹脂は硬化後の樹脂の形状変化が小さく、長期安定性に優れており、何より、中空球体9表面との親和性が高いので、同中空球体9と結合力が安定的に向上する。
使用したエポキシ樹脂は、2液硬化型のエポキシ樹脂である。主剤はビスフェノールA型液状エポキシ樹脂であり、硬化剤は、テトラヒドロメチル無水フタル酸である。主剤と硬化剤を最適混合比率で混合してエポキシ樹脂として用いた。比重は約1.0〜1.2g/cm3である。しかし、ここでは特に2液硬化型のエポキシ樹脂にこだわるものではなく、目的が達せられれば1液硬化型のエポキシ樹脂を用いても差し支えない。
なお、結合材料11を吸引するときには、雰囲気や整合層作成治具治具5を結合材料11が硬化しない温度で、しかも結合材料11の粘度が低くなる温度にしておくことが望ましい。これは結合材料11の吸引を効率よく行うためである。
また、収納体7や整合部材作成治具13の材質は、後に誘導加熱を実施することから金属材料である真鍮を用いた。勿論、誘導加熱がなされるのであれば、材質は特にこだわらない。本実施の形態では、エポキシ樹脂の吸引時の粘度を考慮してゲル化温度より低い温度の60℃中で吸引した。
図2結合材料11を吸引する際の概要を詳しく記す。図2(a)に示すように整合部材作成治具内13内に収納体7を内包して結合材料11を吸引すると、収納体7の収納室8内に充填された中空球体9間に結合材料11が満される。
図2(b)に示すように、収納体7が有する収納室8は複数個あってもかまわない。収納室8が複数個あると一度に製造できる音響整合部材が多くなるため、所定製造時間に対する生産効率が上がる。
図3に複数の収納室8を所有する収納体7の一例を示す。この時使用した収納室8の断面積の直径は11mmである。なお、収納体7や収納室8の断面形状は円状を有しているが、この形状にこだわるものではない。
このように、結合材料11を吸引して収納室8内に結合材料11と中空球体9の混合物16を内包した収納体7を整合部材作成治具13から取り出す。そして、第一の硬化工程として図4に示すように、収納体7ごと誘導加熱装置17上に設置し、誘導加熱する。
この誘導加熱作用により収納体7の材料が熱伝導により急速に加熱される。その熱伝達により、混合物16の側壁表層部分に存在する結合材料11が収納体7の熱伝導により急速に加熱されて、結合材料11が硬化する。
前記第一の硬化工程を経た混合物16に第二の硬化工程として、混合物16を内包した収納体7ごと雰囲気漕内に設置し、加熱硬化する。
このような第一の硬化工程と第二の硬化工程を経て、収納室8内に側壁表面が平滑な整合部材18を得ることができる。
そして、誘導加熱と雰囲気漕による加熱を組みあわせた硬化を実施することにより、従来、雰囲気漕によってのみ加熱硬化していたときに見られた収納室界面を伝って、収納室の上部付近から下部へ結合材料が移動して、この結合材料の充填不足が原因の音響整合部材側壁面上部の凹凸を防止することができ、全長にわたって平滑な表面を得ることができる。
したがって、図1(c),(d)のように、加熱硬化後、加圧等の手段で収納体7から音響整合部材18を取り出し、より空気伝搬に有効な超音波波長の1/4である所定の厚みに切断して音響整合層19を得ることが出来る。これにより得られた音響整合層19は、どの側壁表面も平滑となる。
これにより、音響整合層19を接着剤で張り合わせて加熱硬化するときに、表面の凹凸を介してその側壁表面を毛細管現象により接着剤が超音波発振面である表面に析出するこがなく、音響整合層の高い厚み制御を実現できる。
(実施の形態2)
図5は、上記実施の形態により得た音響整合層19を使用した超音波センサを示す。
図5は、上記実施の形態により得た音響整合層19を使用した超音波センサを示す。
導電性材料製の筒状のケース21における天部22の内壁面に圧電体23が、外壁面に前記の音響整合層19がそれぞれ接着されている。
筒状ケース21の下方開放部は一方の端子26を接続した端子板25で閉塞され、他方の端子26は電気絶縁材料27を介して前記端子板25を貫通し、圧電体23の下面に接触する導電体28に接続されている。圧電体23には複数の縦溝29が形成してある。
端子24、26を介して圧電体23に電圧が加わると、この圧電体23は圧電現象により振動する。
図5の圧電体23は約500KHzで振動し、その振動はケース21から整合層19に伝わり音響整合層19の振動が気体に音波として伝搬する。
一般に音響整合層19と天部22は接着剤により接着されるが、音響整合層19の壁面に微小な凹凸が存在すると、接着剤がその凹凸に対して起点となりその壁面にせり上がる現象が起きる。
これに対して、本実施形態の製造方法により作成された音響整合層19は側壁表面が平滑であるために、接着剤がその表面にまでせりあがる現象は発生せず、製造した音響整合層19を全て超音波センサに組立てることができるために、生産効率が向上する。
さらに、この音響整合層19を用いた超音波センサは、流体の流れ測定装置に用いられる。すなわち、流路の流体流れ方向上流側と下流側に少なくとも一対の超音波センサを配置し、一方の超音波センサから送信された超音波が他方の超音波センサに受信されるまでの時間、すなわち超音波伝搬時間を検知して、それから流体の流速を測定できるようにすることができる。
また、前記流速に基づき流路の断面積などの要素を絡めて演算することで流量の測定も可能である。
そして、先述したように、超音波センサが高性能であるために、流速およびまたは流量の計測が高精度に行えるものである。
以上のように、本発明にかかる音響整合部材の製造方法およびこの音響整合部材を音響整合層として用いた超音波センサ並びに超音波センサを用いた流体の流れ測定装置は、音響整合部材の側壁表面が平滑であるために、そこから採取される音響整合層側壁の平滑性は安定し、製造した音響整合部材をすべて使用でき、製造効率向上に大きく寄与する。
また、この音響整合層を用いた超音波センサの性能を向上し、さらには、この超音波センサを搭載した流体の流れ測定装置としても著しくその精度を高めることが可能となるので、気体や液体の流体流れ測定装置等の用途に適用できる。
7 収納体
8 収納室
9 中空球体
11 結合材料
16 混合物
17 誘導加熱手段(誘導加熱装置)
18 音響整合部材
19 音響整合層
21 筒状ケース
23 圧電体
8 収納室
9 中空球体
11 結合材料
16 混合物
17 誘導加熱手段(誘導加熱装置)
18 音響整合部材
19 音響整合層
21 筒状ケース
23 圧電体
Claims (10)
- 収納体の収納室に中空球体と結合材料の混合物を収納し、次いで、前記混合物に第一の硬化工程と第二の硬化工程を実施することを特徴とする音響整合部材の製造方法。
- 第一の硬化工程は、所定の手段を用いて収納体を直接加熱することを特徴とする請求項1記載の音響整合部材の製造方法。
- 所定の手段は、誘導加熱手段を用いることを特徴とする請求項2記載の音響整合部材の製造方法。
- 第二の硬化工程は、第一の硬化工程を経た混合物を雰囲気加熱で硬化させることを特徴とする請求項1記載の音響整合部材の製造方法。
- 中空球体と結合材料の混合物を硬化させた後、所定長さに切断することを特徴とする請求項1〜3いずれか1項記載の音響整合部材の製造方法。
- 結合材料は熱硬化性樹脂化合物であることを特徴とする請求項1〜4いずれか1項記載の音響整合部材の製造方法。
- 中空球体はガラス組成を含むことを特徴とする請求項1〜4いずれか1項記載の音響整合部材の製造方法。
- 請求項1〜6いずれか1項記載の製造方法で製造した音響整合部材を音響整合層として備えた超音波センサ。
- 筒状ケースの内壁面に固定された圧電体と、前記筒状ケース外壁面に接着層を介して配置した音響整合層とを具備した請求項8記載の超音波センサ。
- 請求項7または8記載の超音波センサを流体の流れ方向に少なくとも一対配置し、前記超音波センサ間の超音波伝搬時間にもとづき流体の速度およびまたは流量を検知するようにした流体の流れ測定装置。
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