JP2005247687A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 化学加工液中にガラス基板を浸漬し、このガラス基板の外表面を構成する片側の一部若しくは全部または両側の一部若しくは全部を研磨して薄くする加工を行う化学加工方法であって、
   １０μｍ／分以下の加工速度で加工すると共に、反応生成物の増加により品質が劣化する前の前記化学加工液を新たな化学加工液に交換することで、
   研磨後のガラス基板の表面の平坦性を確保するようにしたことを特徴とする化学加工方法。
2. 前記化学加工液が、フッ酸、並びに塩酸、硫酸、リン酸および硝酸から選ばれる１種以上の無機酸を含有する請求項１に記載の化学加工方法。
3. 前記化学加工液は、前記ガラス基板表面に前記反応生成物が再付着することを防止する再付着防止剤を含有し、
   前記再付着防止剤が陰イオン系界面活性剤またはアミン系界面活性剤である請求項１または２に記載の化学加工方法。
4. 超音波振動子または揺動攪拌翼を前記化学加工液に作動させている請求項３に記載の化学加工方法。
5. 前記ガラス基板を化学加工液中に略垂直配置し、前記化学加工液中に連続して発生させた気泡により上昇液流を生じさせている請求項１〜４のいずれかに記載の化学加工方法。
6. 前記上昇液流により前記反応生成物を含む化学加工液を化学加工液貯留槽から溢出させる請求項５に記載の化学加工方法。
7. 請求項１〜６のいずれかに記載の方法により加工したガラス基板。
8. 請求項７に記載のガラス基板を使用して製造されたフラットパネルディスプレイ。