JP2005257411A - 光熱変換測定装置及びその方法 - Google Patents
光熱変換測定装置及びその方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005257411A JP2005257411A JP2004067984A JP2004067984A JP2005257411A JP 2005257411 A JP2005257411 A JP 2005257411A JP 2004067984 A JP2004067984 A JP 2004067984A JP 2004067984 A JP2004067984 A JP 2004067984A JP 2005257411 A JP2005257411 A JP 2005257411A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- sample
- measurement
- excitation
- change
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/171—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with calorimetric detection, e.g. with thermal lens detection
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/171—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with calorimetric detection, e.g. with thermal lens detection
- G01N2021/1712—Thermal lens, mirage effect
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
【解決手段】 試料9内で励起光A及びBを交差させると交差部に干渉縞が生成される。前記試料9内のこの交差部には光熱効果により前記干渉縞に応じた屈折率変化が生じる。
一方,測定光源10から前記励起光と所定の光学的関係を有する測定光を,前記交差部に照射することで,前記交差部からブラッグ条件を満たす極めて強い反射光(回折光)を得ることができる。このブラッグ条件を満たす極めて強い反射光(回折光)を光検出器12で受光し,その強度を測定することによって,前記試料9の特性変化を測定する。
【選択図】 図1
Description
ところで,試料に励起光を照射すると,その照射部は励起光を吸収することにより発熱する。これを光熱効果といい,この発熱を測定することを光熱変換測定という。
従来,この光熱変換測定による試料の高感度分析法として,光熱効果により試料に形成される熱レンズ効果を用いた手法(以下,熱レンズ法という)があり,熱レンズ法による分析装置(光熱変換分光分析装置)が知られている(例えば,特許文献1参照。)。
図6は,特許文献1に示される熱レンズ法による試料の分析装置の構成図である(特許文献1の図1を引用)。図6に示されるように,励起光源10からの励起光Aは,チョッパ11で断続光に変換(即ち,周期的に強度変調)され,ビームエクスパンダ12,位置制御ミラー30,31,32,レンズ34及び顕微鏡35を介して試料40に照射される。これにより試料40は励起光Aを吸収して発熱し,その屈折率が変化する。
検出光源20からの検出光Bは,ビームエクスパンダ22を介して励起光Aと同軸経路となって位置制御ミラー31,32で反射し,更にレンズ34,顕微鏡35を介して試料40に照射される。そして,試料40を通過した検出光Cは,集光レンズ50により集光され,開口部51A(ピンホール)を通過して検出器53により受光され,その光強度が検出される。ここで,試料40の屈折率変化により検出光Bの試料40中の集光状態が変化するため,ピンホール51Aを通過して得られる検出光Cの強度は,試料40の屈折率の変化(即ち,試料の含有物質量等に応じた光吸収量)に応じて変化する。この検出光Cの強度変化を測定することにより,試料40の屈折率の変化を測定でき,その測定結果により試料40の含有物質の量等を評価することができる。
測定感度を高め,強い検出信号を受けることができれば,検出器53の受光位置等試料の屈折率変化以外の要因による影響が相対的に小さくなり,この問題を解消することができる。しかしながら,前記特許文献1に記載の発明にあっては,測定感度を高めるために,励起光Aの強度を増大させる,或いは試料通過後の測定光Cを通過させるピンホール51Aの径を小さくする必要があり,励起光Aの強度増大化は消費電力の増加,高コスト化を招き,ピンホール51Aの小口径化は検出器53での受光光量が減少することによるS/N比の低下や,これに伴う測定域の小径化によって測定時間の長時間化を招くという問題点があった。 さらに,一般に,試料はガラス等のセル(容器)に入れて測定されるが,このとき励起光は前記セルを通して試料に照射される。セルにおいて励起光が吸収された場合,励起光照射によってセル自体に温度変化が発生するため,セルの屈折率が変化する。このセルの屈折率の変化によっても,同セルを透過する測定光は偏向するため,分析結果に影響を及ぼす場合がある。特に,試料による前記励起光の吸収が微小である場合,前記セルの温度変化の影響を強く受け,試料の温度変化の測定精度が劣化するという問題点もあった。
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり,その目的とするところは,試料の光熱効果による特性変化を,安定的に高精度で測定でき,更に,消費電力の増加や高コスト化,S/N比の低下,測定時間の長時間化を防止しながら高感度かつ容易に測定できる光熱変換測定装置及びその方法を提供することにある。
後述するように,ブラッグ条件を満たす反射光または回折光の光強度は極めて強く,この反射光または回折光の光強度から試料の特性変化を検出するため,高感度で再現性の良い検出結果を得ることが可能となる。
これによって,ブラッグ条件を満たす反射光または回折光を発生させるための励起光及び測定光の光学的関係を設定することができる。
即ち,試料の測定域を励起する励起光を照射すると共に,前記励起光が照射された前記試料の測定域に測定光を照射することによって,前記励起光が照射された試料の光熱変化により生じる前記試料の特性変化を,前記試料の測定域に照射された前記測定光の変化に基づいて測定する光熱変換測定方法において,前記励起光照射手段から照射された励起光と前記測定光照射手段から照射された測定光との光学的関係を,前記試料に照射された前記測定光からブラッグ条件を満たす反射光または回折光が発生するように設定すると共に,前記試料の特性変化を前記試料に照射された前記測定光から発生するブラッグ条件を満たす反射光または回折光の光強度から検出することを特徴とする光熱変換測定方法である。
同様に,前記励起光が二以上の可干渉性励起レーザ光であり,これら二以上の可干渉性励起レーザ光の交差により前記試料の測定域に干渉縞を生成させると共に,この干渉縞が生成された前記測定域に測定光を入射させることによって前記ブラッグ条件を満たす反射光または回折光を発生させる光熱変換測定方法であっても良い。
また,前記反射光または回折光は,試料内部から発生するため,励起光によるセルの特性変化の影響を受けることなく試料の特性変化を測定でき,より精度の高い測定が可能となる。
ここに,図1は本発明の第1の実施の形態に係る光熱変換測定装置の概略構成図,図2は干渉縞の構造を示す概略図,図3は前記第1の実施の形態におけるブラッグ条件が成立する場合をベクトルを用いて説明した概念図,図4は本発明の第2の実施の形態に係る光熱変換測定装置の概略構成図,図5は前記第2の実施の形態におけるブラッグ条件が成立する場合をベクトルを用いて説明した概念図である。
所定の励起光源1から出力された励起光(例えば,波長(λ0)523nm,出力100mWのレーザ(YAG倍波))は,レンズ系3によりビーム径が調整
される。レーザ光はその後,ミラー4によって反射された後,ハーフミラー5によって二分される。二分された励起光A,Bは,それぞれミラー6,7によって反射され,容器(セル)8を通過してセル内の試料9に照射される。ここで,前記ミラー6及び7の設置角度を調整し,前記励起光AとBとを試料9の内部にて交差させると,この交差部では前記励起光AとBとが干渉することにより,試料9内部の励起光交差部に図1に示されるような干渉縞が生成される。
励起光A,Bが照射された試料9が励起光A,Bを吸収して発熱し,その温度変化(上昇)によって試料9の屈折率は変化する(光熱効果)が,この屈折率変化の大きさは干渉縞に応じて空間的に変動することになる。
一方,測定光を出力するレーザ光源10から出力された測定光(例えば,波長(λ)633nm,出力1mWのHe−Neレーザ)は,ビームスプリッタ11を透過し,前記干渉縞が生成された励起光AとBとの交差部(測定部)に照射される。この測定光の試料に対する入射光の波数ベクトルをki,試料からの反射光もしくは回折光の波数ベクトルをkrとすると,kiは前記測定光の進行方向と同方向で大きさが2π/λのベクトル,krは前記測定光の反射光または回折光の進行方向と同方向で大きさが同じく2π/λのベクトルとして定義される。
次に,図2を用いて,この干渉縞の構造について説明する。
図2(a)ないし(c)に示すように励起光Aと励起光Bとを交差角θにて交差させた場合,この交差角θの二等分線Lと平行方向に干渉縞が生成される。ここで交差角とは,交差する二つの励起光がなす角度のうち,小さいほうをいい,図2(a)に示す例では,θ=θA+θB,図2(b)及び(c)に示す例では,θ=180°−(θA+θB)となる(但し,θA,θBは,励起光A,Bそれぞれの試料9の測定面に対する入射角)。また,θ=0°もしくはθ=90°の場合,干渉縞は生成されないため,0°<θ<90°である。
図2(a)に示すようにθ=θA+θBで定義され,かつθA=θBのとき前記干渉縞は試料9の測定面方向に対して水平に生成される。これは図1に示す本発明の第1の実施形態の場合に相当する。
図2(b)に示すようにθ=180°−(θA+θB)で定義され,かつθA=θBのとき前記干渉縞は試料9の測定面方向に対して垂直に生成され,これは図4に示す,後述する本発明の第2の実施形態の場合に相当する。
また,図2(c)に示すようにθA≠θBのとき,前記干渉縞は試料9の測定面方向に対して斜めに生成される。
この干渉縞の間隔Λは下式で表される。
Λ=λ0/(2n・sinθ) ・・・(1)
但し,λ0は励起光の波長,nは試料の屈折率,θは前記交差角である。
また,この干渉縞の格子ベクトルKは,干渉縞方向に対して垂直方向で,大きさ2π/Λで定義されるベクトルである。この格子ベクトルKが前記入射光波数ベクトルki及び前記反射光(回折光)波数ベクトルkrと間に次の(2)式の関係を満たす場合,m次ブラッグ条件が成立し,後述するように測定光の強い反射光若しくは回折光が発生する。
mK=ki−kr ・・・(2)
この測定光のm次ブラッグ条件を満たす反射光もしくは回折光の強度Iは,次式で表される。
I=P・Jm 2(2πΔn・T/λ) ・・・(3)
但し,Pは入射光(測定光)強度,Jmはm次ベッセル関数,Δnは屈折率変化,Tは周期構造の長さ(=Λ×干渉縞の数),λは入射光(測定光)の波長である。
この(3)式より,測定光のブラッグ条件を満たす反射光もしくは回折光の強度Iを測定することによって試料9の屈折率変化Δn(特性変化の一例)を測定できることが分かる。
例えば,入射光(測定光)の強度P=1,屈折率変化Δn=1E−6,周期構造の長さT=100μm,入射光(測定光)の波長λ=523nmで,一次ブラッグ条件(m=1)の場合,これを(3)式に代入すると,I=3.6E−7となる。
一方,ブラッグ条件を満たさない反射光の屈折率変化に対する反射率Rsは,スネルの法則に従い,
Rs={Δn/(2n+Δn)}2 ・・・(4)
で表される。
今,上と同じ条件で,屈折率変化Δn=1E−6とし,屈折率nを仮に1.3とすると,(4)式よりRs=2.5E−13となる。
入射光(測定光)強度P=1であるため,ブラッグ条件を満たさない反射光の強度I´はI´=2.5E−13となる。
以上のように,ブラッグ条件を満たさない反射光の強度I´は,前記ブラッグ条件を満たす反射光若しくは回折光の強度Iの約1E−6倍と極めて低いことが分かる。すなわち,I´<<Iの関係が成り立ち,ブラッグ条件を満たす反射光若しくは回折光の強度が,ブラッグ条件を満たさない反射光の強度より極めて高いことが分かる。
このような干渉縞が形成された試料9の測定部に照射される測定光は,前記試料9に照射された前記測定光からブラッグ条件を満たす反射光または回折光が発生するように,すなわち前記(2)式を満たすように,前記励起光との光学的関係が設定される。
図3(a)に示すように,この第1の実施形態の場合,kr=−kiとなり,測定光は正反射する。したがって,|K|=2|ki|であり,例えば,屈折率n=1.33で,m=1のとき,前記交差角を約55°に設定すれば干渉縞間隔Λは約240nmとなり,励起光の波長λ0=523nm,測定光の波長λ=633nmに設定することで,前記(2)式(一次ブラッグ条件)を満たす。
図1に示すように,このブラッグ条件を満たす反射光は,ビームスプリッタ11で反射して,同反射光の強度が光検出器12によって電気信号に変換され,該電気信号は信号処理13に入力される。信号処理13ではこの強度信号から屈折率変化Δnを測定する。
ここで光検出器12によって受光される前記ブラッグ条件を満たす反射光は,上述の通り,強度Iの極めて強い光であり,前記(3)式において屈折率変化Δnが微小であってもこれを感度良く測定することができる。また,光強度が高いため,試料9の光熱効果以外の要因(例えば,光検出器12の設置位置がずれたような場合)による測定結果への影響が相対的に小さくなり,再現性の良い測定を行なうことが可能となる。
さらに,この反射光は,主として周期的屈折率変化が生じている励起光の交差部から発生するため,試料容器(セル)8が励起光を吸収することによるセル8の特性変化の影響を受けることなく,試料9の特性変化の測定が可能であり,測定精度が向上する。
所定の励起光減21から出力された励起光は,レンズ系3によりビーム径が調整され,これがハーフミラー24で二分される。二分された励起光のうち励起光Aは前記ハーフミラー24によって反射され,励起光Bはミラー25によって反射され,容器(セル)26を通過してセル内の試料27に照射される。ここで,前記ハーフミラー24及びミラー25の設置角度を調整し,前記励起光AとBとを試料27の内部にて交差させると,上述の実施形態1の場合と同様,この交差部では前記励起光AとBとが干渉することにより,図4に示されるような干渉縞が生成される。
この第2の実施形態の場合,上述のように,励起光AとBとの交差角θが180°−(θA+θB)であり,かつそれぞれの入射角θAとθBが等しいため,前記干渉縞は,入射角θの二等分線Lと平行に,すなわち図4に示すように試料27の測定面に対して垂直方向に生成される。
この場合の干渉縞間隔Λは前記(1)式によって求めることができる。
また,格子ベクトルKと測定光の入射光波数ベクトルkiと回折光波数ベクトルkrとが(2)式の関係を満たすよう,すなわち図5に示す関係になるように励起光と測定光の光学的関係を設定することによって,ブラッグ条件を満たす強い回折光を得ることができる。
このときの回折光強度Iは,同様に(3)式によって決まり,これを検出することで屈折率変化Δnを測定することが可能である。
このブラッグ条件を満たす強い回折光は,所定の位置に定められたミラー27によって反射され,光検出器28に導かれる。同回折光の強度が光検出器28によって電気信号に変換され,該電気信号は信号処理29に入力される。信号処理29ではこの強度信号から屈折率変化Δnを測定する。
光検出器28によって受光される前記ブラッグ条件を満たす回折光は,前記第1の実施形態の場合と同様に,強度Iの極めて強い光であるため,感度および再現性の良い測定が可能となる。また,セル26の特性変化の影響を受けずに精度の高い検査を行なうことができる点も同様である。
これによって,周波数fの成分を有しないノイズの影響を除去しつつ,励起光照射による試料の特性変化を測定することができ,測定のS/N比が向上する。
要するに前記(2)式を満たすよう,光学的関係を設定しておけば,ブラッグ条件を満たす強い反射光または回折光を得て,同様の結果を得ることができる。
尚,周期長が有限(前記干渉縞の数が有限)である限り,前記格子ベクトルKの大きさは有限の幅を持つ。従って,必ずしも前記実施の形態に記載の光学的関係が唯一絶対的な条件ではなく,適用レーザの条件や光学系の小型化等,装置構成機器の条件の面も踏まえた上で,最適な照射,受光条件を設定することが可能である。
さらに,前記実施の形態及び実施例においては,一次ブラッグ条件(前記(2)式においてm=1)を満たす構成についてのみ述べられているが,高次ブラッグ条件(前記(2)式において,m>1)でを満たす構成あっても良く,このような場合であっても本発明の範囲内である。
2,22…チョッパ
3,23…レンズ
4,6,7,25,27…ミラー
5,24…ハーフミラー
8,26…セル
9,27…試料
10…測定光源
11…ビームスプリッタ
12,28…光検出器
13,29…信号処理装置
Claims (5)
- 試料の測定域を励起する励起光を照射する励起光照射手段と,前記励起光が照射された前記試料の測定域に測定光を照射する測定光照射手段とを具備し,前記励起光が照射された試料の光熱変化により生じる前記試料の特性変化を,前記試料の測定域に照射された前記測定光の変化に基づいて測定する光熱変換測定装置において,
前記励起光照射手段から照射された励起光と前記測定光照射手段から照射された測定光との光学的関係を,前記試料に照射された前記測定光からブラッグ条件を満たす反射光または回折光が発生するように設定すると共に,
前記試料の特性変化を前記試料に照射された前記測定光から発生するブラッグ条件を満たす反射光または回折光の光強度から検出することを特徴とする光熱変換測定装置。 - 前記励起光照射手段が二以上の可干渉性励起レーザ光の交差により前記試料の測定域に干渉縞を生成させるものであり,
前記励起光照射手段によって干渉縞が生成された前記測定域に前記測定光照射手段から照射された測定光を入射させることによって前記ブラッグ条件を満たす反射光または回折光を発生させる請求項1に記載の光熱変換測定装置。 - 前記励起光が周期的に強度変調された光であり,前記測定光の反射光あるいは回折光の強度変化を前記励起光の強度変調周期と同周期成分について測定してなる請求項1又は2のいずれかに記載の光熱変換測定装置。
- 試料の測定域を励起する励起光を照射すると共に,前記励起光が照射された前記試料の測定域に測定光を照射することによって,前記励起光が照射された試料の光熱変化により生じる前記試料の特性変化を,前記試料の測定域に照射された前記測定光の変化に基づいて測定する光熱変換測定方法において,
前記励起光照射手段から照射された励起光と前記測定光照射手段から照射された測定光との光学的関係を,前記試料に照射された前記測定光からブラッグ条件を満たす反射光または回折光が発生するように設定すると共に,
前記試料の特性変化を前記試料に照射された前記測定光から発生するブラッグ条件を満たす反射光または回折光の光強度から検出することを特徴とする光熱変換測定方法。 - 前記励起光が二以上の可干渉性励起レーザ光であり,これら二以上の可干渉性励起レーザ光の交差により前記試料の測定域に干渉縞を生成させると共に,
この干渉縞が生成された前記測定域に測定光を入射させることによって前記ブラッグ条件を満たす反射光または回折光を発生させる請求項4に記載の光熱変換測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004067984A JP4116979B2 (ja) | 2004-03-10 | 2004-03-10 | 光熱変換測定装置及びその方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004067984A JP4116979B2 (ja) | 2004-03-10 | 2004-03-10 | 光熱変換測定装置及びその方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005257411A true JP2005257411A (ja) | 2005-09-22 |
JP4116979B2 JP4116979B2 (ja) | 2008-07-09 |
Family
ID=35083280
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004067984A Expired - Fee Related JP4116979B2 (ja) | 2004-03-10 | 2004-03-10 | 光熱変換測定装置及びその方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4116979B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007178156A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Kobe Steel Ltd | 光熱変換測定装置、試料容器、光熱変換測定方法 |
CN102175711A (zh) * | 2011-01-11 | 2011-09-07 | 华中科技大学 | 一种热膨胀系数的测量方法及装置 |
DE102011078885A1 (de) * | 2011-07-08 | 2013-01-10 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen der Absorption in einem Rohling |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5869932A (en) * | 1995-09-18 | 1999-02-09 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Automatic illuminating apparatus of washing machine and control circuit thereof |
-
2004
- 2004-03-10 JP JP2004067984A patent/JP4116979B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007178156A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Kobe Steel Ltd | 光熱変換測定装置、試料容器、光熱変換測定方法 |
JP4549292B2 (ja) * | 2005-12-27 | 2010-09-22 | 株式会社神戸製鋼所 | 光熱変換測定装置、光熱変換測定方法 |
CN102175711A (zh) * | 2011-01-11 | 2011-09-07 | 华中科技大学 | 一种热膨胀系数的测量方法及装置 |
DE102011078885A1 (de) * | 2011-07-08 | 2013-01-10 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen der Absorption in einem Rohling |
US9036152B2 (en) | 2011-07-08 | 2015-05-19 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Method and apparatus for determining the absorption in a blank |
EP2729788B1 (en) * | 2011-07-08 | 2020-12-09 | Carl Zeiss SMT GmbH | Method and apparatus for determining the absorption in a blank |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4116979B2 (ja) | 2008-07-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7522287B2 (en) | Photothermal conversion measurement apparatus, photothermal conversion measurement method, and sample cell | |
JP5740316B2 (ja) | 熱レンズの焦点距離を測定するための方法およびデバイス | |
CN110927121B (zh) | 一种基于白光干涉光谱的相位型spr检测装置及方法 | |
JP3949600B2 (ja) | 光熱変換測定装置及びその方法 | |
WO2000058712A1 (fr) | Analyseur spectral d'absorption d'isotopomere et son procede | |
CN110927122A (zh) | 一种基于干涉光谱的相位型spr检测装置及方法 | |
JP4284284B2 (ja) | 光熱変換測定装置及びその方法 | |
JP4116979B2 (ja) | 光熱変換測定装置及びその方法 | |
JP4119411B2 (ja) | 光熱変換測定装置及びその方法 | |
JP2005127748A (ja) | 光熱変換測定装置及びその方法 | |
JP4853255B2 (ja) | ガス分析装置 | |
JP4290142B2 (ja) | 光熱変換測定装置及びその方法 | |
JP4119385B2 (ja) | 光熱変換測定装置 | |
JP3029757B2 (ja) | 光熱変位計測による試料評価方法 | |
JP5001226B2 (ja) | 光熱変換測定装置及び方法 | |
US10082456B2 (en) | Photothermal conversion spectroscopic analyzer | |
US20040227941A1 (en) | Particle size distribution analyzer | |
CA2997148C (en) | Laser gas analyzer | |
JP4549292B2 (ja) | 光熱変換測定装置、光熱変換測定方法 | |
JPS63308543A (ja) | 散乱光測光装置 | |
JP2006300661A (ja) | 干渉計,フーリエ分光装置 | |
JP3787332B2 (ja) | 熱レンズ吸光分析装置 | |
JP3298800B2 (ja) | 戻り光遮断用光源装置及びガス分析装置並びに戻り光遮断方法 | |
JP4290139B2 (ja) | 光熱変換測定装置及びその方法 | |
KR102340037B1 (ko) | 가스 식별 장치 및 식별 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060925 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20080118 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080122 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080311 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080415 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080418 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110425 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110425 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 4 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120425 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 5 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130425 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |