JP2005248277A - メッキ装置の電極構造 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 被メッキ基板と、基板を把持し基板とで形成する平皿状空間内部に電解メッキ液が供給される基板把持具と、前記空間内において被メッキ基板と所定の間隔をもって対向配置される保持具に保持されて電解メッキ液中へ浸漬される電解メッキ液量節減用の液中浸漬体と、液中浸漬体の上に前記基板と所定の間隔をもって対向配置される対向電極と、基板の周面に対して配置される通電電極とを有するメッキ装置の電極構造において、液中浸漬体及び対向電極の直径が液中基板の有効直径と同一か又は大きく、被メッキ基板への通電電極の給電接点が電解メッキ液中の基板把持具の端部に設置され、被メッキ基板の内側の周囲端部に接続しているメッキ装置の電極構造。
【選択図】 図1
Description
このような微細化、多層構造化が行われるLSI用半導体素子向けの均一メッキ膜圧を得られる半導体ウエハのメッキ装置として、図4に示すメッキ装置が提案されている。
このようなメッキ装置21においては、半導体ウエハ1の導電部(図示省略)に対する機械的接触によって半導体ウエハ1に通電する。
しかしながら、図3より明らかなように、半導体ウエハ1の周縁部は枠体22のパッキング部23の外部へ突出しており、このため周縁部は電解メッキ液8に触れることがないため、半導体ウエハ1のメッキ面積が小さくなる。それにより半導体ウエハ1の利用効率が低いものとなる。
(1)被メッキ基板と、前記基板を把持し前記基板とで形成する平皿状空間内部に電解メッキ液が供給される基板把持具と、前記空間内において被メッキ基板と所定の間隔をもって対向配置される保持具に保持されて電解メッキ液中へ浸漬される電解メッキ液量節減用の液中浸漬体と、液中浸漬体の上に前記基板と所定の間隔をもって対向配置される対向電極と、前記基板の周面に対して配置される通電電極とを有するメッキ装置の電極構造において、液中浸漬体及び対向電極の直径が液中基板の有効直径と同一か又は大きく、被メッキ基板への通電電極の給電接点が電解メッキ液中の基板把持具の端部に設置され、被メッキ基板の内側の周囲端部に接続していることを特徴とするメッキ装置の電極構造。
(3)通電電極の給電接点が、基板把持具の端部で被メッキ基板のベベル面に向かい合う斜面に設置されていることを特徴とする前記(1)記載の電極構造。
(4)被メッキ基板と基板把持具とが、被メッキ基板の裏面でシール材によりシールされていることを特徴とする前記(1)〜(3)のいずれか1項に記載の電極構造。
(5)液中浸漬体が、連続気泡型の非導電性発泡体であることを特徴とする前記(1)〜(4)のいずれか1項に記載の電極構造。
その上、液中浸漬体を電解メッキ液中に浸漬してメッキ操作を行うように形成されているので、この液中浸漬体により排除される分、電解メッキ液量を更に節減できるという効果を奏する。メッキ液量の使用量が少ないので、循環使用もよいが、使いきりとすることも可能である。
さらに、液中浸漬体の上にはアノードとなる対向電極が設けられ、液中浸漬体を間にして被メッキ基板をカソードとして通電することにより被メッキ基板にメッキを形成する。液中浸漬体及び対向電極の直径を被メッキ基板の有効直径と同一か又は大きく形成しているので、被メッキ基板のメッキ有効面積を広くすることができる。この液中浸漬体4は、例えば連続気泡型の多孔質セラミックからつくられ、それは非導電性であるため抵抗体の作用をし、各所に連続気泡中のメッキ液の長い液路を形成し、電気抵抗を平均的に高めることにより、被メッキ基板の全表面上に膜厚が均一なメッキ膜を形成することができる。メッキとして銅メッキをする場合には、対向電極は銅板である。なお、前記した「被メッキ基板の有効直径」とは、メッキ液と基板が接触する基板の外周部端の直径である。
しかも、このような電極構造では、被メッキ基板が上下方向からクランプされ、その応力により撓んでそりを生じることがないので、通電状態が安定し、均一膜厚のメッキ膜を安定的に生成することができる。
なお、図3及び図4で示した構成要素と同一部分は同一符号を用いて示す。
このメッキ装置は、高速化、低消費電力化に応えるために、微細化、多層構造化が行われるLSI用半導体素子向け半導体ウエハ基板に、電解メッキ法によってCu膜をメッキする装置である。メッキ装置21は、図1に示すように、半導体ウエハ1を上向きに把持する基板把持具2と、該基板把持具2と半導体ウエハ1で形成されるメッキ液容器となる平皿状空間と、該空間中に収容される電解メッキ液8を排除するために、かつ半導体ウエハ1と所定間隔で対向配置されるように浸漬される液中浸漬体4と、この液中浸漬体4を電解メッキ液8中へ強制的に浸漬するためにシールドゴム環5を介して液中浸漬体4を保持する保持具3と、前記平皿状空間内に好ましくは液中浸漬体4の上面に付着された対向電極10と、半導体ウエハ1の裏面で半導体ウエハ1と基板把持具2との間隙をシーリングするシール部材7とからなる。
こうして、このメッキ装置21においては、前記の電源(図示省略)によって半導体ウエハ1をカソードとして、対向電極10をアノードとして電流が供給される。そして、半導体ウエハ1と基板把持具2で閉塞されて形成された平皿型空間内に電極メッキ液8が供給され、この平皿型空間内の電解メッキ液8を介して通電することによって半導体ウエハ1表面上にCu膜が形成される。
フッ素ゴムとしては、六フッ化プロピレン、三フッ化塩化エチレンとフッ化ビニリデンとの共重合体系、テトラフルオロエチレン・プロピレン共重合体系、フッ化アクリート系、フッ化ポリエステル系、フォスファゼン系が例示される。
メッキ装置21においては、上記したように基板把持具2によって半導体ウエハ1がその外周を保持される。そして、メッキ装置21では、この電極である基板把持具2の突出部24に設置された複数の固定ピン形の給電接点6、6…が半導体ウエハ1の間にあって、接触によって半導体ウエハ1に通電する。給電接点6は、半導体ウエハ1の外周を囲んで設けられ、半導体ウエハ1の全周にわたる接触エリアにおいて、半導体ウエハ1の外周部表面に形成された導電部(図示省略)と点接触、あるいは線接触で接触する複数の接点が等間隔で配設されている。
さらに、液中浸漬体4及び対向電極10の直径と半導体ウエハ1の有効直径が同一か又は大きいこと、及び半導体ウエハ1の全表面上に電解メッキ液8が存在することにより、メッキ有効面積が図3の従来のメッキ装置に比べて広くなるとともに、半導体ウエハ1の全表面にわたって均一な膜厚のメッキ膜を形成することができる。
このメッキ装置21は、半導体ウエハ1と基板把持具2との電気的接続部が、図1に示すメッキ装置と違うだけで、外の構成要素は同一であるので、この部分の説明は省略して電気的接続を行う部分についてだけ説明を行う。
その上、給電接点6も平板状切片に形成し、半導体ウエハ1のベベル部と基板把持具2の下部傾斜面との間に挟持するだけでよく、電気的接続が図1の場合に比べていっそう確実であるという利点もある。
しかも、本発明のメッキ装置の電極構造は、被メッキ基板の全表面に均一膜厚のメッキ膜を形成でき、かつ広いメッキ面積を取れるので、小型高性能化、多機能化を要求される電子機器に使用されるLSI半導体素子の低コストでの製造に特に有用である。
2 基板把持具
3 液中浸漬体の保持具
4 液中浸漬体
5 シールドゴム環
6 給電接点
7 シーリング材
8 メッキ液
9 芯材
10 対向電極
11 ウエハチャック
12 メッキカップ
13 電源
16 ベベル部
21 メッキ装置
22 枠体
23 パッキング部
24 突出部
Claims (5)
- 被メッキ基板と、前記基板を把持し前記基板とで形成する平皿状空間内部に電解メッキ液が供給される基板把持具と、前記空間内において被メッキ基板と所定の間隔をもって対向配置される保持具に保持されて電解メッキ液中へ浸漬される電解メッキ液量節減用の液中浸漬体と、液中浸漬体の上に前記基板と所定の間隔をもって対向配置される対向電極と、前記基板の周面に対して配置される通電電極とを有するメッキ装置の電極構造において、液中浸漬体及び対向電極の直径が液中基板の有効直径と同一か又は大きく、被メッキ基板への通電電極の給電接点が電解メッキ液中の基板把持具の端部に設置され、被メッキ基板の内側の周囲端部に接続していることを特徴とするメッキ装置の電極構造。
- 通電電極の給電接点が、基板把持具の端部に固定ピンとして設置されていることを特徴とする請求項1記載の電極構造。
- 通電電極の給電接点が、基板把持具の端部で被メッキ基板のベベル面に向かい合う斜面に設置されていることを特徴とする請求項1記載の電極構造。
- 被メッキ基板と基板把持具とが、被メッキ基板の裏面でシール材によりシールされていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の電極構造。
- 液中浸漬体が、連続気泡型の非導電性発泡体であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の電極構造。
Priority Applications (2)
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---|---|---|---|
JP2004062206A JP2005248277A (ja) | 2004-03-05 | 2004-03-05 | メッキ装置の電極構造 |
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2004
- 2004-03-05 JP JP2004062206A patent/JP2005248277A/ja active Pending
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